CN219417510U - 测试调整装置以及原子力显微镜 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种测试调整装置及原子力显微镜，测试调整装置包括底座、样品调整机构以及探针调整机构。样品调整机构包括第二位移组件以及样品托，样品托沿第一方向可插拔地设于第二位移组件，第一方向平行于水平方向；探针调整机构包括第四位移组件以及探针托，探针托沿第一方向可插拔地设于第四位移组件；其中，样品调整机构上设有限位结构，以在插拔样品托的过程中对第二位移组件在第一方向上限位；和/或，探针调整机构上设有限位结构，以在插拔探针托的过程中对第四位移组件在第一方向上限位。根据本实用新型实施例的测试调整装置，可以防止在对插拔样品托和/或探针托的过程中对第二位移组件和/或第四位移组件造成损伤。

Description

测试调整装置以及原子力显微镜

技术领域

本实用新型涉及测试分析仪器技术领域，尤其是涉及一种测试调整装置以及原子力显微镜。

背景技术

在相关技术中，原子力显微镜上设有样品托以及探针托，样品托用于加装样品，探针托用于加装探针。在更换样品或探针时，需要从原子力显微镜上插拔样品托或探针托。在插拔的过程中，因为原子力显微镜结构受限导致纳米位移台所受扭矩过大，容易对原子力显微镜的纳米位移台造成损伤。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种测试调整装置，测试调整装置包括样品调整机构和探针调整机构，通过在样品调整机构和探针调整机构中的至少一个上设有限位结构，限位结构可以用于阻挡第二位移组件和/或第四位移组件沿第一方向摆动，防止在对插拔样品托和/或探针托的过程中对第二位移组件和/或第四位移组件造成损伤。

本实用新型还提出了一种具有上述测试调整装置的原子力显微镜。

根据本实用新型第一方面实施例的测试调整装置，用于测试分析仪器，所述测试调整装置包括：底座；样品调整机构，所述样品调整机构设于所述底座，所述样品调整机构包括第一固定座、第一位移组件、第二位移组件以及样品托，所述第一位移组件设于所述第一固定座且相对所述第一固定座可运动，所述第二位移组件设于所述第一位移组件且相对所述第一位移组件可运动，所述样品托沿第一方向可插拔地设于所述第二位移组件，所述第二位移组件的位移调整精度大于所述第一位移组件的位移调整精度，所述第一方向平行于水平方向；探针调整机构，所述探针调整机构设于所述底座，所述探针调整机构包括第二固定座、第三位移组件、第四位移组件以及探针托，所述第三位移组件设于所述第二固定座且相对所述第二固定座可运动，所述第四位移组件设于所述第三位移组件且相对所述第三位移组件可运动，所述探针托沿所述第一方向可插拔地设于所述第四位移组件，所述第四位移组件的位移调整精度大于所述第三位移组件的位移调整精度；其中，所述样品调整机构上设有限位结构，以在插拔所述样品托的过程中对所述第二位移组件在所述第一方向上限位；和/或，所述探针调整机构上设有限位结构，以在插拔所述探针托的过程中对所述第四位移组件在所述第一方向上限位。

根据本实用新型实施例的测试调整装置，测试调整装置包括样品调整机构和探针调整机构，通过在样品调整机构和探针调整机构中的至少一个上设有限位结构，限位结构可以用于阻挡第二位移组件和/或第四位移组件沿第一方向摆动，防止在对插拔样品托和/或探针托的过程中对第二位移组件和/或第四位移组件造成损伤。

