CN219361888U - 一种半导体前驱体溶液存储容器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体前驱体溶液存储容器，包括存储主体，所述存储主体的内部开设有存储室，且存储室用于存储半导体前驱体溶液，所述存储主体一侧的下方设置有出液管，且出液管与存储室相连通，还包括传动腔，其开设在所述存储室的下方，所述传动腔内部的中间位置处转动设置有第一转轴，所述传动腔内部的两侧均转动设置有第二转轴，所述第一转轴与第二转轴的一端均贯穿并延伸至存储室的内部。该半导体前驱体溶液存储容器通过启动伺服电机可以使搅拌叶片和叶轮同步的转动，从而对半导体前驱体溶液进行有效的搅动，从而避免了长时间存储后容易出现凝固的现象。

Description

一种半导体前驱体溶液存储容器

技术领域

本实用新型涉及半导体前驱体溶液存储技术领域，具体为一种半导体前驱体溶液存储容器。

背景技术

半导体前驱体是半导体薄膜沉积工艺的核心制造材料，高壁垒高增长，应用于半导体生产制造工艺，携有目标元素，呈气态或易挥发液态，具备化学热稳定性，同时具备相应的反应活性或物理性能的一类物质，半导体前驱体材料在常温下通常是液体，一般通过溶液存储容器进行存储使用。

现有公告号为CN208288040U的中国专利公开了一种化工实验溶液存储装置，包括箱体，箱体的底部内壁上滑动安装有第一支撑板，第一支撑板的顶部对称安装有两个第一支撑块，第一支撑块的顶部开设有通孔，通孔内滑动安装有第二支撑块，第二支撑块的底部焊接有位于相对应的通孔内的第一弹簧，第一弹簧的底端焊接在第一支撑板的顶部，两个第二支撑块的顶部固定安装有同一个第二支撑板，第一支撑块的顶部焊接有套设在相对应的第二支撑块外侧的第二弹簧，第二弹簧的顶端焊接在第二支撑板的底部，两个第二支撑块之间设有焊接在第二支撑板底部的第三弹簧。

上述方案虽然结构简单，实用性强，可在受到冲击时对储存瓶进行保护，防止储存瓶因冲击而碎裂，但是该装置存储时缺少对存放罐内部的半导体前驱体溶液有效的搅动，在液体长时间存储后容易出现凝固的现象，影响正常的取出使用，缺少搅动也不利于取出时气体前驱体与液态混合共存，降低了半导体前驱体溶液的使用效率，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体前驱体溶液存储容器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体前驱体溶液存储容器，以解决上述背景技术中提出的存储容器内部半导体前驱体溶液容长时间存储后易凝固的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体前驱体溶液存储容器，包括存储主体，所述存储主体的内部开设有存储室，且存储室用于存储半导体前驱体溶液，所述存储主体一侧的下方设置有出液管，且出液管与存储室相连通；

还包括传动腔，其开设在所述存储室的下方，所述传动腔内部的中间位置处转动设置有第一转轴，所述传动腔内部的两侧均转动设置有第二转轴，所述第一转轴与第二转轴的一端均贯穿并延伸至存储室的内部；

还包括进料管，其设置在所述存储主体上端的一侧，所述进料管的一端延伸至存储室的内部，且进料管与存储室相连通，所述进料管的内部滑动设置有橡胶封口块，所述橡胶封口块上端的中间位置处粘连固定有环形抵块，所述环形抵块的外部开设有若干个呈矩形阵列分布的通孔，且通孔用于半导体前驱体溶液的流通，所述进料管位于存储室外部的一端通过螺纹连接有盖帽。

优选的，所述橡胶封口块的上端与进料管内壁之间通过四个呈环形等距分布的复位弹簧相连接。

优选的，所述第一转轴位于传动腔内部的一端固定设置有第一传动齿轮，所述第二转轴位于传动腔内部的一端均固定设置有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮均与第一传动齿轮啮合连接。

优选的，所述第一转轴位于存储室内部一端的外壁焊接有两组搅拌叶片，且每组搅拌叶片均呈环形等距分布焊接有四个。

优选的，所述第二转轴位于存储室内部的一端均安装有叶轮。

优选的，所述盖帽的下端粘连固定有橡胶软垫。

优选的，所述传动腔内部的下端设置有伺服电机，且伺服电机的输出端与第一转轴位于传动腔内部的一端通过联轴器传动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在存储室的下方开设有传动腔，通过传动腔内的伺服电机即可带动第一转轴转动，第一转轴转动可以带动搅拌叶片对半导体前驱体溶液进行有效的搅动，从而避免了长时间存储后容易出现凝固的现象，同时使用前通过启动伺服电机进行搅动，可以使气体前驱体与液态混合共存更加的充分，提高了半导体前驱体溶液的使用效率。

