CN219328570U - 陶瓷壳体用氦检漏工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开陶瓷壳体用氦检漏工装，包括支架、下模组件、上模组件、操纵机构、检漏接头；所述下模组件连接所述支架的底部，所述操纵机构连接所述支架的顶部，能够驱动上模组件上下移动的所述操纵机构的底端连接所述上模组件，所述上模组件包括多个喷氦孔，所述检漏接头连接所述下模组件的底部，所述下模组件包括多个检测工位，每个检测工位包括抽空孔，所有抽空孔汇集后与所述检漏接头连通。本实用新型的有益效果：待检测陶瓷可以受力均匀稳定，降低误检率；可以适配多个陶瓷壳体的检测，不再受手指按压的局限，提高检测效率。

Description

陶瓷壳体用氦检漏工装

技术领域

本实用新型涉及一种真空检测技术领域，尤其涉及的是一种陶瓷壳体用氦检漏工装。

背景技术

随着国内半导体行业蓬勃发展，陶瓷封装的行业增长呈现指数级大发展，随之而来的封装密封性检测也出现大的增长需求，对于陶瓷封装检测的精度、效率和准确性也逐渐提高，氦质谱检漏在这一领域的应用同样面临变革。

针对陶瓷封装壳体的密封性检测的现状大多属于人工按夹的方式，即通过手指将陶瓷壳体按压在工装上进行检漏测试，传统以手压方式的工装方式，手压势必存在压不紧、不稳定、长时间累的问题。继而导致的结果还包括：不需要检测部位(如封口面稍微漏气对产品性能无任何影响)的漏气导致产品误检率较高；同一产品因误检导致反复检测进而影响生产效率；纯手动式检测，生产效率低下；因装夹面的不稳定导致同一产品检测的一致性较低。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息已构成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：如何解决现有技术中通过手压陶瓷壳体，存在压不紧、不稳定等情况，从而导致误检率高、效率低等问题。

本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

陶瓷壳体用氦检漏工装，包括支架、下模组件、上模组件、操纵机构、检漏接头；所述下模组件连接所述支架的底部，所述操纵机构连接所述支架的顶部，能够驱动上模组件上下移动的所述操纵机构的底端连接所述上模组件，所述上模组件包括多个喷氦孔，所述检漏接头连接所述下模组件的底部，所述下模组件包括多个检测工位，每个检测工位包括抽空孔，所有抽空孔汇集后与所述检漏接头连通。

本实用新型使用时，将陶瓷壳体扣装在各个检测工位，操纵机构动作驱动上模组件压紧被检测陶瓷壳体，使得被检测陶瓷壳体与下模组件密封，检漏接头与检漏仪连接，进而检漏仪再通过检漏接头、抽空孔对陶瓷壳体的内腔进行抽真空，当压力和漏率达到要求后，通过上模组件的喷氦孔对被检件的上表面进行喷氦，如被检件存在焊接密封性不好的现象，则氦气通过被测件表面进入被测件的内腔，再通过抽空孔和检漏接头进入检漏仪被检测出漏入的氦气量多少，最终判断工件的焊接密封性是否合格；本实用新型通过操纵机构垂直方向施力，降低了现有技术中采用手指施力受力角度倾斜、施力不稳的情况，使得待检测陶瓷可以受力均匀稳定，降低误检率；同时本实用新型可以适配多个陶瓷壳体的检测，不再受手指按压的局限，提高检测效率。

