CN219496216U - 晶片检测旋转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种采用直驱电机替代蜗轮蜗杆机械传动的方式的晶片检测旋转机构。本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术手段来实现的：一种晶片检测旋转机构，包括装配基座、设置在所述装配基座的中部的安装座和设置在所述安装座上的直驱电机，所述直驱电机包括旋转台，所述旋转台上设置有与晶片相配合的定位组件，所述定位组件包括升降座和位于所述升降座的后部的安装立板，所述升降座包括升降轴和设置在所述升降轴上的载台，所述安装立板在所述载台的上方位置设置有吸气端子。本实用新型涉及晶片检测的技术领域。

Description

晶片检测旋转机构

技术领域

本实用新型涉及晶片检测的技术领域，尤其涉及一种晶片检测旋转机构。

背景技术

随着半导体、光伏技术及信息技术的不断发展，国内单晶晶体生产厂家对单晶晶体的晶向使用范围不断提高，对晶体的定向精度要求越来越高。申请号201820798669.3的专利公开一种晶片检测旋转样品台，是一种测量方便、复检检测精度高的X射线晶体定向仪用晶片检测旋转样品台，其可控制贴片板上的测试晶片进行360°旋转检测，但该转动装置主要采用蜗轮蜗杆机械方式，蜗轮蜗杆机械传动有磨损，重复定位精度差。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供一种采用直驱电机替代蜗轮蜗杆机械传动的方式的晶片检测旋转机构。

本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术手段来实现的：一种晶片检测旋转机构，包括装配基座、设置在所述装配基座的中部的安装座和设置在所述安装座上的直驱电机，所述直驱电机包括旋转台，所述旋转台上设置有与晶片相配合的定位组件，所述定位组件包括升降座和位于所述升降座的后部的安装立板，所述升降座包括升降轴和设置在所述升降轴上的载台，所述安装立板在所述载台的上方位置设置有吸气端子。

在上述方案中，通过直驱电机驱动旋转台进行转动，实现安装在旋转台上的晶片的转动，从而可以进行晶片的检测，利用直驱电机的设计有效避免了传统由于蜗轮蜗杆机因传动磨损造成重复定位精度差，测量时间长，测量定位不准等问题；另一方面，吸气端子利用吸气吸附晶片，使得晶片被放置到载台后可以通过吸附而固定，继而在转动时可以跟着旋转台一起转动；另外，升降座可以驱动载台进行上升下降，这样就可以令一些高度较小的晶片也能被抬升到可检测的位置，以进行检测，增加本实用新型的适用范围和通用性，即使高度较小的晶片也能被抬升到晶片的上部露出在安装立板的上端面上。

在一种实施例中，所述吸气端子伸出所述安装立板的前部且所述吸气端子伸出的部分水平设置。

在一种实施例中，所述吸气端子的数量为两个，两个所述吸气端子的后部共同连接至位于所述安装立板的后方的抽气管上。

在上述方案中，两个吸气端子可左右平衡吸附晶片，保持晶片被稳定吸附。

在一种实施例中，所述装配基座的一侧设置有X射线发射器，所述装配基座的另一侧设置有X射线接收器。

在一种实施例中，所述X射线接收器安装在所述旋转台上，所述X射线接收器包括底座和可转动设置在所述底座上的接收器本体。

在上述方案中，将X射线接收器直接安装在所述旋转台跟随旋转台一起转动，可以简化X射线接收器的安装，X射线接收器的接收器本体可以通过转动调节具体合适的角度以和X射线发射器与晶片一起进行配合。

在一种实施例中，所述X射线发射器的前部设置有遮光组件，所述遮光组件包括具有穿孔的固定板和滑动设置在所述穿孔中的升降板，所述升降板的底部和所述固定板的底部之间均设置有磁铁。

在上述方案中，遮光组件用于在不使用时遮挡X射线发射器的镜头避免污染，另外，在误开机而没进行测试时也可以起到安全防护的作用。磁铁可以辅助令升降板吸附在固定板上令升降板呈打开不遮挡X射线发射器的状态，另外，只需要手动推拉即可实现升降板的强制上下移动。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是直驱电机和定位组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

如图1和图2所示，本实用新型所采用的技术方案为：本实用新型为一种晶片检测旋转机构，包括装配基座1、设置在所述装配基座1的中部的安装座2和设置在所述安装座2上的直驱电机3，所述直驱电机3包括旋转台4，所述旋转台4上设置有与晶片相配合的定位组件5，所述定位组件5包括升降座6和位于所述升降座6的后部的安装立板7，所述升降座6包括升降轴8和设置在所述升降轴8上的载台9，所述安装立板7在所述载台9的上方位置设置有吸气端子10。通过直驱电机3驱动旋转台4进行转动，实现安装在旋转台4上的晶片的转动，从而可以进行晶片的检测，利用直驱电机3的设计有效避免了传统由于蜗轮蜗杆机因传动磨损造成重复定位精度差，测量时间长，测量定位不准等问题。直驱电机3是直接驱动式电机的简称，主要指电机在驱动负载时，不需经过传动装置如传动皮带等。直驱电机具有如下优点静音、节能、平稳、动力强劲等。另一方面，吸气端子10利用吸气吸附晶片，使得晶片被放置到载台9后可以通过吸附而固定，继而在转动时可以跟着旋转台4一起转动；另外，升降座6可以驱动载台9进行上升下降，这样就可以令一些高度较小的晶片也能被抬升到可检测的位置，以进行检测，增加本实用新型的适用范围和通用性，即使高度较小的晶片也能被抬升到晶片的上部露出在安装立板7的上端面上。

在一种实施例中，所述吸气端子10伸出所述安装立板7的前部且所述吸气端子10伸出的部分水平设置。

在一种实施例中，所述吸气端子10的数量为两个，两个所述吸气端子10的后部共同连接至位于所述安装立板7的后方的抽气管11上。两个吸气端子10可左右平衡吸附晶片，保持晶片被稳定吸附。

在一种实施例中，所述装配基座1的一侧设置有X射线发射器12，所述装配基座1的另一侧设置有X射线接收器13。

在一种实施例中，所述X射线接收器13安装在所述旋转台4上，所述X射线接收器13包括底座14和可转动设置在所述底座14上的接收器本体15。将X射线接收器13直接安装在所述旋转台4跟随旋转台4一起转动，可以简化X射线接收器13的安装，X射线接收器13的接收器本体15可以通过转动调节具体合适的角度以和X射线发射器12与晶片一起进行配合。

在一种实施例中，所述X射线发射器12的前部设置有遮光组件，所述遮光组件包括具有穿孔的固定板17和滑动设置在所述穿孔中的升降板18，所述升降板18的底部和所述固定板17的底部之间均设置有磁铁。遮光组件用于在不使用时遮挡X射线发射器12的镜头避免污染，另外，在误开机而没进行测试时也可以起到安全防护的作用。磁铁可以辅助令升降板18吸附在固定板17上令升降板18呈打开不遮挡X射线发射器12的状态，另外，只需要手动推拉即可实现升降板18的强制上下移动。

在本实用新型中，装配基座1的后部设置有人机界面控制系统，装配基座1的上方还设置有保护隔离罩子。检测时，将待检测产品晶片使用专用的夹具或手动取放到载台9上并被吸气端子10吸住固定，驱动直驱电机3进行旋转，通过X射线发射器12和X射线接收器13的配合使用对晶片进行检测。使用本实用新型检验石英晶片角度的检验时间可缩短1/3，杜绝了角度不良的晶片流入下工序。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (6)

1.一种晶片检测旋转机构，其特征在于，包括装配基座(1)、设置在所述装配基座(1)的中部的安装座(2)和设置在所述安装座(2)上的直驱电机(3)，所述直驱电机(3)包括旋转台(4)，所述旋转台(4)上设置有与晶片相配合的定位组件(5)，所述定位组件(5)包括升降座(6)和位于所述升降座(6)的后部的安装立板(7)，所述升降座(6)包括升降轴(8)和设置在所述升降轴(8)上的载台(9)，所述安装立板(7)在所述载台(9)的上方位置设置有吸气端子(10)。

2.根据权利要求1所述的晶片检测旋转机构，其特征在于：所述吸气端子(10)伸出所述安装立板(7)的前部且所述吸气端子(10)伸出的部分水平设置。

3.根据权利要求1所述的晶片检测旋转机构，其特征在于：所述吸气端子(10)的数量为两个，两个所述吸气端子(10)的后部共同连接至位于所述安装立板(7)的后方的抽气管(11)上。

4.根据权利要求1所述的晶片检测旋转机构，其特征在于：所述装配基座(1)的一侧设置有X射线发射器(12)，所述装配基座(1)的另一侧设置有X射线接收器(13)。

5.根据权利要求4所述的晶片检测旋转机构，其特征在于：所述X射线接收器(13)安装在所述旋转台(4)上，所述X射线接收器(13)包括底座(14)和可转动设置在所述底座(14)上的接收器本体(15)。

6.根据权利要求4所述的晶片检测旋转机构，其特征在于：所述X射线发射器(12)的前部设置有遮光组件，所述遮光组件包括具有穿孔的固定板(17)和滑动设置在所述穿孔中的升降板(18)，所述升降板(18)的底部和所述固定板(17)的底部之间均设置有磁铁。