CN219179251U - 一种基于图像识别的芯片搬运检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，涉及芯片检测的技术领域，包括：机架；输送组件，安装在机架上；输送组件的一端设有托盘的检测位；搬运组件，与机架相邻放置，包括第一机械臂和第二机械臂；检测机构，包括光源组件、CCD相机、托盘检测件、升降模组；光源组件、CCD相机安装在机架上且正对输送组件上的检测位；托盘检测件位于光源组件的下方；CCD相机位于光源组件的正上方；升降模组能够带动托盘检测件升降；检测机构能够检测托盘内IC(芯片）品质及数量是否符合要求，同时能够检测泰维克纸张是否放置及是否放置到位，从而有效保证产品质量，借助输送组件和搬运组件降低操作人员的操作强度，提高生产自动化程度，节省人力。

Description

一种基于图像识别的芯片搬运检测装置

技术领域

本实用新型涉及芯片检测的技术领域，尤其涉及一种基于图像识别的芯片搬运检测装置。

背景技术

目前现有技术中，每片晶圆经过Dicing(晶圆切割)后会被分割成一颗颗IC(芯片），后续流程中会用机械手臂将IC(芯片）拾取到托盘中，托盘中会有比IC(芯片）大小略大的晶穴来承载IC(芯片）；在随后的包装出货工序的前面，会将多个盛满IC(芯片）的托盘逐一摞起，并在最上方加上空Tray盘。每个托盘中间会放一张相应尺寸的方形泰维克纸张，放置泰维克纸张的作用有：1.用来消除IC(芯片）在运输过程中产生的静电，防止IC(芯片）被击穿而损坏；2.防止IC(芯片）在运输过程中侧翻或者搭边，造成后续IC(芯片）上面板时无法作业。

但目前泰维克纸张为人员手动放置，容易遗忘，漏放泰维克纸张也会造成IC(芯片）有上述异常。

实用新型内容

本实用新型要解决的主要技术问题是：提供一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，能够解决上述背景技术提到的问题。

为了解决上述的主要技术问题采取以下技术方案实现：

一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，包括：

机架，用于支撑和安装各部件；

输送组件，安装在机架上，用于来回移动盛放芯片的托盘；所述输送组件的一端设有托盘的检测位；

搬运组件，与机架相邻放置，包括用于吸附移动泰维克纸的第一机械臂和将托盘放置在输送组件上的第二机械臂；

检测机构，包括光源组件、CCD相机、托盘检测件、升降模组；所述光源组件、CCD相机安装在机架上且正对输送组件上的检测位；所述托盘检测件位于光源组件的下方；所述CCD相机位于光源组件的正上方；所述升降模组能够带动托盘检测件升降。

优选地，所述输送组件包括直线滑轨、滑板、限位组件；所述滑板能够沿着直线滑轨滑动，并移动至检测位；所述限位组件位于滑板上且能够抑制托盘从滑板上滑动。

优选地，所述限位组件包括两个，且分别位于托盘的相对两侧；所述限位组件包括升降杆、连接臂和抵在托盘侧面的滚动球；所述升降杆能够带动连接臂升降；所述滚动球有多个且安装在连接臂上。

优选地，所述第一机械臂包括吸盘；所述第二机械臂的夹爪头包括能够相互靠近的左夹爪和右夹爪；所述左夹爪和右夹爪均包括第一夹片、第二夹片、夹爪丝杆；所述第一夹片为L形；所述夹爪丝杆连接在第一夹片上且能够带动第二夹片靠近或者远离第一夹片的水平部。

优选地，所述光源组件包括同轴光源和无影环光源；所述同轴光源位于无影环光源的正上方；所述机架上设有支撑板；所述光源组件和CCD相机安装在支撑板上；所述托盘检测件为托盘传感器；所述托盘传感器与升降模组相连，且在支撑板上开设有孔槽，以便托盘传感器沿着支撑板升降，以靠近或者远离光源组件。

优选地，在所述机架上还安装有显示器和触摸屏；所述触摸屏内设有控制系统；所述控制系统能够控制各部件动作，且在检测不合格时发出报警同时抑制各部件动作。

与现有技术相比，本实用新型具备下列优点：

（1）检测机构能够检测托盘内IC(芯片）品质及数量是否符合要求，同时能够检测泰维克纸张是否放置及是否放置到位，从而有效保证产品质量。

（2）借助输送组件和搬运组件降低操作人员的操作强度，提高生产自动化程度，节省人力。

（3）两个限位组件和第二机械臂的夹爪头配合使用，能够保证托盘位置的精准，从而提高整个检测过程的流畅度，避免被频繁报警停工。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为托盘的结构示意图；