根据本实用新型的一些实施例，所述样品调整机构上设有限位结构，设于所述样品调整机构上的所述限位结构为第一限位结构，所述第一限位结构与所述第一位移组件相连且相对第一位移组件固定，所述第一限位结构与所述第二位移组件之间具有第一预留间隙，以为所述第二位移组件预留出调整空间；其中，所述第一限位结构包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部位于所述第二位移组件沿所述第一方向的相对两侧，以对所述第二位移组件在所述第一方向上进行限位。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第二位移组件包括位于所述第二位移组件的上端的样品托架，所述样品托沿第一方向可插拔地设于所述样品托架，所述第一限位部和所述第二限位部位于所述样品托架沿所述第一方向的相对两侧。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第一限位部内具有第一容纳腔，所述第一限位结构还包括第一限位块和第一调节件，所述第一限位块沿所述第一方向可移动地设于所述第一容纳腔内，所述第一调节件与所述第一限位块相连以驱动所述第一限位块在第一位置和第二位置之间移动；其中，在所述第一位置，所述第一限位块与所述样品托架之间具有所述第一预留间隙；在所述第二位置，所述第一限位块与所述样品托架在所述第一方向上抵接。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第一容纳腔的内壁和所述第一限位块中的一个上形成有第一导向槽且另一个上形成有与所述第一导向槽配合的第一导向凸起，所述第一导向槽沿所述第一方向延伸。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第一限位部上形成有沿所述第一方向延伸的第一调节孔，所述第一调节孔与所述第一容纳腔连通，所述第一调节件包括沿所述第一方向排布且相连的第一螺纹部和第一配合部，所述第一螺纹部穿设于所述第一调节孔且与所述第一调节孔螺纹连接，所述第一限位块上形成有第一配合槽，所述第一配合部容纳于所述第一配合槽且相对所述第一配合槽可活动，所述第一配合槽的内壁具有第一限位面，所述第一配合部具有第二限位面，所述第二限位面与所述第一限位面在所述第一方向上相对且所述第二限位面位于所述第一限位面的远离所述第一螺纹部的一侧。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述样品调整机构和所述探针调整机构沿所述第一方向并排设置，在所述第一方向上，所述第一限位部位于所述样品调整机构的远离所述探针调整机构的一侧。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第一限位结构包括第一限位支架和第二限位支架；所述第一限位支架包括所述第一限位部，所述第一限位部位于所述第一限位支架的上端，所述第一限位支架的下端与所述第一位移组件相连；所述第二限位支架包括所述第二限位部，所述第二限位部位于所述第二限位支架的上端，所述第二限位支架的下端与所述第一位移组件相连。

根据本实用新型的一些实施例，所述探针调整机构上设有限位结构，设于所述探针调整机构上的限位结构为第二限位结构，所述第二限位结构与所述第三位移组件相连且相对所述第三位移组件固定，所述第二限位结构与所述第四位移组件之间具有第二预留间隙，以为所述第四位移组件预留出调整空间；其中，所述第二限位结构包括第三限位部和第四限位部，所述第三限位部和所述第四限位部位于所述第四位移组件沿所述第一方向的相对两侧，以对所述第四位移组件在所述第一方向上进行限位。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第四位移组件包括位于所述第四位移组件的上端的探针电极座，所述探针托沿所述第一方向可插拔地设于所述探针电极座，所述第三限位部和所述第四限位部位于所述探针电极座沿所述第一方向的相对两侧。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第二限位结构包括第三限位支架、第四限位支架以及连接支架，所述第三限位支架包括所述第三限位部，所述第三限位部位于所述第三限位支架的上端，所述第三限位支架的下端与所述第三位移组件相连，所述第四限位支架包括所述第四限位部，所述第四限位支架与所述第三限位支架之间通过连接支架相连。

根据本实用新型的一些可选实施例，所述第三限位支架上形成有沿第一方向延伸的第一插入孔，所述第四限位支架上形成有沿所述第一方向延伸的第二插入孔，所述连接支架的沿第一方向的相对两端分别容纳于所述第一插入孔、所述第二插入孔，所述连接支架与所述第一插入孔和所述第二插入孔中的至少一个的配合长度可调。

根据本实用新型第二方面实施例的原子力显微镜，包括：根据本实用新型上述第一方面实施例的测试调整装置。

根据本实用新型实施例的原子力显微镜，通过设置上述测试调整装置，可以防止在对插拔样品托和/或探针托的过程中对第二位移组件和/或第四位移组件造成损伤。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型一些实施例的测试调整装置的立体图；

图2是图1中限位结构与样品调整机构和探针调整机构的装配图；

图3是图1中测试调整装置的另一角度立体图；

图4是图1中测试调整装置的主视图；

图5是图1中测试调整装置的侧视图；

图6是图1中测试调整装置的另一方向侧视图；

图7是图1中测试调整装置的俯视图；

图8是图1中第一限位结构的部分结构爆炸图；

图9是图1中测试调整装置的剖视图。

附图标记：

100、测试调整装置；

10、样品调整机构；1、第一固定座；2、第一位移组件；21、第一压电陶瓷位移台；22、第一微米位移台；23、位移台垫板；3、第二位移组件；31、压电摇摆台；32、第一纳米位移台；33、样品托垫块；34、样品托架；35、样品托；

20、第一限位结构；4、第一限位支架；41、第一限位部；411、第一容纳腔；412、第一导向凸起；413、第一调节孔；42、第一限位块；421、第一配合槽；4211、第一限位面；423、第一导向槽；43、第一调节件；431、第一螺纹部；432、第一配合部；4321、第二限位面；44、第一底板；5、第二限位支架；51、第二限位部；

30、探针调整机构；6、第二固定座；7、第三位移组件；71、第二微米位移台；72、第二压电陶瓷位移台；73、位移台转接架；74、转接架；8、第四位移组件；81、第二纳米位移台；82、探针托垫块；83、探针电极座；84、探针托；

