CN218595203U - 一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位 - Google Patents
一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218595203U CN218595203U CN202222609145.4U CN202222609145U CN218595203U CN 218595203 U CN218595203 U CN 218595203U CN 202222609145 U CN202222609145 U CN 202222609145U CN 218595203 U CN218595203 U CN 218595203U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- limiting block
- convex wall
- reference surfaces
- level
- platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
本实用新型属于贮存装置技术领域,特别涉及一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,包括平台、位于所述平台中部的分度盘、所述分度盘具有180°旋转对称的两个工位,每个所述工位上设有限位件,所述限位件包括凹台和高于所述凹台的凸墙,所述凸墙的内壁围成的区域呈现多个矩形十字交叠的结构。本实用新型中限位件可以同时适用于多种型号的料盒,实现了自动仓储系统的多产品共用,节省了仓储成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及贮存装置技术领域,特别涉及一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位。
背景技术
半导体行业,自动仓储系统已经得到广泛的应用,硅片需用物料盒进行仓储。硅片生产尺寸不同,所用的料盒尺寸不同,仓储储位限位位置一般只能匹配一种尺寸的料盒。所以现有技术往往每针对一种料盒就得设置一种仓储系统货架,要放置不同尺寸的料盒就需设置多个不同尺寸储位限位货架,仓储成本较高。仓储系统要实现多尺寸料盒的共用,其中一个要素就是储位的共用,不然无以将不同尺寸的料盒移入或移出仓位。
因此有必要改进储位结构来解决以上问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是为了提供一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,能够兼容转运多种尺寸的硅片料盒,使自动仓储系统实现多尺寸料盒的共用。
本实用新型通过如下技术方案实现上述目的:
一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,包括具有若干储位的架体,包括平台、位于所述平台中部的分度盘、所述分度盘具有180°旋转对称的两个工位,每个所述工位上设有限位件,所述限位件包括凹台和高于所述凹台的凸墙,所述凸墙的内壁围成的区域呈现多个矩形十字交叠的结构。
具体的,所述限位件为矩形布置的四个限位块,包括第一内限位块、第二内限位块、第一外限位块和第二外限位块。
进一步的,所述第一外限位块的凸墙与所述第二外限位块的凸墙上均具有X向平齐的外基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第二内限位块的凸墙上均具有X向平齐的第一内基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第二内限位块的凸墙上均具有X向平齐的第二内基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第一外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第一左基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第一外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第二左基准面,所述第二内限位块的凸墙与所述第二外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第一右基准面,所述第二内限位块的凸墙与所述第二外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第二右基准面,所述外基准面、所述第一左基准面、所述第一右基准面与所述第一内基准面围成长度m1、宽度b1的矩形区域,所述外基准面、所述第二左基准面、所述第二右基准面与所述第二内基准面围成长度m2、宽度n2的矩形区域,m1>m2,b1<n2。
具体的,所述平台上设有用来判别所述工位上的料盒型号的识别器,所述识别器靠近位于架体外的限位件的位置。
本实用新型的有益效果在于:
本实用新型中限位件可以同时适用于多种型号的料盒,实现了自动仓储系统的多产品共用,节省了仓储成本。
附图说明
图1为实施例自动仓储系统的立体图;
图2为多尺寸共用储位的俯视图;
图3为多尺寸共用储位放置小尺寸料盒的立体图;
图4为多尺寸共用储位放置大尺寸料盒的立体图。
图中数字表示:
1-架体;
2-仓位;
3-移动机构;
4-多尺寸共用储位,41-平台,411-识别器,42-分度盘,43a-第一内限位块,43b-第二内限位块,43c-第一外限位块,43d-第二外限位块,431-凹台,432-凸墙,433a-外基准面,433b-第一内基准面,433c-第二内基准面,433d-第一左基准面,433e-第二左基准面,433f-第一右基准面,433g-第二右基准面;
5a-料盒(长边长),5b-料盒(长边短)。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
实施例:
如图1至图4所示,本实用新型的一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位4,包括平台41、位于平台41中部的分度盘42、分度盘42具有180°旋转对称的两个工位,每个工位上设有限位件,限位件包括凹台431和高于凹台432的凸墙432,凸墙432的内壁围成的区域呈现多个矩形十字交叠的结构。自动仓储系统包含架体1和移动机构3,架体1的中间为供移动机构3移动的通道,通道的两侧分布有多层的仓位2,多尺寸共用储位4是用于架体1的进口或出口的位置。分度盘42上的两个工位可以互换位置,其中一个工位在架体1内侧,另一个工位就处在架体1外侧。移动机构3用来在架体1内侧的工位与仓位2之间交换料盒。进料或出料时,两个工位上一个有料盒,一个无料盒,就需要靠分度盘42来互换位置。因为料盒的底面大体呈矩形范围,所以只要工位上设置多个矩形重叠的限位区域就可以实现多种料盒的定位。凹台432用来提供料盒的底面基准,凸墙432用来限位料盒的水平面位置。理论情况下,只要不同的矩形区域满足长度越大的矩形,宽度越窄即可。所以本实用新型中限位件可以同时适用于多种型号的料盒,实现了自动仓储系统的多产品共用,节省了仓储成本。
如图2所示,限位件为矩形布置的四个限位块,包括第一内限位块43a、第二内限位块43b、第一外限位块43c和第二外限位块43d。第一内限位块43a、第二内限位块43b、第一外限位块43c和第二外限位块43d。此时第一内限位块43a、第二内限位块43b、第一外限位块43c和第二外限位块43d只需要去限位料盒的四个转角部分。加工简单,替换方便。
