CN218614813U - 划刀调节装置及划片机 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种划刀调节装置及划片机，划刀调节装置包括安装座；旋转轴，可转动安装于所述安装座上；划刀，设置于所述旋转轴上，当所述旋转轴转动时，能够带动所述划刀摆动以实现所述划刀的安装角度大小的调节；以及，锁紧件，用于在所述旋转轴旋转到预设角度后，与所述旋转轴连接固定以使所述旋转轴保持在所述预设角度。本申请提供的划刀调节装置，能够带动划刀摆动以实现划刀的安装角度大小的调节，提高划切良率；且调节十分简单方便，降低了对工作人员经验的要求，且提高了划切效率。

Description

划刀调节装置及划片机

技术领域

本申请属于晶圆划切技术领域，更具体地说，是涉及一种划刀调节装置及划片机。

背景技术

晶圆在裂片之前，需要先使用划刀在晶圆的表面进行划切。划刀的安装角度(即划刀与晶圆加工面所形成的角度)对于划痕的效果起到非常大的影响，通常需要设置调节装置以实现对划刀的安装角度进行调节。然而相关技术的划刀调节装置调试较繁琐。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种划刀调节装置，使得划刀的安装角度调节简单方便。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种划刀调节装置，包括：

安装座；

旋转轴，可转动安装于所述安装座上；

划刀，设置于所述旋转轴上，当所述旋转轴转动时，能够带动所述划刀摆动以实现所述划刀的安装角度大小的调节；以及，

锁紧件，用于在所述旋转轴旋转到预设角度后，与所述旋转轴连接固定以使所述旋转轴保持在所述预设角度。

进一步地，所述旋转轴上设置有角度刻线，所述安装座上设置有指示刻线，所述指示刻线与所述角度刻线配合以指示当前所述划刀的安装角度；或，

所述安装座上设置有角度刻线，所述旋转轴上设置有指示刻线，所述指示刻线与所述角度刻线配合以指示当前所述划刀的安装角度。

进一步地，所述旋转轴远离所述锁紧件的一端设置有驱动件，所述驱动件用于驱动所述旋转轴转动。

进一步地，所述驱动件为手动拨杆或自动驱动件。

进一步地，所述旋转轴的一端开设有第一连接孔，所述锁紧件在所述旋转轴旋转到预设角度后与所述第一连接孔连接固定。

进一步地，所述旋转轴上开设有沿所述旋转轴的径向方向延伸的安装孔，所述划刀的一端安装于所述安装孔内。

进一步地，所述划刀调节装置还包括顶紧件，所述旋转轴上开设有沿所述旋转轴的轴向方向延伸的第二连接孔，所述第二连接孔与所述安装孔连通，所述顶紧件与所述第二连接孔连接固定且所述顶紧件的一端抵于所述划刀上以使所述划刀固定在所述安装孔中。

进一步地，所述顶紧件远离所述旋转轴的一侧设置有用于方便手动调节的第一凸台。

进一步地，所述锁紧件远离所述旋转轴的一侧设置有用于方便手动调节的第二凸台。

本申请还提供了一种划片机，包括如上所述的划刀调节装置。

本申请提供的划刀调节装置的有益效果在于：通过将旋转轴可转动安装于安装座上，并将划刀设置于旋转轴上，当旋转轴转动时，能够带动划刀摆动以实现划刀的安装角度大小的调节，提高划切良率；配合设置锁紧件，当需要调节划刀的安装角度时，可将锁紧件松开，此时旋转轴可转动，根据划刀所需的安装角度转动旋转轴，当划刀调节到所需的安装角度后，再将锁紧件与旋转轴连接固定即可，其调节十分简单方便，降低了对工作人员经验的要求，且提高了划切效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的划刀调节装置的立体结构示意图；

图2为本申请实施例提供的划刀调节装置的侧视结构示意图；

图3为本申请实施例提供的划刀调节装置的爆炸分解结构图；

图4为本申请实施例提供的划刀调节装置的剖视结构图；

图5为本申请实施例所采用的旋转轴的立体结构示意图；

图6为本申请实施例所采用的旋转轴沿轴向方向的剖视结构图。

其中，图中各附图标记：

10、安装座；11、旋转孔；20、旋转轴；21、第一连接孔；22、安装孔；23、第二连接孔；30、划刀；40、锁紧件；41、第二凸台；50、工件加工面；60、角度刻线；70、指示刻线；80、手动拨杆；90、顶紧件；91、第一凸台。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图3，现对本申请提供的划刀调节装置进行说明。本申请的划刀调节装置，可用于对晶圆等工件的划切。包括安装座10、旋转轴20、划刀30以及锁紧件40。旋转轴20可转动安装于安装座10上。划刀30设置于旋转轴20上，当旋转轴20转动时，能够带动划刀30摆动以实现划刀30的安装角度α大小的调节，即实现了划刀30与工件加工面50之间形成的角度的调节，提高划切良率。

