CN218722647U - 干燥室 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种干燥室，包括干燥室本体，干燥室本体设有真空腔室，真空腔室内设有烘干设备和支撑架，支撑架上设有多个支撑销，用于支撑玻璃基板，支撑销包括销本体和支撑部，销本体设置有安装腔，安装腔内设置有升降机构，升降机构与支撑部连接，以使支撑部沿竖直方向移动，销本体背离支撑架的一侧设有用于检测玻璃基板的位置的第一检测件。本实用新型的干燥室通过可升降的支撑销及第一检测件配合，当第一检测件检测到玻璃基板，支撑销能够自动上升并支撑玻璃基板，调节玻璃基板与支撑架上表面的间距，同时在玻璃基板放置后能二次调节支撑销的高度，减小玻璃基板的下垂量，从而降低机械手与玻璃基板干涉而造成玻璃基板损坏的风险。

Description

干燥室

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板生产工艺技术领域，尤其涉及一种干燥室。

背景技术

显示器中的玻璃基板在进行蒸镀之前需要进行清洗以去除表面附着的杂质，清洗后再进行干燥，以确保后续工序中不会有水汽产生。目前玻璃基板通常是在真空环境的干燥室进行干燥的。

如图1和图2所示，现有的干燥室包括干燥室本体1′，干燥室本体1′内设置有用于放置玻璃基板100′的支撑架2′、烘干设备3′，支撑架2′上设置有多个呈矩阵排布的支撑销4′，玻璃基板100′放置在支撑销4′上，其中，玻璃基板100′通过机械手装置200′取放于支撑销4′上。但由于玻璃基板100′具有一定柔性，玻璃基板100′放置在支撑销4′上会发生下垂，而在高温干燥过程中会更容易下垂，增大玻璃基板100′的下垂量，当干燥结束后取出玻璃基板100′时，机械手装置200′容易与玻璃基板100′的下垂部分发生干涉，导致玻璃基板100′损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种干燥室，其能够减少玻璃基板的下垂量，减少玻璃基板与机械手发生干涉而损坏的风险。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设置有真空腔室，所述真空腔室内设置有烘干设备和支撑架，所述支撑架上设置有多个支撑销，用于支撑玻璃基板，所述支撑销包括销本体和支撑部，所述销本体设置有安装腔，所述安装腔内设置有升降机构，所述升降机构与所述支撑部连接，以驱使所述支撑部沿竖直方向移动，所述销本体背离所述支撑架的一侧设置有第一检测件，用于检测玻璃基板的位置。

作为干燥室的一种优选方案，所述升降机构包括第一驱动件和第一升降杆，所述第一升降杆的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述支撑部连接，所述第一升降杆的外侧设置有缓冲套，所述缓冲套位于所述安装腔内，且所述缓冲套的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述第一升降杆连接。

作为干燥室的一种优选方案，所述支撑部为圆柱型，所述支撑部的一端设置有第一螺纹孔，所述第一升降杆远离所述第一驱动件的一端的外周设置有外螺纹，所述第一升降杆旋拧至所述第一螺纹孔内，以使所述支撑部安装在所述第一升降杆的端部。

作为干燥室的一种优选方案，所述支撑部为球型，所述第一升降杆的一端设置凹陷设置有弧形槽，所述支撑部活动设置在所述弧形槽内，且至少部分所述支撑部位于所述弧形槽外。

作为干燥室的一种优选方案，所述支撑销呈矩阵排布在所述支撑架上，所述支撑架上还设置有多个辅助支撑销，所述辅助支撑销支撑于所述玻璃基板的下垂点。

作为干燥室的一种优选方案，还包括用于检测所述玻璃基板下垂点的第二检测件，所述支撑架的内部设置有容纳腔，所述容纳腔内设置有第二驱动件，所述辅助支撑销与所述第二驱动件连接，所述辅助支撑销与所述第二驱动件一一对应连接，以使所述辅助支撑销移动设置在所述容纳腔内，所述支撑架的上表面设置有多个开孔，所述开孔与所述玻璃基板的下垂点一一对应，所述辅助支撑销能根据玻璃基板的下垂点移动并穿过所述开孔伸出所述支撑架的外侧。

