CN219040422U - 一种扩膜装置 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种扩膜装置，用于与晶圆环配合、进行晶圆膜的扩膜，晶圆环包括内环和外环，扩膜装置包括第一压紧板、第二压紧板、承接板和抵接板；第一压紧板的中部开设有贯穿其上下侧面的第一避让槽；第二压紧板转动设于第一压紧板的一侧，且第二压紧板上开设有贯穿其相对的两侧面的第二避让槽；第一压紧板和第二压紧板配合、以压紧晶圆膜；第一避让槽和第二避让槽相匹配；承接板沿上下方向滑动设于第一避让槽内；抵接板沿上下方向滑动设于承接板的上侧，且抵接板与承接板配合、压紧内环和外环；本装置可以自动进行扩膜，可以代替人工，并且扩膜效果良好。

Description

一种扩膜装置

技术领域

本申请涉及固晶技术领域，尤其涉及一种扩膜装置。

背景技术

在芯片的贴装工艺中，芯片物料(晶圆)需要置于晶圆膜如蓝膜的表面，晶圆膜在使用前需要进行扩膜，以便于后续将晶圆放在晶圆膜上，之后，将晶圆膜扣在晶圆环内，再放入对应的机台中进行芯片贴装；晶圆膜扩膜之后，膜的表面会比较紧绷，方便芯片从膜中脱离。

晶圆膜扩膜需要用到扩膜治具，然而，现有的扩膜治具自动化程度低，需要员工手动操作，而扩膜过程具有一定危险性，会危及员工的人身安全，并且，现有的扩膜治具无法维持扩膜后的膜的松紧度，这对芯片贴装工作的进行有一定影响。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种扩膜装置，本装置可以自动进行扩膜，可以代替人工，并且扩膜效果良好。

为此，本申请实施例提供了一种扩膜装置，用于与晶圆环配合、进行晶圆膜的扩膜，所述晶圆环包括内环和外环，所述扩膜装置包括第一压紧板、第二压紧板、承接板和抵接板；所述第一压紧板的中部开设有贯穿其上下侧面的第一避让槽；所述第二压紧板转动设于所述第一压紧板的一侧，且所述第二压紧板上开设有贯穿其相对的两侧面的第二避让槽；所述第一压紧板和所述第二压紧板配合、以压紧晶圆膜；所述第一避让槽和所述第二避让槽相匹配；所述承接板沿上下方向滑动设于所述第一避让槽内；所述抵接板沿上下方向滑动设于所述承接板的上侧，且所述抵接板与所述承接板配合、压紧所述内环和所述外环。

优选地，所述第一压紧板的上侧面且靠近于所述第一避让槽的位置向上凸起、以形成一凸环，所述凸环配置于与所述第二压紧板的下侧面相抵接。

优选地，所述承接板的侧缘设置有限位槽，所述内环安装于所述限位槽内。

优选地，所述扩膜装置还包括第一驱动件和第二驱动件；所述第一驱动件具有第一驱动轴，所述第一驱动轴与所述承接板可拆卸连接；所述第二驱动件具有第二驱动轴，所述第二驱动轴与所述抵接板可拆卸连接。

优选地，所述第一驱动件和/或所述第二驱动件包括驱动气缸、直线电机。

优选地，所述扩膜装置还包括第一按钮和第二按钮，所述第一按钮、所述第二按钮和所述第二驱动件之间的电连接方式为串联连接。

优选地，所述扩膜装置还包括上升控制按钮和下降控制按钮，所述上升控制按钮和所述下降控制按钮分别与所述第一驱动件电连接。

优选地，所述承接板的上侧面还设置有加热件。

优选地，所述扩膜装置还包括加热开关件，所述加热开关件与所述加热件电连接。

优选地，所述扩膜装置还包括控制面板和电源开关件，所述控制面板与所述电源开关件以及所述加热开关件电连接。

本申请提出了一种扩膜装置，与现有技术相比，其有益效果在于：

在进行晶圆膜的扩膜工作时，可将晶圆环的内环放置于承接板上对齐，并将晶圆膜盖在内环上，之后，将第二压紧板压在第一压紧板上，以将晶圆膜压紧，之后，承接板上升，带动内环上升，使晶圆膜紧绷、扩张，之后，将外环放置于晶圆膜上，抵接板下降，与承接板相配合，共同将内环和外环压紧，以此完成晶圆膜的扩膜；本装置可以自动进行扩膜，可以代替人工，并且扩膜效果良好。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。另外，在附图中，相同的部件使用相同的附图标记，且附图并未按照实际的比例绘制。

图1是本申请一实施例的扩膜装置的结构示意图；

图2是图1中A区域的放大图；

附图标记说明：

1、第一压紧板；11、第一避让槽；12、凸环；2、第二压紧板；21、第二避让槽；3、承接板；31、限位槽；4、抵接板；5、第二驱动件；6、机座；61、第一按钮；62、第二按钮；63、上升控制按钮；64、下降控制按钮；65、加热开关件；66、控制面板；67、电源开关件。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图1-图2中所示出，本申请实施例提出了一种扩膜装置，用于与晶圆环配合、进行晶圆膜的扩膜，晶圆环(附图中未示出)包括内环和外环，扩膜装置包括第一压紧板1、第二压紧板2、承接板3和抵接板4；第一压紧板1的中部开设有贯穿其上下侧面的第一避让槽11；第二压紧板2转动设于第一压紧板1的一侧，且第二压紧板2上开设有贯穿其相对的两侧面的第二避让槽21；第一压紧板1和第二压紧板2配合、以压紧晶圆膜；第一避让槽11和第二避让槽21相匹配；承接板3沿上下方向滑动设于第一避让槽11内；抵接板4沿上下方向滑动设于承接板3的上侧，且抵接板4与承接板3配合、压紧内环和外环。

基于上述技术方案，在进行晶圆膜的扩膜工作时，可将晶圆环的内环放置于承接板3上对齐，并将晶圆膜盖在内环上，之后，将第二压紧板2压在第一压紧板1上，以将晶圆膜压紧，之后，承接板3上升，带动内环上升，使晶圆膜紧绷、扩张，之后，将外环放置于晶圆膜上，抵接板4下降，与承接板3相配合，共同将内环和外环压紧，以此完成晶圆膜的扩膜；本装置可以自动进行扩膜，可以代替人工，并且扩膜效果良好。

在第一压紧板1和第二压紧板2压紧晶圆膜时，晶圆膜会贴着第二避让槽21的下缘，为了使晶圆膜的各个位置受力均匀，本申请的第一避让槽11和第二避让槽21优选为圆形槽。

本申请所使用的晶圆膜主要为蓝膜，但还可以为其他材质的膜。

为了加强压紧晶圆膜的效果，在第一压紧板1的上侧面且靠近于第一避让槽11的位置向上凸起、以形成一凸环12，凸环12配置于与第二压紧板2的下侧面相抵接，于此，凸环12和第二压紧板2的下侧面配合夹紧晶圆膜，防止在承接板3上升时，晶圆膜出现滑动。

本申请的承接板3和抵接板4均为圆形板，承接板3的侧缘设置有限位槽31，内环安装于限位槽31内，限位槽31方便于将内环对齐安装在承接板3上，并防止内环出现移动，以保证扩膜工作可以顺利进行；本申请的限位槽31可以为环状，也可以为圆弧状，但为圆弧状时，需要在承接板3的侧缘开设多个限位槽31；进一步地，抵接板4下侧面的外缘向下凸出、以形成凸缘，凸缘可以抵接于外环，以便于外环和内环卡紧。

本扩膜装置还包括第一驱动件(附图中未示出)和第二驱动件5，第一驱动件具有第一驱动轴，第一驱动轴与承接板3可拆卸连接，第二驱动件5具有第二驱动轴，第二驱动轴与抵接板4可拆卸连接，第一驱动件可以驱动承接板3上下滑动，第二驱动件5可以驱动抵接板4上下滑动，并且，第一驱动件和/或第二驱动件5包括驱动气缸、直线电机，可以调节驱动气缸的气压，以调整承接板3升起的高度，高度越高，晶圆膜越紧绷，或者，这样描述，本申请的第一驱动件、第二驱动件5可以是可驱动承接板3或抵接板4直线移动的设备，可以选用现有的已知的驱动设备来进行驱动，此处便不一一列举相关的设备了。

此外，第一驱动件的第一驱动轴与承接板3可拆卸连接，第二驱动件5的第二驱动轴与抵接板4可拆卸连接，这样，可根据晶圆环具体的尺寸，相应地更换合适的承接板3和抵接板4；于此，本申请能够兼容不同尺寸的晶圆环的扩膜工作，实用性强。

在本申请中，第一避让槽11和第二避让槽21的内径大于承接板3的外径，以保证承接板3能够顺利上下滑动；此外，第二压紧板2的一端可以通过转轴结构转动连接于第一压紧板1的一端，第二压紧板2的另一端与第一压紧板1的另一端为可拆卸连接，可以通过螺栓进行连接。

本扩膜装置还包括机座6、第一按钮61和第二按钮62，第一压紧板1固定连接于机座6上，第一按钮61、第二按钮62和第二驱动件5之间的电连接方式为串联连接，必须要同时按压第一按钮61和第二按钮62，第二驱动件5才会运行，以驱动抵接板4上升或下降，以此来防止误操作，影响晶圆膜的扩膜。

