CN218533614U - 一种半导体加工用夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体加工用夹具，属于夹具技术领域，包括：夹具底板，所述夹具底板上端面中心处固定设置有支撑轴，所述夹具底板上端面位于支撑轴两侧固定设置有推拉器件，所述推拉器件伸向上方的输出轴端部固定连接有连接片，所述连接片上端固定架设有夹具活动中板，所述夹具活动中板内部开设有中板滑槽，所述中板滑槽槽内滑动设置有L型带齿滑动杆的带齿横杆部分，所述L型带齿滑动杆的带齿横杆部分正下方固定设置有转动齿轮。由此，能够实现针对不同尺寸及形状的半导体片材都能起到很好的固定作用，且能满足被固定的半导体片材在工作平面的四个方向上移动的需求。

Description

一种半导体加工用夹具

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别是涉及一种半导体加工用夹具，属于夹具技术领域。

背景技术

夹具是加工时用来迅速紧固工件，使机床、刀具、工件保持正确相对位置的工艺装置，是机械加工不可缺少的部件，在机床技术向高速、高效、精密、复合、智能、环保方向发展的带动下，夹具技术正朝着高精、高效、模块、组合、通用、经济方向发展。夹具又称卡具，从广义上说，在工艺过程中的任何工序，用来迅速、方便、安全地安装工件的装置，都可称为夹具。例如焊接夹具、检验夹具、装配夹具、机床夹具等。加工工件时，为使工件的表面能达到图纸规定的尺寸、几何形状以及与其他表面的相互位置、精度等技术要求，加工前必须将工件装好(定位)、夹牢(夹紧)。

现有的公开号为(CN216902878U)的中国专利公开了一种半导体芯片加工用夹具,通过底板、弹簧筒、第一弹簧、连接板、连接块、连接轴、推杆、连接杆、螺栓、夹块、滑块和滑轨的相互配合使用，可以使得该装置能够将产品夹持稳固，有效的避免了一般的半导体芯片加工用夹具因夹持不稳固产品松动而导致产品在加工时偏移影响加工效果的问题出现，降低了产品的损坏率，提高了产品的成品率，提高了产品加工的效率，从而进一步的提高了装置的实用性，但不适于多种尺寸与形状的半导体片材的固定工作，并且在半导体材料被固定之后无法移动导致在加工过程中存在着一定的局限性，因此，针对上述问题现提出一种半导体加工用夹具。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种半导体加工用夹具，该夹具能够实现针对不同尺寸及形状的半导体片材都能起到很好的固定作用，能满足半导体片材在工作平面的四个方向上移动，解决了现有技术中夹具针对半导体片材的尺寸、形状覆盖性不足且半导体片材在固定后无法移动的技术问题。

为解决上述问题，提供以下技术方案：

设计一种半导体加工用夹具，包括夹具底板，所述夹具底板上端面中心处固定设置有支撑轴，所述夹具底板上端面位于支撑轴两侧固定设置有推拉器件，所述推拉器件伸向上方的输出轴端部固定连接有连接片，所述连接片上端固定架设有夹具活动中板，所述夹具活动中板内部开设有中板滑槽，所述中板滑槽槽内滑动设置有L型带齿滑动杆的带齿横杆部分，所述L型带齿滑动杆的带齿横杆部分正下方固定设置有转动齿轮，所述夹具活动中板下端面位于转动齿轮的一侧固定设置有驱动电机，所述支撑轴顶部轴端固定连接有夹具载物板，所述夹具载物板沿对角线方向开设有载物板滑槽，所述L型带齿滑动杆的竖杆部分位于载物板滑槽槽内，所述L型带齿滑动杆的竖杆顶部杆端固定连接有固定杆帽。

所述夹具底板前后侧面固定设置有夹具滚轮，所述夹具滚轮正下方设置有横轨，所述横轨一侧固定连接有横轨连接杆，所述横轨两端端部固定连接有带轮滑块，所述带轮滑块外圈围设有支座框架，所述支座框架左右两侧框架在纵向开设有限位纵轨。