2、本实用新型通过在传动腔的内部设置有第一传动齿轮和第二传动齿轮，通过第一传动齿轮和第二传动齿轮的啮合传动，可以使第一转轴与第二转轴同步的转动，从而在搅拌叶片转动时可以同步的使叶轮转动，叶轮的转动促进液体的流动，从而更好的搅动液体，进一步避免了长时间存储后容易出现凝固的现象。

3、本实用新型通过在存储主体上端的一侧设置有进料管，由于半导体前驱体液体为易挥发液态，当通过进料管加入半导体前驱体液体后，在复位弹簧的恢复作用下可以立即使橡胶封口块堵塞进料管，从而有效防止半导体前驱体液体的挥发，再通过盖帽与进料管的螺纹连接可以使橡胶软垫牢牢的贴合进料管的上端，从而增加了容器的气密性，进一步防止半导体前驱体液体的挥发。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构正视图；

图2为本实用新型的内部结构俯视图；

图3为本实用新型的进料管结构仰视图；

图4为本实用新型的图1中A区域局部放大图。

图中：1、存储主体；2、存储室；3、传动腔；4、伺服电机；5、第一转轴；6、第二转轴；7、第一传动齿轮；8、第二传动齿轮；9、搅拌叶片；10、叶轮；11、进料管；12、橡胶封口块；13、复位弹簧；14、盖帽；15、橡胶软垫；16、出液管；17、环形抵块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体前驱体溶液存储容器，包括存储主体1，存储主体1的内部开设有存储室2，且存储室2用于存储半导体前驱体溶液，存储主体1一侧的下方设置有出液管16，且出液管16与存储室2相连通；

还包括传动腔3，其开设在存储室2的下方，传动腔3内部的中间位置处转动设置有第一转轴5，传动腔3内部的两侧均转动设置有第二转轴6，第一转轴5与第二转轴6的一端均贯穿并延伸至存储室2的内部；

还包括进料管11，其设置在存储主体1上端的一侧，进料管11的一端延伸至存储室2的内部，且进料管11与存储室2相连通，进料管11的内部滑动设置有橡胶封口块12，橡胶封口块12上端的中间位置处粘连固定有环形抵块17，环形抵块17的外部开设有若干个呈矩形阵列分布的通孔，且通孔用于半导体前驱体溶液的流通，进料管11位于存储室2外部的一端通过螺纹连接有盖帽14。该半导体前驱体溶液存储容器当半导体前驱体溶液存储较长时间后，启动伺服电机4可以带动第一转轴5转动，第一转轴5转动会带动搅拌叶片9同步的转动，搅拌叶片9转动可以产生涡流对半导体前驱体溶液进行有效的搅动，从而避免了长时间存储后容易出现凝固的现象，同时通过第一传动齿轮7与两个第二传动齿轮8的啮合连接，可以使第二转轴6与第一转轴5同步的转动，从而通过第二转轴6可以带动叶轮10转动以促进液体的流动，从而更好的搅动液体，进一步避免了长时间存储后容易出现凝固的现象。

请参阅图3和图4，橡胶封口块12的上端与进料管11内壁之间通过四个呈环形等距分布的复位弹簧13相连接，在复位弹簧13的弹性复原作用下会立即带动橡胶封口块12上移使进料管11内部堵塞；

请参阅图1，第一转轴5位于传动腔3内部的一端固定设置有第一传动齿轮7，第二转轴6位于传动腔3内部的一端均固定设置有第二传动齿轮8，第二传动齿轮8均与第一传动齿轮7啮合连接，第一传动齿轮7与第二传动齿轮8的啮合连接保证了第一转轴5和第二转轴6的同步转动；

请参阅图1和图2，第一转轴5位于存储室2内部一端的外壁焊接有两组搅拌叶片9，且每组搅拌叶片9均呈环形等距分布焊接有四个，搅拌叶片9转动可以产生涡流对半导体前驱体溶液进行有效的搅动，从而避免了长时间存储后容易出现凝固的现象；

请参阅图1和图2，第二转轴6位于存储室2内部的一端均安装有叶轮10，叶轮10的转动可以促进液体的流动，从而更好的搅动液体，进一步避免了长时间存储后容易出现凝固的现象；

