CN218887136U - 一种自动回收废料的扩膜装置 - Google Patents
一种自动回收废料的扩膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218887136U CN218887136U CN202223457947.4U CN202223457947U CN218887136U CN 218887136 U CN218887136 U CN 218887136U CN 202223457947 U CN202223457947 U CN 202223457947U CN 218887136 U CN218887136 U CN 218887136U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film
- film expanding
- shell
- waste material
- clamping jaw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/62—Plastics recycling; Rubber recycling
Landscapes
- Separation, Recovery Or Treatment Of Waste Materials Containing Plastics (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种自动回收废料的扩膜装置，包括壳体，所述壳体由上下布置的上壳体和下壳体组成，所述上壳体内设置有扩膜机构，所述下壳体的顶部设置有扩膜平台，所述上壳体内设置有回收机构，所述回收机构位于扩膜机构的一侧；所述回收机构包括电动夹爪，所述电动夹爪上连接有移动模组。该自动回收废料的扩膜装置，通过电动夹爪夹取废膜，实现废膜的自动回收，避免工作人员手动回收，降低了工人劳动强度，提高了工作效率，而且，通过移动管排出的空气作用到废膜上，还可以便于废膜与电动夹爪分离。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种自动回收废料的扩膜装置，属于扩膜技术领域。
背景技术
晶圆在生产过程中涉及到贴膜、激光切膜、去膜、倒模、扩膜等工艺。为了保证晶圆的晶粒满足检测需求，需要对其进行剔粒操作。但是，由于晶圆各相邻芯粒之间无任何空隙，会导致在剔粒过程中，相邻芯粒出现崩边、划伤的异常问题，严重影响晶圆质量，不利于后续的生产需求。因此，需要对晶圆进行扩膜处理，增大晶粒之间的间隙便于剔粒。
申请号为CN202022055417.1的实用新型专利公开了一种用于扩大芯片之间间距的扩膜设备，包括外壳，外壳内固定设置底座；底座上依次设置升降电机和支撑柱，升降电机连接承片台，支撑柱上设置环形的割膜轨道；割膜轨道上设置割膜刀架，割膜刀架上设置割膜刀；割膜轨道通过其侧边的齿与旋转电机输出轴上设置的齿轮连接，旋转电机固定在中空承片台内壁；中空承片台上方设置中空压盖，中空压盖内设置压盘，压盘通过中间空的活塞杆连接压盘气缸。该实用新型加大芯片间距，避免芯片之间的挤压崩边。但是，扩膜完成后，需要手动将多余的废膜去除，操作繁琐，增加工人劳动强度，降低工作效率。
因此，需要有一种自动回收废料的扩膜装置，实现废膜的自动回收，提高工作效率。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供实现废膜的自动回收，提高工作效率的一种自动回收废料的扩膜装置。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种自动回收废料的扩膜装置，包括壳体，所述壳体由上下布置的上壳体和下壳体组成，所述上壳体内设置有扩膜机构，所述下壳体的顶部设置有扩膜平台，所述上壳体内设置有回收机构，所述回收机构位于扩膜机构的一侧；
所述回收机构包括电动夹爪，所述电动夹爪上连接有移动模组。
作为优选，所述下壳体内设置有回收腔。
作为优选，所述下壳体的一侧设置有取料门。
作为优选，所述移动模组包括水平设置的移动板，所述移动板的底部固定设置在电动夹爪的缸体上，所述移动板的顶部固定设置有滑块，所述滑块上螺纹连接有丝杠，所述丝杠的一端通过电机驱动，所述电机的外壳与上壳体的内壁固定连接。
作为优选，所述移动板上穿设有两个导杆，所述导杆与丝杠平行，所述导杆的一端固定设置在上壳体的内壁上。
作为优选，所述移动板的下方设置有两个辅助单元，两个辅助单元分别位于电动夹爪的两侧；
所述辅助单元包括移动管和固定杆，所述移动管位于移动板的下方，所述移动管与移动板固定连接，所述移动管与丝杠平行，所述固定杆与移动管同轴设置，所述固定杆的一端固定设置在上壳体的内壁上，所述固定杆的另一端插入移动管的远离扩膜机构的一端，所述移动管与固定杆滑动且密封连接。
作为优选，所述移动管的靠近扩膜机构的一端设置有辅助环，所述辅助环与移动管同轴设置，所述辅助环的内径小于移动管的内径。
作为优选，所述辅助环位于电动夹爪夹具的远离扩膜机构的一侧。
作为优选，所述辅助环与移动管为一体成型结构。
作为优选，所述固定杆的两端均设置有倒角。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
本实用新型一种自动回收废料的扩膜装置，通过电动夹爪夹取废膜，实现废膜的自动回收，避免工作人员手动回收，降低了工人劳动强度，提高了工作效率，而且，通过移动管排出的空气作用到废膜上，还可以便于废膜与电动夹爪分离。
附图说明
