CN219066789U - 一种推舟模组矫正装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种推舟模组矫正装置，包括：缓存支架和缓存底座，所述缓存底座可拆卸地安装于所述缓存支架上；所述缓存底座设置为两个，两个所述缓存底座相对设置，且两个相对设置的所述缓存底座将石英舟定位在所述缓存支架上；所述缓存底座相对的一侧分别设置有导向柱，两侧的所述导向柱相对倾斜设置，且所述导向柱由下向上逐渐向外倾斜，两侧的所述导向柱的斜面分别与石英舟的两个侧面相接触，用于引导石英舟下放过程中在x方向的位置调整。通过导向柱的斜面引导作用，能够实现机械手下降放石英舟过程中，导向柱调整石英舟在x方向上的位置，实现石英舟自动矫正，达到防止石英舟位置偏差异常的目的。

Description

一种推舟模组矫正装置

技术领域

本申请涉及太阳能电池设备技术领域，特别是涉及一种推舟模组矫正装置。

背景技术

扩散炉是太阳能电池的重要工艺设备之一，可用于太阳能电池制备的扩散、氧化、退火及烧结等工艺。

在低压扩散炉设备机械运行过程中，通过石英舟承载硅片。一般通过机械手取放石英舟，通过推舟模组调整石英舟的位置。取放石英舟允许的误差为2㎜，若出现偏差超过2㎜，那么机械手取放舟就会造成机械手撞舟或者蹲舟、坏舟等情况，由于现有的推舟模组稳定性差，导致石英舟在工艺前后位置容易产生误差，而现在推舟模组的缓存位设计没有矫正作用，在机械手取放舟过程中，石英舟的位置若出现偏差异常，将会导致异常停机、撞舟、蹲舟或坏舟，继而影响硅片品质和碎片。

实用新型内容

本申请提供了一种推舟模组矫正装置，可以在机械手取放舟过程中，有效自动矫正石英舟位置偏差异常，达到防止石英舟位置偏差异常的目的。

根据一些实施例，本申请提供了一种推舟模组矫正装置，包括：缓存支架和缓存底座，所述缓存底座可拆卸地安装于所述缓存支架上；所述缓存底座设置为两个，两个所述缓存底座相对设置，且两个相对设置的所述缓存底座将石英舟定位在所述缓存支架上；所述缓存底座相对的一侧分别设置有导向柱，所述缓存支架两侧的所述导向柱相对倾斜设置，且所述导向柱由下向上逐渐向外倾斜，两侧的所述导向柱的斜面分别与石英舟的两个侧面相接触，用于引导所述石英舟下放过程中在x方向的位置调整。

在一种可能的实施方案中，所述缓存底座相对的一侧还分别设置有导向轮，所述导向轮沿y方向自转设置；所述导向轮的周面与石英舟的舟角相接触，用于引导石英舟下放过程中在y方向的位置调整。

在一种可能的实施方案中，所述缓存底座包括底板和侧板，所述底板水平设置，且可拆卸式的安装于所述缓存支架上；所述侧板的下端固定安装于所述底板上，所述导向柱和所述导向轮均安装于所述侧板的侧面上。

在一种可能的实施方案中，所述侧板包括竖直部和倾斜部，所述竖直部的下端固定连接于所述底板上，所述倾斜部连接于所述竖直部的上端，且两侧的所述倾斜部分别由下向上逐渐向外倾斜；所述导向轮转动设置于所述竖直部的侧面，所述导向柱设置于所述倾斜部的斜面。

在一种可能的实施方案中，所述导向轮设置为两个，两个所述导向轮分别位于所述竖直部的两侧边缘，且可分别与石英舟同一端部下的舟角相接触；所述导向柱设置为两根间隔设置并位于两个所述导向轮之间。

在一种可能的实施方案中，所述倾斜部的斜面上开设有插槽，所述插槽沿所述倾斜部的倾斜方向延伸，所述导向柱插设于所述插槽内且所述导向柱的至少部分露出所述插槽外。

在一种可能的实施方案中，所述插槽的上端延伸穿过所述倾斜部的上端面，所述插槽的下端穿过所述竖直部与所述倾斜部相交的位置且延伸至所述竖直部的侧面。

在一种可能的实施方案中，所述竖直部的侧面设置有轴承，所述轴承垂直于所述竖直部的侧面设置，所述导向轮套设于所述轴承上且转动设置。

在一种可能的实施方案中，所述底板的上表面设置有压力传感器，所述压力传感器与石英舟的底杆接触，用于检测石英舟下放时是否到达舟位。

在一种可能的实施方案中，所述导向柱的材质包括聚醚醚酮，所述导向轮的材质包括石英，所述底板的材质包括不锈钢。

本公开的实施例具有如下优点：

机械手在下降放舟过程中，石英舟的侧面接触导向柱的斜面，若石英舟的位置在x方向出现偏差时，通过相对设置的缓存底座上导向柱的斜面引导作用，能够使石英舟在x方向上进行调整，从而让石英舟落在缓存支架上的位置偏差在允许范围内，继而能够达到石英舟自动矫正，可有效避免因石英舟位置偏差异常所引起的蹲舟、坏舟隐患等问题，从而减少机台异常停机，降低损失。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请一个实施例中推舟模组矫正装置的结构示意图；

图2是本申请一个实施例中石英舟的结构示意图；

图3是本申请一个实施例中推舟模组矫正装置的正视图；

图4是本申请一个实施例中推舟模组矫正装置的侧视图；

图5是本申请一个实施例中推舟模组矫正装置的俯视图。

附图说明：1、缓存支架；2、缓存底座；21、底板；22、侧板；221、竖直部；222、倾斜部；2221、插槽；3、导向柱；4、导向轮；5、轴承；6、位置传感器；7、石英舟；71、侧面；72、舟角；73、底杆。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本申请进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本申请的范围。

以下结合附图对本实施例提供的一种推舟模组矫正装置进行详细说明，结合图1、图2所示，包括：缓存支架1和缓存底座2，缓存底座2设置为两个，两个缓存底座2相对间隔设置，且均可拆卸地安装于缓存支架1上，两个相对设置的缓存底座2将石英舟7定位在缓存支架1上；两个缓存底座2相对的一侧分别设置有导向柱3，缓存支架1两侧的导向柱3相对倾斜设置，且导向柱3由下向上逐渐向外倾斜，两侧的导向柱3的斜面分别与石英舟7的两个侧面71相接触，用于引导石英舟7下放过程中在x方向的位置调整。

将缓存底座2设置为可拆卸的安装于缓存支架1上，在初期调试缓存底座2安装于缓存支架1上的位置时，根据石英舟7经常下放的位置手动调整缓存底座2安装于缓存支架1上的位置，以此来提高缓存底座2与石英舟7下放位置的适配性。机械手在下降放舟过程中，石英舟7的两端侧面71分别接触到两个缓存底座2上的导向柱3斜面，通过斜面的引导作用来实现调整石英舟7在x方向的位置，也即调整石英舟7的左右位置。本装置应用在扩散炉机械手放舟过程中，能够有效自动矫正石英舟7的左右位置偏差异常，预防石英舟7因位置偏差异常造成蹲舟、坏舟隐患，减少机台异常停机，降低损失。

在本实施例中，需要说明的是，缓存底座2相对的一侧还分别设置有导向轮4，导向轮4沿y方向自转设置，位于同侧缓存底座2上的导向轮4设置为两个，两个导向轮4间隔设置，石英舟7在下放过程中舟脚72接触导向轮4的外周面，通过导向轮4的自转引导石英舟7下放过程中在y方向的位置调整，也即调整石英舟7的前后位置。

由此在机械手下降放舟的过程中，石英舟7的侧面71接触导向柱3的斜面，继而根据斜面的引导作用调整石英舟在x方向的位置，石英舟7的舟角72接触导向轮4的外周面继而根据导向轮4的自转作用调整石英舟7在y方向的位置。当石英舟7沿z方向下放的过程中在x方向上存在偏差时，通过两侧的导向柱3的引导作用，能够调整石英舟7在x方向的位置，从而维持在一个平衡的位置处；当石英舟7在y方向上存在偏差时，石英舟7的舟角72接触到导向轮4的外周面，在导向轮4的导向作用下石英舟7会调整y方向的位置，至石英舟7两侧的舟角72内侧抵接导向轮4，继而到达指定舟位，从而能够让石英舟7定位在缓存支架1上的位置偏差在允许范围内。

在本实施例中，还需要说明的是，缓存底座2可以包括底板21和侧板22，底板21水平设置，底板21可拆卸地安装于缓存支架1上。在一种可选的拆卸方式中，底板21采用不锈钢材质，并且可以在底板21上开设安装孔，缓存支架1上相应的位置处也开设安装孔，底板21在安装于缓存支架1上时通过安装孔的孔位进行底板21位置的确定，然后可以通过使用螺栓、螺母等组件对底板21和缓存支架1进行连接固定。优选的，缓存支架1上的安装孔可以开设多个，等间隔排成一排，由此底板21可以选择任意孔位进行安装。

结合图2-图5所示，在本实施例中，侧板22的下端固定安装于底板21的上表面，导向柱3和导向轮4均安装于侧板22的侧面上。侧板22包括竖直部221和倾斜部222，竖直部221的下端固定连接于底板21上，倾斜部222固定连接于竖直部221的上端，且两侧的倾斜部222分别由下向上逐渐向外倾斜。两个导向轮4可转动地设置于竖直部221的侧面上，且分别靠近竖直部221的两侧边缘位置处。导向柱3设置于倾斜部222的斜面上，导向柱3设置为两根且间隔设置并位于两个导向轮4之间，并且两根导向柱3对称设置且分别位于倾斜部222的斜面中部位置处的两侧。通过将侧板22分为竖直部221和倾斜部222两部分，竖直部221的至少部分用于与导向轮4对应，竖直部221的侧面设置为平面，在安装导向轮4时便于保证导向轮4的轴线垂直于竖直部221的侧面，从而能够让导向轮4保持水平；倾斜部222与导向柱3相对应，将倾斜部222设置由下向上逐渐向外倾斜，使得倾斜部222具有与导向柱3相同角度的斜面，导向柱3安装时可以贴合倾斜部222的斜面设置，安装更加稳定，并且采用两根导向柱3对称设置于倾斜部222的斜面上，可以提高石英舟7两端的受力平衡，方便校准舟位置。

在本实施例中，还需要说明的是，导向柱3设置为可拆卸式的安装于倾斜部222的斜面上，在一个可选的拆卸方式中，倾斜部222的斜面上开设有插槽2221，插槽2221沿倾斜部222的倾斜方向延伸，且插槽2221的下端穿过竖直部221与倾斜部222相交的位置延伸至竖直部221的侧面处，插槽2221的上端延伸穿过倾斜部222的上端面。导向柱3与插槽2221相适配，导向柱3从上往下插设于插槽2221内且导向柱3的至少部分露出插槽2221外。优选的，本实施例中采用将导向柱3的三分之二部分嵌在插槽2221中，三分之一部分外露，通过外露的斜面进行石英舟7在x方向的校正作用，采用此种安装方式，导向柱3在磨损后方便拆卸，并且在使用中也不会脱落。导向柱3可以通过摩擦力固定于插槽2221内，也可以与插槽2221卡接连接。

如图4所示，竖直部221的侧面设置有轴承5，轴承5垂直于竖直部221的侧面设置，导向轮4套设于轴承5上且转动设置。通过采用轴承5可以提高导向轮4的转动性和润滑性，避免因导向轮4转动卡顿，造成纠正y方向纠偏不及时，导致坏舟。

如图1、图2所示，在本实施例中，还需要说明的是，底板21的上表面还设置有压力传感器6，压力传感器6与石英舟7的底杆73接触，用于检测石英舟7下放时是否到达舟位。具体地，压力传感器6与控制机械手动作的控制器电连接，压力传感器6用于与石英舟7的底杆73接触，继而在石英舟7的重力作用下能够对压力传感器6施加压力，从而可以通过压力传感器6来判断石英舟7下放是否到达舟位。机械手下降放舟的过程中，压力传感器6的状态与机械手的动作相对应，若压力传感器6处于自然状态下时，机械手会持续运行放舟动作，等持续下放至石英舟7的底杆73压在压力传感器6一定程度时，压力传感器6感应到石英舟7下放到达舟位，则将该位置信号传递给控制器，控制器根据该信号控制机械手松开石英舟7，完成下放动作，同时在这个下降的过程中通过导向柱3和导向轮4进行位置偏差的调整。

在一个例子中，导向柱3的材质包括聚醚醚酮，此种材质耐高温，能够适应扩散炉石英舟出炉高温的情况，耐高温性能较好。导向轮4的材质包括石英，能够避免石英舟7与导向轮4因材质和硬度不同，造成单一物体磨损严重，使导向轮4的导向功能降低。

