CN219490242U - 一种硅料浸泡机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅料浸泡机，涉及多晶硅铸锭技术领域，本实用新型包括浸泡桶，浸泡桶内壁左右侧面开设有滑槽，浸泡桶内壁表面滑动安装有硅料盛放机构，硅料盛放机构表面和浸泡桶表面设有升降组件，升降组件表面固定安装有搅拌桨，浸泡桶右侧面上部固定安装有排气管，排气管右端固定连接有冷凝管，冷凝管表面套设有冷凝机构，本实用新型通过升降组件带动硅料盛放机构上下移动，同时带动搅拌桨转动，使得酸液快速流动，硅料盛放机构内的硅料在上下振动过程中移位，确保硅料与酸液充分接触，不会对硅料造成磨损，通过冷凝机构对酸液浸泡硅料时产生的酸性气体进行冷凝，避免酸性气体直接排放，更加环保。

Description

一种硅料浸泡机

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域，具体涉及一种硅料浸泡机。

背景技术

多晶硅铸锭技术的竞争，其实际上就是硅锭质量的竞争，而硅料纯度直接决定了多晶硅质量，提高硅料纯度的常用处理方式是采用酸液进行浸泡。

目前，硅料浸泡设备普遍采用搅拌硅料的方式，以确保浸泡过程中酸液浓度均匀、所有硅料被充分浸泡，并通过排气机构将产生的酸性气体排出，但是在搅拌硅料的过程中硅料极易被搅拌机构打碎进而受损，同时通过排气机构直接将酸性气体排出会导致环境污染，对操作工人的健康也有损害。

为此提出一种硅料浸泡机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为解决现有硅料浸泡设备通过搅拌机构搅拌确保硅料被充分浸泡导致硅料易受损、并且缺乏针对酸性气体的处理机构的问题，本实用新型提供了一种硅料浸泡机。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种硅料浸泡机，包括浸泡桶，所述浸泡桶内壁左右侧面开设有滑槽，所述浸泡桶内壁表面滑动安装有硅料盛放机构，所述硅料盛放机构表面和浸泡桶表面设有升降组件，所述升降组件表面固定安装有搅拌桨，所述浸泡桶左侧面上部固定安装有输入管，所述浸泡桶右侧面上部固定安装有排气管，所述排气管右端固定连接有冷凝管，所述冷凝管表面套设有冷凝机构，所述冷凝管底面固定连接有输液管，所述排气管和输液管均贯穿冷凝机构设置，所述输液管底面固定连接有酸液桶且与酸液桶内部连通，所述酸液桶顶面固定安装有支撑柱，所述支撑柱顶面与冷凝机构固定连接，所述浸泡桶和酸液桶表面固定连接有废液输送组件，所述酸液桶右侧面底部固定安装有排液管，所述输液管、废液输送组件和排液管表面均设有电磁阀，所述浸泡桶正面上部铰接有密封门。

进一步地，所述硅料盛放机构包括硅料盒，所述硅料盒正面铰接有放料门，所述放料门正面右侧设有卡扣，所述卡扣与硅料盒表面卡合连接，所述硅料盒侧面贴合浸泡桶内壁表面设置，所述硅料盒顶面和底面之间固定安装有连接柱，所述硅料盒和放料门表面均开设有漏孔。

进一步地，所述升降组件包括滑块和电机，所述滑块固定安装于硅料盒左右侧面，所述滑块与滑槽内壁表面滑动连接，所述电机固定安装于浸泡桶顶面，所述电机输出端固定连接有螺纹杆，所述连接柱螺纹套装于螺纹杆表面，所述搅拌桨固定安装于螺纹杆表面下侧。

进一步地，所述冷凝管下部为漏斗形结构，所述密封门表面设有门锁。

进一步地，所述冷凝机构包括冷凝箱，所述冷凝箱套设于冷凝管表面且内部设有储液腔，所述冷凝箱右侧面固定安装有进液管，所述冷凝箱底面右部固定安装有出液管，所述进液管和出液管均与储液腔内部连通。

