CN216354107U - 一种在线热氧上料设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型所述的一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分，上料检测部分用于接收上一工序的来料并完成自动检测，硅片重组存储部分用于将合格的硅片进行重新排列，硅片流出部分用于将排列后的硅片流入下一工序。本实用新型的在线热氧上料设备，对前端工序和后端工序进行无缝衔接，省略传统技术中花篮的转运过程，提高生产效率，减少运输损耗，降低生产成本，提高整体的生产效率。

Description

一种在线热氧上料设备

技术领域

本实用新型属于太阳能电池生产领域，具体涉及一种在线热氧上料设备。

背景技术

目前硅片生产过程中，常规制造晶体硅太阳能电池包括制绒、扩散、热氧、清洗刻蚀、PECVD、丝网印刷工序等。其中，在电池片的热氧工序中，通常使用的是运用花篮进行上下料倒篮；现有的技术为，硅片激光下料机在对硅片表面进行处理后，需要把处理后的每片硅片先收集到花篮里，在通过花篮运送到下一道工序热氧设备；在此过程中涉及到花篮的运输以及硅片的收集和放置，过程复杂，损耗高，效率低。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型旨在提供一种能够省略花篮转运工序的在线热氧上料设备，提高生产效率。

技术方案：本实用新型所述的一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分，

所述硅片上料检测部分包括第一硅片输送机、第二硅片输送机和硅片检测机构，所述第一硅片输送机用于接收从激光下料设备流入在线热氧上料设备的硅片，所述第二硅片输送机与第一硅片输送机直线对接，硅片检测机构设置在第二硅片输送机与第一硅片输送机连接位置上方；

所述硅片重组存储部分包括第三硅片输送机、若干第四硅片输送机和吸取移栽机构，所述第三硅片输送机由N个独立的硅片输送机单元沿硅片传输方向直线排列组成，第三硅片输送机前端与第二硅片输送机末端直线对接，每个独立的硅片输送机单元可以容纳1PCS硅片，每个所述第四硅片输送机均与第三硅片输送机并行排列，且可容纳NPCS硅片，所述吸取移栽机构设置于第三硅片输送机的上方且可跨各个第四硅片输送机移动，吸取移栽机构上设有与第三硅片输送机上N个硅片一一对应的N个吸盘组件，所述N≥1；

所述硅片流出部分包括第六硅片输送机，所述第六硅片输送机包括N+1个硅片输送机单元，对接于N个第四硅片输送机末端和第三硅片输送机末端。

总之，上料检测部分用于接收上一工序的来料并完成自动检测，硅片重组存储部分用于将合格的硅片进行重新排列，硅片流出部分用于将排列后的硅片流入下一工序。

进一步的，所述中控系统与各个硅片输送机以及硅片检测机构、吸取移栽机构连接，用于接收设备各个组件的处理信息，并发出运行指令。

进一步的，多个在线热氧上料设备并行设置，同时运行，满足前后两个设备的产能要求。

进一步的，所述硅片上料检测部分还包括剔除输送机，所述剔除输送机垂直第二硅片输送机设置，用于将硅片检测机构判定的不合格硅片导出。

进一步的，所述所述硅片上料检测部分还包括第一硅片校正机构，第一硅片校正机构设置于第二硅片输送机的末端，保证硅片能够成功的流入第三硅片输送机。

进一步的，所述硅片流出部分还包括第五硅片输送机，设置于第四硅片输送机和第六硅片输送机之间，用于缓冲激光下料设备和硅片热氧设备的产能差异，保证设备正常运行。

进一步的，所述第六硅片输送机设有第二硅片校正机构，保证硅片能够成功的流入硅片热氧设备。

进一步的，两个在线热氧上料设备并行且对称设置，每个在线热氧上料设备的硅片重组存储部分包括三个第四硅片输送机，其中一个第四硅片输送机并行设置于第三硅片输送机的外侧，另外两个并行设置于第三硅片输送机的内侧，用于平衡激光下料设备和硅片热氧设备的产能差异，从而提升整体的生产效率。

