CN219286377U - 一种金属剥离机晶圆载台 - Google Patents

Abstract

本实用新型属半导体器件制造技术领域，特别是涉及一种金属剥离机晶圆载台，包括放置组件，放置组件底端设置有支撑组件；放置组件包括盘体，盘体底面与支撑组件可拆卸连接，盘体上开设有若干台阶面组，若干台阶面组周向等间隔设置，相邻两个台阶面组之间设置有凹口，若干凹口之间连通，盘体的底端开设有排液口，排液口与盘体连通；台阶面组包括若干台阶面，若干台阶面由下至上依次水平设置，台阶面开设在盘体的内缘处，若干台阶面的直径由下至上渐增。本实用新型在使用时，通过设置不同直径的台阶面，实现放置多个晶圆，达到同时存放不同规格的晶圆的目的。

Description

一种金属剥离机晶圆载台

技术领域

本实用新型属半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种金属剥离机晶圆载台。

背景技术

金属剥离是指晶圆经过涂覆光致抗蚀剂、曝光、显影后，以具有一定图形的光致抗蚀剂膜为掩模，带胶蒸发所需的金属，然后在去除光致抗蚀剂的同时，把胶膜上的金属一起剥离干净，在基片上只剩下原刻出图形的金属。金属去胶剥离机台可根据金属及光刻胶厚度，在金属生长后使用有机溶剂(NMP或EKC)进行浸泡及高压剥离去除，然后使用异丙醇清洗NMP或EKC药水后，再用氮气吹干干燥。

在图像传感器(CCD)校正晶圆坐标过程中，由于半导体行业的发展，需要越来越多尺寸规格的晶圆，这就需要额外设计不同规格的晶圆载台进行适配，增加了生产成本，而且更换晶圆载台也需要耗费时间和人力。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种金属剥离机晶圆载台，以解决上述问题，通过设置不同直径的台阶面，实现放置多个晶圆，达到同时存放不同规格的晶圆的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

一种金属剥离机晶圆载台，包括放置组件，所述放置组件底端设置有支撑组件；

所述放置组件包括盘体，所述盘体底面与所述支撑组件可拆卸连接，所述盘体上开设有若干台阶面组，若干所述台阶面组周向等间隔设置，相邻两个所述台阶面组之间设置有凹口，若干所述凹口之间连通，所述盘体的底端开设有排液口，所述排液口与所述盘体连通；

所述台阶面组包括若干台阶面，若干所述台阶面由下至上依次水平设置，所述台阶面开设在所述盘体的内缘处，若干所述台阶面的直径由下至上渐增。

优选的，所述支撑组件包括水平设置的支撑板，所述支撑板上开设有螺孔，所述螺孔内螺纹连接有螺钉，所述螺钉穿出所述螺孔与所述盘体的底面螺纹连接。

优选的，所述台阶面的顶面上开设有斜坡，所述斜坡位于所述台阶面的内缘处。

优选的，所述台阶面的顶面上开设有若干支柱口，所述支柱口沿所述台阶面的长度方向等间隔设置，所述支柱口内固定连接有支撑柱。

优选的，所述凹口的厚度由内向外渐增。

优选的，所述支撑板的顶面固定连接有若干六角形支柱，若干所述六角形支柱分别位于所述支撑板相对的两侧，位于同侧的若干所述六角形支柱等间隔设置，所述六角形支柱竖直设置，所述盘体位于若干所述六角形支柱之间。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点和技术效果：

本实用新型能够有效发挥晶圆工艺作业过程中晶圆偏移后机械校正的作用，相对于图像传感器(CCD)校正晶圆坐标，减少计算及设备投入，降低成本，提升效率；支撑组件将盘体固定在使用位置并提供机械臂垂直进入的作业空间，凹口的宽度容纳机械臂进出，排液口位于盘体底部中央，能够用于湿法工艺液体排放，本实用新型中晶圆通过机械臂自盘体顶部以从小到大的顺序垂直放入暂存盘对应台阶面，通过设计不同直径的台阶面，可以放置不同尺寸的晶圆，实现多尺寸校正平台集成。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中盘体的侧视图；

图3为本实用新型中盘体的内部结构示意图；

图4为图3中A处放大示意图。

其中，1、盘体；2、凹口；3、排液口；4、支柱口；5、螺孔；6、六角形支柱；7、支撑板；101、台阶面；102、斜坡。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参照图1-图4，本实用新型提供一种金属剥离机晶圆载台，包括放置组件，放置组件底端设置有支撑组件；

放置组件包括盘体1，盘体1底面与支撑组件可拆卸连接，盘体1上开设有若干台阶面组，若干台阶面组周向等间隔设置，相邻两个台阶面组之间设置有凹口2，若干凹口2之间连通，盘体1的底端开设有排液口3，排液口3与盘体1连通；