进一步地，所述废液输送组件包括安装板，所述安装板固定安装于酸液桶左侧面，所述安装板顶面固定安装有水泵，所述水泵输入端固定连接有废液管，所述废液管远离水泵的一端与浸泡桶右侧面底部固定连接且与浸泡桶内部连通，所述电磁阀设于废液管表面，所述水泵输出端与酸液桶内部连通。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过升降组件带动硅料盛放机构上下移动，同时带动搅拌桨转动，使得酸液快速流动，硅料盛放机构内的硅料在上下振动过程中发生移位，确保硅料可以充分与酸液接触，同时不会对硅料造成磨损，通过冷凝机构对酸液浸泡硅料时产生的酸性气体进行冷凝收集，并与反应后的酸性废液一同收集在酸液桶内，方便后续对酸性废液进行集中处理，避免酸性气体直接排放，更加环保。

附图说明

图1是本实用新型立体结构示意图；

图2是本实用新型立体结构正剖图；

图3是本实用新型硅料盛放机构立体结构示意图；

附图标记：1、浸泡桶；2、滑槽；3、硅料盛放机构；301、硅料盒；302、放料门；303、卡扣；304、漏孔；305、连接柱；4、升降组件；401、滑块；402、电机；403、螺纹杆；5、搅拌桨；6、输入管；7、排气管；8、冷凝管；9、冷凝机构；901、冷凝箱；902、进液管；903、出液管；10、输液管；11、酸液桶；12、支撑柱；13、废液输送组件；131、安装板；132、水泵；133、废液管；14、排液管；15、电磁阀；16、密封门。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

如图1至图3所示，一种硅料浸泡机，包括浸泡桶1，浸泡桶1内壁左右侧面开设有滑槽2，浸泡桶1内壁表面滑动安装有硅料盛放机构3，硅料盛放机构3表面和浸泡桶1表面设有升降组件4，升降组件4表面固定安装有搅拌桨5，浸泡桶1左侧面上部固定安装有输入管6，浸泡桶1右侧面上部固定安装有排气管7，排气管7右端固定连接有冷凝管8，冷凝管8表面套设有冷凝机构9，冷凝管8底面固定连接有输液管10，排气管7和输液管10均贯穿冷凝机构9设置，输液管10底面固定连接有酸液桶11且与酸液桶11内部连通，酸液桶11顶面固定安装有支撑柱12，支撑柱12顶面与冷凝机构9固定连接，浸泡桶1和酸液桶11表面固定连接有废液输送组件13，酸液桶11右侧面底部固定安装有排液管14，输液管10、废液输送组件13和排液管14表面均设有电磁阀15，浸泡桶1正面上部铰接有密封门16。

具体地，打开密封门16可以向硅料盛放机构3内放入硅料或者将硅料盛放机构3内完成浸泡的硅料取出，通过输入管6可以向浸泡桶1内部注入足量酸液，在酸液浸泡硅料的过程中，将惰性气体发生装置的出气端与输入管6连接，通过输入管6向浸泡桶1内部注入惰性气体，将酸液浸泡硅料产生的酸性气体挤压排出，使酸性气体经过排气管7进入冷凝管8内，在冷凝机构9内注入冷却液，由于冷凝机构9套设在冷凝管8外表面，因此冷凝机构9内的冷却液会降低冷凝管8的温度，使得冷凝管8内的酸性气体被冷凝，开启输液管10表面的电磁阀15，冷凝的酸液会经输液管10进入酸液桶11内部，开启废液输送组件13以及废液输送组件13表面的电磁阀15，即可使浸泡硅料后的酸性废液进入酸液桶11内，通过酸液桶11完成酸性气体和酸性废液的收集，通过开启排液管14表面的电磁阀15，可以将酸液桶11内收集的酸液引至下一处理流程，在使用酸液浸泡硅料的过程中，通过升降组件4带动硅料盛放机构3上下移动，同时升降组件4会带动搅拌桨5发生转动，使得酸液快速流动，同时在硅料盛放机构3上下移动的过程中，其内部的硅料在水流和惯力作用下会发生移动，可以确保所有的硅料都可以充分和酸液接触，同时确保酸液的PH值均一，使不同位置硅料在浸泡过程中发生的反应进程高度一致，提升浸泡质量。

