CN219325111U - 一种光掩膜石英基板生产用抛光设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，包括箱体，箱体内壁底部中部固定连接有支撑架，支撑架顶部固定连接有放置板，箱体内壁两侧顶部均固定连接有侧板，两个侧板之间滑动连接有横板，横板底部滑动连接有安装板，安装板底部固定连接有电动伸缩杆，电动伸缩杆输出端固定连接有驱动电机，驱动电机输出端固定连接有打磨片，箱体底部两侧均滑动连接有传动板，有益效果是：本实用新型操作简单，使用方便，可以有效的在基板抛光过程中对其进行翻面调整，有效的保证了设备的使用效果，提高了设备的加工效率，避免了传统的设备无法及时的对原料进行翻转，需要停止设备运行进行人工翻转，费时费力，影响设备的加工效率的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光设备技术领域，具体涉及一种光掩膜石英基板生产用抛光设备。
背景技术
石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大，石英砂作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点，在石英基板生产的过程中需要对其进行抛光打磨。
传统的石英基板抛光设备的工具座在加工过程中，其上的夹持机构仅能对原料进行夹持限位，而无法有效的对原料进行翻转操作，进而导致原料需要翻面时仅能先停止设备运行，待人工对其翻面后再进行加工，影响了设备的加工效率。
因此提出一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，以便于解决上述的问题。
实用新型内容
本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，包括箱体，所述箱体内壁底部中部固定连接有支撑架，所述支撑架顶部固定连接有放置板，所述箱体内壁两侧顶部均固定连接有侧板，两个所述侧板之间滑动连接有横板，所述横板底部滑动连接有安装板，所述安装板底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆输出端固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有打磨片，所述箱体底部两侧均滑动连接有传动板，两个所述传动板顶部分别设置有一号竖板和二号竖板，所述一号竖板和二号竖板相互靠近一侧均设置有夹板，所述一号竖板内壁转动连接有转块，所述转块靠近对应夹板一端贯穿一号竖板且与对应夹板固定连接，所述二号竖板远离一号竖板一侧固定连接有二号电机，所述二号电机输出端贯穿二号竖板且与对应夹板固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱体一侧底部固定连接有一号电机，所述一号电机输出端贯穿箱体且固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆远离一号电机一端贯穿两个传动板且与箱体内壁转动连接，两个所述传动板分别与双向螺纹杆两端螺纹连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，每个所述侧板内壁顶部均固定连接有三号电机，每个所述三号电机输出端均固定连接有一号螺纹杆，每个所述一号螺纹杆底端均与对应侧板内壁底部转动连接，每个所述一号螺纹杆中部均螺纹连接有一号滑块，每个所述一号滑块靠近横板一端均贯穿对应侧板且与横板固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，每个所述传动板内壁底部均固定连接有电推杆，每个所述电推杆输出端均贯穿对应传动板且与对应一号竖板和二号竖板底部固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述横板内壁一侧固定连接有四号电机，所述四号电机输出端固定连接有二号螺纹杆，所述二号螺纹杆远离四号电机一端与横板内壁转动连接，所述二号螺纹杆中部螺纹连接有二号滑块，所述二号滑块底端贯穿横板且与安装板顶部固定连接。
本实用新型具有以下优点：本实用新型操作简单，使用方便，可以有效的在基板抛光过程中对其进行翻面调整，有效的保证了设备的使用效果，提高了设备的加工效率，避免了传统的设备无法及时的对原料进行翻转，需要停止设备运行进行人工翻转，费时费力，影响设备的加工效率的情况。
附图说明
图1是本实用新型一优选实施例的剖视结构示意图；
图2是本实用新型一优选实施例的A处放大结构示意图。
附图标记说明：1、箱体；2、支撑架；3、放置板；4、侧板；5、横板；6、安装板；7、电动伸缩杆；8、驱动电机；9、打磨片；10、一号电机；11、双向螺纹杆；12、传动板；13、一号竖板；14、二号竖板；15、二号电机；16、夹板；17、转块；18、电推杆；19、三号电机；20、一号螺纹杆；21、一号滑块；22、四号电机；23、二号螺纹杆；24、二号滑块。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
实施例
请结合参阅图1-2，本实用新型一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，包括箱体1，支撑架2固定安装于箱体1内壁底部，放置板3固定安装于支撑架2顶部，一号电机10固定安装于箱体1一侧底部，一号电机10输出端贯穿箱体1且固定连接有双向螺纹杆11，双向螺纹杆11远离一号电机10一端与箱体1内壁转动连接，双向螺纹杆11两端均螺纹连接有传动板12，每个传动板12内壁底部均固定连接有电推杆18，两个电推杆18输出端均贯穿对应传动板12且分别固定连接有一号竖板13和二号竖板14，一号竖板13和二号竖板14相互靠近一侧均设置有夹板16，一号竖板13内转动连接有转块17，转块17贯穿一号竖板13且与对应夹板16固定连接，二号电机15固定安装于二号竖板14远离一号竖板13一侧，二号电机15输出端贯穿二号竖板15且与对应夹板16固定连接，两个侧板4分别固定安装于箱体1内壁两侧顶部，横板5滑动安装于两个侧板4之间，横板5两端均固定连接有一号滑块21，每个一号滑块21均贯穿对应侧板4且与对应侧板4滑动连接，每个三号电机19均固定安装于对应侧板4内壁顶部，每个三号电机19输出端均固定连接有一号螺纹杆20，每个一号螺纹杆20底端均贯穿对应一号滑块21且与对应侧板4内壁底部转动连接，每个一号螺纹杆20均与对应一号滑块21螺纹连接，四号电机22固定安装于横板5内壁一侧，四号电机22输出端固定连接有二号螺纹杆23，二号螺纹杆23远离四号电机22一端与横板5内壁转动连接，二号螺纹杆23中部螺纹连接有二号滑块24，二号滑块24底端贯穿横板5且固定连接有安装板6，电动伸缩杆7固定安装于安装板6底部，电动伸缩杆7输出端固定连接有驱动电机8，驱动电机8输出端固定连接有打磨片9。
