CN216422201U - 一种抛光机上盘加压机构 - Google Patents
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Abstract
一种抛光机上盘加压机构，本实用新型涉及抛光设备技术领域，气缸铰接座固定在箱体内底壁；气缸的下端旋接在气缸铰接座上；支杆固定在箱体内顶部前后侧壁上；连杆固定在气缸的输出端上；杠杆套接在支杆上，且杠杆活动穿设在箱体的侧壁中，杠杆上位于箱体内的一端与连杆旋接；万向连杆的上端与杠杆上位于箱体外部的一端旋接；万向铰接座固定在上盘总成上，且万向连杆的下端与万向铰接座旋接；上盘总成利用直线滑块滑动设置在直线导轨上。其采用杠杆式加压，可以控制上盘的上下运动，同时还可以为上盘施加一定的压力，以满足工艺需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光设备技术领域，具体涉及一种抛光机上盘加压机构。
背景技术
抛光机在零件加工工艺过程中，上盘需保持一定的压力，才可以保证零件的加工效率和加工精度，而且，在加工过程中，上盘压力随工艺制程也随之变化，故需要一个稳定的机构对上盘压力进行控制。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供了一种抛光机上盘加压机构，其采用杠杆式加压，可以控制上盘的上下运动，同时还可以为上盘施加一定的压力，以满足工艺需求。
为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：它包含：
箱体，所述箱体固定在抛光机机体上；
气缸铰接座，所述气缸铰接座固定在箱体内底壁；
气缸，所述气缸的下端旋接在气缸铰接座上；
支杆，所述支杆固定在箱体内顶部前后侧壁上；
连杆，所述连杆固定在气缸的输出端上；
杠杆，所述杠杆套接在支杆上，且杠杆活动穿设在箱体的侧壁中，杠杆上位于箱体内的一端与连杆旋接；
万向连杆，所述万向连杆的上端与杠杆上位于箱体外部的一端旋接；
万向铰接座，所述万向铰接座固定在上盘总成上，且万向连杆的下端与万向铰接座旋接；
直线导轨，所述直线导轨固定在箱体的侧壁上；
上述上盘总成利用直线滑块滑动设置在直线导轨上。
优选地，所述箱体的外侧壁开设有检修门。
优选地，所述箱体的内部侧壁固定有限位板，该限位板与杠杆位于箱体内部的一端下壁活动接触设置。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种抛光机上盘加压机构，其采用杠杆式加压，可以控制上盘的上下运动，同时还可以为上盘施加一定的压力，以满足工艺需求。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
附图标记说明：
上盘总成1、万向连杆2、万向铰接座3、杠杆4、支杆5、连杆6、气缸7、箱体8、直线导轨9、直线滑块10、气缸铰接座11、检修门12、限位板13。
具体实施方式
下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，以描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，本具体实施方式采用如下技术方案：它包含：
箱体8，所述箱体8利用螺钉铆接固定在抛光机机体上；
气缸铰接座11，所述气缸铰接座11利用螺钉铆接固定在箱体8内底壁；
气缸7，所述气缸7的下端旋接在气缸铰接座11上；
支杆5，所述支杆5的前后两端焊接固定在箱体8内顶部前后侧壁上；
连杆6，所述连杆6利用浮动接头连接固定在气缸7的输出端上；
杠杆4，所述杠杆4套接在支杆5上，且杠杆4活动穿设在箱体8的侧壁中，杠杆4上位于箱体8内的一端与连杆6利用轴旋接；
万向连杆2，所述万向连杆2的上端与杠杆4上位于箱体8外部的一端利用轴旋接；
万向铰接座3，所述万向铰接座3利用螺钉铆接固定在上盘总成1上，且万向连杆2的下端与万向铰接座3利用轴旋接；
直线导轨9，所述直线导轨9利用螺钉铆接固定在箱体8的侧壁上；
上述上盘总成1利用直线滑块10滑动设置在直线导轨9上，直线滑块10的数量为两个，均利用螺钉铆接固定在上盘总成1的侧壁上。
作为优选方案，更进一步地，所述箱体8的外侧壁开设有检修门12。
作为优选方案，更进一步地，所述箱体8的内部侧壁固定有限位板13，该限位板13与杠杆4位于箱体8内部的一端下壁活动接触设置。
本具体实施方式的工作原理：启动气缸7，气缸7的输出端伸出与锁紧，从而通过连杆6带动杠杆4围绕支杆5旋转，杠杆4在旋转过程中通过万向连杆2带动上盘总成1，上盘总成1在直线滑块10和直线滑轨9的导向作用下上下移动，与此同时，当气缸7的输出端伸出一定量时，能够对上盘总成1起到向下的压力，实现施压。
与现有技术相比，本具体实施方式的有益效果是：本具体实施方式提供了一种抛光机上盘加压机构，其采用杠杆式加压，可以控制上盘的上下运动，同时还可以为上盘施加一定的压力，以满足工艺需求。
对于本领域的技术人员来说，其可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改、部分技术特征的等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种抛光机上盘加压机构，其特征在于：它包含：
箱体（8），所述箱体（8）固定在抛光机机体上；
气缸铰接座（11），所述气缸铰接座（11）固定在箱体（8）内底壁；
气缸（7），所述气缸（7）的下端旋接在气缸铰接座（11）上；
支杆（5），所述支杆（5）固定在箱体（8）内顶部前后侧壁上；
连杆（6），所述连杆（6）固定在气缸（7）的输出端上；
杠杆（4），所述杠杆（4）套接在支杆（5）上，且杠杆（4）活动穿设在箱体（8）的侧壁中，杠杆（4）上位于箱体（8）内的一端与连杆（6）旋接；
万向连杆（2），所述万向连杆（2）的上端与杠杆（4）上位于箱体（8）外部的一端旋接；
万向铰接座（3），所述万向铰接座（3）固定在上盘总成（1）上，且万向连杆（2）的下端与万向铰接座（3）旋接；
直线导轨（9），所述直线导轨（9）固定在箱体（8）的侧壁上；
上述上盘总成（1）利用直线滑块（10）滑动设置在直线导轨（9）上。
2.根据权利要求1所述的一种抛光机上盘加压机构，其特征在于：所述箱体（8）的外侧壁开设有检修门（12）。
3.根据权利要求1所述的一种抛光机上盘加压机构，其特征在于：所述箱体（8）的内部侧壁固定有限位板（13），该限位板（13）与杠杆（4）位于箱体（8）内部的一端下壁活动接触设置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202123133336.XU CN216422201U (zh) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | 一种抛光机上盘加压机构 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202123133336.XU CN216422201U (zh) | 2021-12-14 | 2021-12-14 | 一种抛光机上盘加压机构 |
Publications (1)
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| CN216422201U true CN216422201U (zh) | 2022-05-03 |
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Family Applications (1)
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| CN (1) | CN216422201U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117161947A (zh) * | 2022-10-13 | 2023-12-05 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆批量抛光设备、下压力控制方法及设备 |
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2021
- 2021-12-14 CN CN202123133336.XU patent/CN216422201U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN117161947A (zh) * | 2022-10-13 | 2023-12-05 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆批量抛光设备、下压力控制方法及设备 |
| CN117161947B (zh) * | 2022-10-13 | 2024-02-06 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆批量抛光设备、下压力控制方法及设备 |
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