进一步的，还包括设备框架，用于保护整个设备，所述设备框架的顶端设置有向硅片上料检测部分吹风的过滤风扇，减少硅片流转过程中表面附着的落尘。所述中控系统集成安装于设备框架上，方便操作。

进一步的，所述吸取移栽机构由以下部分组成：电机、电缸、电磁阀、固定底板、铝型材组件、拖链、拖链支架、吸盘组件、托盘和电缸固定板，所述吸盘组件与铝型材组件采用螺钉紧固；固定底板与电缸采用螺钉紧固，伺服电机和电缸组合驱动吸盘组件做往复运动，吸取移栽硅片。电磁阀的通断控制吸盘组件吸取。

进一步的，所有的硅片输送机都是独立的动力，采用伺服电机。

有益效果：本实用新型所涉及的在线热氧上料设备，对前端工序和后端工序进行无缝衔接，去除传统技术中花篮的转运过程，提高生产效率，减少不必要的运输损耗，降低生产成本，提高整体的生产效率。

附图说明

图1本实用新型所述在线热氧上料设备的示意图；

图2包括设备框架的在线热氧上料设备的示意图；

图3吸取移栽机构的示意图；

图4硅片上料检测部分的示意图；

图5硅片重组存储部分、硅片流出部分的示意图。

具体实施方式

为进一步了解本实用新型的内容，结合附图及实施例对本实用新型作详细描述。

一种在线热氧上料设备，如图1-2所示，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分、中控系统和设备框架13，

硅片上料检测部分包括第一硅片输送机1、第二硅片输送机2、硅片检测机构3、剔除输送机4和第一校正机构5，第一硅片输送机用于接收从激光下料设备流入在线热氧上料设备的硅片15，所述第二硅片输送机与第一硅片输送机直线对接，硅片检测机构设置在第二硅片输送机与第一硅片输送机连接位置的上方，用于对硅片的裂纹、崩片等不良进行检测并记录，剔除输送机与第二硅片输送机垂直设置，用于将硅片检测机构判定的不合格硅片导出，第二硅片输送机的末端设有第一硅片校正机构，保证硅片能够成功的流入第三硅片输送机6。

硅片重组存储部分包括第三硅片输送机6、三列与第三硅片输送机6平行排列的第四硅片输送机7和吸取移栽机构8，所述第三硅片输送机由三个独立的硅片输送机单元沿硅片传输方向直线排列组成，第三硅片输送机前端与第二硅片输送机末端直线对接，每个独立的硅片输送机单元可以容纳1PCS硅片，每列所述第四硅片输送机均与第三硅片输送机并行排列，且可容纳3PCS硅片，所述吸取移栽机构设置于第三硅片输送机的上方且可跨各个第四硅片输送机移动，吸取移栽机构上设有与第三硅片输送机上三个硅片一一对应的三个吸盘组件9。

移取吸载机构由以下部分组成：电机16、电缸17、电磁阀18、固定底板19、铝型材组件20、拖链21、拖链支架22、吸盘组件9、托盘23和电缸固定板24，所述吸盘组件9与铝型材组件20采用螺钉紧固；固定底板19与电缸17采用螺钉紧固，电机16和电缸17组合驱动吸盘组件9做往复运动，吸取移栽硅片15。电磁阀18的通断控制吸盘组件吸取。

所述硅片流出部分包括第五硅片输送机10、第六硅片输送机11和第二校正机构12，所述第六硅片输送机排列于第四硅片输送机的末端和第三硅片输送机的末端，第五硅片输送机设置于第四硅片输送机和第六硅片输送机之间，用于缓冲激光下料设备和硅片热氧设备的产能差异，保证设备正常运行，第六硅片输送机设置有第二硅片校正机构，保证硅片能够成功的流入硅片热氧设备。

所述中控系统与各个硅片输送机以及硅片检测机构、吸取移栽机构连接，用于接收设备各个组件的处理信息，并发出运行指令。

如图2所示，所述设备框架13，用于保护整个设备，设备框架的顶端设置有向硅片上料检测部分吹风的过滤风扇14，减少硅片流转过程中表面附着的落尘。中控系统集成安装于设备框架上，方便操作。