优选的，所述下模组件包括下模板、橡胶板，所述下模板的顶部具有凹槽，所述橡胶板连接所述下模板内，所述抽空孔贯穿所述下模板与所述橡胶板。

橡胶板具有一定的柔性，能够实现较好的密封性。

优选的，所述下模板的凹槽内包括多个间隔均匀布置的立柱，所述立柱内为所述抽空孔，所述橡胶板包括多个贯穿孔，所述贯穿孔套接所述立柱。

优选的，所述下模板的底面还包括汇集槽，所述抽空孔的底部与所述汇集槽连接，所述检漏接头覆盖在所述汇集槽上。

优选的，所述上模组件包括上模板、防压块，所述上模板的顶面与所述操纵机构的底端连接，所述防压块连接所述上模板的底面。

因陶瓷壳体材质性能较脆，防压块为尼龙材质，可以减少压伤陶瓷壳体的情况。

优选的，还包括导向组件，所述导向组件的底端与所述下模组件连接，所述导向组件的顶端与所述上模组件连接。

优选的，所述导向组件包括导向杆、导向套，所述导向杆的底端与所述下模组件连接，所述导向套连接所述上模组件，所述导向杆滑动连接所述导向套。

导向组件起到上模组件下压导向、调整垂直度、使下压力均匀的多种作用。

优选的，所述操纵机构包括安装架体、手柄、连杆、压杆，所述安装架体的顶端与所述手柄转动连接，所述安装架体的侧面与所述支架连接，所述安装架体的底部为套筒结构，所述压杆与套筒结构滑动连接，所述压杆的顶端与连杆的一端转动连接，所述压杆的底端与所述上模组件的顶面连接，所述连杆的另一端与所述手柄的中部转动连接。

优选的，所述手柄为折弯板结构，所述手柄的折弯处与所述连杆转动连接。

操纵机构采用杠杆原理可以放大施加在手柄上的力，但又不会过于大，比较容易实现控制在一个合适的施加力范围；以及利用安装架体的套筒结构，使得压杆垂直下压，保持下压力的方向，提高施力的均匀稳定性。

优选的，所述检漏接头的一端为矩形板状结构，另一端为圆形板状结构，中部为筒状结构。

本实用新型的优点在于：

(1)本实用新型使用时，将陶瓷壳体扣装在各个检测工位，操纵机构动作驱动上模组件压紧被检测陶瓷壳体，使得被检测陶瓷壳体与下模组件密封，检漏接头与检漏仪连接，进而检漏仪再通过检漏接头、抽空孔对陶瓷壳体的内腔进行抽真空，当压力和漏率达到要求后，通过上模组件的喷氦孔对被检件的上表面进行喷氦，如被检件存在焊接密封性不好的现象，则氦气通过被测件表面进入被测件的内腔，再通过抽空孔和检漏接头进入检漏仪被检测出漏入的氦气量多少，最终判断工件的焊接密封性是否合格；本实用新型通过操纵机构垂直方向施力，降低了现有技术中采用手指施力受力角度倾斜、施力不稳的情况，使得待检测陶瓷可以受力均匀稳定，降低误检率；同时本实用新型可以适配多个陶瓷壳体的检测，不再受手指按压的局限，提高检测效率；

(2)橡胶板具有一定的柔性，能够实现较好的密封性；

(3)因陶瓷壳体材质性能较脆，防压块为尼龙材质，可以减少压伤陶瓷壳体的情况；

(4)导向组件起到上模组件下压导向、调整垂直度、使下压力均匀的多种作用；

(5)操纵机构采用杠杆原理可以放大施加在手柄上的力，但又不会过于大，比较容易实现控制在一个合适的施加力范围；以及利用安装架体的套筒结构，使得压杆垂直下压，保持下压力的方向，提高施力的均匀稳定性。

附图说明

图1是本实用新型实施例陶瓷壳体用氦检漏工装的结构示意图；

图2是本实用新型实施例陶瓷壳体用氦检漏工装的爆炸示意图；

图3是本实用新型实施例陶瓷壳体用氦检漏工装的结构示意图；

图4是本实用新型实施例陶瓷壳体用氦检漏工装的侧视图；

图5是图4中A-A处剖视图；

图6是本实用新型实施例下模组件的结构示意图；

图7是本实用新型实施例上模组件的爆炸示意图；

图8是本实用新型实施例陶瓷壳体的结构示意图；

图中标号：

1、支架；

2、下模组件；21、下模板；22、橡胶板；23、抽空孔；

3、上模组件；31、上模板；32、防压块；33、喷氦孔；

4、操纵机构；41、安装架体；42、手柄；43、连杆；44、压杆；

5、检漏接头；

6、导向组件；61、导向杆；62、导向套；

7、陶瓷壳体；

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

如图1所示，陶瓷壳体用氦检漏工装，包括支架1、下模组件2、上模组件3、操纵机构4、检漏接头5；所述下模组件2连接所述支架1的底部，所述操纵机构4连接所述支架1的顶部，所述操纵机构4的底端连接所述上模组件3，所述检漏接头5连接所述下模组件2的底部。