40、第二限位结构；9、第三限位支架；91、第三限位部；92、第一插入孔；93、第一穿设孔；101、第四限位支架；102、第四限位部；103、第二插入孔；104、第二穿设孔；111、连接支架；

50、底座。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1-图9描述根据本实用新型实施例的测试调整装置100。

参照图1-图6，测试调整装置100包括底座50、样品调整机构10以及探针调整机构30，测试调整装置100用于测试分析仪器，样品调整机构10可以用于调整样品的位置，探针调整机构30可以用于调整探针的位置，探针用于测试样品。例如，样品调整机构10与探针调整机构30可以设于同一个底座50上，样品调整机构10与探针调整机构30可以沿第一方向(例如参照附图中的e1方向)并排设置。

测试调整装置100包括底座50、样品调整机构10以及探针调整机构30，样品调整机构10设于底座50。样品调整机构10包括第一固定座1、第一位移组件2、第二位移组件3以及样品托35，第一位移组件2设于第一固定座1，第一固定座1可以设于底座50的上方，第一位移组件2可以位于第一固定座1的上方。例如第一位移组件2可以包括第一压电陶瓷位移台21、第一微米位移台22以及位移台垫板23，在由下至上的方向上，第一压电陶瓷位移台21、第一微米位移台22以及位移台垫板23依次排布，第一压电陶瓷位移台21、第一微米位移台22以及位移台垫板23可以采用紧固件固定相连。

第一位移组件2相对第一固定座1可运动，第一位移组件2可以用于调整样品的位置。例如，第一位移组件2相对第一固定座1可以沿第一方向、第二方向(例如参照附图中的e2方向)以及上下方向均可以运动。第一压电陶瓷位移台21可以相对第一固定座1可以沿上下方向运动，第一微米位移台22可以相对第一固定座1可以沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动。

第二位移组件3设于第一位移组件2，第二位移组件3可以位于第一位移组件2的上方。例如，第二位移组件3可以包括第一压电摇摆台31、第一纳米位移台32、样品托垫块33以及样品托架34，在由下至上的方向上，第一压电摇摆台31、第一纳米位移台32、样品托垫块33以及样品托架34依次排布，第一压电摇摆台31、第一纳米位移台32、样品托垫块33以及样品托架34可以采用紧固件固定相连。

第二位移组件3相对第一位移组件2可运动，第二位移组件3也可以用于调整样品的位置。例如，第二位移组件3相对第一位移组件2可以沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动。第一压电摇摆台31相对第一位移组件2可以沿弧形运动，以调节样品托35与水平方向的角度；第一纳米位移台32可以相对第一位移组件2沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动。

样品托35设于第二位移组件3，样品托35用于放置样品，样品托35可以沿第一方向从第二位移组件3上插拔，可以用于更换样品，例如样品托35可以设于样品托架34上。第二位移组件3的位移调整精度大于第一位移组件2的位移调整精度，第一方向平行于水平方向。例如，第二位移组件3可以在纳米级别上调整样品的位置，第一位移组件2可以在微米级别上调整样品的位置。

探针调整机构30设于底座50，探针调整机构30包括第二固定座6、第三位移组件7、第四位移组件8以及探针托84，第三位移组件7设于第二固定座6，第二固定座6可以位于底座50的上方，第三位移组件7可以位于第二固定座6的上方。例如，第一位移组件2可以包括第二微米位移台71、第二压电陶瓷位移台72、位移台转接架73以及转接架74，在由下至上的方向上，第二微米位移台71、第二压电陶瓷位移台72、位移台转接架73以及转接架74依次排布，第二微米位移台71、第二压电陶瓷位移台72、位移台转接架73以及转接架74可以采用紧固件固定相连。

第三位移组件7相对第二固定座6可运动，第三位移组件7可以用于调整探针的位置。例如，第三位移组件7相对第二固定座6可以沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动。第二微米位移台71可以相对第二固定座6可以沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动，第二压电陶瓷位移台72可以沿上下方向运动。

第四位移组件8设于第三位移组件7，第四位移组件8可以位于第三位移组件7的上方。例如，第四位移组件8可以包括第二纳米位移台、探针托84垫块以及探针电极座83，在由下至上的方向上，第二纳米位移台、探针托84垫块以及探针电极座83依次排布，第二纳米位移台、探针托84垫块以及探针电极座83可以采用紧固件固定相连。

第四位移组件8相对第三位移组件7可运动，第四位移组件8也可以用于调整探针的位置。例如，第四位移组件8相对第三位移组件7可以沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动。第四位移组件8的第二纳米位移台可以相对第三位移组件7沿第一方向、第二方向以及上下方向均可以运动。

探针托84设于第四位移组件8，探针托84用于放置探针，探针托84可以沿第一方向从第四位移组件8上插拔，可以用于更换探针，例如探针托84可以设于探针电极座83上。第四位移组件8的位移调整精度大于第三位移组件7的位移调整精度。例如，第四位移组件8可以在纳米级别上调整样品的位置，第三位移组件7可以在微米级别上调整样品的位置。

其中，样品调整机构10上设有限位结构，以在插拔样品托35的过程中对第二位移组件3在第一方向上限位；和/或，探针调整机构30上设有限位结构，以在插拔探针托84的过程中对第四位移组件8在第一方向上限位。例如，可以仅是在样品调整机构10上设有限位结构，在插拔样品托35的过程中限位结构可以对第二位移组件3在第一方向上限位，可以避免第二位移组件3所受扭矩过大，导致第二位移组件3沿第一方向摆动，对第二位移组件3造成损伤。再例如，可以仅是在探针调整机构30上设有限位结构，在插拔探针托84的过程中限位结构可以对第四位移组件8在第一方向上限位，可以避免第四位移组件8所受扭矩过大，导致第四位移组件8沿第一方向摆动，对第四位移组件8造成损伤。还例如，可以是在样品调整机构10和探针调整机构30上均设有限位结构，在插拔样品托35和探针托84的过程中限位结构可以对第二位移组件3和第四位移组件8均在第一方向上限位，可以避免第二位移组件3和第四位移组件8所受扭矩过大，导致第二位移组件3和第四位移组件8沿第一方向摆动，对第二位移组件3和第四位移组件8造成损伤。

根据本实用新型实施例的测试调整装置100，测试调整装置100包括样品调整机构10和探针调整机构30，通过在样品调整机构10和探针调整机构30中的至少一个上设有限位结构，限位结构可以用于阻挡第二位移组件3和/或第四位移组件8沿第一方向摆动，防止在对插拔样品托35和/或探针托84的过程中对第二位移组件3和/或第四位移组件8造成损伤。

根据本实用新型的一些实施例，参照图1-图6，样品调整机构10上设有限位结构，设于样品调整机构10上的限位结构为第一限位结构20，第一限位结构20与第一位移组件2相连，且第一限位结构20相对第一位移组件2固定。例如，第一限位结构20可以与第一位移组件2的位移台垫板23相连，可以采用紧固件连接第一限位结构20与位移台垫板23。第一限位结构20与第二位移组件3在之间具有第一预留间隙，以为第二位移组件3预留出调整空间，可以在第一预留间隙内调整第二位移组件3的位置。

其中，第一限位结构20包括第一限位部41和第二限位部51，第一限位部41和第二限位部51位于第二位移组件3沿第一方向的相对两侧，以对第二位移组件3在第一方向上进行限位，可以防止样品托35沿第一方向插拔时，第二位移组件3在第一方向上的摆动幅度较大，对第二位移组件3造成损害。例如，第二位移组件3在第一方向上的第一预留间隙可以为200微米，可以将第二位移组件3在第一方向上的可运动范围限制在200微米以内。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图6，第二位移组件3包括位于第二位移组件3的上端的样品托架34，样品托35沿第一方向可插拔地设于样品托架34，第一限位部41和第二限位部51位于样品托架34沿第一方向的相对两侧。样品托35设于样品托架34，当插拔样品托35时，可能会导致样品托架34沿第一方向摆动，第一限位部41和第二限位部51位于样品托架34沿第一方向的相对两侧，可以更好地防止样品托架34在第一方向上的摆动幅度过大，进而可以防止第二位移组件3在第一方向上的摆动幅度过大。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图9，第一限位部41内具有第一容纳腔411，第一限位结构20还包括第一限位块42和第一调节件43，第一限位块42设于第一容纳腔411内，第一限位块42沿第一方向在第一容纳腔411内可移动，第一调节件43与第一限位块42相连以驱动第一限位块42在第一位置和第二位置之间移动。

其中，在第一位置，第一限位块42与样品托架34之间具有第一预留间隙，例如，第一限位块42与样品托架34之间具有第一预留间隙可以为200微米；在第二位置，第一限位块42与样品托架34在第一方向上抵接，可以阻挡样品托架34向第一限位块42的方向摆动。当插拔样品托35时，第一调节件43处于第二位置，可以防止插拔样品托35时，样品托架34向第一限位块42的方向摆动。当探针调整机构30检测样品时，第一调节件43处于第一位置，可以方便调节样品的位置。

例如，第一限位块42位于第一位置时，第一调节件43可以驱动第一限位块42由第一位置向第二位置移动，使得第一限位块42可以与样品托架34在第一方向上抵接。第一限位块42位于第二位置时，第一调节件43可以带动第一限位块42由第二位置向第一位置移动，第一限位块42与样品托架34之间可以具有200微米的第一预留间隙。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图8，第一容纳腔411的内壁和第一限位块42中的一个上形成有第一导向槽423且另一个上形成有第一导向凸起412，第一导向槽423与第一导向凸起412相配合，第一导向槽423沿第一方向延伸。可以是第一容纳腔411的内壁上形成有第一导向槽423，第一限位块42上形成有第一导向凸起412；还可以是第一容纳腔411的内壁上形成有第一导向凸起412，第一限位块42上形成有第一导向槽423。第一导向槽423与第一导向凸起412相配合时具有导向作用，可以限制第一限位块42的移动路径，使得第一限位块42可以沿着第一方向移动。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图8，第一限位部41上形成有第一调节孔413，第一调节孔413沿第一方向延伸，第一调节孔413与第一容纳腔411连通，第一调节件43包括沿第一方向排布第一螺纹部431和第一配合部432，且第一螺纹部431和第一配合相连。第一螺纹部431穿设于第一调节孔413，且第一螺纹部431与第一调节孔413螺纹连接。第一限位块42上形成有第一配合槽421，第一配合部432容纳于第一配合槽421，且第一配合部432相对第一配合槽421可活动，第一调节件43可以驱动第一限位块42在第一位置和第二位置之间移动，第一调节件43的第一螺纹部431与第一调节孔413螺纹连接，使得第一调节件43驱动第一限位块42在第一位置和第二位置之间的移动方式简单，操作方便。

第一配合槽421的内壁具有第一限位面4211，第一配合部432具有第二限位面4321，第二限位面4321与第一限位面4211在第一方向上相对，且第二限位面4321位于第一限位面4211的远离第一螺纹部431的一侧，第一限位面4211与第二限位面4321抵接时，第一限位面4211可以阻挡第一配合部432向靠近第一螺纹部431的方向继续移动，可以防止第一配合部432沿第一方向从第一配合槽421内脱出。例如，第一限位面4211可以为弧形面，第二限位面4321也可以为弧形面。

例如，第一限位部41内具有第一容纳腔411，第一容纳腔411为沿上下方向贯通的通腔。在第一限位块42上还设有第一底板44，第一配合部432容纳于第一配合槽421，将第一底板44置于第一限位块42的底部，采用紧固件将第一底板44固定至第一限位块42上，第一底板44可以为第一容纳腔411的底壁，可以防止第一配合部432从第一配合槽421内向下脱出。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图4，样品调整机构10和探针调整机构30沿第一方向并排设置，在第一方向上，第一限位部41位于样品调整机构10的远离探针调整机构30的一侧，第一调节件43可以驱动第一限位块42在第一位置和第二位置之间移动，需要更大的操作空间，样品调整机构10的远离探针调整机构30的一侧的空间较大，可以方便操作第一调节件43驱动第一限位块42在第一位置和第二位置之间移动。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图6，限位结构包括第一限位支架4和第二限位支架5；第一限位支架4包括第一限位部41，第一限位部41位于第一限位支架4的上端，第一限位支架4的下端与第一位移组件2相连，例如第一限位支架4的下端可以与第一位移组件2的位移台垫板23相连。第二限位支架5包括第二限位部51，第二限位部51位于第二限位支架5的上端，第二限位支架5的下端与第一位移组件2相连，例如第二限位支架5的下端可以与第一位移组件2的位移台垫板23相连。第一限位支架4的下端与第二限位支架5的下端均连接固定于第一位移组件2，可以方便限位结构的安装；当插拔样品托35时，限位结构可以更好的阻止第二位移组件3摆动。

根据本实用新型的一些实施例，参照图1-图6，探针调整机构30上设有限位结构，设于探针调整机构30上的限位结构为第二限位结构40，第二限位结构40与第三位移组件7相连，且第二限位结构40相对第三位移组件7固定，例如第二限位结构40可以与第三位移组件7的转接架74相连，可以采用紧固件连接第二限位结构40与转接架74。第二限位结构40与第四位移组件8之间具有第二预留间隙，以为第四位移组件8预留出调整空间，可以在第二预留间隙内调整第四位移组件8的位置。

其中，第二限位结构40包括第三限位部91和第四限位部102，第三限位部91和第四限位部102位于第三位移组件7沿第一方向的相对两侧，以对第三位移组件7在第一方向上进行限位，防止探针托84沿第一方向插拔时，第四位移组件8在第一方向上摆动幅度较大，对第四位移组件8造成损害。例如，第四位移组件8在第一方向上的第二预留间隙可以为300微米，可以将第四位移组件8在第一方向上的可运动范围限制在300微米以内。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图6，第三位移组件7包括位于第三位移组件7的上端的探针电极座83，探针托84沿第一方向可插拔地设于探针电极座83，第三限位部91和第四限位部102位于探针电极座83沿第一方向的相对两侧。探针托84设于探针托84架，当插拔探针托84时，可能会导致探针托84架沿第一方向摆动，第三限位部91和第四限位部102位于探针托84架沿第一方向的相对两侧，可以更好地防止探针托84架在第一方向上的摆动幅度过大，进而可以防止第四位移组件8在第一方向上的摆动幅度过大。

根据本实用新型的一些可选实施例，第三限位部91内具有第二容纳腔，第三限位结构还包括第二限位块和第二调节件，第二限位块设于第二容纳腔内，第二限位块沿第一方向在第二容纳腔内可移动，第二调节件与第二限位块相连以驱动第二限位块在第三位置和第四位置之间移动。

其中，在第三位置，第二限位块与探针托84架之间具有第三预留间隙，例如，第二限位块与样品托架34之间具有第三预留间隙可以为300微米；在第四位置，第二限位块与探针托84架在第一方向上抵接，可以阻挡探针托84架向第二限位块的方向摆动。当插拔探针托84时，第二调节件处于第三位置，可以防止插拔探针托84时，探针托84架向第二限位块的方向摆动。当探针调整机构30检测样品时，第二调节件处于第三位置，可以方便调节探针的位置。

例如，第二限位块位于第三位置时，第二调节件可以驱动第二限位块由第三位置向第四位置移动，使得第二限位块可以与探针托84架在第一方向上抵接。第二限位块位于第四位置时，第二调节件可以带动第二限位块由第四位置向第三位置移动，第二限位块与探针托84架之间可以具有300微米的第三预留间隙。

根据本实用新型的一些可选实施例，第二容纳腔的内壁和第二限位块中的一个上形成有第二导向槽且另一个上形成有第二导向凸起，第二导向槽与第二导向凸起相配合，第二导向槽沿第一方向延伸。可以是第二容纳腔的内壁上形成有第二导向槽，第二限位块上形成有第二导向凸起；还可以是第二容纳腔的内壁上形成有第二导向凸起，第二限位块上形成有第二导向槽。第二导向槽与第二导向凸起相配合时具有导向作用，可以限制第二限位块的移动路径，使得第二限位块可以沿着第一方向移动。

根据本实用新型的一些可选实施例，第二限位部51上形成有第二调节孔，第二调节孔沿第一方向延伸，第二调节孔与第二容纳腔连通，第二调节件包括沿第一方向排布的第二螺纹部和第二配合部，且第二螺纹部和第二配合相连。第二螺纹部穿设于第二调节孔，且第二螺纹部与第二调节孔螺纹连接。第二限位块上形成有第二配合槽，第二配合部容纳于第二配合槽，且第二配合部相对第二配合槽可活动，第二调节件可以驱动第二限位块在第三位置和第四位置之间移动，第二调节件的第二螺纹部与第二调节孔螺纹连接，使得第二调节件驱动第二限位块在第三位置和第四位置之间的移动方式简单，操作方便。

第二配合槽的内壁具有第三限位面，第二配合部具有第四限位面，第四限位面与第三限位面在第一方向上相对，且第四限位面位于第三限位面的远离第二螺纹部的一侧，第三限位面与第四限位面抵接时，第三限位面可以阻挡第二配合部向靠近第二螺纹部的方向继续移动，可以防止第二配合部沿第一方向从第二配合槽内脱出。例如，第三限位面可以为弧形面，第四限位面也可以为弧形面。

例如，第二限位部51内具有第二容纳腔，第二容纳腔为沿上下方向贯通的通腔。在第二限位块上还设有第二底板，第二配合部容纳于第二配合槽，将第二底板置于第二限位块的底部，采用紧固件将第二底板固定至第二限位块上，第二底板可以为第二容纳腔的底壁，可以防止第二配合部从第二配合槽内向下脱出。

