CN205067532U - 一种探针台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，所述探针台主体上开设有圆槽，所述探针卡放置台设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。本实用新型的探针卡放置台在升降控制装置的作用下，在探针台主体内部进行升降运动，升起后可进行取放探针卡操作，使探针卡具有更大的接触空间，方便快捷地取放探针卡，下降后将放置好的探针卡固定在探针卡放置台上表面和圆槽内，便于对探针卡进行正常的测试。本实用新型节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放探针卡的有益效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种探针台，应用于微电子技术领域。
背景技术
微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术中，半导体硅片在完成所有制程工艺后，需要针对硅片上的各种测试结构进行电性测试，即晶片允收测试(WAT测试，WaferAcceptanceTest)。通过对WAT数据的分析，可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助制程工艺进行调整。
通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作显得非常重要。具体地，探针卡用于对晶圆进行晶片允收测试，通常包括PCB基板、PCB线路和探针，所述PCB基板上设置有PCB线路和探针，所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板的两个面上，所述PCB基板上设置有固定孔，所述固定孔与探针台上的固定件相对应。在测试时，探针卡通过固定件固定放置在探针台上，PCB线路面朝上，与周边测试仪器连接，探针面朝下，与晶圆上的集成电路接触连接，共同构成晶片允收测试的电路。
现有技术的探针台向下凹陷，形成与探针卡相对应的圆槽，即探针卡放置区域。为了方便取放探针卡，在圆槽边缘上设置有凹槽，同时，在圆槽底部设置有凸起的固定点，用于固定探针卡。由于凹槽的深度与探针卡的厚度相同，同时探针卡表面没有把手或其他着力点，使得探针卡的取放非常不方便，还容易将置于探针卡及探针台之间的防漏电纸连带取出，需要花费大量时间和精力重新放置，也可能造成防漏电纸被撕坏，导致更多的颗粒污染。而且，在将探针卡通过固定点固定时，只能通过凹槽调节位置，非常不便。采用现有技术，在取放探针卡时需要花费大量的时间和精力，工作效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种能够快速、便捷取放探针卡的探针台。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案予以实现：一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，所述探针台主体上开设有圆槽，所述探针卡放置台设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。优选的，所述升降控制装置采用电气控制装置。
进一步的，所述探针卡放置台底部通过电气控制杆与电气控制装置连接。
进一步的，所述电气控制杆贯穿所述圆槽底部的探针台主体。
优选的，所述探针卡放置台的边缘开设有开口向外的开口槽，所述开口槽贯穿探针卡放置台。
进一步的，所述开口槽为对称设置的两组。
优选的，所述探针卡放置台上设置有与探针卡对应的固定件。
进一步的，所述固定件采用凸起结构，所述凸起结构与探针卡上的固定孔相对应。
优选的，所述探针卡放置台的直径等于探针卡的直径。
与现有技术相比，本实用新型将现有的探针台分离为探针卡放置台和探针台主体，探针卡放置台在升降控制装置的作用下，在探针台主体内部进行升降运动，升起后可进行取放探针卡操作，使探针卡具有更大的接触空间，方便快捷地取放探针卡，下降后将放置好的探针卡固定在探针卡放置台上表面和圆槽内，便于对探针卡进行正常的测试。因此，本实用新型节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放探针卡，提高工作效率的有益效果。
附图说明
图1是本实用新型一实施例中探针台的俯视示意图；
图2是本实用新型一实施例中探针台的主视示意图；
图3是本实用新型一实施例中探针台的结构示意图。
图中所示：10、探针台主体；20、探针卡放置台；21、固定件；22、开口槽；30、贯穿孔。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作详细描述：
如图1至图3所示，本实用新型的探针台，包括探针台主体10和探针卡放置台20，其中，所述探针台主体10上开设有圆槽，所述探针卡放置台20设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台20中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔30，所述探针卡放置台20底部连接升降控制装置。
本实用新型的探针台将现有的探针台分离为探针卡放置台20和探针台主体10，探针卡放置台20在升降控制装置的作用下，在探针台主体10内部进行升降运动，升起后可进行取放探针卡操作，使探针卡具有更大的接触空间，方便快捷地取放探针卡，下降后将放置好的探针卡固定在探针卡放置台20上表面和圆槽内，便于对探针卡进行正常的测试。所述探针卡放置台20和探针台主体10中央均开设有贯穿孔30，放置晶圆的装置可以通过贯穿孔30到达探针卡探针的位置，使探针和晶圆接触连接测试。
采用上述技术，所述探针卡放置台20放置在所述圆槽底部且与圆槽内壁共同容置探针卡，通过探针台主体10支撑探针卡放置台20，保证探针台主体10和探针卡放置台20相对位置稳定。
较佳的，所述升降控制装置采用电气控制装置。所述探针卡放置台20底部通过电气控制杆与电气控制装置连接。所述电气控制杆贯穿所述圆槽底部的探针台主体10。
