CN218860593U - 一种微蚀刻药液循环系统 - Google Patents

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张涛涛
岳伟
杨夫舜
齐彦杰
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Abstract

本实用新型揭示了一种微蚀刻药液循环系统,装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体,所述主槽体上方开口并置于溢流盘上,所述溢流盘通过回流管与副槽体连接,所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体,并向主槽体内注入药液。本实用新型可以在超薄玻璃微蚀刻时药液不循环,超薄玻璃出主槽体时自动开启药液循环,满足批量蚀刻时药液的循环要求,同时对超薄玻璃的面蚀刻过程无恶化影响,产品可以大规模投产,保证良好的制程稳定性,而且系统结构简单,装备成本低,且工作安全、温度可靠。

Description

一种微蚀刻药液循环系统
技术领域
本实用新型涉及蚀刻技术领域。
背景技术
当前折叠屏的使用方案为柔性材料或是超薄玻璃材料,而柔性材料的使用寿命及耐刮擦能力远不如超薄玻璃,因而未来的折叠屏发展趋势会向以超薄玻璃作为柔性盖板,进行模组的组装及量产。
为了提升当前超薄玻璃盖板的面强度,多采用高温熔融状态下硝酸钾进行钠钾离子置换,从而达到化学钢化的目的,但此种方案进行后由于钢化后产品应力增加,产品膨胀,造成产品表观微裂纹,导致玻璃表面的耐冲击强度大大下降,但通过面内的微蚀刻技术可以有效钝化玻璃面内裂纹及崩边,批量蚀刻时,药液长期静置均匀性持续变差,蚀刻不良增加,面蚀刻时药液波动又会导致超薄玻璃在酸液中难以站立,易卷曲,造成玻璃表面蚀刻不均,夹具印,凹点,脏污,板厚不良等不良,大大降低了玻璃在本段加工的良率。
例如公开号为CN202359203U,公开日为2012年8月1日,专利名称为《微蚀刻液再生回收系统》的公开文献,公开的微蚀刻液再生回收系统,包括:电解槽,电解槽的一侧依次设置有循环槽和预处理槽,循环槽与电解槽管道连通,循环槽与电解槽之间设置有抽送泵,电解槽与循环槽之间通过一个侧壁隔开,且该侧壁上开设有溢流口;预处理槽与循环槽管道连通,预处理槽与循环槽之间设置有抽送泵。
公开文献虽然能够进行循环使用,但是系统结构相对复杂,会极大增加投入成本,也会影响系统工作的可靠性。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是实现一种简单可靠的微蚀刻药液循环系统,可以应用于超薄柔性玻璃的微蚀刻生产。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为:一种微蚀刻药液循环系统,装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体,所述主槽体上方开口并置于溢流盘上,所述溢流盘通过回流管与副槽体连接,所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体,并向主槽体内注入药液。
所述溢流盘在副槽体的上方,所述溢流盘底部设有排水口,所述回流管一端连接在排水口上,另一端延伸至副槽体的上方。
所述主槽体的上沿设有一排溢流孔,所述溢流孔的高度位置相同,所述主槽体的每个面上均设有溢流孔。
所述送液管道的一端连接至主槽体底部或侧面下部位置,所述送液管道的另一端连接至副槽体底部或侧面下部位置。
系统设有控制器,所述控制器连接并输出驱动信号至气动泵和电磁阀。
所述控制器的输出端连接有显示设备和控制按键,所述副槽体内设有液位传感器和药剂检测电子组件,所述液位传感器和药剂检测电子组件连接并输出感应信号至控制器。
所述主槽体的上沿固定有感应是否有玻璃进出主槽体的感应器,所述感应器连接并输出感应信号至控制器。
本实用新型可以在超薄玻璃微蚀刻时药液不循环,超薄玻璃出主槽体时自动开启药液循环,满足批量蚀刻时药液的循环要求,同时对超薄玻璃的面蚀刻过程无恶化影响,产品可以大规模投产,保证良好的制程稳定性,而且系统结构简单,装备成本低,且工作安全、温度可靠。
附图说明
下面对本实用新型说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明:
图1为微蚀刻药液循环系统原理图;
上述图中的标记均为:1、溢流盘;2、溢流孔;3、主槽体;4、送液管道;5、气动泵;6、电磁阀;7、副槽体。
具体实施方式
下面对照附图,通过对实施例的描述,本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理、制造工艺及操作使用方法等,作进一步详细的说明,以帮助本领域技术人员对本实用新型的发明构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。
如图1所示,微蚀刻药液循环系统主要由溢流盘1、主槽体3、送液管道4、气动泵5、电磁阀6、副槽体7和回流管构成,因为微蚀刻药液为酸液,上述部件材质均选择防酸材质。
主槽体3和副槽体7均为长方体或圆柱体容器,主槽体3和副槽体7均上方开口,主槽体3上方开口方便放入玻璃进行微蚀刻,副槽体7上方开口优选配有盖子,方便打开补充微蚀刻药液。副槽体7通过设有气动泵5和电磁阀6的送液管道4连接主槽体3,并向主槽体3内注入药液,送液管道4优选PVC管道,气动泵5用于从副槽体7向主槽体3泵送药液,电磁阀6用于中断气动泵5泵送,避免主槽体3内的药液向副槽体7内回流,可以通过手动对气动泵5、电磁阀6进行控制,也可以使用控制器进行自动控制,超薄玻璃微蚀刻过程中,药液稳定,不循环;超薄玻璃离开药液时,开始循环。
主槽体3放置在溢流盘1内,溢流盘1是底部大于主槽体3的容器,用于存放从主槽体3内溢出的药液,溢流盘1通过回流管与副槽体7连接,溢流盘1在副槽体7的上方,溢流盘1底部设有排水口,回流管一端连接在排水口上,另一端延伸至副槽体7的上方,这样可以利用自重将药液回流至副槽体7,从而形成一个循环系统,为了保证溢流均匀,主槽体3的上沿设有一排溢流孔2,溢流孔2的高度位置相同,且主槽体3的每个面上均设有溢流孔2。超薄柔性玻璃的微蚀刻工装上升离开主槽体3时,气动泵5开启,药液通过管道从副槽体7流向主槽体3,再从主槽体3四周槽壁上的孔位流向副槽体7。
此外,送液管道4的一端连接至主槽体3底部或侧面下部位置,送液管道4的另一端连接至副槽体7底部或侧面下部位置,主槽体3从上方排液,下方注入药液,内部形成一个循环系统,保证药液均匀,副槽体7从下方排液,上方注入药液,内部也形成一个循环系统,保证药液均匀。
除了可以手动控制,还可以为系统增加自动控制部分,预设一个控制器连接并输出驱动信号至气动泵5和电磁阀6,控制器的输出端连接有显示设备和控制按键,方便进行参数、状态进行显示,以及方便通过控制按键进行人机交互,副槽体7内设有液位传感器和药剂检测电子组件,液位传感器和药剂检测电子组件连接并输出感应信号至控制器,可以在药液质量变差时提醒更换,也可以在药液存量不足时,通知工作人员及时补充,主槽体3的上沿固定有感应是否有玻璃进出主槽体3的感应器,感应器连接并输出感应信号至控制器,感应器可以采用激光传感器,感应是否有物体通过,通过感应器可以实现系统的自动启停。
该药液循环系统的设计,实用性强,可以大规模投产,极大提升良率,自动控制循环开启和关闭,可以在超薄玻璃微蚀刻时药液不循环,超薄玻璃出主槽体3时自动开启药液循环,满足批量蚀刻时药液的循环要求,工作安全、稳定、可靠。
上面结合附图对本发明进行了示例性描述,显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制,只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进,或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种微蚀刻药液循环系统,其特征在于:装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体,所述主槽体上方开口并置于溢流盘上,所述溢流盘通过回流管与副槽体连接,所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体,并向主槽体内注入药液。
2.根据权利要求1所述的微蚀刻药液循环系统,其特征在于:所述溢流盘在副槽体的上方,所述溢流盘底部设有排水口,所述回流管一端连接在排水口上,另一端延伸至副槽体的上方。
3.根据权利要求2所述的微蚀刻药液循环系统,其特征在于:所述主槽体的上沿设有一排溢流孔,所述溢流孔的高度位置相同,所述主槽体的每个面上均设有溢流孔。
4.根据权利要求1、2或3所述的微蚀刻药液循环系统,其特征在于:所述送液管道的一端连接至主槽体底部或侧面下部位置,所述送液管道的另一端连接至副槽体底部或侧面下部位置。
5.根据权利要求4所述的微蚀刻药液循环系统,其特征在于:系统设有控制器,所述控制器连接并输出驱动信号至气动泵和电磁阀。
6.根据权利要求5所述的微蚀刻药液循环系统,其特征在于:所述控制器的输出端连接有显示设备和控制按键,所述副槽体内设有液位传感器和药剂检测电子组件,所述液位传感器和药剂检测电子组件连接并输出感应信号至控制器。
7.根据权利要求6所述的微蚀刻药液循环系统,其特征在于:所述主槽体的上沿固定有感应是否有玻璃进出主槽体的感应器,所述感应器连接并输出感应信号至控制器。
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