由图1可知，实施例中两台在线热氧上料设备并行且对称设置，每个在线热氧上料设备的硅片重组存储部分包括三列第四硅片输送机，其中一列第四硅片输送机并行设置于第三硅片输送机的外侧，另外两列并行设置于第三硅片输送机的内侧，两台在线热氧上料设备的第四硅片输送机相互邻接。

具体部件和流程阐述如下：硅片由前端激光下料设备流入到第一硅片输送机上，经过硅片检测机构并判断硅片是否合格，流入到第二硅片输送机上，不合格硅片由剔除输送机剔除到硅片废料盒里，合格的继续向后端输送，经第一硅片校正机构，对硅片进行校正；传送到第三硅片输送机；第三硅片输送机上累计到均匀布满硅片后，由吸取移栽机构一次将第三硅片输送机上面的硅片，全部吸取移栽到第四硅片输送机上；当第三硅片输送机和两侧的第四硅片输送机上面都均匀布满硅片时，全部同时传递到第五硅片输送机；再由第五硅片输送机传输到第六硅片输送机，通过第二硅片校正机构进行硅片校正，最后流入到热氧设备。

Claims (8)

1.一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，其特征在于，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分和硅片流出部分，

所述硅片上料检测部分包括第一硅片输送机(1)、第二硅片输送机(2)和硅片检测机构(3)，所述第一硅片输送机用于接收从激光下料设备流入在线热氧上料设备的硅片(15)，所述第二硅片输送机与第一硅片输送机直线对接，硅片检测机构设置在第二硅片输送机与第一硅片输送机连接位置的上方；

所述硅片重组存储部分包括第三硅片输送机(6)、若干第四硅片输送机(7)和吸取移栽机构(8)，所述第三硅片输送机由N个独立的硅片输送机单元沿硅片传输方向直线排列组成，第三硅片输送机前端与第二硅片输送机末端直线对接，每个独立的硅片输送机单元可以容纳1PCS硅片，每个所述第四硅片输送机均与第三硅片输送机平行排列，且可容纳NPCS硅片，所述吸取移栽机构设置于第三硅片输送机的上方且可跨各个第四硅片输送机移动，吸取移栽机构上设有与第三硅片输送机上N个硅片一一对应的N个吸盘组件(9)，所述N≥1；

所述硅片流出部分包括第六硅片输送机(11)，所述第六硅片输送机包括N+1个硅片输送机单元，每个第四硅片输送机的末端对接一个第六硅片输送机的硅片输送机单元，第三硅片输送机的末端对接一个第六硅片输送机的硅片输送机单元。

2.根据权利要求1所述的在线热氧上料设备，其特征在于，所述硅片上料检测部分还包括剔除输送机(4)，所述剔除输送机与第二硅片输送机垂直设置，用于将硅片检测机构判定的不合格硅片导出。

3.根据权利要求1所述的在线热氧上料设备，其特征在于，所述第二硅片输送机的末端设有第一硅片校正机构(5)。

4.根据权利要求1所述的在线热氧上料设备，其特征在于，所述硅片流出部分还包括第五硅片输送机(10)，设置于第四硅片输送机和第六硅片输送机之间。

5.根据权利要求1所述的在线热氧上料设备，其特征在于，所述第六硅片输送机末端设有第二硅片校正机构(12)。

6.根据权利要求1所述的在线热氧上料设备，其特征在于，所述在线热氧上料设备的硅片重组存储部分包括三列第四硅片输送机，一列第四硅片输送机并行设置于第三硅片输送机的一侧，两列并行设置于第三硅片输送机的另一侧。

7.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的在线热氧上料设备，其特征在于，还包括中控系统，所述中控系统与各个硅片输送机以及硅片检测机构、吸取移栽机构连接，用于接收设备各个组件的处理信息，并发出运行指令。

8.根据权利要求7所述的在线热氧上料设备，其特征在于，还包括设备框架(13)，所述设备框架包覆所述在线热氧上料设备，所述设备框架的顶端设置有向硅片上料检测部分吹风的过滤风扇(14)，所述中控系统集成安装于设备框架上。

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