根据本实用新型的一些可选实施例，样品调整机构10和探针整调整机构30沿第一方向并排设置，在第一方向上，第二限位部51位于探针调整机构30的远离样品调整机构10的一侧，第二调节件可以驱动第二限位块在第三位置和第四位置之间移动，需要更大的操作空间，探针调整机构30的远离样品调整机构10的一侧的空间较大，可以方便第二调节件驱动第二限位块在第三位置和第四位置之间移动。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图6，第二限位结构40包括第三限位支架9、第四限位支架101以及连接支架111，第三限位支架9包括第三限位部91，第三限位部91位于第三限位支架9的上端，第三限位支架9的下端与第三位移组件7相连，例如第三限位支架9的下端可以与第三位移组件7的转接架74相连，第四限位支架101包括第四限位部102，第四限位支架101与第三限位支架9之间通过连接支架111相连，可以方便第二限位结构40的安装固定，使得第二限位结构40的结构简单。

根据本实用新型的一些可选实施例，参照图1-图6，第三限位支架9上形成有沿第一方向延伸的第一插入孔92，第四限位支架101上形成有沿第一方向延伸的第二插入孔103，连接支架111的沿第一方向的相对两端分别容纳于第一插入孔92、第二插入孔103，连接支架111与第一插入孔92和第二插入孔103中的至少一个的配合长度可调，以使得第三限位部91与第四限位部102在第一方向上的间距可调。

可以是连接支架111与第一插入孔92的配合长度可调，在装配第二限位结构40时，连接支架111与第一插入孔92的配合长度可调，可以方便调节第三限位部91与探针托84架在第一方向上的间距，可以提高第二限位结构40的装配精度；也可以是连接支架111与第二插入孔103的配合长度可调，在装配第二限位结构40时，连接支架111与第二插入孔103的配合长度可调，可以方便调节第四限位部102与探针托84架在第一方向上的间距，可以提高第二限位结构40的装配精度；还可以是连接支架111与第一插入孔92的配合长度可调且连接支架111与第二插入孔103的配合长度可调，在装配第二限位结构40时，连接支架111与第二插入孔103的配合长度可调，且连接支架111与第四插入孔的配合长度也可调，可以方便调节第四限位部102和第三限位部91与探针托84架在第一方向上的间距，可以提高第二限位结构40的装配精度；

例如，在第三限位支架9上形成有沿第二方向延伸的第一穿设孔93，第四限位支架101上形成有沿第二方向延伸的第二穿设孔104。连接支架111的一端可以伸入第一插入孔92与第三限位支架9相连，连接支架111的另一端可以伸入第二插入孔103与第四限位支架101相连；可以调节连接支架111与第一插入孔92的配合长度，使得第三限位部91与探针电极座83的在第一方向的间距为300微米；也可以调节连接支架111与第二插入孔103的配合长度，使得第四限位部102与探针电极座83的在第一方向的间距为300微米；间距调整结束后，采用紧固件分别穿设于第一穿设孔93与第二穿设孔104，以使得紧固件将连接支架111连接固定至第三限位支架9与第四限位支架101上。

根据本实用新型第二方面实施例的原子力显微镜，包括根据本实用新型上述第一方面实施例的测试调整装置100，测试调整装置100为原子力显微镜的主要结构，测试调整装置100可以用于检测样品成像。

根据本实用新型实施例的原子力显微镜，通过设置上述测试调整装置100，可以防止在对插拔样品托35和/或探针托84的过程中对第二位移组件3和/或第四位移组件8造成损伤。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种测试调整装置，用于测试分析仪器，其特征在于，所述测试调整装置包括：

底座；

样品调整机构，所述样品调整机构设于所述底座，所述样品调整机构包括第一固定座、第一位移组件、第二位移组件以及样品托，所述第一位移组件设于所述第一固定座且相对所述第一固定座可运动，所述第二位移组件设于所述第一位移组件且相对所述第一位移组件可运动，所述样品托沿第一方向可插拔地设于所述第二位移组件，所述第二位移组件的位移调整精度大于所述第一位移组件的位移调整精度，所述第一方向平行于水平方向；

探针调整机构，所述探针调整机构设于所述底座，所述探针调整机构包括第二固定座、第三位移组件、第四位移组件以及探针托，所述第三位移组件设于所述第二固定座且相对所述第二固定座可运动，所述第四位移组件设于所述第三位移组件且相对所述第三位移组件可运动，所述探针托沿所述第一方向可插拔地设于所述第四位移组件，所述第四位移组件的位移调整精度大于所述第三位移组件的位移调整精度；

其中，所述样品调整机构上设有限位结构，以在插拔所述样品托的过程中对所述第二位移组件在所述第一方向上限位；和/或，所述探针调整机构上设有限位结构，以在插拔所述探针托的过程中对所述第四位移组件在所述第一方向上限位。

2.根据权利要求1所述的测试调整装置，其特征在于，所述样品调整机构上设有限位结构，设于所述样品调整机构上的所述限位结构为第一限位结构，所述第一限位结构与所述第一位移组件相连且相对第一位移组件固定，所述第一限位结构与所述第二位移组件之间具有第一预留间隙，以为所述第二位移组件预留出调整空间；