台阶面组包括若干台阶面101，若干台阶面101由下至上依次水平设置，台阶面101开设在盘体1的内缘处，若干台阶面101的直径由下至上渐增。

本实用新型能够有效发挥晶圆工艺作业过程中晶圆偏移后机械校正的作用，相对于图像传感器(CCD)校正晶圆坐标，减少计算及设备投入，降低成本，提升效率；

盘体1顶部开口大，底部开口小，顶部到底部呈倒梯形，盘体1材料为包括但不限于聚偏二氟乙烯(PVDF)的抗老化、耐辐射、耐化学腐蚀的材料。

支撑组件将盘体1固定在使用位置并提供机械臂垂直进入的作业空间，凹口2优选为两个，且对称分布，宽度容纳机械臂进出，排液口3位于盘体1底部中央，能够用于湿法工艺液体排放；台阶面组优选为2个，本实用新型中晶圆通过机械臂自盘体1顶部以从小到大的顺序垂直放入暂存盘对应台阶面101，通过设计不同直径的台阶面101，可以放置不同尺寸的晶圆，实现多尺寸校正平台集成。

进一步优化方案，支撑组件包括水平设置的支撑板7，支撑板7上开设有螺孔5，螺孔5内螺纹连接有螺钉，螺钉穿出螺孔5与盘体1的底面螺纹连接。

螺孔5优选为M4螺孔，螺孔5优选为3个，3个螺孔5呈等边三角形分布在支撑板7上，使用螺母从支撑板7下方向上方安装将盘体1固定在支撑板7上。

进一步优化方案，台阶面101的顶面上开设有斜坡102，斜坡102位于台阶面101的内缘处。

台阶面101顶部加工出斜坡102，当台阶面101的数量为2个时，斜坡102高度为台阶面101整体(即两个台阶面101)高度的0.3-0.4倍，方便晶圆进入又不影响校正效果。

进一步优化方案，台阶面101的顶面上开设有若干支柱口4，支柱口4沿台阶面101的长度方向等间隔设置，支柱口4内固定连接有支撑柱。

台阶面101预先加工出若干支柱口4，可根据晶圆厚度添加晶圆支柱用于承载晶圆，晶圆支柱在台阶面101以上的高度与晶圆厚度之和小于台阶面101高度，晶圆支柱的材料可以为聚四氟乙烯(PTFE)，每个台阶面101上的支柱口4的数量优选为3-4个。

进一步优化方案，凹口2的厚度由内向外渐增。

凹口2处加工缓斜坡连接与盘体底部相连，便于湿法工艺液体流入盘体底部后从排液口3排出。

进一步优化方案，支撑板7的顶面固定连接有若干六角形支柱6，若干六角形支柱6分别位于支撑板7相对的两侧，位于同侧的若干六角形支柱6等间隔设置，六角形支柱6竖直设置，盘体1位于若干六角形支柱6之间。

六角形支柱6优选为4个，4个六角形支柱6将盘体1固定于支撑板7上的使用位置并提供机械臂垂直作业空间。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。

Claims (6)

1.一种金属剥离机晶圆载台，其特征在于，包括放置组件，所述放置组件底端设置有支撑组件；

所述放置组件包括盘体(1)，所述盘体(1)底面与所述支撑组件可拆卸连接，所述盘体(1)上开设有若干台阶面组，若干所述台阶面组周向等间隔设置，相邻两个所述台阶面组之间设置有凹口(2)，若干所述凹口(2)之间连通，所述盘体(1)的底端开设有排液口(3)，所述排液口(3)与所述盘体(1)连通；

所述台阶面组包括若干台阶面(101)，若干所述台阶面(101)由下至上依次水平设置，所述台阶面(101)开设在所述盘体(1)的内缘处，若干所述台阶面(101)的直径由下至上渐增。

2.根据权利要求1所述的一种金属剥离机晶圆载台，其特征在于，所述支撑组件包括水平设置的支撑板(7)，所述支撑板(7)上开设有螺孔(5)，所述螺孔(5)内螺纹连接有螺钉，所述螺钉穿出所述螺孔(5)与所述盘体(1)的底面螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种金属剥离机晶圆载台，其特征在于，所述台阶面(101)的顶面上开设有斜坡(102)，所述斜坡(102)位于所述台阶面(101)的内缘处。

4.根据权利要求1所述的一种金属剥离机晶圆载台，其特征在于，所述台阶面(101)的顶面上开设有若干支柱口(4)，所述支柱口(4)沿所述台阶面(101)的长度方向等间隔设置，所述支柱口(4)内固定连接有支撑柱。

5.根据权利要求1所述的一种金属剥离机晶圆载台，其特征在于，所述凹口(2)的厚度由内向外渐增。

6.根据权利要求2所述的一种金属剥离机晶圆载台，其特征在于，所述支撑板(7)的顶面固定连接有若干六角形支柱(6)，若干所述六角形支柱(6)分别位于所述支撑板(7)相对的两侧，位于同侧的若干所述六角形支柱(6)等间隔设置，所述六角形支柱(6)竖直设置，所述盘体(1)位于若干所述六角形支柱(6)之间。

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