CN219201662U - 一种集成电路测试用的自动装夹装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路测试用的自动装夹装置，包括底部吸盘，所述底部吸盘的长边固定连接有长侧吸盘，所述底部吸盘的短边固定连接有短侧吸盘，所述底部吸盘、长侧吸盘和短侧吸盘三者的外表面交汇处固定连接有真空泵，所述底部吸盘、长侧吸盘和短侧吸盘三者的内表面交汇处设置有微孔区。该装置能自动对集成电路板进行装夹，保证集成电路板引脚与测试设备的探针接触良好，提高测试质量。

Description

一种集成电路测试用的自动装夹装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路板测试技术领域，更具体地说，它涉及一种集成电路测试用的自动装夹装置。

背景技术

集成电路板测试是在晶圆从晶圆厂生产出来后，切割减薄之前的测试。其设备通常是测试厂商自行开发制造或定制的，一般是将晶圆放在测试平台上，用探针探到集成电路板中事先确定的测试点，探针上可以通过直流电流和交流信号，可以对其进行各种电气参数测试。对于光学IC，还需要对其进行给定光照条件下的电气性能测试。

目前，市场上集成电路板测试用的装夹装置，它是通过吸附笔吸附集成电路板，并在下压的过程中对集成电路板的位置进行校正。这种集成电路板测试用的装夹装置虽然能够起到使待测试集成电路板的位置得到矫正，但是不仅此法工作效率低，而且在调整过程中对人工的技术要求较高，微调难以实现，最终影响测试结果。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种集成电路板测试用的自动装夹装置。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种集成电路测试用的自动装夹装置包括底部吸盘，所述底部吸盘的长边固定连接有长侧吸盘，所述底部吸盘的短边固定连接有短侧吸盘，所述底部吸盘、长侧吸盘和短侧吸盘三者的外表面交汇处固定连接有真空泵，所述底部吸盘、长侧吸盘和短侧吸盘三者的内表面交汇处设置有微孔区。

本实用新型进一步设置为：所述底部吸盘底面固定连接有内齿轮。

本实用新型进一步设置为：包括转动电机，所述转动电机的输出轴末端固定连接有输出轴齿轮，所述输出轴齿轮与内齿轮内圈的轮齿啮合连接。

本实用新型进一步设置为：所述内齿轮的内部设置有升降装置，所述升降装置的顶面与内齿轮内部空间的顶面连接，所述升降装置的底面与输出轴齿轮的顶面连接。

本实用新型进一步设置为：所述转动电机的底面固定连接有平台。

本实用新型的有益效果：通过底部吸盘、长侧吸盘和短侧吸盘三者相互配合将待测试集成电路板吸附到指定位置，在通过转动电机和升降装置进行微调集成电路板的位置，使探针对准待测试针脚，提高使用效率和测试结果的质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的真空泵安装位置示意图；

图3为本实用新型的仰视结构示意图；

图4为本实用新型的内齿轮的剖切示意图；

图5为图1中A区域的放大图；

图6为图3中B区域的放大图；

图中：1、底部吸盘；2、长侧吸盘；3、短侧吸盘；4、微孔区；5、真空泵；6、内齿轮；7、转动电机；8、输出轴齿轮；9、升降装置；10、平台。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。

请参阅图图1至图5，本实用新型提供以下技术方案：

一种集成电路测试用的自动装夹装置，包括底部吸盘1，用于从底面吸附待测试集成电路板，底部吸盘1的长边固定连接有长侧吸盘2，用于从长侧面吸附待测试集成电路板，底部吸盘1的短边固定连接有短侧吸盘3，用于从短侧面吸附待测试集成电路板，底部吸盘1、长侧吸盘2和短侧吸盘3三者的外表面交汇处固定连接有真空泵5，真空泵5用于给三个吸盘提供吸力，底部吸盘1、长侧吸盘2和短侧吸盘3三者的内表面交汇处设置有微孔区4，在真空泵5的作用下对待测试集成电路板吸附固定。

底部吸盘1底面固定连接有内齿轮6，两者是主动从动关系。

转动电机7的输出轴末端固定连接有输出轴齿轮8，用于给输出轴齿轮8提供驱动力，输出轴齿轮8与内齿轮6内圈的轮齿啮合连接，输出轴齿轮8带动内齿轮6旋转。

内齿轮6的内部设置有升降装置9，用于控制待测试集成电路板的高度位置，升降装置9的顶面与内齿轮6内部空间的顶面连接，升降装置9的底面与输出轴齿轮8的顶面连接。

转动电机7的底面固定连接有平台10，给上述组件提供安装平台。

本实用新型提供的自控溶液浓缩度的浓缩装置的工作原理如下：

先将待测试集成电路板放到底部吸盘1、长侧吸盘2和短侧吸盘3形成的夹角处，打开真空泵5，此时长侧吸盘2和短侧吸盘3上的微孔区4会打开，将待测试集成电路板吸附到指定位置；之后，底部吸盘1上的微孔区4会打开，将待测试集成电路板的位置固定，以防止测试过程中发生位移对探针造成损坏。微孔区4内布满了微孔，在真空泵5的作用下可以将集成电路板吸附。

当吸附工作完成后，转动电机7带动输出轴上的输出轴齿轮8转动，输出轴齿轮8带动内齿轮6转动，内齿轮6带动底部吸盘1上的待测试集成电路板转动，以调整待测试集成电路板水平方向的位置；升降装置9是上下伸缩的液压缸，可以对待测试集成电路板的高度进行调整，最终使待测试集成电路板上待测试的针脚对准待测试探针。提高了工作效率。

显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种集成电路测试用的自动装夹装置，其特征在于：包括底部吸盘(1)，所述底部吸盘(1)的长边固定连接有长侧吸盘(2)，所述底部吸盘(1)的短边固定连接有短侧吸盘(3)，所述底部吸盘(1)、长侧吸盘(2)和短侧吸盘(3)三者的外表面交汇处固定连接有真空泵(5)，所述底部吸盘(1)、长侧吸盘(2)和短侧吸盘(3)三者的内表面交汇处设置有微孔区(4)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试用的自动装夹装置，其特征在于：所述底部吸盘(1)底面固定连接有内齿轮(6)。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路测试用的自动装夹装置，其特征在于：包括转动电机(7)，所述转动电机(7)的输出轴末端固定连接有输出轴齿轮(8)，所述输出轴齿轮(8)与内齿轮(6)内圈的轮齿啮合连接。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路测试用的自动装夹装置，其特征在于：所述内齿轮(6)的内部设置有升降装置(9)，所述升降装置(9)的顶面与内齿轮(6)内部空间的顶面连接，所述升降装置(9)的底面与输出轴齿轮(8)的顶面连接。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路测试用的自动装夹装置，其特征在于：所述转动电机(7)的底面固定连接有平台(10)。

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