CN219007896U - 集成电路专用设备搬运防倾倒装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路专用设备搬运防倾倒装置，集成电路专用设备为底部具有若干脚轮的矩形体，包括两个平板车体，平板车体分别位于集成电路专用设备的相对两侧底端并紧贴集成电路专用设备，两个平板车体之间设有夹持件，通过平板车体和夹持件围合夹持并固定住集成电路专用设备，平板车体的底部设有至少两个滚轮，滚轮的底面与脚轮的底面处于同一平面。本实用新型在集成电路芯片制造专用设备搬入和移出超净厂房的过程中，可增加被搬运专用设备的底部稳定性，防止高大而扁薄形状的设备组件在搬运移动中因意外而倾覆，造成经济损失和人身意外，保证了设备移出和搬入的正常进行和操作人员的人身安全。

Description

集成电路专用设备搬运防倾倒装置

技术领域

本实用新型涉及一种集成电路芯片制造专用设备运送辅助工具，尤其涉及一种深紫外(DUV)光刻机的晶圆片传送装置组件和空调柜组件的安全搬运辅助工具，亦可应用于集成电路芯片制造专用设备搬入和移出超净厂房的过程中防止高大而扁薄形状的设备组件在搬运移动中倾覆，具体涉及一种集成电路专用设备搬运防倾倒装置。

背景技术

由于微电子技术更新换代非常迅速，集成电路芯片制造行业的专用设备每隔3至4年就会更替一代，因此集成电路芯片制造厂房内设备的搬入和移出非常频繁。由于芯片制造必须在恒温、恒湿和无尘的超净厂房内进行，厂务系统的运营成本非常高昂，为了尽可能地利用厂房内空间，各种设备排列紧密，设备间的通道一般小于2.5米。部分大型的专用设备总重量超过10吨，占地面积超过9m²(即大于3m×3m)，比如深紫外(DUV)光刻机、湿法刻蚀(Wet Etch)设备、离子注入(Implant)机等等。为便于装入卡车和货机进行长距离运输，这类大型设备往往被设计为由数个独立组件(Unit)拼接而成，因为只有这样，各组件(Unit)才可以在独立包装后，被顺利装入集装箱内，再被搬运通过超净厂房大门和各种过道及货运电梯而被移入超净厂房内安装位置，最终由专业工程师完成拼接组装和安装调试。

以某种型号的深紫外(DUV Stepper)光刻机为例，整台设备由一个设备本体(MainBody)、两个电气控制柜、一个晶圆片传送机构(Wafer Load/Unload Unit)、一个空调柜(Temperature Control Rack)、以及另外数个小组件拼装构成。其中，综合考虑了必须尽可能利用超净厂房内的高度和节省占地面积、又要避免在恒温集装箱内超高等众多因素，上述晶圆片传送机构和空调柜均被设计成高而薄的长方体形状，其高度定为2800mm左右，厚度定为600-800mm左右，宽度在大多数情况下小于1600mm，各组件下方均设计装有四个脚轮，便于在人力的推动下向前移动。目前使用的标准化搬运方法是：首先使用叉车等工具，将组件木箱从集装箱里叉出，移至厂房外的卸货平台上，打开木箱清除外包装后，再使用叉车将组件叉起抬升至一定高度后搬运至超净厂房的入口处，然后依靠人力将组件推进大门，经过各种情况复杂和狭窄的设备之间通道，最后推至厂房内的指定安装位置。以往按此方法操作，在组件的人力搬运过程中因倾覆而造成设备损坏、甚至人员伤亡的事故时有发生，所以对目前的搬运方式进行改进便显得很有必要。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种集成电路专用设备搬运防倾倒装置，以解决现有技术中的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的：

提供一种集成电路专用设备搬运防倾倒装置，集成电路专用设备为底部具有若干脚轮的矩形体，包括两个平板车体，所述平板车体分别位于所述集成电路专用设备的相对两侧底端并紧贴所述集成电路专用设备，两个所述平板车体之间设有夹持件，通过所述平板车体和所述夹持件围合夹持并固定住所述集成电路专用设备，所述平板车体的底部设有至少两个滚轮，所述滚轮的底面与所述脚轮的底面处于同一平面。