采用上述技术，通过电气控制装置控制探针台主体10的移动和探针卡放置台20的升降，结构简单，节省空间，同时控制精度高，运动平稳。通过电气控制杆一端连接电气控制装置的气缸，另一端贯穿探针台主体10底部后连接探针卡放置台20，运动平稳安全，精确控制。
较佳的，所述探针卡放置台20的边缘开设有开口向外的开口槽22，所述开口槽22贯穿探针卡放置台20。所述开口槽22为对称设置的两组。
采用上述技术，在探针卡放置台20的边缘开设有开口向外的开口槽22，可以通过开口槽22接触探针卡的下表面，增加探针卡的接触部位和接触面积，便于取放操作。
较佳的，所述探针卡放置台20上设置有与探针卡对应的固定件21。所述固定件21采用凸起结构，所述凸起结构与探针卡上的固定孔相对应。
采用上述技术，通过凸起结构插入探针卡的固定孔，将探针卡固定在探针卡放置台20上。
参照图1至图3所示，下面将详细说明本实用新型的工作过程：
开始时，本实用新型的探针卡放置台20位于探针台主体10内部，初始高度为H0，此时探针卡放置台20上表面距离探针台主体10上表面的高度为探针卡的厚度，即探针卡放置台20的上表面和探针台主体10的圆槽内壁形成的槽形空间刚好容纳探针卡。
然后，在升降控制装置的作用下，将探针卡放置台20上升至高度H1，将探针卡移动到探针卡放置台20位置，对准探针卡放置台20上的固定件21放下，使探针卡固定在探针卡放置台20上。放置操作完成后，将探针卡放置台20下降至高度H0，使探针卡落入探针卡放置台20的上表面和探针台主体10的圆槽内，探针卡的放置过程完成。
同样的，在升降控制装置的作用下，将探针卡放置台20上升至高度H1，取下探针卡后，进行更换新的探针卡，探针卡的取换过程完成。
在探针卡固定放置好后，移动探针台主体10，使探针卡的下表面的探针与待测试晶圆接触连接，探针卡上表面的PCB线路与周边测试仪器连接，即可实现对待测试晶圆的晶片允收测试。
Claims (9)
1.一种探针台，其特征在于，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，所述探针台主体上开设有圆槽，所述探针卡放置台设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。
2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述升降控制装置采用电气控制装置。
3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述探针卡放置台底部通过电气控制杆与电气控制装置连接。
4.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于，所述电气控制杆贯穿所述圆槽底部的探针台主体。
5.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针卡放置台的边缘开设有开口向外的开口槽，所述开口槽贯穿探针卡放置台。
6.根据权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述开口槽为对称设置的两组。
7.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针卡放置台上设置有与探针卡对应的固定件。
8.根据权利要求7所述的探针台，其特征在于，所述固定件采用凸起结构，所述凸起结构与探针卡上的固定孔相对应。
9.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述探针卡放置台的直径等于探针卡的直径。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201520828827.1U CN205067532U (zh) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | 一种探针台 |
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Publications (1)
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Family
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN205067532U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106569116A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-04-19 | 河南大学 | 一种探针台及低温测试系统 |
| CN110672888A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-10 | 亳州文青测量技术有限公司 | 一种电子器件的固定及测试装置 |
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2015
- 2015-10-23 CN CN201520828827.1U patent/CN205067532U/zh active Active
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| CN106569116B (zh) * | 2016-10-10 | 2019-05-24 | 河南大学 | 一种探针台及低温测试系统 |
| CN110672888A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-01-10 | 亳州文青测量技术有限公司 | 一种电子器件的固定及测试装置 |
| CN110672888B (zh) * | 2019-10-22 | 2021-07-30 | 芜湖易迅生产力促进中心有限责任公司 | 一种电子器件的固定及测试装置 |
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