作为干燥室的一种优选方案，每个所述辅助支撑销上均设置有第三检测件，所述第三检测件用于检测所述辅助支撑销与所述开孔是否对齐。

作为干燥室的一种优选方案，所述支撑销包括多个第一销和多个第二销，所有所述第一销围设在所述玻璃基板的外周，所述第二销位于所述第一销围设的区域内，所述第一销固定设置在所述支撑架上，所述第二销通过第三驱动件可移动设置在所述支撑架上。

作为干燥室的一种优选方案，所述支撑架上凹陷设置有滑槽，所述第三驱动件和所述第二销滑动设置在所述滑槽内。

作为干燥室的一种优选方案，所述第三驱动组件上设置有用于避障的第四检测件。

本实用新型的有益效果为：当第一检测件检测到玻璃基板，升降机构能够驱使支撑部上升，所有支撑销的顶面位于同一水平面并支撑玻璃基板，可升降的支撑部能够调节玻璃基板与支撑架上表面的间距，而且在玻璃基板放置在支撑销后，升降机构能够根据玻璃基板的下垂量调节支撑销的高度，以减小玻璃基板的下垂量，从而减少机械手在取出玻璃基板时与玻璃基板发生干涉的情况，降低玻璃基板发生损坏的风险。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术干燥室的结构示意图。

图2为现有技术支撑架上的支撑架的俯视图。

图3为本实用新型的干燥室的结构示意图。

图4为本实用新型的一种实施例支撑销的剖视图。

图5为本实用新型的另一种实施例支撑销的剖视图。

图6为本实用新型的一种实施例支撑架的俯视图。

图7为本实用新型的一种实施例支撑架的剖视图。

图8为本实用新型的另一种实施例支撑架俯视图。

图9为本实用新型的另一种实施例支撑架的剖视图。

图1和图2中：

1′、干燥室本体；2′、支撑架；3′、烘干设备；4′、支撑销；

100′、玻璃基板；200′、机械手装置；

图3至图9中：

1、干燥室本体；11、真空腔室；2、烘干设备；3、支撑架；31、容纳腔；32、滑槽；4、支撑销；41、销本体；411、安装腔；42、支撑部；43、第一销；44、第二销；5、升降机构；51、第一驱动件；52、第一升降杆；6、缓冲套；7、辅助支撑销；8、第二驱动件；81、移动座；82、第二升降杆；9、第三驱动件；100、玻璃基板；200、机械手；300、第一检测件。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图3至图5所示，本实用新型提供的一种干燥室，包括干燥室本体1，干燥室本体1设置有真空腔室11，真空腔室11内设置有烘干设备2和支撑架3，支撑架3的上表面设置有多个支撑销4，支撑销4能够支撑玻璃基板100，将支撑架3和玻璃基板100间隔，以提高玻璃基板100的烘干效果。支撑销4包括销本体41和支撑部42，销本体41设置有安装腔411，安装腔411内设置有升降机构5，升降机构5与支撑部42连接，以使支撑部42能够相对销本体41进行升降，销本体41背离支撑架3的一侧设置有第一检测件300，用于检测玻璃基板100的位置。

当第一检测件300检测到玻璃基板100，升降机构5能够驱使支撑部42沿竖直方向上升，以使所有支撑销4的顶面位于同一水平面，以支撑玻璃基板100，可升降的支撑部42能够增大玻璃基板100与支撑架3上表面的间距，并在玻璃基板100放置在支撑销4后，升降机构5能够根据玻璃基板100的下垂量调节支撑销4的高度，以减小玻璃基板100的下垂量，从而减少机械手200与玻璃基板100发生干涉的情况，降低玻璃基板100发生损坏的风险。

具体地，如图4和图5所示，升降机构5包括第一驱动件51和第一升降杆52，第一升降杆52的一端与第一驱动件51连接，另一端与支撑部42连接，第一升降杆52的外侧设置有缓冲套6，缓冲套6位于安装腔411内，且缓冲套6的一端与第一驱动件51连接，另一端与第一升降杆52连接。第一升降杆52的升降速度过快容易使得支撑部42冲击玻璃基板100，造成玻璃基板100损坏，示例的，缓冲套6为弹性波纹管，缓冲套6能够随第一升降杆52展开或折叠，当第一升降杆52上升时需要克服缓冲套6的弹力，以使缓冲套6展开，从而降低第一升降杆52的上升速度，使得支撑部42能够更加平缓进行升降，防止支撑部42造成玻璃基板100损坏。