如图2、图3所示，硅料盛放机构3包括硅料盒301，硅料盒301正面铰接有放料门302，放料门302正面右侧设有卡扣303，卡扣303与硅料盒301表面卡合连接，硅料盒301侧面贴合浸泡桶1内壁表面设置，硅料盒301顶面和底面之间固定安装有连接柱305，硅料盒301和放料门302表面均开设有漏孔304。

具体地，将卡扣303断开与硅料盒301的连接，即可打开放料门302，将硅料放置在硅料盒301内，或者将硅料从硅料盒301内取出，漏孔304使得酸液可以进入硅料盒301内对硅料进行浸泡，同时在硅料盛放机构3上下移动的过程中，漏孔304会搅动酸液，使酸液的流动更加剧烈，进而对硅料产生更强的冲力，硅料在冲力作用下频繁移动，使所有硅料都可以与酸液充分接触。

如图1、图2所示，升降组件4包括滑块401和电机402，滑块401固定安装于硅料盒301左右侧面，滑块401与滑槽2内壁表面滑动连接，电机402固定安装于浸泡桶1顶面，电机402输出端固定连接有螺纹杆403，连接柱305螺纹套装于螺纹杆403表面，搅拌桨5固定安装于螺纹杆403表面下侧。

具体地，电机402开启后其输出端带动螺纹杆403发生转动，由于连接柱305与螺纹杆403螺纹连接，并且滑块401与滑槽2滑动连接，因此当螺纹杆403转动时，硅料盛放机构3不会随之转动，而是在滑块401的作用下上下移动，硅料盒301上下震荡，使其内部盛放的硅料在惯性作用下发生移位，使硅料与酸液接触更加充分。

如图2所示，冷凝管8下部为漏斗形结构，密封门16表面设有门锁。

具体地，漏斗形结构使得酸性气体冷凝成的酸液集中在漏斗底部，当输液管10表面的电磁阀15开启后酸液可以全部流入至酸液桶11内部。

如图1、图2所示，冷凝机构9包括冷凝箱901，冷凝箱901套设于冷凝管8表面且内部设有储液腔，冷凝箱901右侧面固定安装有进液管902，冷凝箱901底面右部固定安装有出液管903，进液管902和出液管903均与储液腔内部连通。

具体地，冷却液从进液管902输入至储液腔内部，冷却液温度升高、冷凝效果变差后，通过出液管903排出储液腔，通过进液管902重新向储液腔加入冷却液，确保冷凝机构9具有持续高效冷凝效果。

如图1、图2所示，废液输送组件13包括安装板131，安装板131固定安装于酸液桶11左侧面，安装板131顶面固定安装有水泵132，水泵132输入端固定连接有废液管133，废液管133远离水泵132的一端与浸泡桶1右侧面底部固定连接且与浸泡桶1内部连通，电磁阀15设于废液管133表面，水泵132输出端与酸液桶11内部连通。

具体地，水泵132和废液管133表面的电磁阀15同时开启后，在水泵132的作用下，浸泡桶1内部的酸性废液经废液管133和水泵132进入酸液桶11内部，与酸性气体冷凝成的酸液混合，方便后续集中对酸性废液进行集中处理。

