CN218576661U - 喷水块、喷水机构及划片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了喷水块、喷水机构及划片机，其中喷水块包括块体，块体上设置有一号进水水道及一号喷水水道，块体上还设置有二号喷水水道，二号喷水水道的出水端与二号喷水水道的出水端位于块体的同一侧且在块体的高度方向上保持间距，二号喷水水道的进水端与块体上的二号进水水道连通，二号喷水水道为3个，中间位置的二号喷水水道的轴线与二号进水水道的轴线垂直，且中间位置的二号喷水水道的轴线与上位及下位的二号喷水水道的轴线的夹角在10°‑15°之间。本方案的一号喷水水道可以对晶圆喷水，二号喷水水道可以对晶圆上方的刀片进行喷水，通过对二号喷水水道的分布方式的设计，可以有效地保证出水集中点位于刀片刀刃处，进而保证清洗质量。

Description

喷水块、喷水机构及划片机

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，尤其是喷水块、喷水机构及划片机。

背景技术

划片机是进行晶圆加工的设备，如申请号为202110135256.3所揭示的一种芯片晶圆划片装置，其揭示了采用两个围设在晶圆外周的喷水块来进行划片时的喷水，喷水块具有与晶圆的曲率已知的弧形喷口，但是这种喷水块的弧形喷口较为扁平，主要用于对晶圆进行喷水，而无法对切割的刀片进行喷水，具有改进的空间。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种喷水块、喷水机构及划片机。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

喷水块，包括块体，所述块体上设置有一号进水水道及与其连通的一号喷水水道，所述块体上还设置有二号喷水水道，所述二号喷水水道的出水端与所述二号喷水水道的出水端位于所述块体的同一侧且它们的出水端在所述块体的高度方向上保持间距，所述二号喷水水道的进水端与块体上的二号进水水道连通，所述二号喷水水道为3个，中间位置的二号喷水水道的轴线与所述二号进水水道的轴线垂直，且中间位置的二号喷水水道的轴线与上位及下位的二号喷水水道的轴线的夹角在10°-15°之间。

优选的，所述二号进水水道沿所述块体的高度方向延伸，其包括共轴的第一圆柱部和第二圆柱部，所述第一圆柱部的直径大于所述第二圆柱部的直径，且第一圆柱部的内壁设置有内螺纹。

优选的，所述二号喷水水道为多个且它们的出水端沿块体的高度方向分布。

优选的，所述二号喷水水道的出水端所在的块体表面位于所述一号喷水水道的出水端所在的块体表面的前方。

优选的，所述二号喷水水道的直径在0.5-1.5cm之间。

优选的，所述一号喷水水道包括一排喷水孔，它们的内端与一转接腔连通，所述转接腔与所述一号进水水道连通。

优选的，所述转接腔的一端延伸到所述块体的侧面，所述转接腔的横截面为圆形或方形且其内设置有连通所述一号进水水道和一号喷水水道的内端的转接件，所述转接件的出水孔与所述一号进水水道的内端正对且尺寸相当。

优选的，所述块体上形成有与所述转接腔共轴且连通的退件操作孔，所述退件操作孔的横截面尺寸小于所述转接腔的横截面尺寸。

喷水机构，包括上述任一所述的喷水块。

划片机，包括上述的喷水机构。

本实用新型技术方案的优点主要体现在：

本方案的喷水块通过设置不同高度的一号喷水水道和二号喷水水道，一号喷水水道可以对较低位置的晶圆喷水，二号喷水水道可以对晶圆上方的刀片进行喷水，有效地改善了清洗、冷却和润滑的效果，并且通过对二号喷水水道的分布方式的设计，可以有效地保证出水集中点位于刀片刀刃处，进而保证清洗质量。

本方案的一号喷水水道通过转接件与一号进水水道连通，转接件以插接的方式连接在转接腔处，无需采用注塑的方式进行喷水块的加工，便于喷水块的加工制造。

采用横截面为方形的转接腔能够方便地对所述转接件进行限定，防止其在使用过程中出现转动导致其出水孔与一号喷水通道错位导致影响出水的问题。同时，这样的结构使得转接件也便于进行加工，另外，在使用时，可以在没有额外的限定结构时，直接将转接件插入到转接腔中即可，可以方便、准确的安装。