本扩膜装置还包括上升控制按钮63和下降控制按钮64，上升控制按钮63和下降控制按钮64分别与第一驱动件电连接，通过上升控制按钮63和下降控制按钮64，可以控制第一驱动件的运行状况，实现控制承接板3上升或者下降。

承接板3的上侧面还设置有加热件，加热件用于加热晶圆膜，以便于晶圆膜扩张，本申请的承接板3也可以采用金属材质，如钢材质，这样，可直接对承接板3通电，使其发热，以加热晶圆膜，员工在承接板3上取放晶圆环时，要注意用电安全；扩膜装置还包括加热开关件65，加热开关件65与加热件电连接，加热开关件65用以控制加热件的电路通断，在进行扩膜工作时，要先检查加热开关件65是否可以正常打开；扩膜装置还包括控制面板66和电源开关件67，控制面板66与电源开关件67以及加热开关件65电连接，本申请可以自带电源，也可以外接电源；控制面板66可以显示承接板3升起的高度、抵接板4下降的高度，以及承接板3的加热温度。

应当指出，在说明书中提到的“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等表示所述的实施例可以包括特定特征、结构或特性，但未必每个实施例都包括该特定特征、结构或特性。此外，这样的短语未必是指同一实施例。此外，在结合实施例描述特定特征、结构或特性时，结合明确或未明确描述的其他实施例实现这样的特征、结构或特性处于本领域技术人员的知识范围之内。

应当容易地理解，应当按照最宽的方式解释本公开中的“在……上”、“在……以上”和“在……之上”，以使得“在……上”不仅意味着“直接处于某物上”，还包括“在某物上”且其间具有中间特征或层的含义，并且“在……以上”或者“在……之上”不仅包括“在某物以上”或“之上”的含义，还可以包括“在某物以上”或“之上”且其间没有中间特征或层(即，直接处于某物上)的含义。

此外，文中为了便于说明可以使用空间相对术语，例如，“下面”、“以下”、“下方”、“以上”、“上方”等，以描述一个元件或特征相对于其他元件或特征的如图所示的关系。空间相对术语意在包含除了附图所示的取向之外的处于使用或操作中的器件的不同取向。装置可以具有其他取向(旋转90度或者处于其他取向上)，并且文中使用的空间相对描述词可以同样被相应地解释。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种扩膜装置，用于与晶圆环配合、进行晶圆膜的扩膜，所述晶圆环包括内环和外环，其特征在于，所述扩膜装置包括第一压紧板、第二压紧板、承接板和抵接板；

所述第一压紧板的中部开设有贯穿其上下侧面的第一避让槽；

所述第二压紧板转动设于所述第一压紧板的一侧，且所述第二压紧板上开设有贯穿其相对的两侧面的第二避让槽；

所述第一压紧板和所述第二压紧板配合、以压紧晶圆膜；

所述第一避让槽和所述第二避让槽相匹配；

所述承接板沿上下方向滑动设于所述第一避让槽内；

所述抵接板沿上下方向滑动设于所述承接板的上侧，且所述抵接板与所述承接板配合、压紧所述内环和所述外环。

2.根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述第一压紧板的上侧面且靠近于所述第一避让槽的位置向上凸起、以形成一凸环，所述凸环配置于与所述第二压紧板的下侧面相抵接。

3.根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述承接板的侧缘设置有限位槽，所述内环安装于所述限位槽内。

4.根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述扩膜装置还包括第一驱动件和第二驱动件；

所述第一驱动件具有第一驱动轴，所述第一驱动轴与所述承接板可拆卸连接；

所述第二驱动件具有第二驱动轴，所述第二驱动轴与所述抵接板可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的扩膜装置，其特征在于，所述第一驱动件和/或所述第二驱动件包括驱动气缸、直线电机。

6.根据权利要求4所述的扩膜装置，其特征在于，所述扩膜装置还包括第一按钮和第二按钮，所述第一按钮、所述第二按钮和所述第二驱动件之间的电连接方式为串联连接。

7.根据权利要求4所述的扩膜装置，其特征在于，所述扩膜装置还包括上升控制按钮和下降控制按钮，所述上升控制按钮和所述下降控制按钮分别与所述第一驱动件电连接。

8.根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述承接板的上侧面还设置有加热件。

9.根据权利要求8所述的扩膜装置，其特征在于，所述扩膜装置还包括加热开关件，所述加热开关件与所述加热件电连接。

10.根据权利要求9所述的扩膜装置，其特征在于，所述扩膜装置还包括控制面板和电源开关件，所述控制面板与所述电源开关件以及所述加热开关件电连接。

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