进一步的,第一外限位块43c的凸墙与第二外限位块43d的凸墙上均具有X向平齐的外基准面433a,第一内限位块43a的凸墙与第二内限位块43b的凸墙上均具有X向平齐的第一内基准面433b,第一内限位块43a的凸墙与第二内限位块43b的凸墙上均具有X向平齐的第二内基准面433c,第一内限位块43a的凸墙与第一外限位块43c的凸墙上具有Y向平齐的第一左基准面433d,第一内限位块43a的凸墙与第一外限位块43c的凸墙上具有Y向平齐的第二左基准面433e,第二内限位块43b的凸墙与第二外限位块43d的凸墙上具有Y向平齐的第一右基准面433f,第二内限位块43b的凸墙与第二外限位块43d的凸墙上具有Y向平齐的第二右基准面433g,外基准面433a、第一左基准面433d、第一右基准面433f与第一内基准面433b围成长度m1、宽度b1的矩形区域,外基准面433a、第二左基准面、第二右基准面与第二内基准面围成长度m2、宽度n2的矩形区域,m1>m2,b1<n2。本实施例中每个工位都能匹配两种料盒尺寸,外基准面433a、第一左基准面433d、第一右基准面433f与第一内基准面433b围成长度m1、宽度n1的矩形区域对应的是料盒5a,外基准面433a、第二左基准面、第二右基准面与第二内基准面围成长度m2、宽度n2的矩形区域对应的是料盒5b。料盒5a的长度m1比料盒5b的长度m2长,但料盒5b的宽度n1比料盒5b的宽度n2短。
如图2至图4所示,平台41上设有用来判别工位上的料盒型号的识别器411,识别器411靠近位于架体1外的限位件的位置。因为不管料盒5a还是料盒5b都有一个面靠近外基准面433a,这个面上就可以设置利于识别器411探测到的标牌。这样自动仓储系统就能够辨认到料盒的区别,以控制移动机构3调整针对不同料盒的夹放动作。
以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,包括平台、位于所述平台中部的分度盘、所述分度盘具有180°旋转对称的两个工位,每个所述工位上设有限位件,其特征在于:所述限位件包括凹台和高于所述凹台的凸墙,所述凸墙的内壁围成的区域呈现多个矩形十字交叠的结构。
2.根据权利要求1所述的用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,其特征在于:所述限位件为矩形布置的四个限位块,包括第一内限位块、第二内限位块、第一外限位块和第二外限位块。
3.根据权利要求2所述的用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,其特征在于:所述第一外限位块的凸墙与所述第二外限位块的凸墙上均具有X向平齐的外基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第二内限位块的凸墙上均具有X向平齐的第一内基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第二内限位块的凸墙上均具有X向平齐的第二内基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第一外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第一左基准面,所述第一内限位块的凸墙与所述第一外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第二左基准面,所述第二内限位块的凸墙与所述第二外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第一右基准面,所述第二内限位块的凸墙与所述第二外限位块的凸墙上具有Y向平齐的第二右基准面,所述外基准面、所述第一左基准面、所述第一右基准面与所述第一内基准面围成长度m1、宽度b1的矩形区域,所述外基准面、所述第二左基准面、所述第二右基准面与所述第二内基准面围成长度m2、宽度n2的矩形区域,m1>m2,b1<n2。
4.根据权利要求1所述的用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位,其特征在于:所述平台上设有用来判别所述工位上的料盒型号的识别器,所述识别器靠近位于架体外的限位件的位置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222609145.4U CN218595203U (zh) | 2022-09-30 | 2022-09-30 | 一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222609145.4U CN218595203U (zh) | 2022-09-30 | 2022-09-30 | 一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN218595203U true CN218595203U (zh) | 2023-03-10 |
Family
ID=85400052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202222609145.4U Active CN218595203U (zh) | 2022-09-30 | 2022-09-30 | 一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN218595203U (zh) |
-
2022
- 2022-09-30 CN CN202222609145.4U patent/CN218595203U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2852872B2 (ja) | ボール端子集積回路用トレイ | |
US5103976A (en) | Tray for integrated circuits with supporting ribs | |
US5746319A (en) | Tray for integrated circuits | |
CN101151197B (zh) | 自动材料处理系统 | |
KR100615026B1 (ko) | 디스플레이용 기판 수납용 트레이, 및 그 디스플레이용기판을 제거하는 장치 및 방법 | |
US5890599A (en) | Tray for integrated circuits | |
CN103038872B (zh) | 用于电子器件的可剥离混合托盘系统 | |
CN108029230B (zh) | 载带 | |
JP2022525233A (ja) | 仕分け設備 | |
CN218595203U (zh) | 一种用于硅片自动仓储系统的多尺寸共用储位 | |
US5848703A (en) | Tray for integrated circuits | |
KR20180135062A (ko) | 웨이퍼 박스 컨베이어 | |
CN113808977B (zh) | 晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具 | |
JP2024023874A (ja) | 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 | |
CN109712923B (zh) | 一种晶圆周转装置及晶圆周转方法 | |
US4721206A (en) | Rack for semi-finished and finished products | |
CA1230307A (en) | Conveyor system | |
US7017758B2 (en) | Wafer protective cassette | |
CN213092440U (zh) | 存取装置及制卡设备 | |
CN219585051U (zh) | 一种多功能晶圆盒承载治具 | |
CN211997821U (zh) | 一种托盘自动上下料系统 | |
US20060175225A1 (en) | High density tray | |
JPS63174333A (ja) | 半導体ウエハ収納用ストツカ | |
CN218304036U (zh) | 一种适用于自动化生产的晶粒存储装置 | |
US6401929B2 (en) | Insert for use in transporting a wafer carrier |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |