CN218756168U - 一种单晶炉旋转臂支架 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种单晶炉旋转臂支架，其包括承重立柱的一侧设置有升降座，升降座上设置有轴套管，轴套管远离升降座的一端设置有导向座，升降座、轴套管和导向座同轴线设置，轴套管能够在升降座和导向座之间进行周向转动，承重立柱靠近升降座的一侧设置有滑轨，导向座靠近滑轨的一侧设置有滑块一和滑块二，升降座靠近滑轨的一侧设置有滑块三，滑块一、滑块二和滑块三均滑移连接于滑轨上，轴套管上固接有支撑臂，支撑臂远离轴套管的一端固接有水平设置的三爪卡具。本申请具有增加整体机构的稳定性的效果。

Description

一种单晶炉旋转臂支架

技术领域

本申请涉及半导体加工的领域，尤其是涉及一种单晶炉旋转臂支架。

背景技术

目前，单晶硅是一种良好的半导体材料，单晶硅通过单晶炉进行产出，可以用于二极管级、整流器件级、电路级和芯片产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位，处于新材料发展的前沿，单晶硅的用途越来越广泛。

针对上述中的相关技术，发明人认为在搬运单晶炉的时候，单晶炉的重量过大，且单晶炉在移动时产生的晃动，会导致生产出的晶棒质量不佳。

实用新型内容

为了增加整体机构的稳定性，本申请提供一种单晶炉旋转臂支架。

本申请提供的一种单晶炉旋转臂支架采用如下的技术方案：

一种单晶炉旋转臂支架，包括承重立柱的一侧设置有升降座，升降座上设置有轴套管，轴套管远离升降座的一端设置有导向座，升降座、轴套管和导向座同轴线设置，轴套管能够在升降座和导向座之间进行周向转动，承重立柱靠近升降座的一侧设置有滑轨，导向座靠近滑轨的一侧设置有滑块一和滑块二，升降座靠近滑轨的一侧设置有滑块三，滑块一、滑块二和滑块三均滑移连接于滑轨上，轴套管上固接有支撑臂，支撑臂远离轴套管的一端固接有水平设置的三爪卡具。

通过采用上述技术方案，通过在上方的导向座上设置有滑块一和滑块二来增强上方的承拉能力，增加了整体机构的稳定性，且通过上方的导向座和下方的升降座对轴套管进行夹持，也适应的增加了整体的稳定性。

可选的，轴套管和升降座之间设置有推立轴承，且推立轴承的底片与升降座固接，推立轴承的轴片与轴套管固接。

通过采用上述技术方案，通过推立轴承的设置，推立轴承能够承受更多来自推立轴承轴向的力，在轴套管带动单晶炉进行转动的时候，使推立轴承承受较大轴向力的时候，轴套管仍然能够进行周向转动。

可选的，升降座、轴套管和导向座之间设置有升降轴，升降轴与轴套管同轴线设置，升降轴的上端对应导向座的位置设置有直套轴承，升降轴的下端对应升降座的位置设置有直套轴承。

通过采用上述技术方案，升降轴放置于其中，在轴套管带动单晶炉进行转动的时候，通过升降轴减少其解体的几率，从中使用直套轴承，限定整体机构的稳定。

可选的，升降座的下端固接有升降螺母，承重立柱对应升降螺母的位置设置有丝杠，丝杠与升降螺母螺纹连接。

通过采用上述技术方案，通过转动丝杠，丝杠与升降螺母螺纹连接，即可实现升降螺母和升降座的上下运动，从而实现整体机构的运动。

可选的，丝杠对应升降螺母的下侧设置有备用螺母，备用螺母与升降螺母同轴线设置。

通过采用上述技术方案，在升降螺母损坏的时候，整体机构能够掉落至备用螺母的上端，减少因升降螺母损坏的时候，整体机构与丝杠无连接，整体机构沿竖直方向进行掉落，从而导致整体结构的损坏。

可选的，升降座内对应丝杠的位置设置有螺纹套，螺纹套与丝杠螺纹连接，螺纹套与升降螺母固接。

通过采用上述技术方案，升降螺母与螺纹套之间相互固接，通过螺纹套和升降螺母与丝杠共同螺纹连接于丝杠，减少了整体机构滑丝的情况。

可选的，轴套管与导向座之间设置有铜垫。

通过采用上述技术方案，铜垫能够减少导向座与轴套管之间的摩擦力，减少了更换工件的频率，更换铜垫即可。

可选的，承重立柱的下端设置有承重板，承重板与承重立柱之间设置有多个承重肋。

通过采用上述技术方案，通过增加承重立柱与地面的接触面积，增加承重立柱的稳定性，承重肋在承重板固定的时候，保持承重立柱与承重板之间的相互垂直。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过在上方的导向座上设置有滑块一和滑块二来增强上方的承拉能力，增加了整体机构的稳定性，且通过上方的导向座和下方的升降座对轴套管进行夹持，也适应的增加了整体的稳定性；

2.通过推立轴承的设置，推立轴承能够承受更多来自推立轴承轴向的力，在轴套管带动单晶炉进行转动的时候，使推立轴承承受较大轴向力的时候，轴套管仍然能够进行周向转动；

3.在升降螺母损坏的时候，整体机构能够掉落至备用螺母的上端，减少因升降螺母损坏的时候，整体机构与丝杠无连接，整体机构沿竖直方向进行掉落，从而导致整体结构的损坏。

附图说明

图1是本实施例中一种单晶炉旋转臂支架的整体示意图。

图2是本实施例中一种单晶炉旋转臂支架突出升降组件的剖面图。

附图标记说明：1、承重立柱；11、承重板；12、承重肋；2、升降组件；21、升降平台；211、升降机；22、丝杠；23、升降座；231、升降螺母；232、螺纹套；24、备用螺母；25、推立轴承；26、轴套管；261、支撑臂；262、三爪卡具；27、铜垫；28、导向座；29、固定块；291、让位孔；3、升降轴；31、让位槽；32、直套轴承；4、滑轨；41、滑块一；42、滑块二；43、滑块三。

具体实施方式

以下结合附图1-2对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种单晶炉旋转臂支架。

参照图1和图2，一种单晶炉旋转臂支架包括竖直设置的承重立柱1，承重立柱1的横截面为矩形状，承重立柱1的轴线竖直设置，且承重立柱1的下端固接有水平设置的承重板11，承重立柱1的外周面对应承重板11的两侧均设置有两个承重肋12，承重肋12与承重板11和承重立柱1均相互固接。

使用时，在承重立柱1的下端固接有横截面积更大的承重板11，增加承重立柱1的稳定性，通过承重板11与承重立柱1之间设置有承重肋12，再次增加承重立柱1的稳定性。

参照图1和图2，承重立柱1的一侧设置有升降组件2，升降组件2包括固接于承重立柱1的升降平台21，升降平台21水平设置；升降平台21上固接有升降机211，升降机211输出轴的轴线竖直设置；升降机211的输出轴上固接有轴线竖直设置的丝杠22；丝杠22外设置有升降座23，升降座23的下端固接有轴线竖直设置的升降螺母231，升降螺母231与丝杠22螺纹连接，升降座23靠近丝杠22的内周面设置有螺纹套232，螺纹套232与升降螺母231同轴设置，螺纹套232与丝杠22螺纹连接且螺纹套232的外周面升降座23相互固接；升降螺母231的下端设置有备用螺母24，备用螺母24与升降螺母231同轴线设置，且备用螺母24与丝杠22螺纹连接，升降螺母231与备用螺母24之前设置有间隙且升降螺母231与备用螺母24之间固接有同步杆241，同步杆241竖直设置，同步杆241的上端与升降螺母231固接，同步杆241的下端与备用螺母24固接。

使用时，通过升降平台21对升降机211进行一个位置的固定，随后通过升降机211带动丝杠22进行转动，丝杠22与升降螺母231之间螺纹连接，通过丝杠22的转动，实现升降螺母231和升降座23的上下运动，在丝杠22带动升降螺母231进行运动的时候通过同步杆241带动备用螺母24在丝杠22进行同步运动，升降螺母231和备用螺母24之间留有一定空隙，放置升降螺母231与备用螺母24之间的相互抵接，从而增加升降螺母231移动时与备用螺母24产生的摩擦。

参照图1和图2，升降座23的上端固接有同轴线设置的推立轴承25，推立轴承25的底片与升降座23的上表面相互固接；推立轴承25的上端设置有同轴线设置的轴套管26，轴套管26的下端与推立轴承25的轴片相互固接；轴套管26外固接有三角状的支撑臂261，支撑臂261远离轴套管26的一端固接有三爪卡具262；轴套管26远离推立轴承25的一端设置有铜垫27，铜垫27与轴套管26同轴线设置，铜垫27的上端设置有导向座28，导向座28的下端与铜垫27相互抵接，导向座28的上端设置有固定块29，固定块29与导向座28的上端相互抵接，固定块29对应丝杠22的位置开设有让位孔291，丝杠22的上端能够延伸出固定块29；升降座23、轴套管26、导向座28以及固定块29构成稳定装置，稳定装置的内部具有空腔，且轴套管26能够绕轴套管26的轴线进行转动。

使用时，升降座23的上下运动带动稳定装置同步运动，在需要移动单晶炉的时候，通过三爪卡具262对单晶炉进行夹持，支撑臂261呈三角形状，增加了支撑臂261的承力效果，支撑臂261固结于轴套管26上，轴套管26在稳定机构内通过推立轴承25以轴套管26的轴线为中心进行转动，随后三爪卡具262能够带动单晶炉以轴套管26的轴线为中心进行周向转动，推立轴承25设置于轴套管26的下端，能够承受更多来自推立轴承25轴线方向的作用力，提高轴套管26转动的稳定性，铜垫27设置于导向座28和轴套管26之间，在轴套管26转动的时候，通过铜垫27减少导向座28与轴套管26之间导致的磨损，更换铜垫27即可，从而降低了更换工件的频率。

参照图1和图2，稳定装置内设置有轴线竖直设置的升降轴3，升降轴3内对应丝杠22的位置开设有让位槽31，升降轴3与丝杠22同轴线设置，导向座28对应升降轴3的外周面上端设置有直套轴承32，直套轴承32与升降轴3同轴线设置，且直套轴承32的内周面与升降轴3相互抵接；升降座23对应升降轴3的外周面下端设置有直套轴承32，直套轴承32与升降轴3同轴线设置，且直套轴承32的内周面与升降轴3相互抵接，升降轴3的上端与固定块29固接。

使用时，升降轴3设置于稳定装置，升降轴3与导向座28之间通过直套轴承32，实现轴套管26与导向座28之间的连接；升降轴3与升降座23之间用过直套轴承32，实现轴套管26与升降座23之间的连接，升降轴3能够通过与直套轴承32之间的滑移连接，滑移出稳定装置。

参照图1和图2，承重立柱1靠近升降组件2的一侧固接有滑轨4，滑轨4竖直设置，导向座28靠近滑轨4的一侧设置有竖直设置的滑块一41和滑块二42，由上至下依次设置有滑块一41和滑块二42，且滑移一和滑块二42相互抵接，滑块一41和滑块二42与滑轨4滑移连接；升降座23靠近滑轨4的一侧固接有竖直设置的滑块三43，滑块三43与滑轨4滑移连接。

使用时，导向座28通过滑块一41和滑块二42在滑轨4上沿竖直方向进行滑移；升降座23通过滑块三43在滑轨4上沿竖直方向进行滑移，导向座28和升降座23分别设置于稳定装置的上端和下端，三爪卡具262设置于稳定装置的中部，在移动单晶炉时，通过在稳定装置的上端设置滑块一41和滑块二42，能够增加稳定装置上端与滑轨4之间的相互作用力，实现稳定装置的竖直设置。

本申请实施例一种单晶炉旋转臂支架的实施原理为：先通过三爪卡具262对单晶炉进行夹紧，随后通过升降电机带动丝杠22进行转动，丝杠22与升降螺母231螺纹连接，从而推动整体机构进行上下移动，在上下移动时，整体机构的滑块一41、滑块二42和滑块三43在承重立柱1的滑轨4上进行滑移，增加整体机构的稳定性，在升降座23所属的稳定装置内设置有升降轴3，增加稳定装置内的连接，防止稳定装置的解体，在整体结构带动单晶炉进行上下运动的时候，通过轴套管26进行实现同一平面单晶炉的水平移动，在轴套管26转动的时候，通过推立轴承25和铜垫27实现轴套管26的周向转动。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：包括承重立柱(1)的一侧设置有升降座(23)，升降座(23)上设置有轴套管(26)，轴套管(26)远离升降座(23)的一端设置有导向座(28)，升降座(23)、轴套管(26)和导向座(28)同轴线设置，轴套管(26)能够在升降座(23)和导向座(28)之间进行周向转动，承重立柱(1)靠近升降座(23)的一侧设置有滑轨(4)，导向座(28)靠近滑轨(4)的一侧设置有滑块一(41)和滑块二(42)，升降座(23)靠近滑轨(4)的一侧设置有滑块三(43)，滑块一(41)、滑块二(42)和滑块三(43)均滑移连接于滑轨(4)上，轴套管(26)上固接有支撑臂(261)，支撑臂(261)远离轴套管(26)的一端固接有水平设置的三爪卡具(262)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述轴套管(26)和所述升降座(23)之间设置有推立轴承(25)，且推立轴承(25)的底片与升降座(23)固接，推立轴承(25)的轴片与轴套管(26)固接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述升降座(23)、轴套管(26)和导向座(28)之间设置有升降轴(3)，升降轴(3)与轴套管(26)同轴线设置，升降轴(3)的上端对应导向座(28)的位置设置有直套轴承(32)，升降轴(3)的下端对应升降座(23)的位置设置有直套轴承(32)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述升降座(23)的下端固接有升降螺母(231)，承重立柱(1)对应升降螺母(231)的位置设置有丝杠(22)，丝杠(22)与升降螺母(231)螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述丝杠(22)对应升降螺母(231)的下侧设置有备用螺母(24)，备用螺母(24)与升降螺母(231)同轴线设置。

6.根据权利要求4所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述升降座(23)内对应丝杠(22)的位置设置有螺纹套(232)，螺纹套(232)与丝杠(22)螺纹连接，螺纹套(232)与升降螺母(231)固接。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述轴套管(26)与导向座(28)之间设置有铜垫(27)。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋转臂支架，其特征在于：所述承重立柱(1)的下端设置有承重板(11)，承重板(11)与承重立柱(1)之间设置有多个承重肋(12)。

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