具体地，干燥室还包括控制器，第一检测件300和第一驱动件51均与控制器连接。

在本实施例中，第一检测件300为摄像头。当摄像头检测到玻璃基板100，第一驱动件51自动驱使第一升降杆52上升，以使所有支撑销4上升。

进一步地，干燥室还包括用于检测玻璃基板100下垂点的第二检测件(图中未示出)，第二检测件与控制器连接。具体地，第二检测件为激光测距传感器，在玻璃基板100放置在支撑销4后，第二检测件能够检测玻璃基板100的下垂量，通过调节支撑销4的高度以减少玻璃基板100的下垂量。

在一实施例中，如图4所示，支撑部42为圆柱型，支撑部42的一端设置有第一螺纹孔，第一升降杆52远离第一驱动件51的一端的外周设置有外螺纹，第一升降杆52旋拧至第一螺纹孔内，以使支撑部42安装在第一升降杆52的端部。当支撑部42长期使用后会出现磨损，此设计能够便于更换支撑部42，减低支撑销4的维护成本。

优选地，支撑部42远离第一升降杆52的一端设置有圆弧面，圆弧面与玻璃基板100抵接。机械手200是沿水平方向将玻璃基板100从支撑销4上取出的，在取出过程中，玻璃基板100与支撑销4会发生摩擦，此设计能够减少支撑部42与玻璃基板100的接触面积，减少摩擦阻力，从而减少支撑部42的磨损，同时能够减少因磨损导致玻璃基板100破裂问题。

在另一实施例中，如图5所示，支撑部42为球型，第一升降杆52的一端设置凹陷设置有弧形槽，支撑部42活动设置在弧形槽内，且至少支撑部42位于弧形槽外。此设计也能够减少支撑部42与玻璃基板100的摩擦阻力，而且支撑部42与玻璃基板100为滚动摩擦，摩擦阻力更小，更有利于保护支撑部42和玻璃基板100。

具体地，销本体41远离支撑部42的一端设置有螺纹孔，第一升降杆52的外侧壁设置有螺纹，支撑销4与第一升降杆52通过螺纹连接。

在一实施例中，如图6和图7所示，支撑销4呈矩阵排布在支撑架3上，支撑架3上还设置有多个辅助支撑销7，辅助支撑销7支撑于玻璃基板100的下垂点，以减少玻璃基板100的下垂量。

具体地，辅助支撑销7和支撑销4的结构相同。

在一实施例中，如图7所示，支撑架3的内部设置有容纳腔31，容纳腔31内设置有第二驱动件8，具体地，第二驱动件8包括移动座81和设置在移动座81上的第二升降杆82，辅助支撑销7与第二升降杆82一一对应连接，以使辅助支撑销7移动设置在容纳腔31内，支撑架3的上表面设置有多个开孔，开孔与玻璃基板100的下垂点相对应。当玻璃基板100放置在支撑销4上时，移动座81能够驱使第二升降杆82和辅助支撑销7在容纳腔31内移动至玻璃基板100的下垂点下方，并与相对应的开孔对齐，并在对齐后第二升降杆82能够驱使辅助支撑销7上升，以使辅助支撑销7能够穿过开孔抵接于玻璃基板100。此设计能够避免辅助支撑销7在移动过程中受到支撑销4的干扰，降低辅助支撑销7的移动难度。

需要说明的是，可在计算机中模拟仿真计算出经常出现的下垂点，并根据预先经常出现的下垂点的位置开设支撑架3上的开孔，并在后续加工中不断根据新出现的下垂点增设开孔，以使辅助支撑销7能够支撑绝大多数玻璃基板100的下垂点，从而减少玻璃基板100的下垂量。

在另一实施例中，辅助支撑销7能够根据玻璃基板100的下垂点手动安装在支撑架3上。

进一步地，为了保证辅助支撑销7与开孔准确对位，每个辅助支撑销7上均设置有第三检测件，第三检测件用于判断辅助支撑销7与开孔是否对齐。

示例的，第三检测件为摄像头、激光传感器等。

具体地，第二驱动件8和第三检测件均与控制器连接。

在另一实施例中，如图8和图9所示，支撑销4包括多个第一销43和多个第二销44，所有第一销43围设在玻璃基板100的外周，第二销44位于第一销43围设的区域内，第一销43固定在支撑架3上，第二销44通过第三驱动件9可移动设置在支撑架3上。可理解的，第三驱动件9与控制器连接，第二销44具有初始位置，当第二销44位于初始位置，第一销43和第二销44呈矩阵排布，控制器能够根据玻璃基板100的下垂特征，自动进行仿真并计算第二销44的最佳排布阵列，然后控制所有第二销44移动并按照最佳排布阵列排布，以使玻璃基板100的下垂量最小，且无需增加支撑销4数量，能够降低成本。

优选地，如图9所示，为了便于第二销44的移动，支撑架3上凹陷设置有滑槽32，第三驱动件9和第二销44滑动设置在滑槽32内。

进一步地，第二驱动件8或第三驱动件9设置有用于避障的传感器，多个辅助支撑销7或多个第二销44移动时容易发生碰撞，通过设置传感器能够避免辅助支撑销7或第二销44在移动过程中发生碰撞。

示例的，传感器为雷达传感器、激光传感器等。

具体地，第三驱动件9和传感器分别与控制器连接。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设置有真空腔室，所述真空腔室内设置有烘干设备和支撑架，所述支撑架上设置有多个支撑销，所述支撑销用于支撑玻璃基板，其特征在于，所述支撑销包括销本体和支撑部，所述销本体设置有安装腔，所述安装腔内设置有升降机构，所述升降机构与所述支撑部连接，以驱使所述支撑部沿竖直方向移动，所述销本体的顶端设置有第一检测件，用于检测所述玻璃基板的位置。

2.根据权利要求1所述的干燥室，其特征在于，所述升降机构包括第一驱动件和第一升降杆，所述第一升降杆的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述支撑部连接，所述第一升降杆的外侧设置有缓冲套，所述缓冲套位于所述安装腔内，且所述缓冲套的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述第一升降杆连接。

3.根据权利要求2所述的干燥室，其特征在于，所述支撑部为圆柱型，所述支撑部的一端设置有第一螺纹孔，所述第一升降杆远离所述第一驱动件的一端的外周设置有外螺纹，所述第一升降杆旋拧至所述第一螺纹孔内，以使所述支撑部安装在所述第一升降杆的端部。

4.根据权利要求2所述的干燥室，其特征在于，所述支撑部为球型，所述第一升降杆远离所述第一驱动件的一端设置凹陷设置有弧形槽，所述支撑部活动设置在所述弧形槽内，且至少部分所述支撑部位于所述弧形槽外。

5.根据权利要求1至4任一项所述的干燥室，其特征在于，所述支撑销呈矩阵排布在所述支撑架上，所述支撑架上还设置有多个辅助支撑销，所述辅助支撑销支撑于所述玻璃基板的下垂点。

6.根据权利要求5所述的干燥室，其特征在于，还包括用于检测所述玻璃基板下垂点的第二检测件，所述支撑架的内部设置有容纳腔，所述容纳腔内设置有第二驱动件，所述辅助支撑销与所述第二驱动件连接，所述辅助支撑销与所述第二驱动件一一对应连接，以使所述辅助支撑销移动设置在所述容纳腔内，所述支撑架的上表面设置有多个开孔，所述开孔与所述玻璃基板的下垂点一一对应，所述辅助支撑销能根据所述玻璃基板的下垂点移动并穿过所述开孔伸出所述支撑架的外侧。

7.根据权利要求6所述的干燥室，其特征在于，每个所述辅助支撑销上均设置有第三检测件，所述第三检测件用于检测所述辅助支撑销与所述开孔是否对齐。

8.根据权利要求1至4任一项所述的干燥室，其特征在于，所述支撑销包括多个第一销和多个第二销，所有所述第一销围设在所述玻璃基板的外周，所述第二销位于所述第一销围设的区域内，所述第一销固定设置在所述支撑架上，所述第二销通过第三驱动件可移动设置在所述支撑架上。

9.根据权利要求8所述的干燥室，其特征在于，所述支撑架上凹陷设置有滑槽，所述第二销滑动设置在所述滑槽上。

10.根据权利要求8所述的干燥室，其特征在于，所述第三驱动件上设置有用于避障的第四检测件。

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