CN219104785U - 一种用于tem试片修薄的可调节式载具 - Google Patents

Abstract

本申请涉及TEM试片修薄技术领域，尤其是涉及一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，包括支撑台，支撑台上设置有支撑架,支撑架上设置有与TEM试片进行固定的调节板，支撑架上设置有调节调节板角度的调节机构。本申请的载具能够调节角度，能够适用于不同种类TEM试片的制备。

Description

一种用于TEM试片修薄的可调节式载具

技术领域

本申请涉及TEM试片修薄技术领域，尤其是涉及一种用于TEM试片修薄的可调节式载具。

背景技术

FIB在半导体芯片制造行业的失效分析领域常用来制备TEM样品、标记以及进行线路修补。随着半导体制程的缩小，需要制得的TEM样品厚度也在不断减小。

在对TEM试片进行修薄过程中，需要将TEM试片放置在载具上，再借由FIB机台进行TEM试片修薄和制样。相关技术中，放置TEM试片的载具为固定式载具，针对上述相关技术，发明人认为不同种类的TEM试片的样品所需要在载具上的放置角度存在差异，而固定式载具只能够适用于特定的TEM试片的制备。

实用新型内容

为了使得载具能够适用于不同种类TEM试片的制备，本申请提供一种用于TEM试片修薄的可调节式载具。

本申请提供的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，采用如下的技术方案：

一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，包括支撑台，所述支撑台上设置有支撑架,所述支撑架上设置有与TEM试片进行固定的调节板，所述支撑架上设置有调节调节板角度的调节机构。

通过采用上述技术方案，在对TEM试片进行修薄时，将TEM试片固定于调节板上，通过调节机构能够调整调节板的角度，能够调整TEM试片的倾斜角度，能够适用于不同种类TEM试片的样品制备。同时在对TEM试片修薄的过程中，能够调整调节板的角度，能够改善FIB在修薄过程中的补偿角度差，有利于提高TEM试片修饰的平整性。

优选的，所述调节机构包括两个同轴设置的调节螺丝，两个所述调节螺丝分别螺纹连接于调节板相互远离的两侧壁，两个所述调节螺丝均穿设于所述支撑架，所述调节螺丝的螺头抵接于所述支撑架远离所述调节板的一侧。

通过采用上述技术方案，在对调节板进行调节时，通过拧松调节螺丝，使得调节板能够转动；当调整好调节板的角度后，拧紧调节螺丝，使得调节螺丝的螺头抵紧于支撑架的侧壁，使得调节板不易在支撑架上转动。该种调节方式简单可靠。

优选的，所述支撑台上开设有插槽，所述支撑架卡接于所述插槽内。

通过采用上述技术方案，方便将支撑架在支撑台上的拆装。

优选的，所述调节机构包括调节轴，所述调节轴的周壁上形成花键部，所述调节板上开设有与花键部轮廓相同的第一连接孔，所述支撑架上开设有与花键部轮廓相同的第二连接孔，所述第一连接孔与所述第二连接孔同轴，所述调节轴穿设于所述第一连接孔和第二连接孔，所述花键部卡接于所述第一连接孔和第二连接孔。

通过采用上述技术方案，由于花键部类似于齿轮齿，当调节轴穿设于调节板和支撑架后，花键部与第一连接孔和第二连接孔形成卡接，花键部使得调节轴不会转动，调节板也不会在调节轴上转动，当需要调整调节板的角度时，将调节轴从调节板和支撑架上取下，调整调节板的角度，将调节轴再次穿设于调节板和支撑架，调节方式简单可靠。

优选的，所述调节轴上开设有两个限位槽，两个所述限位槽位于所述调节板的两侧，两个所述限位槽内均卡接有限位卡簧，所述限位卡簧抵接于所述支撑架远离所述调节板的一侧。

通过采用上述技术方案，当调整好调节轴和调节板的角度后，将限位卡簧卡接于限位槽内，使得两个限位卡簧对支撑架形成夹持，使得调节轴不会在支撑架上轴向窜动。

优选的，所述调节轴的两端均螺纹连接有限位螺母，两个所述限位螺母位于所述调节板的两侧，所述限位螺母抵接于所述支撑架远离所述调节板的一侧。

通过采用上述技术方案，当调整好调节轴和调节板的角度后，在调节轴的两端安装限位螺母，两个限位螺母对支撑架形成夹持，使得调节轴不会在支撑架上轴向窜动，提高调节板的稳定性。

优选的，所述支撑架包括主支撑板、第一支板和第二支板，所述第一支板和第二支板分别固定于所述主支撑板相互远离的两侧，所述调节板相互远离的两侧壁分别抵接于所述第一支板和第二支板。

通过采用上述技术方案，主支撑板提高了支撑架整体的结构强度，第一支板和第二支板便于对调节板的位置进行限定，使得调节板不易在第一支板和第二支板之间晃动。

优选的，所述调节板设置有多个，相邻所述调节板等间距排布于所述支撑台上。

通过采用上述技术方案，支撑台上能够同时固定多个TEM试片，FIB机台能够同时对多个TEM试片进行修薄，能够提高工作效率。多个调节板等间距排布便于控制相邻TEM试片之间的间距。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过设置调节机构能够调整调节板的角度，能够调整TEM试片的倾斜角度，能够适用于不同种类TEM试片的样品制备；

2.通过将调节机构设置为调节螺丝，在对调节板进行调节时，通过调整调节螺丝的松紧程度，能够控制调节板的转动与锁死状态，便于调整调节板的转动角度，该种调节方式简单可靠；

3.通过将调节机构设置为带有花键部的调节轴，便于调整调节板在调节轴上的安装角度。

附图说明

图1是本实施例1体现整体结构的示意图；

图2是本实施例1体现支撑架和转动板配合关系的示意图；

图3是本实施例2体现支撑架和转动板配合关系的示意图；

图4是本实施例2体现整体结构的爆炸图；

图5是图4中A处局部放大图；

图6是本实施例3体现支撑架和转动板配合关系的示意图。

附图标记：1、支撑台；2、插槽；3、支撑架；31、主支撑板；32、第一支板；33、第二支板；4、调节板；5、调节机构；51、调节螺丝；52、调节轴；521、花键部；6、第一连接孔；7、第二连接孔；8、限位件；81、限位卡簧；82、限位螺母；9、限位槽。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具。

实施例1：

参照图1，一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，包括支撑台1，支撑台1上顶部开设有多个插槽2，且相邻插槽2的间距相同，任一插槽2内均卡接有支撑架3，支撑架3上安装有与TEM试片进行固定的调节板4，且支撑架3上设有调节调节板4角度的调节机构5。

参照图1和图2，支撑架3包括方形的主支撑板31、长条状的第一支板32和长条状的第二支板33，第一支板32和第二支板33一体连接于主支撑板31相互远离的两竖直侧壁。第一支板32和第二支板33抵接于插槽2的槽壁。

参照图2，在本实施例中，调节机构5包括两个调节螺丝51，两个调节螺丝51呈对称分布于调节板4的两侧。其中一个调节螺丝51由第一支板32远离调节板4的侧壁穿入至调节板4内，第一支板32上开设有供调节螺丝51穿设的圆孔，调节板4上开设有与调节螺丝51螺纹配合的螺纹孔。调节螺丝51的螺头抵紧于第一支板32远离调节板4的侧壁。另一调节螺丝51以相同的方式安装于第二支板33上，两个调节螺丝51保持同轴，且调节螺丝51的轴线沿水平方向。

当需要调整调节板4的角度时，工作人员拧松调节螺丝51，使得调节板4能够在支撑架3上转动，当调整好调节板4的角度后，工作人员拧紧调节螺丝51，使得两个调节螺丝51分别抵紧于第一支板32和第二支板33的侧壁，使得调节板4不易在支撑架3上转动。通过该种方式能够调整调节板4上TEM试片的角度，能够适用于不同种类TEM试片的修薄。同时在对TEM试片修薄的过程中，能够调整调节板4的角度，能够改善FIB在修薄过程中的补偿角度差，有利于提高TEM试片修饰的平整性。

本申请实施例1一种用于TEM试片修薄的可调节式载具的实施原理为：在对TEM试片进行修薄时，将TEM试片固定于调节板4上。当需要调整调节板4的角度时，工作人员拧松调节螺丝51，使得调节板4能够在支撑架3上转动，当调整好调节板4的角度后，工作人员拧紧调节螺丝51，使得两个调节螺丝51分别抵紧于第一支板32和第二支板33的侧壁，使得调节板4不易在支撑架3上转动。通过该种方式能够调整调节板4上TEM试片的角度，能够适用于不同种类TEM试片的修薄。

实施例2：

参照图3和图4，与实施例1的不同之处在于，在本实施例中，调节机构5包括调节轴52，且调节轴52的中段周壁上形成花键部521。调节轴52同时穿设于第一支板32、第二支板33和调节板4。调节轴52安装于支撑架3后，调节轴52的轴线沿水平方向。调节板4上开设有与花键部521外轮廓相同的第一连接孔6，第一支板32和第二支板33上均开设有与花键部521外轮廓相同的第二连接孔7，第一连接孔6与两个第二连接孔7保持同轴，调节轴52穿设于第一连接孔6和两个第二连接孔7，且花键部521卡接于第一连接孔6和两个第二连接孔7内。

参照图3和图5，由于花键部521类似于齿轮齿，通过花键部521能够调整调节板4的角度。位于调节轴52的两端处还设有限位件8，在本实施例中限位件8为限位卡簧81。调节轴52靠近两端的位置处均开设有与限位卡簧81配合的限位槽9，两个限位槽9内均卡接有限位卡簧81，其中一个限位卡簧81抵接于第一支板32远离调节板4的一侧，另一限位卡簧81抵接于第二支板33远离调节板4的一侧，两个限位卡簧81对支撑架3形成夹持，使得调节轴52不会沿其轴线方向窜动。

本申请实施例2一种用于TEM试片修薄的可调节式载具的实施原理为：在对TEM试片进行修薄时，将TEM试片固定于调节板4上。当需要调整调节板4的角度时，调整调节板4与调节轴52卡接位置能够对调节板4的角度调整。当调整好调节板4的角度后，将两个限位卡簧81分别卡接于两个限位槽9，使得调节轴52不会沿其轴线方向窜动，提高了调节板4在支撑架3上的稳定性。

实施例3：

参照图6，与实施例2的不同之处在于，在本实施例中，限位件8为两个限位螺母82，两个限位螺母82分别螺纹连接于调节轴52的两端位置，且其中一个限位螺母82抵接于第一支板32远离调节板4的一侧，另一限位螺母82抵接于第二支板33远离调节板4的一侧，两个限位螺母82对支撑架3形成夹持，使得调节轴52不会沿其轴线方向窜动。

本申请实施例3一种用于TEM试片修薄的可调节式载具的实施原理为：当调整好调节板4的角度后，将两个限位螺母82分别螺纹连接于调节轴52的两端位置，两个限位螺母82对支撑架3形成夹持，使得调节轴52不会沿其轴线方向窜动，提高了调节板4在支撑架3上的稳定性。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：包括支撑台(1)，所述支撑台(1)上设置有支撑架(3),所述支撑架(3)上设置有与TEM试片进行固定的调节板(4)，所述支撑架(3)上设置有调节调节板(4)角度的调节机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述调节机构(5)包括两个同轴设置的调节螺丝(51)，两个所述调节螺丝(51)分别螺纹连接于调节板(4)相互远离的两侧壁，两个所述调节螺丝(51)均穿设于所述支撑架(3)，所述调节螺丝(51)的螺头抵接于所述支撑架(3)远离所述调节板(4)的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述调节机构(5)包括调节轴(52)，所述调节轴(52)的周壁上形成花键部(521)，所述调节板(4)上开设有与花键部(521)轮廓相同的第一连接孔(6)，所述支撑架(3)上开设有与花键部(521)轮廓相同的第二连接孔(7)，所述第一连接孔(6)与所述第二连接孔(7)同轴，所述调节轴(52)穿设于所述第一连接孔(6)和第二连接孔(7)，所述花键部(521)卡接于所述第一连接孔(6)和第二连接孔(7)。

4.根据权利要求3所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述调节轴(52)上开设有两个限位槽(9)，两个所述限位槽(9)位于所述调节板(4)的两侧，两个所述限位槽(9)内均卡接有限位卡簧(81)，所述限位卡簧(81)抵接于所述支撑架(3)远离所述调节板(4)的一侧。

5.根据权利要求3所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述调节轴(52)的两端均螺纹连接有限位螺母(82)，两个所述限位螺母(82)位于所述调节板(4)的两侧，所述限位螺母(82)抵接于所述支撑架(3)远离所述调节板(4)的一侧。

6.根据权利要求1所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述支撑架(3)包括主支撑板(31)、第一支板(32)和第二支板(33)，所述第一支板(32)和第二支板(33)分别固定于所述主支撑板(31)相互远离的两侧，所述调节板(4)相互远离的两侧壁分别抵接于所述第一支板(32)和第二支板(33)。

7.根据权利要求1所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述支撑台(1)上开设有插槽(2)，所述支撑架(3)卡接于所述插槽(2)内。

8.根据权利要求1所述的一种用于TEM试片修薄的可调节式载具，其特征在于：所述调节板(4)设置有多个，相邻所述调节板(4)等间距排布于所述支撑台(1)上。

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