CN218856909U - 一种可调节旋转角度的多功能平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可调节旋转角度的多功能平台,属于半导体设备加工领域，包括基台，所述基台开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台，所述旋转台的顶部设置有多个第二吸附孔，所述旋转台的底部连接有转轴的一端，所述转轴的另一端穿过底板与设备平台转动连接，所述底板的一侧设置有连接块，所述连接块连接有连接杆，所述基台底部一侧设置有调节组件，所述调节组件与所述连接杆固定连接，用于调节所述旋转台的角度，目的是对晶圆和加工件进行快速固定以及取放，并精确控制晶圆旋转角度，提高设备的生产效率和产品的良率。

Description

一种可调节旋转角度的多功能平台

技术领域

本实用新型涉及半导体设备加工领域，具体为一种可调节旋转角度的多功能平台。

背景技术

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。

现有技术中，对于半导体芯片的制作加工要求十分严格，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆在旋转平台上定位进行检测，由于晶圆的直径不同，难以对其进行精准的定位，导致检测结果不够精准，且在进行焊接、涂覆、粘接等工序时需要对待加工件进行旋转角度调节，现有的工装平台很难对旋转角度进行精准的控制，同时无法做到快速取放，影响了加工精度及生产效率。

因此本领域技术人员提供了一种可调节旋转角度的多功能平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型为了解决的技术问题提供一种可调节旋转角度的多功能平台，目的在于解决在半导体加工中，对晶圆以及加工件进行快速取放以及精确控制其旋转角度的问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种可调节旋转角度的多功能平台，包括基台，所述基台开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台，所述旋转台的顶部设置有多个第二吸附孔，所述旋转台的底部连接有转轴的一端，所述转轴的另一端穿过底板与设备平台转动连接，所述底板的一侧设置有连接块，所述连接块连接有连接杆，所述基台底部一侧设置有调节组件，所述调节组件与所述连接杆固定连接，用于调节所述旋转台的角度。

本实用新型的有益效果是：

1、通过基台和旋转台上设置的第一吸附孔和第二吸附孔，外接吸气装置和放气装置，可将基台上的加工件和旋转台上的晶圆快速固定和取走，提高设备的生产效率；

2、当晶圆在需要的角度进行粗对准后，首先，旋松第一顶紧螺杆，其次，旋紧调节螺旋调节器与第二顶紧螺杆发生抵接，使得第二顶紧螺杆向右发生偏移，进而使连接杆带动旋转台发生5°至10°的逆时针转动，实现对旋转台的精准调控；

3、当晶圆在需要的角度进行粗对准后，首先，旋松调节螺旋调节器，通过旋紧第一顶紧螺杆与第二顶紧螺杆发生抵接，使得第二顶紧螺杆向左发生偏移，进而与第二顶紧螺杆固定连接的连接杆带动旋转台发生5°至10°的顺时针转动，实现对旋转台的精准调控，提高产品的良率。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述调节组件包括空心固定座、螺旋调节器以及第一顶紧螺杆，所述空心固定座一侧设置有螺旋调节器，所述空心固定座的另一侧设置有第一顶紧螺杆，所述空心固定座上设置有角度粗调限位孔，所述角度粗调限位孔内螺纹连接有第二顶紧螺杆，所述第二顶紧螺杆与所述连接杆固定连接。

进一步，所述基台的顶部固定设置直角刻度卡尺，所述直角刻度卡尺的一侧设置有多个水平排列的第一吸附孔。

进一步，所述基台的一侧依次设置有第一吸气孔、第二吸气孔以及放气孔，所述第一吸气孔通过软管与所述第一吸附孔连通，所述第二吸气孔的底部连通有软管的一端，所述软管的另一端穿过所述凹槽的底部与所述第二吸附孔连接，所述放气孔通过软管分别与所述第一吸附孔和所述第二吸附孔连通。

进一步，所述旋转台与所述基台的表面相平齐，所述旋转台上设置有晶圆轮廓线。

进一步，所述基台的顶部随机设置有多个螺纹固定孔。

进一步，所述基台的一侧设置有横向水平尺，所述基台相邻的一侧设置有纵向水平尺。

进一步，所述基台的顶部四周均设置有装配孔。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型底板示意图；

图3为本实用新型局部示意图；

图4为本实用新型固定座示意图；

图5为本实用新型固定座俯视图；

图6为本实用新型固定座正视图；

图7为本实用新型固定座后视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、装配孔；2、基台；3、螺纹固定孔；4、直角刻度卡尺；5、第一吸附孔；6、取片凹槽；7、晶圆轮廓线；8、第二吸附孔；9、旋转台；10、连接杆；11、第一吸气孔；12、第二吸气孔；13、放气孔；14、横向水平尺；15、纵向水平尺；16、第一顶紧螺杆；17、第一顶紧螺杆固定器；18、空心固定座；19、固定销；20、第二顶紧螺杆；21、角度粗调限位孔；22、螺旋调节器；23、底板；24、连接块。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

如图1-7所示，本实施例提供一种可调节旋转角度的多功能平台，包括基台2，所述基台2可采用金属、塑料或者玻璃材质，所述基台2内为空心的，所述基台2开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台9，所述旋转台9的顶部设置有多个第二吸附孔8，所述多个第二吸附孔8可对称排列也可随机排列，所述旋转台9的底部连接有转轴的一端，所述转轴的另一端穿过底板23与设备平台转动连接，所述底板23的一侧设置有连接块24，所述连接块24上有通孔，所述通孔内连接有连接杆10，所述基台2底部一侧设置有调节组件，所述调节组件与所述连接杆10固定连接，用于调节所述旋转台9的角度。

优选的，在本实施例中，还包括所述调节组件包括空心固定座18、螺旋调节器22以及第一顶紧螺杆16，所述空心固定座18一侧设置有螺旋调节器22，所述空心固定座18的另一侧设置有第一顶紧螺杆16，所述第一顶紧螺杆16通过第一顶紧螺杆固定器17与所述空心固定座18相连，所述螺旋调节器22和所述第一顶紧螺杆16均通过固定销19与所述空心固定座18连接，所述空心固定座18上设置有角度粗调限位孔21，所述角度粗调限位孔21内螺纹连接有第二顶紧螺杆20，所述第二顶紧螺杆20与所述连接杆10固定连接。

优选的，在本实施例中，还包括所述基台2的顶部固定设置一个或者两个直角刻度卡尺4，所述直角刻度卡尺4可采用采用金属、塑料或者玻璃材质，当设置一个所述直角刻度卡尺4时，方便在所述基台2上测量加工件某方向的尺寸，当设置有两个相连的所述直角刻度卡尺4，可将加工件卡在两个所述直角刻度卡尺4之间测试加工件两个方向的尺寸，便于提高工作人员的效率，所述直角刻度卡尺4的一侧设置有多个水平排列的第一吸附孔5，根据不同的工况，所述第一吸附孔5也可为离散点分布。

优选的，在本实施例中，还包括所述基台2的一侧依次设置有第一吸气孔11、第二吸气孔12以及放气孔13，所述第一吸气孔11通过软管(未画出)与所述第一吸附孔5连通，所述第二吸气孔12的底部连通有软管(未画出)的一端，所述软管的另一端穿过所述凹槽的底部与所述第二吸附孔8连接，防止在旋转台9转动的过程中，软管发生缠绕，尽管所述旋转台9的旋转角度在5°至10°，所述放气孔13通过软管(未画出)分别与所述第一吸附孔5和所述第二吸附孔8连通，所述放气孔13的底部连通有软管(未画出)的一端，所述软管的另一端穿过所述凹槽的底部与第二吸附孔8连通，当第一吸气孔11和第二吸气孔12外接吸气装置时，所述基台2和所述旋转台9上的加工件能快速固定，当放气孔13外接放气装置时，工作人员能将所述基台2和所述旋转台9上的加工件快速取走，提高工作效率。

优选的，在本实施例中，还包括所述旋转台9与所述基台2的上下表面相平齐，所述旋转台9的两侧设置有取片凹槽6，便于工作人员用手取放晶圆，所述旋转台9上可设置有多条晶圆轮廓线7，适用于不同尺寸晶圆，例如2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸晶圆外轮廓，提高装置的使用率。

优选的，在本实施例中，还包括所述基台2的顶部随机设置有多个螺纹固定孔3，所述螺纹固定孔3等距设置，呈圆形分布或者离散分布，用于将待加工件与所述基台2卡紧固定，便于工作人员操作。