具体的，支架1为板材，并垂直放置，下模组件2的一侧通过一个连接块与支架1连接。

如图2、图6所示，所述下模组件2包括下模板21、橡胶板22，所述下模板21的顶部具有凹槽，凹槽呈长方形，凹槽内包括多个间隔均匀布置的立柱，立柱内贯穿的抽空孔23，所述橡胶板22置于所述下模板21内，且橡胶板22包括多个贯穿孔，位置与立柱对应，即贯穿孔套接在立柱上，即所述抽空孔23贯穿所述下模板21与所述橡胶板22。

下模板21上设有多少个抽空孔23，则具有多少个检测工位，如本实施例中，设有五个检测工位，五个检测工位沿直线排布。抽空孔23与待检测的陶瓷壳体7内部相通，用于抽空和检漏用，所述下模板21的底面开设汇集槽，所述抽空孔23的底部与所述汇集槽连接，所述检漏接头5覆盖在所述汇集槽上，使得抽空孔23仅与检漏接头5相通。

橡胶板22为长方形板，具有一定的柔性，能够在陶瓷壳体7与其接触时，实现较好的密封性。

如图2、图7所示，所述上模组件3包括上模板31、防压块32，所述上模板31的顶面与所述操纵机构4的底端连接，所述防压块32可以通过螺栓或螺钉连接所述上模板31的底面。本实施例中，上模板31也为长方形板，防压块32的尺寸少小于上模板31，因陶瓷壳体7材质性能较脆，防压块32为尼龙材质，可以减少压伤陶瓷壳体7的情况。

所述上模组件3包括四个喷氦孔33，可以从喷氦孔33向陶瓷壳体7表面进行喷氦。

如图2、图3、图4所示，所述操纵机构4包括安装架体41、手柄42、连杆43、压杆44；所述安装架体41整体呈水平放置的U型结构，其顶端与所述手柄42的端部通过销轴转动连接，所述安装架体41的侧面通过一个方型连接板与所述支架1螺栓连接，所述安装架体41的底部为套筒结构，所述压杆44与套筒结构滑动连接，套筒结构为竖直设置，从而爆炸压杆44竖直向下施力；所述压杆44的顶端与连杆43的底端通过销轴转动连接，所述压杆44的底端与上模板31的顶面连接，所述连杆43的顶端与所述手柄42的中部转动连接。

其中，所述手柄42为折弯板结构，所述手柄42的折弯处与所述连杆43转动连接，该连接点与手柄42与安装架体41连接点之间的距离小于该连接点与手柄42另一端的距离。

压杆44可以一根整体式杆，也可以时两段杆连接形成。压杆44的底部可以通过两个压块压接在上模板31的顶面。

操纵机构4采用杠杆原理可以放大施加在手柄42上的力，但又不会过于大，比较容易实现控制在一个合适的施加力范围；以及利用安装架体41的套筒结构，使得压杆44垂直下压，保持下压力的方向，提高施力的均匀稳定性。

如图3所示，所述检漏接头5的顶端为矩形板状结构，矩形板状结构与汇集槽封装在一起，底端为圆形板状结构，中部为筒状结构。

如图1、图8所示，陶瓷壳体7的底部为开口状，本实施例使用时，将待检测的五个陶瓷壳体7的底部扣装在五个检测工位，使得抽空孔23与陶瓷壳体7的内部相通；下拉手柄42驱动上模组件2下行并压紧被检测陶瓷壳体7上表面，使得被检测陶瓷壳体7与下模组件3密封，检漏接头5与检漏仪连接，进而检漏仪再通过检漏接头5、抽空孔23对陶瓷壳体7的内腔进行抽真空，当压力和漏率达到要求后，通过上模组件3的喷氦孔33对陶瓷壳体7的上表面进行喷氦，如陶瓷壳体7存在焊接密封性不好的现象，则氦气通过被测件表面进入被测件的内腔，再通过抽空孔23和检漏接头5进入检漏仪被检测出漏入的氦气量多少，最终判断工件的焊接密封性是否合格。

本实施例通过操纵机构4实现垂直方向施力，降低了现有技术中采用手指施力受力角度倾斜、施力不稳的情况，使得待检测陶瓷壳体7可以受力均匀稳定，降低误检率；同时本实施例可以适配多个陶瓷壳体7的检测，不再受手指按压的局限，提高检测效率。

本实施例改变传统以手压方式的工装方式，手压势必存在压不紧、不稳定、长时间累的问题；同时也无需采用气缸传动的下压方式，由于陶瓷本体的特性，气缸传动很容易导致产品被压坏甚至压碎，本实施例设计则完全避免了此类现象；再者，本实施例可设置一个检测工位，斌延伸到多个检测工件，改变了以往一次只检测一个的局面，大大提升了效率；最后，本实施例还可以延伸到其他不同类型的检测工件上。

实施例二：

如图2、图3所示，本实施例在实施例一的基础上还包括导向组件6，所述导向组件6的底端与所述下模组件2连接，所述导向组件6的顶端与所述上模组件3连接。

具体的，所述导向组件6包括导向杆61、导向套62，所述导向杆61的底端与所述下模组件2的下模板21连接，所述导向套62连接在所述上模组件3的上模板31上，所述导向杆61滑动连接所述导向套62。其中导向套62为两个，对称的位于压杆44的两侧，在上模组件3在操纵机构4的驱动下下行的过程中，上模组件3沿两个导向杆61垂直下行。

导向组件6起到上模组件3下压导向、调整垂直度、使下压力均匀的多种作用。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，包括支架、下模组件、上模组件、操纵机构、检漏接头；所述下模组件连接所述支架的底部，所述操纵机构连接所述支架的顶部，能够驱动上模组件上下移动的所述操纵机构的底端连接所述上模组件，所述上模组件包括多个喷氦孔，所述检漏接头连接所述下模组件的底部，所述下模组件包括多个检测工位，每个检测工位包括抽空孔，所有抽空孔汇集后与所述检漏接头连通。

2.根据权利要求1所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述下模组件包括下模板、橡胶板，所述下模板的顶部具有凹槽，所述橡胶板连接所述下模板内，所述抽空孔贯穿所述下模板与所述橡胶板。

3.根据权利要求2所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述下模板的凹槽内包括多个间隔均匀布置的立柱，所述立柱内为所述抽空孔，所述橡胶板包括多个贯穿孔，所述贯穿孔套接所述立柱。

4.根据权利要求2所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述下模板的底面还包括汇集槽，所述抽空孔的底部与所述汇集槽连接，所述检漏接头覆盖在所述汇集槽上。

5.根据权利要求1所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述上模组件包括上模板、防压块，所述上模板的顶面与所述操纵机构的底端连接，所述防压块连接所述上模板的底面。

6.根据权利要求1所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，还包括导向组件，所述导向组件的底端与所述下模组件连接，所述导向组件的顶端与所述上模组件连接。

7.根据权利要求6所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述导向组件包括导向杆、导向套，所述导向杆的底端与所述下模组件连接，所述导向套连接所述上模组件，所述导向杆滑动连接所述导向套。

8.根据权利要求1所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述操纵机构包括安装架体、手柄、连杆、压杆，所述安装架体的顶端与所述手柄转动连接，所述安装架体的侧面与所述支架连接，所述安装架体的底部为套筒结构，所述压杆与套筒结构滑动连接，所述压杆的顶端与连杆的一端转动连接，所述压杆的底端与所述上模组件的顶面连接，所述连杆的另一端与所述手柄的中部转动连接。

9.根据权利要求8所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述手柄为折弯板结构，所述手柄的折弯处与所述连杆转动连接。

10.根据权利要求1所述的陶瓷壳体用氦检漏工装，其特征在于，所述检漏接头的一端为矩形板状结构，另一端为圆形板状结构，中部为筒状结构。

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