具体的，本实用新型使用时，将原料放置于放置板3上，然后启动一号电机10带动双向螺纹杆11进行转动，进而使两个传动板12及其上各安装件相互靠近，进而是两个夹板16对原料进行夹持固定，然后启动三号电机19带动一号螺纹杆20进行转动，进而使两个一号滑块21带动横板5及其上各安装件向下移动，当打磨片9达到合适位置后，启动驱动电机8带动打磨片9对原料进行抛光打磨，在抛光过程中，启动四号电机22带动二号螺纹杆23进行转动，进而使二号滑块24带动安装板6及其上各安装件进行往复移动，同时启动电动伸缩杆7带动打磨片9进行微调，继而有效的保证打磨片9的抛光打磨力度和深度，当需要对原料进行翻转时，启动电推杆18推动一号竖板13、二号竖板14和夹板16及两个夹板16之间夹持的原料向上移动，当达到合适高度后，启动二号电机15带动夹板16及两个夹板16之间夹持的原料进行翻转，然后收缩电推杆18，在传动作用将原料重新放置于放置板3上即可。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，包括箱体(1)，所述箱体(1)内壁底部中部固定连接有支撑架(2)，所述支撑架(2)顶部固定连接有放置板(3)，其特征在于，所述箱体(1)内壁两侧顶部均固定连接有侧板(4)，两个所述侧板(4)之间滑动连接有横板(5)，所述横板(5)底部滑动连接有安装板(6)，所述安装板(6)底部固定连接有电动伸缩杆(7)，所述电动伸缩杆(7)输出端固定连接有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)输出端固定连接有打磨片(9)，所述箱体(1)底部两侧均滑动连接有传动板(12)，两个所述传动板(12)顶部分别设置有一号竖板(13)和二号竖板(14)，所述一号竖板(13)和二号竖板(14)相互靠近一侧均设置有夹板(16)，所述一号竖板(13)内壁转动连接有转块(17)，所述转块(17)靠近对应夹板(16)一端贯穿一号竖板(13)且与对应夹板(16)固定连接，所述二号竖板(14)远离一号竖板(13)一侧固定连接有二号电机(15)，所述二号电机(15)输出端贯穿二号竖板(14)且与对应夹板(16)固定连接。
2.如权利要求1所述的一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，其特征在于，所述箱体(1)一侧底部固定连接有一号电机(10)，所述一号电机(10)输出端贯穿箱体(1)且固定连接有双向螺纹杆(11)，所述双向螺纹杆(11)远离一号电机(10)一端贯穿两个传动板(12)且与箱体(1)内壁转动连接，两个所述传动板(12)分别与双向螺纹杆(11)两端螺纹连接。
3.如权利要求1所述的一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，其特征在于，每个所述侧板(4)内壁顶部均固定连接有三号电机(19)，每个所述三号电机(19)输出端均固定连接有一号螺纹杆(20)，每个所述一号螺纹杆(20)底端均与对应侧板(4)内壁底部转动连接，每个所述一号螺纹杆(20)中部均螺纹连接有一号滑块(21)，每个所述一号滑块(21)靠近横板(5)一端均贯穿对应侧板(4)且与横板(5)固定连接。
4.如权利要求1所述的一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，其特征在于，每个所述传动板(12)内壁底部均固定连接有电推杆(18)，每个所述电推杆(18)输出端均贯穿对应传动板(12)且与对应一号竖板(13)和二号竖板(14)底部固定连接。
5.如权利要求1所述的一种光掩膜石英基板生产用抛光设备，其特征在于，所述横板(5)内壁一侧固定连接有四号电机(22)，所述四号电机(22)输出端固定连接有二号螺纹杆(23)，所述二号螺纹杆(23)远离四号电机(22)一端与横板(5)内壁转动连接，所述二号螺纹杆(23)中部螺纹连接有二号滑块(24)，所述二号滑块(24)底端贯穿横板(5)且与安装板(6)顶部固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202320829809.XU CN219325111U (zh) | 2023-04-14 | 2023-04-14 | 一种光掩膜石英基板生产用抛光设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320829809.XU CN219325111U (zh) | 2023-04-14 | 2023-04-14 | 一种光掩膜石英基板生产用抛光设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN219325111U true CN219325111U (zh) | 2023-07-11 |
Family
ID=87061448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320829809.XU Active CN219325111U (zh) | 2023-04-14 | 2023-04-14 | 一种光掩膜石英基板生产用抛光设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN219325111U (zh) |
-
2023
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