CN218985313U - 一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，包含并联连接在砂浆回收系统各段管路首末端三通阀（103）上的清洗液管（101）和脏液管（102），还包含依次通过管路连接的脏液储罐（1）、螺杆泵（2）、加热罐（3）、压滤机（4）、压滤液储罐（5）；所述脏液管（102）与脏液储罐（1）的入口端连接；所述清洗液管（101）与清洗液箱（105）连接。本实用新型结构简单，对砂浆回收系统管路中的沉积砂浆进行自动清洗并回收再利用，提高了清洗效率和清洗效果的同时避免了砂浆和回收液因手工清洗而造成的浪费。

Description

一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统

技术领域

本实用新型涉及一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，属于半导体加工设备技术领域。

背景技术

半导体切割中使用的砂浆是一种很容易沉淀的物料，在砂浆回收系统中经常会遇到砂浆沉淀导致管道全部堵塞、设备无法运行的问题。半导体切割砂浆回收系统将切割使用后的废砂浆通过收集储存、搅拌、调配，再通过分离设备进行一次、二次回收；回收的物料分为两部分，一部分为回收浆料，另一部分为回收液，对回收浆料和回收液分别处理后再经调配混合后循环使用。

由于砂浆的易沉淀特性，在砂浆回收系统中的废砂浆收集储存、搅拌、调配、一分、二分等环节的各个管路中经常出现因堵塞导致设备故障的问题，目前只能采用人工对砂浆回收系统中逐个环节的各管路进行手工清洗，清洗效率低且清洗效果差，清洗出来的砂浆和回收液再回收利用困难，造成一定的浪费。

因此，亟需一套砂浆回收系统的辅助系统用于定期清理砂浆回收系统各管路中沉淀的砂浆，且该系统不会导致砂浆或回收液浪费。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能自动对砂浆回收系统管路中沉淀砂浆进行清理的半导体切割砂浆回收系统用防堵系统。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，包含并联连接在砂浆回收系统各段管路首末端三通阀上的清洗液管和脏液管，还包含依次通过管路连接的脏液储罐、螺杆泵、加热罐、压滤机、压滤液储罐；所述加热罐的出口端通过三通阀和管路与脏液储罐连接；所述压滤机的脏液出口端通过管路与脏液储罐连接；所述压滤液储罐通过管路和三通阀与螺杆泵的入口端连接，压滤液储罐通过管路和气动泵与预涂液罐连接，预涂液罐通过管路和气动泵与压滤机的入口端连接；所述脏液管与脏液储罐的入口端连接；所述清洗液管与清洗液箱连接。

进一步的，所述防堵系统包含并联设置的两套脏液储罐。

进一步的，所述加热罐内部设有蒸汽热交换器，其通过保温管路连接有蒸汽热源。

进一步的，所述三通阀为电动三通阀。

进一步的，所述压滤液储罐中的压滤液经冷却过滤后进入精滤液箱，所述精滤液箱通过离心泵和管路与清洗液箱连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在砂浆回收系统的各段管路首末端三通阀上连接清洗液管和脏液管，对砂浆回收系统的各段管路执行自动定期清洗，清洗效率高且清洗效果好；

本实用新型将清洗后的脏液通过脏液管通入脏液储罐，再由螺杆泵将脏液依次送入加热罐和压滤机，经压滤机处理后形成的砂浆和滤液分别回收再利用，避免了手工清洗造成的物料浪费，节约生产成本；

本实用新型对防堵系统的螺杆泵、加热罐和压滤机进行自清洗，避免防堵系统自身的管路和设备因砂浆沉积而堵塞，确保防堵系统工作正常。

附图说明

图1为本实用新型一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统的防堵系统连接结构示意图。

图2为本实用新型一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统的清洗液箱连接结构示意图。

图3为本实用新型一种半导体切割砂浆回收系统各段管路连接结构示意图。

其中：

脏液储罐1、螺杆泵2、加热罐3、压滤机4、压滤液储罐5、预涂液罐6；

清洗液管101、脏液管102、三通阀103、气动泵104、清洗液箱105、精滤液箱106、离心泵107、蒸汽热源108。

具体实施方式

参见图1~3，本实用新型涉及的一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，包含并联连接在砂浆回收系统各段管路首末端电动三通阀103上的清洗液管101和脏液管102，所述脏液管102连接有并联设置的两套脏液储罐1；