图2为整体结构示意图；

图3为检测机构的安装位置示意图；

图4为输送组件的放大结构示意图；

图5为图4中局部放大结构示意图；

图6为第二机械臂的夹爪头的放大结构示意图。

图中：1为托盘，2为机架，21为支撑板，3为输送组件，31为直线滑轨，32为滑板，33为限位组件，331为升降杆，332为连接臂，333为滚动球，4为搬运组件，41为第一机械臂，411为吸盘，42为第二机械臂，421为第一夹片，422为第二夹片，423为夹爪丝杆，5为检测机构，51为CCD相机，52为托盘检测件，53为升降模组，54为同轴光源，55为无影环光源，6为显示器，7为触摸屏。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。另外，文中所提到的所有连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。

实施例一、

请参阅图1-6所示，一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，包括机架2、输送组件3、搬运组件4和检测机构5。

机架2用于支撑和安装各部件，输送组件3安装在机架2的台面板上，用于来回移动盛放芯片的托盘1；所述输送组件3包括直线滑轨31、滑板32、限位组件33；所述滑板32用于放置托盘1，滑板32能够在直线滑轨31的运动下来回移动；直线滑轨31的一端是托盘1的检测位；所述限位组件33位于滑板32上且能够抑制托盘1从滑板32上滑动；所述限位组件33包括两个，且分别位于托盘1的前后两侧，即两个限位组件33的连线与滑板32的移动方向一致；所述限位组件33包括升降杆331、连接臂332和抵在托盘1侧面的滚动球333；所述升降杆331安装在滑板32上，且能够带动连接臂332和滚动球333上下穿行过滑板32；所述连接臂332安装在升降杆331的移动部上，多个所述滚动球333逐个安装在连接臂332上，滚动球333能够相对连接臂332升降；当一个托盘1放置在滑板32上，两个限位组件33的滚动球333抵在托盘1上，抑制托盘1相对滑板32滑动；当多个托盘1放置在滑板32上，滚动球333在升降杆331的作用下上下，从而抵在多个托盘1上，以便抑制多个托盘1相对滑板32移动；两个限位组件33的使用能够保证托盘1的稳定，滚动球333的滚动能够降低滚动球333上行时与托盘1侧面的摩擦。

搬运组件4，与机架2相邻放置，包括用于吸附移动泰维克纸的第一机械臂41和将托盘1放置在输送组件3上的第二机械臂42；第一机械臂41的头部是吸盘411，吸盘411用于吸附泰维克纸，并将泰维克纸从指定位置移动至另一设定位置，具体的结构可以参考现有技术；所述第二机械臂42的夹爪头包括能够相互靠近的左夹爪和右夹爪；左夹爪和右夹爪相互靠近后能够夹住托盘1的前后两侧，并在第二机械臂42的作用下将托盘1移动至滑板32上；所述左夹爪和右夹爪均包括第一夹片421、第二夹片422、夹爪丝杆423；所述第一夹片421为L形；所述夹爪丝杆423连接在第一夹片421上且能够带动第二夹片422靠近或者远离第一夹片421的水平部，第一夹片421和第二夹片422配合使用，从而既能够夹住一个托盘1，也能将多个堆叠放置的托盘1进行夹持；在输送组件3和搬运组件4的共同作用下，盛满产品的托盘1被第二机械臂42送至滑板32上，输送组件3将其送至检测位进行第一次IC（芯片）品质和数量的检测，第一次检测完毕后，托盘1被输送组件3在送至初始位，然后第一机械臂41将泰维克纸盖在托盘1表面，输送组件3将放置好泰维克纸的托盘1再次送至检测位进行泰维克纸是否放置到位的检测；第二个托盘1被第二机械臂42送至滑板32上，限位组件33上行一个托盘1的距离，从而将两个托盘1进行限位，然后再由输送组件3送至检测位进行第二个托盘1的检测，依次重复，直至第5个（可根据实际生产需要进行数量调整）托盘1被检测完毕，第二机械臂42将5个堆叠的托盘1从滑板32的初始位，移动至远离输送组件3的指定位置，完成第一组托盘1的检测。