如所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，所述平板车体包括矩形底板，所述矩形底板的周侧竖立有框板，所述框板包括安装侧板、加强侧板和连接侧板，所述安装侧板紧邻所述集成电路专用设备，所述连接侧板设于所述安装侧板的相对一侧，所述加强侧板有两块且分别位于所述安装侧板与所述连接侧板之间。

如所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，所述加强侧板的纵向截面为斜三角形或直角梯形，所述加强侧板的最高点位于所述集成电路专用设备所在的一侧。

如所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，所述夹持件包括至少4根数量为偶数的长螺杆且均匀分布于所述集成电路专用设备的两侧，所述长螺杆的杆端拆卸式连接所述安装侧板。

如所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，所述平板车体通过由3mm厚度钢板制成的所述矩形底板和所述框板焊接成形。

本实用新型技术方案的有益效果是：

在集成电路芯片制造专用设备搬入和移出超净厂房的过程中，可增加被搬运专用设备的底部稳定性，防止高大而扁薄形状的设备组件在搬运移动中因意外而倾覆，造成经济损失和人身意外，保证了设备移出和搬入的正常进行和操作人员的人身安全。

附图说明

为进一步说明本实用新型的上述目的、结构特点和效果，以下将结合附图对本实用新型进行详细的描述。

图1为本实用新型较佳实施例搬运防倾倒装置轴测图；

图2为本实用新型较佳实施例平板车体轴测图；

图中：0、集成电路专用设备；1、平板车体；11、矩形底板；12、安装侧板；13、加强侧板；14、连接侧板；15、安装通孔；16、观察窗口；2、夹持件；3、滚轮。

具体实施方式

用于本说明书中的术语“实用新型”、“本实用新型”以及“本实用新型”旨在广义上是指本说明书和以下任何专利权利要求的所有主题，包含这些术语的声明不应理解成限制本文所述的主题或限制以下任何专利权利要求的意思或范围。此外，本说明书不试图描述或限制由本申请的任何具体部件、段落、声明或附图的任何权利要求涵盖的主题。主题应参考整个说明书、所有附图以及以下任何权利要求理解。本实用新型可具有其它实施例并以其它方式实践或实施，而且，应理解本文所采用的措辞和术语是为说明的目的而不应认为是限制。

现将会参照仅以示例的方式说明本实用新型的附图讨论本实用新型的细节。在附图中，类似特征或部件可用相同的附图标记标注。

本文中“包含”、“具有”和“包括”及其变体的使用意思是包含此后所列项目及其等同物和附加项目。虽然在描述附图中可参照以下诸如上面的、下面的、向上的、向下的、向后的、底部、顶部、前面、后面等的方向，但为了方便，相对于附图参照。这些方向不旨在以任何的形式字面上接受或限制本实用新型。此外，诸如“第一”、“第二”、“第三”等的术语用于本文中是为了说明的目的而不旨在表明或暗示重要性或显著性。

本实用新型的主体设计思路是：通过滑移车体和夹持件对称分布于矩形体的被搬运组件的底端周侧，固定夹持住被搬运组件，使其平稳运行。

参看图1、图2所示，本集成电路专用设备搬运防倾倒装置中的集成电路专用设备0为底部具有若干脚轮的矩形体，具体地，本搬运防倾倒装置包括两个平板车体1，平板车体1分别位于集成电路专用设备0的相对两侧底端并紧贴集成电路专用设备0，两个平板车体1之间设有夹持件2，通过平板车体1和夹持件2围合夹持并固定住集成电路专用设备0，平板车体1的底部设有至少两个滚轮3，滚轮3的底面与脚轮的底面处于同一平面，以保持稳定性。

继续参看图示，在优选实施例中，平板车体1包括矩形底板11，矩形底板11的周侧竖立有框板，框板包括安装侧板12、加强侧板13和连接侧板14，安装侧板12紧邻集成电路专用设备0，连接侧板14设于安装侧板12的相对一侧，加强侧板13有两块且分别位于安装侧板12与连接侧板14之间。

加强侧板13的纵向截面为斜三角形或直角梯形，加强侧板13的最高点位于集成电路专用设备0所在的一侧。容易理解的是，加强侧板13采用类三角的形状并且高点位于被搬移组件的一侧，可大大增强平板车体1的整体稳固性。

通常，夹持件2包括至少4根数量为偶数的长螺杆且均匀分布于集成电路专用设备0的两侧，但本实用新型不限于此。具体地，长螺杆的杆端拆卸式连接安装侧板12，长螺杆的直径优选为12mm。参看图2所示，在安装侧板12的两端各有2组安装通孔15呈上下均匀分布，其直径优选为13mm，水平方向间距优选为30mm，下方一组安装通孔15的离地高度优选为90mm，上、下垂直孔间距优选为145mm，最外侧一组安装通孔15的水平方向孔间距优选为1680mm。

平板车体1的长度优选为1700mm，宽度优选为350mm，可确保能在各种角度均可通过厂房内设备之间的狭窄过道，其中安装侧板12的上沿离地高度优选为250mm。

平板车体1通过由3mm厚度钢板制成的矩形底板11和框板焊接成形。可以理解的是，为了维持平板车体1的整体稳固性，平板车体1的底部保证至少有2个滚轮3(优选为万向滚轮)，最优为3个并呈如图2所示的等腰三角形分布。滚轮3选定规格为2英寸(5.08厘米)的重载型万向脚轮，其垂直高度优选为70mm。在其他实施例中，矩形底板11上可设置观察窗口16，用以观察路况等。

工作时安装和使用流程如下：2台平板车体1为一组，选用安装侧板12上最接近组件侧面的4个通孔，用4根长螺杆以及相配合的标准件螺母将高而薄形的被搬运设备组件牢固夹持在2台平板车体1的中间，安装时保持等腰三角形分布的万向滚轮和被搬运设备组件原有脚轮处在一个平面上。安装完成之后，被搬运设备组件原有4个脚轮与2台平板车体1的6个滚轮3共同起到支撑和滚动作用，被搬运设备组件原来较窄的地面接触宽度即被放大了一倍以上，有助于保持组件在移动过程中的稳定性。特别是在超净厂房内的移动过程中，当脚轮和滚轮3遇到转弯、微小坡度、金属格栅高架地板时，不会因被搬运设备组件的少许倾斜或颠簸而造成倾覆倒下的严重后果，保证了设备移出和搬入的正常进行，也保证了操作人员的人身安全。

本实用新型在集成电路芯片制造专用设备搬入和移出超净厂房的过程中，可增加被搬运专用设备的底部稳定性，防止高大而扁薄形状的设备组件在搬运移动中因意外而倾覆，造成经济损失和人身意外，保证了设备移出和搬入的正常进行和操作人员的人身安全。

本实用新型以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (5)

1.一种集成电路专用设备搬运防倾倒装置，集成电路专用设备为底部具有若干脚轮的矩形体，其特征在于，包括两个平板车体，所述平板车体分别位于所述集成电路专用设备的相对两侧底端并紧贴所述集成电路专用设备，两个所述平板车体之间设有夹持件，通过所述平板车体和所述夹持件围合夹持并固定住所述集成电路专用设备，所述平板车体的底部设有至少两个滚轮，所述滚轮的底面与所述脚轮的底面处于同一平面。

2.如权利要求1所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，其特征在于，所述平板车体包括矩形底板，所述矩形底板的周侧竖立有框板，所述框板包括安装侧板、加强侧板和连接侧板，所述安装侧板紧邻所述集成电路专用设备，所述连接侧板设于所述安装侧板的相对一侧，所述加强侧板有两块且分别位于所述安装侧板与所述连接侧板之间。

3.如权利要求2所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，其特征在于，所述加强侧板的纵向截面为斜三角形或直角梯形，所述加强侧板的最高点位于所述集成电路专用设备所在的一侧。

4.如权利要求2所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，其特征在于，所述夹持件包括至少4根数量为偶数的长螺杆且均匀分布于所述集成电路专用设备的两侧，所述长螺杆的杆端拆卸式连接所述安装侧板。

5.如权利要求2所述集成电路专用设备搬运防倾倒装置，其特征在于，所述平板车体通过由3mm厚度钢板制成的所述矩形底板和所述框板焊接成形。

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