本实施例的实施原理：机械手下降放舟过程中，石英舟7的侧面71接触到导向柱3的斜面，通过斜面的引导作用调整石英舟7在x方向上的位置，石英舟7的舟角72接触到导向轮4，通过导向轮4的旋转实现石英舟在y方向上的位置调整，等机械手持续下放石英舟7至底杆73压在压力传感器6上时，压力传感器6感应到石英舟7下放到达舟位，此时传递信号给控制器，控制器控制机械手完成下放动作；因此该装置可用于在扩散炉设备机械运行中，防止石英舟7的位置出现偏差，以免造成机械手撞舟、蹲舟或者坏舟等情况，继而降低损失。

应当理解的是，本申请的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本申请的原理，而不构成对本申请的限制。因此，在不偏离本申请的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。此外，本申请所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (10)

1.一种推舟模组矫正装置，其特征在于，包括：

缓存支架(1)和缓存底座(2)，所述缓存底座(2)可拆卸地安装于所述缓存支架(1)上；

所述缓存底座(2)设置为两个，两个所述缓存底座(2)相对设置，且两个相对设置的所述缓存底座(2)将石英舟(7)定位在所述缓存支架(1)上；

所述缓存底座(2)相对的一侧分别设置有导向柱(3)，所述缓存支架(1)两侧的所述导向柱(3)相对倾斜设置，且所述导向柱(3)由下向上逐渐向外倾斜，两侧的所述导向柱(3)的斜面分别与所述石英舟(7)的两个侧面(71)相接触，用于引导所述石英舟(7)下放过程中在x方向的位置调整。

2.根据权利要求1所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述缓存底座(2)相对的一侧还分别设置有导向轮(4)，所述导向轮(4)沿y方向自转设置；所述导向轮(4)的周面与所述石英舟(7)的舟角(72)相接触，用于引导所述石英舟(7)下放过程中在y方向的位置调整。

3.根据权利要求2所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述缓存底座(2)包括底板(21)和侧板(22)，所述底板(21)水平设置，且可拆卸式的安装于所述缓存支架(1)上；所述侧板(22)的下端固定安装于所述底板(21)上，所述导向柱(3)和所述导向轮(4)均安装于所述侧板(22)的侧面。

4.根据权利要求3所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述侧板(22)包括竖直部(221)和倾斜部(222)，所述竖直部(221)的下端固定连接于所述底板(21)上，所述倾斜部(222)连接于所述竖直部(221)的上端，且两侧的所述倾斜部(222)分别由下向上逐渐向外倾斜；所述导向轮(4)可转动地设置于所述竖直部(221)的侧面，所述导向柱(3)设置于所述倾斜部(222)的斜面。

5.根据权利要求4所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述导向轮(4)设置为两个，两个所述导向轮(4)分别位于所述竖直部(221)的两侧边缘，且可分别与石英舟(7)同一端部下的舟角(72)相接触；所述导向柱(3)设置为两根且间隔设置并位于两个所述导向轮(4)之间。

6.根据权利要求4或者5所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述倾斜部(222)的斜面上开设有插槽(2221)，所述插槽(2221)沿所述倾斜部(222)的倾斜方向延伸，所述导向柱(3)插设于所述插槽(2221)内且所述导向柱(3)的至少部分露出所述插槽(2221)外。

7.根据权利要求6所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述插槽(2221)的上端延伸穿过所述倾斜部(222)的上端面，所述插槽(2221)的下端穿过所述竖直部(221)与所述倾斜部(222)相交的位置且延伸至所述竖直部(221)的侧面。

8.根据权利要求4或者5所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述竖直部(221)的侧面设置有轴承(5)，所述轴承(5)垂直于所述竖直部(221)的侧面设置，所述导向轮(4)套设于所述轴承(5)上且转动设置。

9.根据权利要求3所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述底板(21)的上表面设置有压力传感器(6)，所述压力传感器(6)与所述石英舟(7)的底杆(73)接触，用于检测石英舟(7)下放时是否到达舟位。

10.根据权利要求3所述的推舟模组矫正装置，其特征在于，所述导向柱(3)的材质包括聚醚醚酮，所述导向轮(4)的材质包括石英，所述底板(21)的材质包括不锈钢。

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