CN212412010U - 一种便于放置探针卡的三维探针台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便于放置探针卡的三维探针台，包括三维探针台主体和探针卡安装台，所述三维探针台主体上设有凹槽，所述凹槽内还设有工件放置槽；所述探针卡安装台包括基台，所述基台上设有圆形凹槽，圆形凹槽内设有通孔，所述通孔内安装有轴承，轴承上安装有蜗轮，所述蜗轮上安装有转盘，所述转盘上设有方形探针卡放置台，转盘上设有定位杆穿过方形探针卡放置台；所述三维探针台主体内还安装有气缸，所述气缸的活塞杆与基台连接。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆测试的技术领域，具体涉及一种便于放置探针卡的三维探针台。
背景技术
在晶圆制作完成以后，需要对其功能进行测试，探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，通过探针卡的探针和晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动测量的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作非常重要。探针卡通常包括PCB基板、PCB线路和探针,所述PCB基板上设置有PCB线路和探针,所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板的两个面上，所述PCB基板上设置有固定孔，所述固定孔与探针台上的固定件相对应。在测试时,探针卡通.过固定件固定放置在探针台上,PCB线路面朝上,与周边测试仪器连接,探针面朝下，与晶圆.上的集成电路接触连接,共同构成晶片允收测试的电路。
现有技术的探针台向下凹陷，形成与探针卡相对应的凹槽作为探针卡放置区域。由于凹槽的深度与探针卡的厚度相同，而探针卡表面没有把手以及其他着力点，使得探针卡的拿取很不方便，需要花费很长的时间，还容易破坏探针卡与探针台之间的防漏电纸。同时，探针卡一旦放进凹槽，就很难调节探针位置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于放置探针卡的探针台，以解决上述技术背景中提出的问题。
为解决上述问题，本实用新型提供如下技术方案：一种便于放置探针卡的三维探针台，包括三维探针台主体和探针卡安装台，所述三维探针台主体上设有凹槽，所述凹槽内还设有工件放置槽；所述探针卡安装台包括基台，所述基台上设有圆形凹槽，圆形凹槽内设有通孔，所述通孔内安装有轴承，轴承上安装有蜗轮，所述蜗轮上安装有转盘，所述转盘上设有方形探针卡放置台，转盘上设有定位杆穿过方形探针卡放置台；所述三维探针台主体内还安装有气缸，所述气缸的活塞杆与基台连接；
优选的，所述所述基台上还安装有与蜗轮相啮合的蜗杆。
优选的，所述蜗杆端部设有微调旋钮。
优选的，所述基台一侧设置有锁紧旋钮。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型将现有的探针台分成三维探针台主体和探针卡安装台，通过升降装置控制探针卡安装台的位置，放置探针卡时将探针卡安装台升起，使得探针卡与探针卡安装台有更大的接触空间，便于放置，提高了测试效率。同时，通过相互啮合的蜗轮和蜗杆对探针卡的探针位置进行调整，提高测试精度，从而提高晶圆测试的效率。
附图说明
图1为三维探针台结构示意图；
图2为探针卡安装台俯视图；
图3为蜗轮和蜗杆结构示意图。
图中：1气缸、2三维探针台主体、3凹槽、4探针卡安装台、5定位杆、6贯穿孔、7蜗杆、8锁紧旋钮、9微调旋钮、10蜗轮、11基台、12转盘、13方形探针卡放置台、14圆形凹槽、15工件放置槽、16轴承。
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有创造性成果的前提下获得的其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图所示，本实用新型提供一种技术方案：一种便于放置探针卡的三维探针台，包括三维探针台主体2和探针卡安装台4，所述三维探针台主体2上设有凹槽3，所述凹槽3内还设有放置待测晶圆的工件放置槽15；所述探针卡安装台4包括基台11，所述基台11上设有圆形凹槽14，圆形凹槽14内设有通孔6，所述通孔6内安装有轴承16，轴承16上安装有蜗轮10，所述蜗轮10上安装有转盘12，所述转盘12上设有方形探针卡放置台13，转盘12上设有与探针卡定位孔对应的定位杆5穿过方形探针卡放置台13，定位杆5用于固定方形探针卡放置台13和探针卡。
所述三维探针台主体2内还安装有利用电气控制的气缸1，所述气缸1的活塞杆与基台11连接，通过气缸1控制基台11的升降，所述所述基台11上还安装有与蜗轮10相啮合的蜗杆7，通过蜗杆7可使蜗轮10转动从而带动转盘12转动，通过蜗杆7端部的微调旋钮可精确调节探针卡的探针的位置，并通过基台11上设有的锁紧旋钮8将蜗杆7锁紧固定。
所述蜗轮10、转盘12和方形探针卡放置台13上还设有与通孔6同轴且半径相同的通孔，使得探针卡的探针能够穿过通孔与待测晶圆接触。
本实用新型在工作时利用气缸1将探针卡安装台4升起到三维探针台主体2的上方，将探针卡放置在探针卡放置台13上，使得探针卡的定位孔与转盘12上的定位杆5对应，将探针卡固定，通过蜗杆7带动蜗轮10转动使转盘12转动，将探针卡的探针调整到合适的位置；
通过气缸1将探针卡安装台4降下，使探针卡安装台4进入凹槽3，通过微调旋钮9将探针卡的探针调整到准确位置后，通过基台11一侧的锁紧旋钮8进行锁紧固定，探针卡放置完成。探针卡的探针与放置在工件放置槽15内待测晶圆接触连接，探针卡表面的线路与相应的测试仪器连接，即可实现对待测晶圆的晶片允收测试。
虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述，但是本实用新型的发明思想并不限于此实用新型，任何运用本实用新型思想的改进，都将纳入本专利专利权利的保护范围内。
Claims (5)
1.一种便于放置探针卡的三维探针台，包括三维探针台主体(2)和探针卡安装台(4)，其特征在于：所述三维探针台主体(2)上设有凹槽(3)，所述凹槽(3)内还设有工件放置槽(15)；
所述探针卡安装台(4)包括基台(11)，所述基台(11)上设有圆形凹槽(14)，圆形凹槽(14)内设有通孔(6)，所述通孔(6)内安装有轴承(16)，轴承(16)上安装有蜗轮(10)，所述蜗轮(10)上安装有转盘(12)，所述转盘(12)上设有方形探针卡放置台(13)，转盘(12)上设有定位杆(5)穿过方形探针卡放置台(13)；所述三维探针台主体(2)内还安装有气缸(1)，所述气缸(1)的活塞杆与基台(11)连接。
2.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针台，其特征在于：所述基台(11)上还安装有与蜗轮(10)相啮合的蜗杆(7)。
3.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针台，其特征在于：所述蜗轮(10)、转盘(12)和方形探针卡放置台(13)上还设有与通孔(6)同轴且半径相同的通孔。
4.根据权利要求2所述的一种便于放置探针卡的三维探针台，其特征在于：所述蜗杆(7)端部设有微调旋钮(9)。
5.根据权利要求1所述的一种便于放置探针卡的三维探针台，其特征在于：所述基台(11)一侧设置有锁紧旋钮(8)。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021180254.3U CN212412010U (zh) | 2020-06-23 | 2020-06-23 | 一种便于放置探针卡的三维探针台 |
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Publications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
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2020
- 2020-06-23 CN CN202021180254.3U patent/CN212412010U/zh active Active
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