进一步的，所述支撑轴上端固定连接于夹具载物板的下端面中心处，所述支撑轴下端固定连接于夹具底板上端面中心处。

进一步的，所述夹具活动中板中心处开设有贯穿孔洞且孔洞尺寸略大于支撑轴横截面尺寸。

进一步的，所述L型带齿滑动杆的横杆部分截面为矩形且下端面固定设置有齿，所述L型带齿滑动杆的竖杆部分截面为圆形。

进一步的，所述夹具载物板的上端面及载物板滑槽槽壁均喷涂有防腐保护层。

进一步的，所述固定杆帽下端面固定设置有橡胶圈垫且橡胶圈垫下端面密闭微小橡胶颗粒凸起。

进一步的，所述横轨穿过限位纵轨侧面开设的侧槽与带轮滑块固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型中，通过设置的三层板组成的夹具结构，根据加工片材的尺寸形状，通过四个方向上的L型带齿滑动杆的滑动可构成四个固定点的固定方式，之后夹具活动中板向下移动，带动L型带齿滑动杆下移从而带动固定杆帽的下压对片材起到四点固定的作用；

2、本实用新型中，通过设置的纵横滑轨结构能实现整个夹具结构在支座框架围成的整个平面内自由移动，从而实现被加工半导体片材的自由移动，满足更多的加工需求；

参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的结构示意图；

图2为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的俯视图；

图3为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的正视图；

图4为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的夹具结构剖视图；

图5为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的夹具载物板俯视图；

图6为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的夹具活动中板仰视图；

图7为按照本实用新型的一种半导体加工用夹具的一优选实施例的夹具底板俯视图。

图中：1、夹具底板；2、支撑轴；3、推拉器件；4、连接片；5、夹具活动中板；6、中板滑槽；7、L型带齿滑动杆；8、转动齿轮；9、驱动电机；10、夹具载物板；11、载物板滑槽；12、固定杆帽；13、夹具滚轮；14、横轨；15、横轨连接杆；16、带轮滑块；17、支座框架；18、限位纵轨。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1－图7所示，本实施例提供的一种半导体加工用夹具，包括夹具底板1，夹具底板1作为整个可移动的夹具结构的底座起到支撑作用，夹具底板1上端面中心处固定设置有支撑轴2，支撑轴2固定连接夹具底板1与夹具载物板10使两者为一个整体，夹具底板1上端面位于支撑轴2两侧固定设置有推拉器件3，推拉器件3可在竖直方向上推拉夹具活动中板5使其上下运动，推拉器件3伸向上方的输出轴端部固定连接有连接片4，连接片4作为推拉器件3输出轴与夹具活动中板5的连接过渡片，连接片4上端固定架设有夹具活动中板5，夹具活动中板5为相关部件的安装与工作提供条件且可以在竖直方向上上下运动，夹具活动中板5内部开设有中板滑槽6，中板滑槽6为L型带齿滑动杆7的滑动提供条件，中板滑槽6槽内滑动设置有L型带齿滑动杆7的带齿横杆部分，L型带齿滑动杆7可沿中板滑槽6的开设方向往返滑动，L型带齿滑动杆7的带齿横杆部分正下方固定设置有转动齿轮8，转动齿轮8的转动可带动L型带齿滑动杆7滑动，夹具活动中板5下端面位于转动齿轮8的一侧固定设置有驱动电机9，驱动电机9的工作可带动转动齿轮8转动，支撑轴2顶部轴端固定连接有夹具载物板10，夹具载物板10为固定的半导体片材提供固定场所与支撑，夹具载物板10沿对角线方向开设有载物板滑槽11，载物板滑槽11限制L型带齿滑动杆7的竖杆部分使其只能沿开槽方向滑动，L型带齿滑动杆7的竖杆部分位于载物板滑槽11槽内，L型带齿滑动杆7的竖杆顶部杆端固定连接有固定杆帽12，固定杆帽12可下压夹住带固定的半导体片材。

夹具底板1前后侧面固定设置有夹具滚轮13，夹具滚轮13为夹具结构的沿槽滑动提供条件，夹具滚轮13正下方设置有横轨14，横轨14允许夹具滚轮13在其内部滑动且横轨14可沿限位纵轨18在纵向滑动，横轨14一侧固定连接有横轨连接杆15，横轨连接杆15连接两根横轨14使其作为一个整体，横轨14两端端部固定连接有带轮滑块16，带轮滑块16为横轨14的纵向滑动提供条件，带轮滑块16外圈围设有支座框架17，支座框架17作为横轨14的支撑，支座框架17左右两侧框架在纵向开设有限位纵轨18，限位纵轨18限制横轨14使其只能在纵向滑动。