优选的，在本实施例中，还包括所述基台2的一侧的中部设置有横向水平尺14，所述基台2相邻的一侧的中部设置有纵向水平尺15，便于检测所述基台2水平方向和纵向方向的偏移程度。

优选的，在本实施例中，还包括所述基台2的顶部四周均设置有装配孔1，可以将基台2与其他设备平台固定或者调控基台2的高度以及倾斜角度。

本实施案例中，使用时，首先，通过装配孔1将基台2与其他设备平台相固定，通过观察所述横向水平尺14和纵向水平尺15将基台2调平，其次，将待测晶圆放置在旋转台9上，并与晶圆轮廓线7对准，外接与第一吸气孔11连通的吸气装置，通过第一吸附孔5将基台2上的加工件快速固定，启动与第二吸气孔12外接的吸气装置，通过第二吸附孔8将旋转台9上的晶圆快速固定，旋松第二顶紧螺杆20，将晶圆在需要的角度进行粗对准后旋紧第二顶紧螺杆20，再旋松第一顶紧螺杆16，通过旋紧调节螺旋调节器22与第二顶紧螺杆20发生抵接，使得第二顶紧螺杆20向右发生偏移，进而与第二顶紧螺杆20固定连接的连接杆10带动旋转台9发生逆时针转动，转动范围在5°至10°，对旋转台9进行精准的调控，同理，晶圆在需要的角度进行粗对准后旋紧第二顶紧螺杆20后，再旋松调节螺旋调节器22，通过旋紧第一顶紧螺杆16与第二顶紧螺杆20发生抵接，使得第二顶紧螺杆20向左发生偏移，进而与第二顶紧螺杆20固定连接的连接杆10带动旋转台9发生顺时针转动，转动范围也在5°至10°，实现对旋转台9进行精准的调控，最后，关闭吸气装置，启动与放气孔13连接的放气装置，可通过取片凹槽6将晶圆取出。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (8)

1.一种可调节旋转角度的多功能平台，包括基台(2)，其特征在于，所述基台(2)开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台(9)，所述旋转台(9)的顶部设置有多个第二吸附孔(8)，所述旋转台(9)的底部连接有转轴的一端，所述转轴的另一端穿过底板(23)与设备平台转动连接，所述底板(23)的一侧设置有连接块(24)，所述连接块(24)连接有连接杆(10)，所述基台(2)底部一侧设置有调节组件，所述调节组件与所述连接杆(10)固定连接，用于调节所述旋转台(9)的角度。

2.根据权利要求1所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述调节组件包括空心固定座(18)、螺旋调节器(22)以及第一顶紧螺杆(16)，所述空心固定座(18)一侧设置有螺旋调节器(22)，所述空心固定座(18)的另一侧设置有第一顶紧螺杆(16)，所述空心固定座(18)上设置有角度粗调限位孔(21)，所述角度粗调限位孔(21)内螺纹连接有第二顶紧螺杆(20)，所述第二顶紧螺杆(20)与所述连接杆(10)固定连接。

3.根据权利要求1所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述基台(2)的顶部固定设置直角刻度卡尺(4)，所述直角刻度卡尺(4)的一侧设置有多个水平排列的第一吸附孔(5)。

4.根据权利要求3所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述基台(2)的一侧依次设置有第一吸气孔(11)、第二吸气孔(12)以及放气孔(13)，所述第一吸气孔(11)通过软管与所述第一吸附孔(5)连通，所述第二吸气孔(12)的底部连通有软管的一端，所述软管的另一端穿过所述凹槽的底部与所述第二吸附孔(8)连接，所述放气孔(13)分别通过软管与所述第一吸附孔(5)和所述第二吸附孔(8)连通。

5.根据权利要求1至4任一项所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述旋转台(9)与所述基台(2)的表面相平齐，所述旋转台(9)上设置有晶圆轮廓线(7)。

6.根据权利要求1至4任一项所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述基台(2)的顶部随机设置有多个螺纹固定孔(3)。

7.根据权利要求1至4任一项所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述基台(2)的一侧设置有横向水平尺(14)，所述基台(2)相邻的一侧设置有纵向水平尺(15)。

8.根据权利要求1至4任一项所述一种可调节旋转角度的多功能平台，其特征在于，所述基台(2)的顶部四周均设置有装配孔(1)。

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