图1为本实用新型一种自动回收废料的扩膜装置的结构示意图；
图2为上壳体的结构示意图；
图3为下壳体的结构示意图；
图4为回收机构的结构示意图；
图5为图4的A部放大图。
其中：壳体1，上壳体11，下壳体12，扩膜机构2，扩膜平台3，回收机构4，电动夹爪41，移动模组42，移动板42.1，滑块42.2，丝杠42.3，电机42.4，导杆42.5，辅助单元42.6，移动管42.61，固定杆42.62，辅助环42.63，回收腔5，取料门6。
具体实施方式
如图1-5所示，本实施例中的一种自动回收废料的扩膜装置，包括壳体1，所述壳体1由上下布置的上壳体11和下壳体12组成，所述上壳体11内设置有扩膜机构2，所述下壳体12的顶部设置有扩膜平台3，晶圆放置在扩膜平台3上后，通过扩膜机构2对晶圆实现扩膜，且扩膜机构2上产生废膜，所述上壳体11内设置有用于回收废膜的回收机构4，所述回收机构4位于扩膜机构2的一侧，通过回收机构4将扩膜时产生的废膜进行回收，避免工作人员手动回收，降低了工人劳动强度，提高了工作效率。
所述回收机构4包括电动夹爪41，所述电动夹爪41上连接有移动模组42，所述下壳体12内设置有回收腔5，所述下壳体12的一侧设置有取料门6，通过移动模组42使电动夹爪41向着靠近扩膜机构2移动，通过电动夹爪41夹取废膜并反向移动至目标位置后松开废膜，废膜掉落至事先放置在回收腔5内的回收器皿中，实现废膜回收，需要将回收腔5内的回收器皿取出时，打开取料门6即可。
所述移动模组42包括水平设置的移动板42.1，所述移动板42.1的底部固定设置在电动夹爪41的缸体上，所述移动板42.1的顶部固定设置有滑块42.2，所述滑块42.2上螺纹连接有丝杠42.3，所述丝杠42.3的一端通过电机42.4驱动，所述电机42.4的外壳与上壳体11的内壁固定连接，所述移动板42.1上穿设有两个导杆42.5，所述导杆42.5与丝杠42.3平行，所述导杆42.5的一端固定设置在上壳体11的内壁上，电机42.4启动，使丝杠42.3转动，从而使滑块42.2在丝杠42.3上移动，滑块42.2的移动带动移动板42.1在导杆42.5上移动，移动板42.1的移动带动电动夹爪41向着靠近或远离扩膜机构2移动。
所述移动板42.1的下方设置有两个辅助单元42.6，两个辅助单元42.6分别位于电动夹爪41的两侧，所述辅助单元42.6包括移动管42.61和固定杆42.62，所述移动管42.61位于移动板42.1的下方，所述移动管42.61与移动板42.1固定连接，所述移动管42.61与丝杠42.3平行，所述固定杆42.62与移动管42.61同轴设置，所述固定杆42.62的一端固定设置在上壳体11的内壁上，所述固定杆42.62的另一端插入移动管42.61的远离扩膜机构2的一端，所述移动管42.61与固定杆42.62滑动且密封连接，移动板42.1向着靠近扩膜机构2移动时，空气从移动管42.61的靠近扩膜机构2的一端吸入，当移动板42.1带动移动管42.61反向移动时，移动管42.61内的空气被挤出并作用到电动夹爪41夹取的膜上，当电动夹爪41松开膜时，在气流的作用下可以将膜吹离，因膜具有一定的黏性，从而可以便于膜与电动夹爪41的分离，所述移动管42.61的靠近扩膜机构2的一端设置有辅助环42.63，所述辅助环42.63与移动管42.61同轴设置，所述辅助环42.63的内径小于移动管42.61的内径，相同空气流量下，孔径越小空气流速越快，即辅助环42.63的作用是提高移动管42.61排出空气流速，提升膜吹离能力，所述辅助环42.63位于电动夹爪41夹具的远离扩膜机构2的一侧。
除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种自动回收废料的扩膜装置，包括壳体(1)，所述壳体(1)由上下布置的上壳体(11)和下壳体(12)组成，所述上壳体(11)内设置有扩膜机构(2)，所述下壳体(12)的顶部设置有扩膜平台(3)，其特征在于，所述上壳体(11)内设置有回收机构(4)，所述回收机构(4)位于扩膜机构(2)的一侧；
所述回收机构(4)包括电动夹爪(41)，所述电动夹爪(41)上连接有移动模组(42)。
2.根据权利要求1所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述下壳体(12)内设置有回收腔(5)。
3.根据权利要求2所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述下壳体(12)的一侧设置有取料门(6)。
4.根据权利要求1所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述移动模组(42)包括水平设置的移动板(42.1)，所述移动板(42.1)的底部固定设置在电动夹爪(41)的缸体上，所述移动板(42.1)的顶部固定设置有滑块(42.2)，所述滑块(42.2)上螺纹连接有丝杠(42.3)，所述丝杠(42.3)的一端通过电机(42.4)驱动，所述电机(42.4)的外壳与上壳体(11)的内壁固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述移动板(42.1)上穿设有两个导杆(42.5)，所述导杆(42.5)与丝杠(42.3)平行，所述导杆(42.5)的一端固定设置在上壳体(11)的内壁上。
6.根据权利要求4所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述移动板(42.1)的下方设置有两个辅助单元(42.6)，两个辅助单元(42.6)分别位于电动夹爪(41)的两侧；
所述辅助单元(42.6)包括移动管(42.61)和固定杆(42.62)，所述移动管(42.61)位于移动板(42.1)的下方，所述移动管(42.61)与移动板(42.1)固定连接，所述移动管(42.61)与丝杠(42.3)平行，所述固定杆(42.62)与移动管(42.61)同轴设置，所述固定杆(42.62)的一端固定设置在上壳体(11)的内壁上，所述固定杆(42.62)的另一端插入移动管(42.61)的远离扩膜机构(2)的一端，所述移动管(42.61)与固定杆(42.62)滑动且密封连接。
7.根据权利要求6所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述移动管(42.61)的靠近扩膜机构(2)的一端设置有辅助环(42.63)，所述辅助环(42.63)与移动管(42.61)同轴设置，所述辅助环(42.63)的内径小于移动管(42.61)的内径。
8.根据权利要求7所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述辅助环(42.63)位于电动夹爪(41)夹具的远离扩膜机构(2)的一侧。
9.根据权利要求7所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述辅助环(42.63)与移动管(42.61)为一体成型结构。
10.根据权利要求7所述的一种自动回收废料的扩膜装置，其特征在于：所述固定杆(42.62)的两端均设置有倒角。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223457947.4U CN218887136U (zh) | 2022-12-23 | 2022-12-23 | 一种自动回收废料的扩膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223457947.4U CN218887136U (zh) | 2022-12-23 | 2022-12-23 | 一种自动回收废料的扩膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218887136U true CN218887136U (zh) | 2023-04-18 |
Family
ID=85954372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223457947.4U Active CN218887136U (zh) | 2022-12-23 | 2022-12-23 | 一种自动回收废料的扩膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218887136U (zh) |
-
2022
- 2022-12-23 CN CN202223457947.4U patent/CN218887136U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN208811604U (zh) | 一种高精尖零件模具加工装置 | |
| CN114361633A (zh) | 一种电池拆解设备 | |
| CN218887136U (zh) | 一种自动回收废料的扩膜装置 | |
| CN212146684U (zh) | 一种薄型产品圆片的切割装置 | |
| CN216151303U (zh) | 一种钢板弹簧用钢板切割装置 | |
| CN214869052U (zh) | 一种生产冶金机械备件用卧式铣镗床 | |
| CN114683350A (zh) | 一种自动化打孔除废设备 | |
| CN220407041U (zh) | 一种新型的压铸件去披锋全自动机 | |
| CN220826240U (zh) | 一种用于注塑成型的废料分离装置 | |
| CN215241042U (zh) | 一种高效率冲模 | |
| CN221581632U (zh) | 一种薄板冲压装置 | |
| CN219443142U (zh) | 一种废料自动收集式冲压模具 | |
| CN117300176B (zh) | 一种活塞自动加工装置 | |
| CN216181171U (zh) | 一种应用于大台面吸塑机的连续冲孔装置 | |
| CN220897774U (zh) | 一种方便面生产用整形机 | |
| CN221694893U (zh) | 一种效率高的自动上压机 | |
| CN219986977U (zh) | 一种便于排料的数控加工切屑转运箱 | |
| CN221734589U (zh) | 一种机加工托架冲孔模具 | |
| CN219749020U (zh) | 一种带有除尘装置的开式固定台压力机 | |
| CN114535399B (zh) | 一种方形钢管加工模具 | |
| CN219924303U (zh) | 一种内外翻孔加工模具 | |
| CN219946459U (zh) | 一种圆模具清废机 | |
| CN216914582U (zh) | 一种塑料模具废料自动清扫装置 | |
| CN220464124U (zh) | 一种具有收集功能的裁切机 | |
| CN217225659U (zh) | 一种胶口自动裁切设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |