CN217955810U - 一种半导体固晶机用固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体固晶机用固定装置，涉及固晶机装置技术领域，包括工作台，放置台，所述放置台的顶端放置有晶圆，所述放置台的外壁设置有延伸至放置台内部的固定机构。本实用新型通过设置固定机构，推杆移动通过机械传动带动卡块向上移动，此时放置台的内壁对卡块的一侧的斜面进行挤压，卡块受挤压并移动至移动块的内部，第一弹簧受力挤压，同时第二弹簧受力挤压，当卡块移动至移动块的内部后，向放置台顶端的凹槽中放入基座，之后松开推杆，第一弹簧与第二弹簧复位带动卡块移动并至基座的顶端，通过此结构有利于快速对基座进行限位固定的操作，相比于传统的螺丝固定方式，有效提高了工作台的安装、更换效率。

Description

一种半导体固晶机用固定装置

技术领域

本实用新型涉及固晶机装置技术领域，具体是一种半导体固晶机用固定装置。

背景技术

固晶机指的是把晶圆从蓝膜通过摆臂转移并贴合到基板上的设备，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的加工制造一直是研究的核心领域，在半导体制造过程中，将一个晶圆加工制成布满集成电路器件的晶圆涉及多达几百步制程，在这些制程中涉及到的主流工艺包括光刻工艺，干法刻蚀工艺，物理气相沉积工艺，化学气象沉积工艺等都通过半导体设备中的自动传送系统完成半导体晶圆的移送，在半导体晶圆加工时需要用到一种半导体晶圆的固定装置。

目前的半导体在加工时，多通过固晶机进行晶圆的加工操作，晶圆在加工时会出现晃动，甚至位置偏移的情况，大多通过小型螺丝对晶圆外壳与固晶机的工作台进行固定，固晶机对晶圆加工时需要对不同大小的晶圆进行操作，由于工作台通过小型螺丝与固晶机固定，在更换适应不同大小晶圆的工作台式，其螺丝的固定方式不便于对不同大小的工作台进行快速更换的操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决不便于对不同大小的工作台进行快速更换的问题，提供一种半导体固晶机用固定装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体固晶机用固定装置，包括工作台，所述工作台的顶端通过轴承转动连接有放置台，所述放置台的顶端设置有基座，所述基座的顶端设置有工作台，所述工作台的顶端放置有晶圆，所述放置台的外壁设置有延伸至放置台内部的固定机构；

所述固定机构包括设置在放置台外壁，并延伸至放置台内部的推杆，所述推杆的一端通过焊接固定有弧形块，所述弧形块的顶端通过焊接固定有移动杆，所述移动杆的顶端通过焊接固定有移动块，所述移动块的一侧套接有延伸至移动块内部的卡块，所述卡块的一侧设置有与移动块内壁连接的第一弹簧，所述移动块的顶端设置有与放置台内壁连接的第二弹簧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置台的底端通过焊接固定有延伸至工作台内部的连接柱，所述连接柱的底端通过联轴器连接有伺服电机。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置台的外壁设置有与推杆移动轨迹相匹配的移动槽，所述放置台的内部设置有与弧形块相匹配的升降槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述弧形块的一端设置有限位块，所述放置台的内部设置有与弧形块一端限位块相匹配的限位槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述移动杆设置有两个，且两个所述移动杆对称分布于推杆的两侧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置台的内部设置有与移动块相匹配的滑动槽，且所述放置台的顶端成型有与基座相匹配的凹槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述卡块的一侧设置为斜面状，且移动块的内部设置有与卡块相匹配的限位滑槽，所述卡块底端与放置台顶端凹槽内壁之间的距离大于基座顶端与底端之间的距离。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置固定机构，推杆移动通过机械传动带动卡块向上移动，此时放置台的内壁对卡块的一侧的斜面进行挤压，卡块受挤压并移动至移动块的内部，第一弹簧受力挤压，同时第二弹簧受力挤压，当卡块移动至移动块的内部后，向放置台顶端的凹槽中放入基座，之后松开推杆，第一弹簧与第二弹簧复位带动卡块移动并至基座的顶端，通过此结构有利于快速对基座进行限位固定的操作，相比于传统的螺丝固定方式，有效提高了工作台的安装、更换效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构爆炸示意图；

图2为本实用新型的工作台内部爆炸结构示意图；

图3为本实用新型的放置台内部结构示意图；

图4为本实用新型的图3中A处放大结构示意图。

图中：1、工作台；2、放置台；3、基座；4、固定机构；401、推杆；402、弧形块；403、移动杆；404、移动块；405、卡块；406、第一弹簧；407、第二弹簧；5、连接柱；6、伺服电机；7、晶圆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本固晶机装置技术领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种半导体固晶机用固定装置，包括工作台1，工作台1的顶端通过轴承转动连接有放置台2，放置台2的顶端设置有基座3，基座3的顶端设置有工作台，工作台的顶端放置有晶圆7，放置台2的外壁设置有延伸至放置台2内部的固定机构4；

固定机构4包括设置在放置台2外壁，并延伸至放置台2内部的推杆401，推杆401的一端通过焊接固定有弧形块402，弧形块402的顶端通过焊接固定有移动杆403，移动杆403的顶端通过焊接固定有移动块404，移动块404的一侧套接有延伸至移动块404内部的卡块405，卡块405的一侧设置有与移动块404内壁连接的第一弹簧406，移动块404的顶端设置有与放置台2内壁连接的第二弹簧407。

在本实施例中：工作台1用于对放置台2进行转动的操作，放置台2用于对基座3进行放置的操作，通过设置固定机构4有利于快速对基座3进行限位固定的操作，继而实现工作台的固定。

请着重参阅图2，放置台2的底端通过焊接固定有延伸至工作台1内部的连接柱5，连接柱5的底端通过联轴器连接有伺服电机6。

在本实施例中：固定完毕后，如果需要对基座3进行转动操作时，伺服电机6打开，伺服电机6的输出端转动带动连接柱5转动，连接柱5转动带动放置台2转动，放置台2转动带动放置台2顶端的基座3进行转动，通过此结构有利于对固定后的基座3进行转动的操作。

请着重参阅图3、4，放置台2的外壁设置有与推杆401移动轨迹相匹配的移动槽，放置台2的内部设置有与弧形块402相匹配的升降槽；弧形块402的一端设置有限位块，放置台2的内部设置有与弧形块402一端限位块相匹配的限位槽；移动杆403设置有两个，且两个移动杆403对称分布于推杆401的两侧；放置台2的内部设置有与移动块404相匹配的滑动槽，且放置台2的顶端成型有与基座3相匹配的凹槽；卡块405的一侧设置为斜面状，且移动块404的内部设置有与卡块405相匹配的限位滑槽，卡块405底端与放置台2顶端凹槽内壁之间的距离大于基座3顶端与底端之间的距离。

在本实施例中：当需要对基座3进行限位固定时，向上推动推杆401，推杆401移动带动弧形块402向上移动，弧形块402移动带动移动杆403移动，移动杆403移动带动移动块404向上移动，移动块404移动带动卡块405向上移动，此时放置台2的内壁对卡块405的一侧的斜面进行挤压，卡块405受挤压并移动至移动块404的内部，第一弹簧406受力挤压，同时第二弹簧407受力挤压，当卡块405移动至移动块404的内部后，向放置台2顶端的凹槽中放入基座3，之后松开推杆401，第二弹簧407复位带动移动块404复位移动，移动块404复位移动带动移动杆403复位移动，移动杆403移动带动弧形块402与推杆401复位移动，同时卡块405在第一弹簧406的复位作用下向移动块404的外部移动，卡块405移动并至基座3的顶端，通过此结构有利于快速对基座3进行限位固定的操作，在需要更换进行不同大小晶圆的加工时，只需通过解除基座3的固定即可拆除此工作台，之后将相对应大小的工作台所连接的基座3放入放置台2进行安装即可，相比于传统的螺丝固定方式，提高了对不同晶圆加工时工作台的更换效率。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术固晶机装置技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种半导体固晶机用固定装置，包括工作台（1），所述工作台（1）的顶端通过轴承转动连接有放置台（2），所述放置台（2）的顶端设置有基座（3），所述基座（3）的顶端设置有工作台，所述工作台的顶端放置有晶圆（7），其特征在于，所述放置台（2）的外壁设置有延伸至放置台（2）内部的固定机构（4）；

所述固定机构（4）包括设置在放置台（2）外壁，并延伸至放置台（2）内部的推杆（401），所述推杆（401）的一端固定有弧形块（402），所述弧形块（402）的顶端固定有移动杆（403），所述移动杆（403）的顶端固定有移动块（404），所述移动块（404）的一侧套接有延伸至移动块（404）内部的卡块（405），所述卡块（405）的一侧设置有与移动块（404）内壁连接的第一弹簧（406），所述移动块（404）的顶端设置有与放置台（2）内壁连接的第二弹簧（407）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体固晶机用固定装置，其特征在于，所述放置台（2）的底端固定有延伸至工作台（1）内部的连接柱（5），所述连接柱（5）的底端通过联轴器连接有伺服电机（6）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体固晶机用固定装置，其特征在于，所述放置台（2）的外壁设置有与推杆（401）移动轨迹相匹配的移动槽，所述放置台（2）的内部设置有与弧形块（402）相匹配的升降槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体固晶机用固定装置，其特征在于，所述弧形块（402）的一端设置有限位块，所述放置台（2）的内部设置有与弧形块（402）一端限位块相匹配的限位槽。

5.根据权利要求1所述的一种半导体固晶机用固定装置，其特征在于，所述移动杆（403）设置有两个，且两个所述移动杆（403）对称分布于推杆（401）的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种半导体固晶机用固定装置，其特征在于，所述放置台（2）的内部设置有与移动块（404）相匹配的滑动槽，且所述放置台（2）的顶端成型有与基座（3）相匹配的凹槽。

7.根据权利要求1所述的一种半导体固晶机用固定装置，其特征在于，所述卡块（405）的一侧设置为斜面状，且移动块（404）的内部设置有与卡块（405）相匹配的限位滑槽，所述卡块（405）底端与放置台（2）顶端凹槽内壁之间的距离大于基座（3）顶端与底端之间的距离。

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