综上，本实用新型通过升降组件4带动硅料盛放机构3上下移动，同时带动搅拌桨5转动，使得酸液快速流动，硅料盛放机构3内的硅料在上下震动过程中发生移位，确保硅料可以充分与酸液接触，同时不会对硅料造成磨损，通过冷凝机构9对酸液浸泡硅料时产生的酸性气体进行冷凝收集，并与反应后的酸性废液一同收集在酸液桶11内，方便后续对酸性废液进行集中处理，避免酸性气体直接排放，更加环保，解决了现有硅料浸泡设备通过搅拌机构搅拌确保硅料被充分浸泡导致硅料易受损、并且缺乏针对酸性气体的处理机构的问题。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.一种硅料浸泡机，其特征在于，包括浸泡桶(1)，所述浸泡桶(1)内壁左右侧面开设有滑槽(2)，所述浸泡桶(1)内壁表面滑动安装有硅料盛放机构(3)，所述硅料盛放机构(3)表面和浸泡桶(1)表面设有升降组件(4)，所述升降组件(4)表面固定安装有搅拌桨(5)，所述浸泡桶(1)左侧面上部固定安装有输入管(6)，所述浸泡桶(1)右侧面上部固定安装有排气管(7)，所述排气管(7)右端固定连接有冷凝管(8)，所述冷凝管(8)表面套设有冷凝机构(9)，所述冷凝管(8)底面固定连接有输液管(10)，所述排气管(7)和输液管(10)均贯穿冷凝机构(9)设置，所述输液管(10)底面固定连接有酸液桶(11)且与酸液桶(11)内部连通，所述酸液桶(11)顶面固定安装有支撑柱(12)，所述支撑柱(12)顶面与冷凝机构(9)固定连接，所述浸泡桶(1)和酸液桶(11)表面固定连接有废液输送组件(13)，所述酸液桶(11)右侧面底部固定安装有排液管(14)，所述输液管(10)、废液输送组件(13)和排液管(14)表面均设有电磁阀(15)，所述浸泡桶(1)正面上部铰接有密封门(16)。

2.根据权利要求1所述的一种硅料浸泡机，其特征在于，所述硅料盛放机构(3)包括硅料盒(301)，所述硅料盒(301)正面铰接有放料门(302)，所述放料门(302)正面右侧设有卡扣(303)，所述卡扣(303)与硅料盒(301)表面卡合连接，所述硅料盒(301)侧面贴合浸泡桶(1)内壁表面设置，所述硅料盒(301)顶面和底面之间固定安装有连接柱(305)，所述硅料盒(301)和放料门(302)表面均开设有漏孔(304)。

3.根据权利要求2所述的一种硅料浸泡机，其特征在于，所述升降组件(4)包括滑块(401)和电机(402)，所述滑块(401)固定安装于硅料盒(301)左右侧面，所述滑块(401)与滑槽(2)内壁表面滑动连接，所述电机(402)固定安装于浸泡桶(1)顶面，所述电机(402)输出端固定连接有螺纹杆(403)，所述连接柱(305)螺纹套装于螺纹杆(403)表面，所述搅拌桨(5)固定安装于螺纹杆(403)表面下侧。

4.根据权利要求1所述的一种硅料浸泡机，其特征在于，所述冷凝管(8)下部为漏斗形结构，所述密封门(16)表面设有门锁。

5.根据权利要求1所述的一种硅料浸泡机，其特征在于，所述冷凝机构(9)包括冷凝箱(901)，所述冷凝箱(901)套设于冷凝管(8)表面且内部设有储液腔，所述冷凝箱(901)右侧面固定安装有进液管(902)，所述冷凝箱(901)底面右部固定安装有出液管(903)，所述进液管(902)和出液管(903)均与储液腔内部连通。

6.根据权利要求1所述的一种硅料浸泡机，其特征在于，所述废液输送组件(13)包括安装板(131)，所述安装板(131)固定安装于酸液桶(11)左侧面，所述安装板(131)顶面固定安装有水泵(132)，所述水泵(132)输入端固定连接有废液管(133)，所述废液管(133)远离水泵(132)的一端与浸泡桶(1)右侧面底部固定连接且与浸泡桶(1)内部连通，所述电磁阀(15)设于废液管(133)表面，所述水泵(132)输出端与酸液桶(11)内部连通。