设置退件操作孔可以在转接件拆卸时借助推杆来对转接件施加推力，从而极大地改善了转接件拆卸的难度，设计更人性。

附图说明

图1是本实用新型的喷水块的透视立体图；

图2是本实用新型的喷水块的立体图；

图3是本实用新型的喷水块的横剖视图；

图4是本实用新型的转接件的横截面为圆形的立体图；

图5是本实用新型的转接件的横截面为方形的立体图。

具体实施方式

本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。

在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。

实施例1

下面结合附图对本实用新型揭示的喷水块进行阐述，如附图1-附图3所示，其包括块体1，所述块体1上设置有一号进水水道2及与所述一号进水水道连通的一号喷水水道3，所述块体1上还设置有二号喷水水道4，所述二号喷水水道4的出水端与所述一号喷水水道3的出水端位于所述块体1的同一侧且二号喷水水道4与一号喷水水道3在所述块体1的高度方向Z上保持间距，所述二号喷水水道4的进水端与块体1上的二号进水水道5和/或所述一号进水水道2连通。

本方案的喷水块通过设置不同高度的一号喷水水道3和二号喷水水道4，所述一号喷水水道3可以对较低位置的晶圆喷水，所述二号喷水水道4可以对晶圆上方的刀片进行喷水，有效地改善了清洗、冷却和润滑的效果。

如附图1-附图3所示，所述块体1包括第一部分11及第二部分12，第一部分11的局部突出于第二部分12，所述一号喷水水道3设置在所述第二部分12且靠近第二部分12的底面。与现有技术一样，所述一号喷水水道3可以是一个相对较大的长通孔。

如附图1-附图3所示，所述一号喷水水道3包括一排喷水孔，这样清洗时能够更好地对晶圆表面的划痕进行冲刷，避免凹槽内遗留碎屑、脏污。具体的，所述喷水孔为5个，它们等间距沿所述块体1的宽度方向Y排布，每个所述喷水孔的直径在0.1-1cm之间，这样的喷水孔尺寸能够有效保证出水的冲击力，同时使出水水柱能够覆盖足够大的区域。它们的内端与一转接腔6连通，所述转接腔6与所述一号进水水道2连通。并且，所述喷水孔的轴线与所述块体1的底面保持微小的夹角且它们与所述转接腔6连接的一端高于它们的出水端，所述转接腔6同样沿所述块体1的宽度方向Y延伸。所述一号进水水道2沿所述块体1的高度方向Z延伸，并且，所述一号进水水道2靠近所述转接腔6的一端。所述转接腔6及一号进水水道2的纵截面形状可以是圆形、方形等可行形状。

所述转接腔6可以是完全位于块体1内的，此时，所述块体1可以采用注塑的方式加工形成，其内的转接件可以在本体注塑时，一体注塑在。在另一种方式中，如附图4所示，使所述转接腔6的一端延伸到所述块体1的侧面，所述转接腔6的横截面形状可以是圆形或方形，较优的可以设置为方形，所述转接腔6内可插拔地设置有转接件7。如附图4、附图5所示，所述转接件7的轮廓与所述转接腔6的轮廓匹配，优选所述转接件7的轮廓为与转接腔6匹配的方形，这样的结构便于安装时准确地确定。并且，所述转接件7包括依次连通的进水口72、水腔71及出水孔73，所述出水孔73与所述一排喷水孔一一正对且尺寸相当，同时，方形横截面的转接件7相对于圆形横截面的管接件，能够更快、更准确地使出水孔73与一号出水水道位置正对，方便转接件的安装。

在所述块体上形成有与所述转接腔共轴且连通的退件操作孔（图中未示出），所述退件操作孔的横截面尺寸小于所述转接腔的横截面尺寸，从而转接件不会由退件操作孔中移出，同时，当需要将转接件从转接腔中取出时，可以通过将顶杆插入所述退件操作孔中并抵在所述转接腔中的转接件的内端，从而将其推出，这样的结构更便于进行转接件的拆卸。

如附图1所示，所述二号喷水水道4的出水端所在的块体1表面位于所述一号喷水水道3的出水端所在的块体1表面的前方。使它们的出水端错位可以有效地适应晶圆与刀片之间的位置。

如附图1、附图3所示，所述二号喷水水道4位于所述第一部分，所述二号喷水水道4与二号进水水道5连通，所述二号进水水道5包括共轴的第一圆柱部51和第二圆柱部52，所述第一圆柱部51的直径大于所述第二圆柱部52的直径，且第一圆柱部51的内壁设置有内螺纹，所述第二圆柱部52与二号喷水水道4连通,通过内螺纹方便管接头的组装。

所述二号喷水水道4可以是一个，此时，其可以是一沿所述二号进水水道5的轴线延伸的条形孔。

如附图1、附图2所示，所述二号喷水水道4为多个且沿所述二号进水水道5的轴向分布，且它们可以是平行的，所述二号喷水水道优选为三个，且相邻两个之间的间距在2-5cm之间。