所述防堵系统还包含依次通过管路连接的脏液储罐1、螺杆泵2、加热罐3、压滤机4、压滤液储罐5；所述加热罐3的出口端通过电动三通阀103和管路与脏液储罐1连接，对螺杆泵2和加热罐3进行自清洗产生的脏液可通过此管路回流至脏液储罐1，所述加热罐3内部设有蒸汽热交换器，其通过保温管路连接有蒸汽热源108；所述压滤机4的脏液出口端通过管路与脏液储罐1连接，清洗压滤机4产生的脏液通过此管路进行回流脏液储罐1再处理，杜绝浪费；所述压滤液储罐5通过管路和电动三通阀103与螺杆泵2的入口端连接，用于清洗螺杆泵2和加热罐3内部沉积的砂浆，压滤液储罐5通过管路和气动泵104与预涂液罐6连接，预涂液罐6通过管路和气动泵104与压滤机4的入口端连接，用于清洗压滤机4中沉积的砂浆；

所述压滤液储罐5中的压滤液经冷却过滤后进入精滤液箱106，所述精滤液箱106通过离心泵107和管路与清洗液箱105连接，清洗液箱105连接有清洗液管101，离心泵107自动抽取精滤液箱106中的清洗液进入清洗液箱105，确保清洗管101中清洗液供应；所述脏液管102与脏液储罐1的入口端连接，清洗后的脏液通过脏液管102进入脏液储罐1后进入后续回收处理。

清洗时，分别打开砂浆回收系统各段管路首末端电动三通阀103，清洗液从清洗液管101进入砂浆回收系统各段管路冲洗后形成的脏液经脏液管102回流至脏液储罐1，螺杆泵2将脏液送入加热罐3加热后再经压滤机4压滤分离处理得到砂浆和回收液。为防止防堵系统自身的设备和管路因脏液中的砂浆沉积而发生堵塞，将回收液再送入螺杆泵2和加热罐3，对螺杆泵2和加热罐3进行清洗；将回收液通过预涂液罐6和气动泵104送入压滤机4，对压滤机4进行清洗；保障防堵系统的正常运行。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，包含并联连接在砂浆回收系统各段管路首末端三通阀（103）上的清洗液管（101）和脏液管（102），其特征在于：还包含依次通过管路连接的脏液储罐（1）、螺杆泵（2）、加热罐（3）、压滤机（4）、压滤液储罐（5）；所述加热罐（3）的出口端通过三通阀（103）和管路与脏液储罐（1）连接；所述压滤机（4）的脏液出口端通过管路与脏液储罐（1）连接；所述压滤液储罐（5）通过管路和三通阀（103）与螺杆泵（2）的入口端连接，压滤液储罐（5）通过管路和气动泵（104）与预涂液罐（6）连接，预涂液罐（6）通过管路和气动泵（104）与压滤机（4）的入口端连接；所述脏液管（102）与脏液储罐（1）的入口端连接；所述清洗液管（101）与清洗液箱（105）连接。

2.根据权利要求1所述的半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，其特征在于：所述防堵系统包含并联设置的两套脏液储罐（1）。

3.根据权利要求1所述的半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，其特征在于：所述加热罐（3）内部设有蒸汽热交换器，其通过保温管路连接有蒸汽热源（108）。

4.根据权利要求1所述的半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，其特征在于：所述三通阀（103）为电动三通阀。

5.根据权利要求1所述的半导体切割砂浆回收系统用防堵系统，其特征在于：所述压滤液储罐（5）中的压滤液经冷却过滤后进入精滤液箱（106），所述精滤液箱（106）通过离心泵（107）和管路与清洗液箱（105）连接。

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