在本实施例中，如图1－图7所示，

较佳的，支撑轴2上端固定连接于夹具载物板10的下端面中心处，支撑轴2下端固定连接于夹具底板1上端面中心处。

较佳的，夹具活动中板5中心处开设有贯穿孔洞且孔洞尺寸略大于支撑轴2横截面尺寸。

较佳的，L型带齿滑动杆7的横杆部分截面为矩形且下端面固定设置有齿，L型带齿滑动杆7的竖杆部分截面为圆形。

较佳的，夹具载物板10的上端面及载物板滑槽11槽壁均喷涂有防腐保护层。

较佳的，固定杆帽12下端面固定设置有橡胶圈垫且橡胶圈垫下端面密闭微小橡胶颗粒凸起。

较佳的，横轨14穿过限位纵轨18侧面开设的侧槽与带轮滑块16固定连接。

本实用新型的使用原理及使用流程：在夹具的使用过程中，先将待固定的半导体片材放置于夹具载物板10上，启动驱动电机9带动转动齿轮8转动，从而使L型带齿滑动杆7向着半导体片材边缘滑动，待L型带齿滑动杆7均紧贴于半导体片材边线时，启动推拉器件3使夹具活动中板5向下移动，带动L型带齿滑动杆7下移从而带动固定杆帽12的下压实现对片材的四点固定；此外，当被固定的半导体片材需要移动时，通过横轨14在限位纵轨18内纵向滑动，整个夹具结构在横轨14内横向滑动来实现被加工半导体片材在支座框架17围成的整个平面内自由移动。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体的情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上结合具体的实施方式对本实用新型进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本实用新型的精神和原理对本实用新型作出各种变型和修改，这些变型和修改也在本实用新型的范围内。

Claims (7)

1.一种半导体加工用夹具，其特征在于，包括夹具底板(1)，所述夹具底板(1)上端面中心处固定设置有支撑轴(2)，所述夹具底板(1)上端面位于支撑轴(2)两侧固定设置有推拉器件(3)，所述推拉器件(3)伸向上方的输出轴端部固定连接有连接片(4)，所述连接片(4)上端固定架设有夹具活动中板(5)，所述夹具活动中板(5)内部开设有中板滑槽(6)，所述中板滑槽(6)槽内滑动设置有L型带齿滑动杆(7)的带齿横杆部分，所述L型带齿滑动杆(7)的带齿横杆部分正下方固定设置有转动齿轮(8)，所述夹具活动中板(5)下端面位于转动齿轮(8)的一侧固定设置有驱动电机(9)，所述支撑轴(2)顶部轴端固定连接有夹具载物板(10)，所述夹具载物板(10)沿对角线方向开设有载物板滑槽(11)，所述L型带齿滑动杆(7)的竖杆部分位于载物板滑槽(11)槽内，所述L型带齿滑动杆(7)的竖杆顶部杆端固定连接有固定杆帽(12)；

所述夹具底板(1)前后侧面固定设置有夹具滚轮(13)，所述夹具滚轮(13)正下方设置有横轨(14)，所述横轨(14)一侧固定连接有横轨连接杆(15)，所述横轨(14)两端端部固定连接有带轮滑块(16)，所述带轮滑块(16)外圈围设有支座框架(17)，所述支座框架(17)左右两侧框架在纵向开设有限位纵轨(18)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹具，其特征在于，所述支撑轴(2)上端固定连接于夹具载物板(10)的下端面中心处，所述支撑轴(2)下端固定连接于夹具底板(1)上端面中心处。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹具，其特征在于，所述夹具活动中板(5)中心处开设有贯穿孔洞且孔洞尺寸略大于支撑轴(2)横截面尺寸。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹具，其特征在于，所述L型带齿滑动杆(7)的横杆部分截面为矩形且下端面固定设置有齿，所述L型带齿滑动杆(7)的竖杆部分截面为圆形。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹具，其特征在于，所述夹具载物板(10)的上端面及载物板滑槽(11)槽壁均喷涂有防腐保护层。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹具，其特征在于，所述固定杆帽(12)下端面固定设置有橡胶圈垫且橡胶圈垫下端面密闭微小橡胶颗粒凸起。

7.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹具，其特征在于，所述横轨(14)穿过限位纵轨(18)侧面开设的侧槽与带轮滑块(16)固定连接。

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