进一步，如附图1、附图3所示，一组所述二号喷水水道4的出水端的中点的连线与所述二号进水水道5的轴线平行，且一组所述二号喷水水道4的出水相交于块体1外的同一位置。更优的，所述二号喷水水道4的数量为2-6个，它们的轴线相交于所述块体1外的一点。这样的结构中，多个二号喷水水道4喷出的水体集中于一处，从而能够改善清洗效果，提高清洗质量。具体的，所述二号喷水水道4的数量为3个，中间位置的二号喷水水道4的轴线与所述二号进水水道5的轴线垂直，上位及下位的二号喷水水道4对称设置在中间位置的二号喷水水道的两侧，并且，中间位置的二号喷水水道的轴线与上位及下位的二号喷水水道的轴线的夹角在10°-15°之间，这样的设计可以有效地保证喷水块在划片机中安装后，三个二号喷水水道的出水的集中点正好位于刀片的刀刃处，从而保证清洗效果。所述二号喷水水道的直径在0.5-1.5cm之间，这样的尺寸能够充分的保证出水力度，同时有效地使出水的水柱能够覆盖刀片的宽度，保证清洗的充分性。

所述二号进水水道5沿所述块体1的高度方向Z延伸且位于所述第一部分，所述二号进水水道5的进水口与所述一号进水水道2的进水口位于所述块体1的同一表面处，具体是位于所述块体1的顶面处，所述二号进水水道5及一号进水水道2在所述块体的宽度方向Y上错位分布，所述二号进水水道5及一号进水水道2在宽度方向上的间距优选在5-10cm之间，这样的距离设定能够方便两个管接头的安装操作，同时使主体尽量小，使用更便利。

如附图1、附图2所示，所述喷水块上还设置有螺孔8，所述螺孔8位于所述第一部分且与所述一号进水水道垂直，其位于所述一号进水水道的第一圆柱部51的两侧。

实施例2

本实施例揭示了一组喷水机构，包括上述的喷水块，所述喷水块的一号进水水道2和二号进水水道5分别连接供水管路。

实施例3

本实施例揭示一种划片机，包括上述的喷水机构，所述喷水机构的喷水块的一号喷水水道3朝向晶圆，所述二号喷水水道4朝向刀片。

本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.喷水块，包括块体，所述块体上设置有一号进水水道及与其连通的一号喷水水道，其特征在于：所述块体上还设置有二号喷水水道，所述二号喷水水道的出水端与所述二号喷水水道的出水端位于所述块体的同一侧且它们的出水端在所述块体的高度方向上保持间距，所述二号喷水水道的进水端与块体上的二号进水水道连通，所述二号喷水水道为3个，中间位置的二号喷水水道的轴线与所述二号进水水道的轴线垂直，且中间位置的二号喷水水道的轴线与上位及下位的二号喷水水道的轴线的夹角在10°-15°之间。

2.根据权利要求1所述的喷水块，其特征在于：所述二号进水水道沿所述块体的高度方向延伸，其包括共轴的第一圆柱部和第二圆柱部，所述第一圆柱部的直径大于所述第二圆柱部的直径，且第一圆柱部的内壁设置有内螺纹。

3.根据权利要求1所述的喷水块，其特征在于：所述二号喷水水道为多个且它们的出水端沿块体的高度方向分布。

4.根据权利要求1所述的喷水块，其特征在于：所述二号喷水水道的出水端所在的块体表面位于所述一号喷水水道的出水端所在的块体表面的前方。

5.根据权利要求1所述的喷水块，其特征在于：所述二号喷水水道的直径在0.5-1.5cm之间。

6.根据权利要求1-5任一所述的喷水块，其特征在于：所述一号喷水水道包括一排喷水孔，它们的内端与一转接腔连通，所述转接腔与所述一号进水水道连通。

7.根据权利要求6所述的喷水块，其特征在于：所述转接腔的一端延伸到所述块体的侧面，所述转接腔的横截面为圆形或方形且其内设置有连通所述一号进水水道和一号喷水水道的内端的转接件，所述转接件的出水孔与所述一号进水水道的内端正对且尺寸相当。

8.根据权利要求7所述的喷水块，其特征在于：所述块体上形成有与所述转接腔共轴且连通的退件操作孔，所述退件操作孔的横截面尺寸小于所述转接腔的横截面尺寸。

9.喷水机构，其特征在于，包括权利要求1-8任一所述的喷水块。

10.划片机，其特征在于：包括权利要求9所述的喷水机构。

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