CN219391139U - 真空高低温探针台的探针机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空高低温探针台的探针机构，涉及温度测量设备技术领域。本实用新型包括探针臂，探针臂的内部通过转杆转动连接有探针传导柱，探针传导柱的前端固定连接有探针件，探针传导柱下方的探针臂中固定连接有固定座，固定座的内部活动设置有活动座，活动座与探针传导柱的前端通过连杆活动连接，固定座后侧的探针臂中固定安设有伺服电机，伺服电机的转动端固定连接有丝杆。本实用新型通过驱动伺服电机转动，能够带动探针件的前端向下摆动，使得探针件的前端与待测量材料的表面接触，能够有效的避免探针件在移动的过程中，探针件的前端与待测量材料的表面发生接触摩擦，对探针件进行更好的保护。

Description

真空高低温探针台的探针机构

技术领域

本实用新型属于温度测量设备技术领域，特别是涉及一种真空高低温探针台的探针机构。

背景技术

为了研究一些材料的导电性或超导性，往往需要对材料所处的温度有要求。因此，为了探测一些材料在极限的高温或者低温条件下的性能参数，测温设备的需求越来越高。经检索，申请号为202221054673.1的专利公开了一种用于真空高低温探针台的探针机构，包括工作台、具有隔温的温控室、探针组件和屏蔽件，其中，温控室放置于工作台上，温控室的内部开设有容置腔室，容置腔室的侧壁开设有连通孔，而且温控室内放置有屏蔽室，屏蔽室的侧壁上开设有连通腔，屏蔽件贴合连通腔朝向于容置腔室一侧的开口大小设置，探针组件能够通过连通孔穿设容置腔室，再通过连通腔穿设屏蔽室，使得探针组件的一端指向于工件。

但是在实际使用过程中，申请人发现，其待测量的材料水平固定在温控室内的放置台上，在对材料进行测量时，探针件通过探针臂伸入温控室内对材料进行测量，在此过程中，探针件水平移动至温控室内并与材料的上表面接触，使得探针件的前端容易与材料的上表面发生接触摩擦，容易造成探针件损坏，鉴于此，我们提出一种真空高低温探针台的探针机构。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种真空高低温探针台的探针机构，包括探针臂，所述探针臂的内部通过转杆转动连接有探针传导柱，所述探针传导柱的前端固定连接有探针件，所述探针传导柱下方的探针臂中固定连接有固定座，所述固定座的内部活动设置有活动座，所述活动座与探针传导柱的前端通过连杆活动连接，所述固定座后侧的探针臂中固定安设有伺服电机，所述伺服电机的转动端固定连接有丝杆，所述丝杆远离伺服电机的一端螺纹贯穿活动座。

优选的，所述探针传导柱的两侧固定连接有转杆，所述转杆远离探针传导柱的一端通过轴承转动连接在探针臂上。

优选的，所述探针传导柱的前端设置有用于连接固定探针件的探针连接座。

优选的，所述探针臂的前端竖向开设有避让槽，所述探针件活动贯穿避让槽。

优选的，所述探针传导柱前端的底部设置有上连接支座，所述活动座的顶部设置有下连接支座。

优选的，所述连杆的上端与上连接支座转动连接，所述连杆的下端与下连接支座转动连接。

优选的，所述固定座的顶部开设有导向滑槽。

优选的，所述活动座的下部设置有导向滑块，且导向滑块沿着导向滑槽滑动，所述丝杆的前端螺纹贯穿活动座的下部并通过轴承转动连接在固定座上。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过在探针臂的前端开设用于避让探针件摆动的避让槽，并通过驱动伺服电机带动丝杆转动，能够带动活动座沿着导向滑槽向后移动，进而能够通过下连接支座、连杆和上连接支座的配合，带动探针传导柱的前端绕着转杆向下转动，能够通过探针传导柱带动探针件的前端向下摆动，使得探针件的前端与待测量材料的表面接触，能够有效的避免探针件在移动的过程中，探针件的前端与待测量材料的表面发生接触摩擦，对探针件进行更好的保护。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种真空高低温探针台的探针机构的内部结构示意图；

图2为本实用新型一种真空高低温探针台的探针机构的外部结构示意图；

图3为本实用新型一种真空高低温探针台的探针机构图1中A处结构的放大图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、探针臂；11、避让槽；2、探针传导柱；21、探针连接座；22、上连接支座；3、转杆；4、探针件；5、伺服电机；6、丝杆；7、活动座；71、下连接支座；8、固定座；81、导向滑槽；9、连杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3所示，本实用新型为一种真空高低温探针台的探针机构，包括探针臂1，探针臂1的内部通过转杆3转动连接有探针传导柱2，探针传导柱2的两侧固定连接有转杆3，转杆3远离探针传导柱2的一端通过轴承转动连接在探针臂1上，通过设置的转杆3，能够使得探针传导柱2在探针臂1的内部绕着转杆3进行一定程度的转动，探针传导柱2的前端固定连接有探针件4，探针传导柱2的前端设置有用于连接固定探针件4的探针连接座21，通过设置的探针连接座21，用于将探针件4的尾端固定在探针传导柱2中，探针臂1的前端竖向开设有避让槽11，探针件4活动贯穿避让槽11，避让槽11的开设用于避让探针件4，使得探针件4能够顺利的向下摆动，对探针件4前端的尖端头部的位置进行调节，使探针件4的前端能够有效的与待测量材料的表面接触，在对真空高低温探针台上放置的待测量材料进行测量时，可通过探针臂1带动探针传导柱2连同探针件4一同伸入探测室内，通过探针件4对待测量材料进行测量。

探针传导柱2下方的探针臂1中固定连接有固定座8，固定座8的内部活动设置有活动座7，活动座7与探针传导柱2的前端通过连杆9活动连接，探针传导柱2前端的底部设置有上连接支座22，活动座7的顶部设置有下连接支座71，连杆9的上端与上连接支座22转动连接，连杆9的下端与下连接支座71转动连接，固定座8后侧的探针臂1中固定安设有伺服电机5，伺服电机5通过导线与真空高低温探针台的控制器连接，在此不做过多描述，伺服电机5的转动端固定连接有丝杆6，丝杆6远离伺服电机5的一端螺纹贯穿活动座7，丝杆6的前端螺纹贯穿活动座7的下部并通过轴承转动连接在固定座8上，固定座8的顶部开设有导向滑槽81，活动座7的下部设置有导向滑块，且导向滑块沿着导向滑槽81滑动，在对待测量材料进行测量的过程中，当探针件4的前端伸入至待测量材料的正上方时，此时驱动伺服电机5带动丝杆6转动，丝杆6转动能够带动活动座7沿着导向滑槽81向后移动，此时活动座7向后移动能够通过下连接支座71、连杆9和上连接支座22的配合作用，带动探针传导柱2的前端绕着转杆3向下转动，此时探针传导柱2向下转动能够带动探针件4一同转动，使探针件4的前端向下摆动，并使探针件4的前端与待测量材料的表面有效的接触，实现对材料的测量，能够有效的避免探针件4的前端与待测量材料的表面发生接触摩擦，对探针件4进行更好的保护。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并不限制本实用新型，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，均属于在本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种真空高低温探针台的探针机构，包括探针臂(1)，其特征在于：所述探针臂(1)的内部通过转杆(3)转动连接有探针传导柱(2)，所述探针传导柱(2)的前端固定连接有探针件(4)，所述探针传导柱(2)下方的探针臂(1)中固定连接有固定座(8)，所述固定座(8)的内部活动设置有活动座(7)，所述活动座(7)与探针传导柱(2)的前端通过连杆(9)活动连接，所述固定座(8)后侧的探针臂(1)中固定安设有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的转动端固定连接有丝杆(6)，所述丝杆(6)远离伺服电机(5)的一端螺纹贯穿活动座(7)。

2.根据权利要求1所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述探针传导柱(2)的两侧固定连接有转杆(3)，所述转杆(3)远离探针传导柱(2)的一端通过轴承转动连接在探针臂(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述探针传导柱(2)的前端设置有用于连接固定探针件(4)的探针连接座(21)。

4.根据权利要求3所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述探针臂(1)的前端竖向开设有避让槽(11)，所述探针件(4)活动贯穿避让槽(11)。

5.根据权利要求1所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述探针传导柱(2)前端的底部设置有上连接支座(22)，所述活动座(7)的顶部设置有下连接支座(71)。

6.根据权利要求5所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述连杆(9)的上端与上连接支座(22)转动连接，所述连杆(9)的下端与下连接支座(71)转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述固定座(8)的顶部开设有导向滑槽(81)。

8.根据权利要求7所述的一种真空高低温探针台的探针机构，其特征在于，所述活动座(7)的下部设置有导向滑块，且导向滑块沿着导向滑槽(81)滑动，所述丝杆(6)的前端螺纹贯穿活动座(7)的下部并通过轴承转动连接在固定座(8)上。