检测机构5，包括光源组件、CCD相机51、托盘检测件52、升降模组53；所述光源组件、CCD相机51安装在机架2上且正对输送组件3上的检测位；所述CCD相机51位于光源组件的正上方；所述光源组件包括同轴光源54和无影环光源55；所述同轴光源54位于无影环光源55的正上方；CCD相机51能够拍摄位于检测位的托盘1，并依托算法分析泰维克纸是否放置到位；同轴光源54和结构和无影环光源55的结构参考现有技术即可；所述托盘检测件52位于光源组件的下方；所述托盘检测件52为托盘传感器；所述升降模组53能够带动托盘检测件52升降；具体的，在所述机架2上设有支撑板21，所述光源组件和CCD相机51安装在支撑板21上；所述支撑板21上开设有孔槽，所述升降模组53安装在机架2上且位于支撑板21和机架2之间；所述托盘传感器安装在升降模组53的移动部位；托盘传感器移动时能够沿着孔槽移动，从而避免干涉；托盘传感器的结构参考现有技术；托盘传感器单次升降的高度也为一个托盘1的高度。

实施例二、

请参阅图1-6，实施例二与实施例一之间的区别在于在保留实施例一的基础上，在所述机架2上还安装有显示器6和触摸屏7；所述触摸屏7内设有控制系统；所述控制系统能够控制输送组件3、搬运组件4、检测组件动作，且在检测不合格时发出报警同时抑制各部件动作，显示器6能够显示报警内容。

本实用新型的工作过程为：使用时，盛满产品的第一个托盘1被第二机械臂42送至滑板32上，滚动球333上行抵住此托盘1，输送组件3将其送至检测位进行第一次IC（芯片）品质和数量的检测，第一次检测合格后，托盘1被输送组件3反向返回至初始位，然后第一机械臂41将泰维克纸盖在托盘1表面，输送组件3将放置好泰维克纸的托盘1再次送至检测位进行泰维克纸是否放置到位的检测，完成第一个托盘1的检测；第二个托盘1被第二机械臂42送至第一个托盘1上方，滚动球333上行一个托盘1的距离，从而将两个托盘1进行限位，然后再由输送组件3送至检测位进行第二个托盘1的检测，依次重复，直至第5个（可根据实际生产需要进行数量调整）托盘1被检测完毕，此时第二机械臂42将5个堆叠的托盘1从滑板32的初始位，移动至远离输送组件3的指定位置，托盘检测件52下降至初始位置，完成第一组托盘1的检测。

需要说明的是，本实用新型中的“上、下、左、右、内、外”是以图中零部

件的相对位置为基准定义的，只是为了描述技术方案的清楚及方便，应当理解，此方位词的应用对本申请的保护范围不构成限制。

以上所述的实施方式均为优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，依然可以对前述实施所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特性进行等同替换，凡在本实用新型精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，其特征在于：包括：

机架，用于支撑和安装各部件；

输送组件，安装在机架上，用于来回移动盛放芯片的托盘；所述输送组件的一端设有托盘的检测位；

搬运组件，与机架相邻放置，包括用于吸附移动泰维克纸的第一机械臂和将托盘放置在输送组件上的第二机械臂；

检测机构，包括光源组件、CCD相机、托盘检测件、升降模组；所述光源组件、CCD相机安装在机架上且正对输送组件上的检测位；所述托盘检测件位于光源组件的下方；所述CCD相机位于光源组件的正上方；所述升降模组能够带动托盘检测件升降。

2.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，其特征在于，所述输送组件包括直线滑轨、滑板、限位组件；所述滑板能够沿着直线滑轨滑动，并移动至检测位；所述限位组件位于滑板上且能够抑制托盘从滑板上滑动。

3.根据权利要求2所述的一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，其特征在于，所述限位组件包括两个，且分别位于托盘的相对两侧；所述限位组件包括升降杆、连接臂和抵在托盘侧面的滚动球；所述升降杆能够带动连接臂升降；所述滚动球有多个且安装在连接臂上。

4.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，其特征在于，所述第一机械臂包括吸盘；所述第二机械臂的夹爪头包括能够相互靠近的左夹爪和右夹爪；所述左夹爪和右夹爪均包括第一夹片、第二夹片、夹爪丝杆；所述第一夹片为L形；所述夹爪丝杆连接在第一夹片上且能够带动第二夹片靠近或者远离第一夹片的水平部。

5.根据权利要求1所述的一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，其特征在于，所述光源组件包括同轴光源和无影环光源；所述同轴光源位于无影环光源的正上方；所述机架上设有支撑板；所述光源组件和CCD相机安装在支撑板上；所述托盘检测件为托盘传感器；所述托盘传感器与升降模组相连，且在支撑板上开设有孔槽，以便托盘传感器沿着支撑板升降，以靠近或者远离光源组件。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种基于图像识别的芯片搬运检测装置，其特征在于，在所述机架上还安装有显示器和触摸屏；所述触摸屏内设有控制系统；所述控制系统能够控制各部件动作，且在检测不合格时发出报警同时抑制各部件动作。

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