锁紧件40用于在旋转轴20旋转到预设角度后，与旋转轴20连接固定以使旋转轴20保持在预设角度，进而使得划刀30的安装角度保持不变。当需要调节划刀30的安装角度时，可将锁紧件40松开，此时旋转轴20可转动，根据划刀30所需的安装角度转动旋转轴20，当划刀30调节到所需的安装角度后，再将锁紧件40与旋转轴20连接固定即可，其调节十分简单方便，降低了对工作人员经验的要求，且提高了划切效率。

本申请提供的划刀调节装置，通过将旋转轴20可转动安装于安装座10上，并将划刀30设置于旋转轴20上，当旋转轴20转动时，能够带动划刀30摆动以实现划刀30的安装角度大小的调节，即实现了划刀30与工件加工面50之间形成的角度的调节，提高划切良率；配合设置锁紧件40，当需要调节划刀30的安装角度时，可将锁紧件40松开，此时旋转轴20可转动，根据划刀30所需的安装角度转动旋转轴20，当划刀30调节到所需的安装角度后，再将锁紧件40与旋转轴20连接固定即可，其调节十分简单方便，降低了对工作人员经验的要求，且提高了划切效率。

请参阅图1、图5，在本申请的一个实施例中，旋转轴20上可以设置有角度刻线60，安装座10上可以设置有指示刻线70，指示刻线70与角度刻线60配合以指示当前划刀30的安装角度。当需要调节划刀30的安装角度时，首先将锁紧件40松开，再将旋转轴20进行旋转，使得与所需的安装角度对应的角度刻线60旋转至与指示刻线70正对即可，其调节简单方便，无需使用其他调节工具，且工作人员可以在调节过程中直观地观察到划刀30的安装角度，提高调节的准确性，进而提高工件的划切良率。

具体的，角度刻线60包括多个，分别代表划刀30不同的安装角度，例如，当表示为30°的指示刻线70与角度刻线60正对时，表明当前划刀30的安装角度α为30°，当表示为60°的指示刻线70与角度刻线60正对时，表明当前划刀30的安装角度α为60°。当然为了使得结构更加简洁，也可以仅在旋转轴20上将常用的安装角度用文字标示出来，并沿顺时针或者逆时针间隔设置角度刻线60，实现微调，从而提高划切的良率。例如，划刀30的安装角度α通常为54°，将与54°对应的角度刻线60用文字标示出来，并将间隔设置的角度刻线60设置为2°，进而可沿顺时针或者逆时针进行微调。

当然，在本申请的另一实施例中，也可以在安装座10上设置有角度刻线60，旋转轴20上设置有指示刻线70，同故宫指示刻线70与角度刻线60配合，从而指示当前划刀30的安装角度。

请参阅图5，旋转轴20远离锁紧件40的一端可以设置有驱动件，驱动件用于驱动旋转轴20转动。通过驱动件的设置，可以方便带动旋转轴20进行转动。

请参阅图5，驱动件可以为手动拨杆80，通过手动拨杆80，可以实现手动驱动旋转轴20转动，进而实现划刀30的安装角度的调节。当然，该驱动件的设置方式并不局限于此，例如，在本申请的其他实施例中，驱动件还可以为自动驱动件，例如电机等，通过电机带动旋转轴20旋转，实现划刀30的自动调节。

请参阅图1至图5，角度刻线60可以直接设置在手动拨杆80上。

请参阅图4、图6，旋转轴20的一端可以开设有第一连接孔21，锁紧件40在旋转轴20旋转到预设角度后与第一连接孔21连接固定。通过锁紧件40与第一连接孔21的配合，从而可实现旋转轴20的锁紧固定。当需要调节时，只需要将锁紧件40与第一连接孔21松开即可实现旋转轴20的旋转。具体的，该锁紧件40可以为螺钉，该第一连接孔21可以为螺纹孔。

请参阅图1、图5至图6，旋转轴20上可以开设有沿旋转轴20的径向方向延伸的安装孔22，划刀30的一端安装于安装孔22内。通过设置沿旋转轴20的径向方向延伸的安装孔22，可使得划刀30安装在安装孔22内时，当旋转轴20转动时，划刀30可同步实现摆动，进而可调节划刀30的安装角度。

请参阅图4、图6，划刀调节装置还可以包括顶紧件90，旋转轴20上开设有沿旋转轴20的轴向方向延伸的第二连接孔23，第二连接孔23与安装孔22连通，顶紧件90与第二连接孔23连接固定且顶紧件90的一端抵于划刀30上以使划刀30固定在安装孔22中。当需要拆下划刀30时，只需要将顶紧件90与第二连接孔23分离，此时划刀30可从安装孔22中拆下。当需要固定划刀30时，只需要将顶紧件90与第二连接孔23连接固定即可。从而可实现划刀30的快速拆装，方便更换。具体的，该顶紧件90可以为螺钉，第二连接孔23可以为螺纹孔。

请参阅图3至图4，顶紧件90远离旋转轴20的一侧可以设置有第一凸台91。通过第一凸台91的设置，可方便手动进行调节，以实现顶紧件90与第二连接孔23的固定或者松开。

请参阅图3至图4，锁紧件40远离旋转轴20的一侧可以设置有第二凸台41。通过第二凸台41的设置，可方便手动进行调节，以实现锁紧件40与旋转轴20的固定或者松开。

请参阅图1、图3，安装座10上可以开设有旋转孔11，旋转轴20与旋转孔11间隙配合。通过旋转轴20与旋转孔11间隙配合，从而可实现旋转轴20相对安装座10的转动。

其中，划刀30可以采用金刚石划刀30，其可有效提高划刀30的结构强度，提高划刀30的使用寿命。具体的，划刀30可以为四点式金刚石划刀30，通过采用四点式，进一步提高划刀30的使用寿命。

本申请还提供了一种划片机，包括上述任意实施例中的划刀调节装置。

由于本申请的划片机包括上述任意实施例中的划刀调节装置，故具有上述任意实施例中的划刀调节装置所带来的有益效果，在此不再赘述。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种划刀调节装置，其特征在于：包括：

安装座；

旋转轴，可转动安装于所述安装座上；

划刀，设置于所述旋转轴上，当所述旋转轴转动时，能够带动所述划刀摆动以实现所述划刀的安装角度大小的调节；以及，

锁紧件，用于在所述旋转轴旋转到预设角度后，与所述旋转轴连接固定以使所述旋转轴保持在所述预设角度。

2.如权利要求1所述的划刀调节装置，其特征在于：所述旋转轴上设置有角度刻线，所述安装座上设置有指示刻线，所述指示刻线与所述角度刻线配合以指示当前所述划刀的安装角度；或，

所述安装座上设置有角度刻线，所述旋转轴上设置有指示刻线，所述指示刻线与所述角度刻线配合以指示当前所述划刀的安装角度。

3.如权利要求1所述的划刀调节装置，其特征在于：所述旋转轴远离所述锁紧件的一端设置有驱动件，所述驱动件用于驱动所述旋转轴转动。

4.如权利要求3所述的划刀调节装置，其特征在于：所述驱动件为手动拨杆或自动驱动件。

5.如权利要求1所述的划刀调节装置，其特征在于：所述旋转轴的一端开设有第一连接孔，所述锁紧件在所述旋转轴旋转到预设角度后与所述第一连接孔连接固定。

6.如权利要求1所述的划刀调节装置，其特征在于：所述旋转轴上开设有沿所述旋转轴的径向方向延伸的安装孔，所述划刀的一端安装于所述安装孔内。

7.如权利要求6所述的划刀调节装置，其特征在于：所述划刀调节装置还包括顶紧件，所述旋转轴上开设有沿所述旋转轴的轴向方向延伸的第二连接孔，所述第二连接孔与所述安装孔连通，所述顶紧件与所述第二连接孔连接固定且所述顶紧件的一端抵于所述划刀上以使所述划刀固定在所述安装孔中。

8.如权利要求7所述的划刀调节装置，其特征在于：所述顶紧件远离所述旋转轴的一侧设置有用于方便手动调节的第一凸台。

9.如权利要求1-8任一项所述的划刀调节装置，其特征在于：所述锁紧件远离所述旋转轴的一侧设置有用于方便手动调节的第二凸台。

10.一种划片机，其特征在于：包括权利要求1-9任一项所述的划刀调节装置。

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