其中，所述第一限位结构包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部位于所述第二位移组件沿所述第一方向的相对两侧，以对所述第二位移组件在所述第一方向上进行限位。

3.根据权利要求2所述的测试调整装置，其特征在于，所述第二位移组件包括位于所述第二位移组件的上端的样品托架，所述样品托沿第一方向可插拔地设于所述样品托架，所述第一限位部和所述第二限位部位于所述样品托架沿所述第一方向的相对两侧。

4.根据权利要求3所述的测试调整装置，其特征在于，所述第一限位部内具有第一容纳腔，所述第一限位结构还包括第一限位块和第一调节件，所述第一限位块沿所述第一方向可移动地设于所述第一容纳腔内，所述第一调节件与所述第一限位块相连以驱动所述第一限位块在第一位置和第二位置之间移动；

其中，在所述第一位置，所述第一限位块与所述样品托架之间具有所述第一预留间隙；在所述第二位置，所述第一限位块与所述样品托架在所述第一方向上抵接。

5.根据权利要求4所述的测试调整装置，其特征在于，所述第一容纳腔的内壁和所述第一限位块中的一个上形成有第一导向槽且另一个上形成有与所述第一导向槽配合的第一导向凸起，所述第一导向槽沿所述第一方向延伸。

6.根据权利要求4所述的测试调整装置，其特征在于，所述第一限位部上形成有沿所述第一方向延伸的第一调节孔，所述第一调节孔与所述第一容纳腔连通，所述第一调节件包括沿所述第一方向排布且相连的第一螺纹部和第一配合部，所述第一螺纹部穿设于所述第一调节孔且与所述第一调节孔螺纹连接，所述第一限位块上形成有第一配合槽，所述第一配合部容纳于所述第一配合槽且相对所述第一配合槽可活动，所述第一配合槽的内壁具有第一限位面，所述第一配合部具有第二限位面，所述第二限位面与所述第一限位面在所述第一方向上相对且所述第二限位面位于所述第一限位面的远离所述第一螺纹部的一侧。

7.根据权利要求4所述的测试调整装置，其特征在于，所述样品调整机构和所述探针调整机构沿所述第一方向并排设置，在所述第一方向上，所述第一限位部位于所述样品调整机构的远离所述探针调整机构的一侧。

8.根据权利要求2所述的测试调整装置，其特征在于，所述第一限位结构包括第一限位支架和第二限位支架；

所述第一限位支架包括所述第一限位部，所述第一限位部位于所述第一限位支架的上端，所述第一限位支架的下端与所述第一位移组件相连；

所述第二限位支架包括所述第二限位部，所述第二限位部位于所述第二限位支架的上端，所述第二限位支架的下端与所述第一位移组件相连。

9.根据权利要求1所述的测试调整装置，其特征在于，所述探针调整机构上设有限位结构，设于所述探针调整机构上的限位结构为第二限位结构，所述第二限位结构与所述第三位移组件相连且相对所述第三位移组件固定，所述第二限位结构与所述第四位移组件之间具有第二预留间隙，以为所述第四位移组件预留出调整空间；

其中，所述第二限位结构包括第三限位部和第四限位部，所述第三限位部和所述第四限位部位于所述第四位移组件沿所述第一方向的相对两侧，以对所述第四位移组件在所述第一方向上进行限位。

10.根据权利要求9所述的测试调整装置，其特征在于，所述第四位移组件包括位于所述第四位移组件的上端的探针电极座，所述探针托沿所述第一方向可插拔地设于所述探针电极座，所述第三限位部和所述第四限位部位于所述探针电极座沿所述第一方向的相对两侧。

11.根据权利要求10所述的测试调整装置，其特征在于，所述第二限位结构包括第三限位支架、第四限位支架以及连接支架，所述第三限位支架包括所述第三限位部，所述第三限位部位于所述第三限位支架的上端，所述第三限位支架的下端与所述第三位移组件相连，所述第四限位支架包括所述第四限位部，所述第四限位支架与所述第三限位支架之间通过连接支架相连。

12.根据权利要求11所述的测试调整装置，其特征在于，所述第三限位支架上形成有沿第一方向延伸的第一插入孔，所述第四限位支架上形成有沿所述第一方向延伸的第二插入孔，所述连接支架的沿第一方向的相对两端分别容纳于所述第一插入孔、所述第二插入孔，所述连接支架与所述第一插入孔和所述第二插入孔中的至少一个的配合长度可调。

13.一种原子力显微镜，其特征在于，包括：根据权利要求1-12中任一项所述的测试调整装置。