请参阅图4，盖帽14的下端粘连固定有橡胶软垫15，橡胶软垫15与进料管11的上端挤压贴合，从而增加了容器的气密性，进一步防止半导体前驱体液体的挥发；

请参阅图1，传动腔3内部的下端设置有伺服电机4，且伺服电机4的输出端与第一转轴5位于传动腔3内部的一端通过联轴器传动连接，伺服电机4为第一转轴5的转动提供了动力。

工作原理：使用时，将进液管插入进料管11内，此时进液管会抵住环形抵块17使橡胶封口块12下移，且使复位弹簧13处于拉伸状态，通过进液管通入半导体前驱体溶液，容易会进入环形抵块17内，再通过环形抵块17外壁开设的通孔进入到进料管11内，最终通过进料管11进入到存储室2进行存储，当抽出进液管的同时，在复位弹簧13的弹性复原作用下会立即带动橡胶封口块12上移使进料管11内部堵塞，从而影响避免了半导体前驱体溶液的挥发，通过盖帽14与进料管11的螺纹连接可以使橡胶软垫15与进料管11的上端挤压贴合，从而增加了容器的气密性，进一步防止半导体前驱体液体的挥发，当半导体前驱体溶液存储较长时间后，启动伺服电机4，在联轴器的传动下可以使第一转轴5转动，第一转轴5转动会带动搅拌叶片9同步的转动，搅拌叶片9转动可以产生涡流对半导体前驱体溶液进行有效的搅动，从而避免了长时间存储后容易出现凝固的现象，当第一转轴5转动的同时会带动第一传动齿轮7转动，通过第一传动齿轮7与两个第二传动齿轮8的啮合连接，可以使第二转轴6与第一转轴5同步的转动，从而通过第二转轴6可以带动叶轮10转动，叶轮10的转动可以促进液体的流动，从而更好的搅动液体，进一步避免了长时间存储后容易出现凝固的现象，同时也可以在通过出液管16取出半导体前驱体溶液前启动伺服电机4，使气体前驱体与液态混合共存更加的充分，提高了半导体前驱体溶液的使用效率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种半导体前驱体溶液存储容器，包括存储主体(1)，所述存储主体(1)的内部开设有存储室(2)，且存储室(2)用于存储半导体前驱体溶液，所述存储主体(1)一侧的下方设置有出液管(16)，且出液管(16)与存储室(2)相连通，其特征在于：

还包括传动腔(3)，其开设在所述存储室(2)的下方，所述传动腔(3)内部的中间位置处转动设置有第一转轴(5)，所述传动腔(3)内部的两侧均转动设置有第二转轴(6)，所述第一转轴(5)与第二转轴(6)的一端均贯穿并延伸至存储室(2)的内部；

还包括进料管(11)，其设置在所述存储主体(1)上端的一侧，所述进料管(11)的一端延伸至存储室(2)的内部，且进料管(11)与存储室(2)相连通，所述进料管(11)的内部滑动设置有橡胶封口块(12)，所述橡胶封口块(12)上端的中间位置处粘连固定有环形抵块(17)，所述环形抵块(17)的外部开设有若干个呈矩形阵列分布的通孔，且通孔用于半导体前驱体溶液的流通，所述进料管(11)位于存储室(2)外部的一端通过螺纹连接有盖帽(14)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体溶液存储容器，其特征在于：所述橡胶封口块(12)的上端与进料管(11)内壁之间通过四个呈环形等距分布的复位弹簧(13)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体溶液存储容器，其特征在于：所述第一转轴(5)位于传动腔(3)内部的一端固定设置有第一传动齿轮(7)，所述第二转轴(6)位于传动腔(3)内部的一端均固定设置有第二传动齿轮(8)，所述第二传动齿轮(8)均与第一传动齿轮(7)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体溶液存储容器，其特征在于：所述第一转轴(5)位于存储室(2)内部一端的外壁焊接有两组搅拌叶片(9)，且每组搅拌叶片(9)均呈环形等距分布焊接有四个。

5.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体溶液存储容器，其特征在于：所述第二转轴(6)位于存储室(2)内部的一端均安装有叶轮(10)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体溶液存储容器，其特征在于：所述盖帽(14)的下端粘连固定有橡胶软垫(15)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体前驱体溶液存储容器，其特征在于：所述传动腔(3)内部的下端设置有伺服电机(4)，且伺服电机(4)的输出端与第一转轴(5)位于传动腔(3)内部的一端通过联轴器传动连接。