CN218464914U - 一种轻型的机器人插取片机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于自动化机器人领域，具体的说是一种轻型的机器人插取片机构，包括框架；所述框架上滑动连接有第一支架板和第二支架板，所述框架上设有第一驱动机构，且第一驱动机构用于驱动第一支架板和第二支架板运动，所述第一支架板上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构上通过竖板固接有第一底座，所述第二支架板的底部通过竖板固接有第二底座，所述第一底座和第二底座上安装有吸盘，所述框架上设有光电传感器，所述光电传感器通过限位组件固定连接在框架上；通过设置第一电机，可以带动第一支架板和第二支架板向相反方向运动，使两侧的吸盘交汇，通过设置第二电机，可以驱动右侧的吸盘运动，使两侧的吸盘运动时不冲突，顺利交接。

Description

一种轻型的机器人插取片机构

技术领域

本实用新型涉及自动化机器人领域，具体是一种轻型的机器人插取片机构。

背景技术

硅片是生产半导体芯片的原材料，且广泛地运用在微电子技术中，在硅片的生产制造中，对硅片运输是其生产制造中重要的一个环节。

在运输硅片时，人工从上位机构取下硅片，再通过人工将硅片装入下位机构。

目前对于硅片的插取片是通过人工操作的方法，人工操作效率较低，且容易损坏硅片；因此，针对上述问题提出一种轻型的机器人插取片机构。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，目前对于硅片的插取片是通过人工操作的方法的问题，本实用新型提出一种轻型的机器人插取片机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种轻型的机器人插取片机构，包括框架；所述框架上滑动连接有第一支架板和第二支架板，所述框架上设有第一驱动机构，且第一驱动机构用于驱动第一支架板和第二支架板运动，所述第一支架板上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构上通过竖板固接有第一底座，所述第二支架板的底部通过竖板固接有第二底座，所述第一底座和第二底座上安装有吸盘，所述框架上设有光电传感器，所述光电传感器通过限位组件固定连接在框架上；

所述第一驱动机构包括固接在框架上的第一电机，所述框架上安装有两个齿轮单元，所述第一电机的输出轴与其中一个齿轮单元固定连接，两个所述齿轮单元之间通过皮带传动连接，所述第一支架板上固接有第一适配件，所述第一适配件与皮带啮合连接，所述第二支架板上固接有第二适配件，所述第二适配件与皮带啮合连接，所述第二适配件上固接有感应片，所述第二驱动机构包括固接在第一支架板上的第二电机，所述第一支架板上固接有两个固定块，所述第二电机的输出轴固接有螺纹杆，所述螺纹杆与两个固定块通过轴承转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有移动块，所述移动块通过竖板与第一底座固定连接，所述第一底座滑动连接在第一支架板上，通过设置第一电机，可以带动第一支架板和第二支架板向相反方向运动，使两侧的吸盘交汇，通过设置第二电机，可以驱动右侧的吸盘运动，使两侧的吸盘运动时不冲突，顺利交接。

优选的，所述限位组件包括安装块，所述光电传感器上固接有方块，所述方块上开设有插槽，所述安装块上固接有两个导向柱，所述导向柱的一端固接有连接板，所述导向柱上滑动连接有L形板，所述L形板与连接板之间固接有弹簧，所述弹簧套设在导向柱的外侧，所述L形板上固接有拉板，通过设置插槽和L形板，拉动拉板即可将光电传感器取出，安装时，在弹簧的作用下L形板插设进插槽内，拆卸和安装操作较为方便快捷。

优选的，所述框架上固接有两个第一滑轨，所述第一支架板和第二支架板上固接有四个第一滑块，所述第一滑块滑动连接在第一滑轨上，第一滑轨和第一滑块在第一支架板和第二支架板运动过程中起到限位作用。

优选的，所述第一适配件与下方的皮带啮合，所述第二适配件与上方的皮带啮合，在皮带运转时，可以使第一支架板和第二支架板往相反方向运动。

优选的，所述第一支架板的底部固接有第二滑轨，所述第一底座的顶部通过U形板固接有两个第二滑块，所述第二滑块滑动连接在第二滑轨上，第二滑轨和第二滑块在第一底座运动过程中起到限位作用。

优选的，所述安装块上开设有两个定位槽，所述光电传感器上固接有两个定位块，所述定位块滑动插设在定位槽内，定位块和定位槽在安装光电传感器过程中起到限位作用。

优选的，所述L形板上开设有圆孔，所述导向柱贯穿圆孔，圆孔在L形板运动过程中起到限位作用。

优选的，所述安装块上开设有两个安装孔，所述框架上固接有滑槽轨道，通过安装孔、螺栓和螺帽座，可以将安装块固定安装在滑槽轨道上。

本实用新型的有益之处在于：

1.本实用新型通过第一电机的结构设计，启动第一电机，第一电机可以驱动皮带运转，皮带可以带动第一支架板和第二支架板向相反方向运动，通过设置第二电机，启动第二电机可以驱动螺纹杆转动，使第一底座运动，调整吸盘的位置，从而将硅片从一侧的吸盘运输到另一侧的吸盘上，实现了自动化插取运输硅片的功能，解决了人工操作效率较低的问题，提高了生产效率；

2.本实用新型通过L形板和插槽的结构设计，当光电传感器损坏需要更换时，拉动拉板，拉板带动L形板离开插槽，即可将光电传感器取出，安装时，拉动拉板，通过定位块和定位槽放置光电传感器，松开拉板在弹簧的作用下，L形板插设进插槽内，对光电传感器进行限位，实现了快速方便拆装光电传感器的功能，解决了目前不方便更换光电传感器的问题，提高了装置的实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为实施例一的整体结构示意图；

图2为实施例一的1中A处放大示意图；

图3为实施例一的第一支架板结构示意图；

图4为实施例一的第二滑块结构示意图；

图5为实施例一的光电传感器结构示意图；

图6为实施例一的安装块结构示意图；

图7为实施例一的L形板结构示意图；

图8为实施例二的立体结构示意图。

图中：1、框架；2、第一支架板；3、第二支架板；4、第一底座；5、第二底座；6、吸盘；7、光电传感器；8、第一电机；9、齿轮单元；10、皮带；11、第一适配件；12、第二适配件；13、感应片；14、第二电机；15、固定块；16、螺纹杆；17、移动块；18、安装块；19、方块；20、插槽；21、导向柱；22、连接板；23、L形板；24、弹簧；25、拉板；26、第一滑轨；27、第一滑块；28、第二滑轨；29、第二滑块；30、定位槽；31、定位块；32、圆孔；33、安装孔；34、滑槽轨道；35、安装板；36、通口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

请参阅图1-7所示，一种轻型的机器人插取片机构，包括框架1；所述框架1上滑动连接有第一支架板2和第二支架板3，所述框架1上设有第一驱动机构，且第一驱动机构用于驱动第一支架板2和第二支架板3运动，所述第一支架板2上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构上通过竖板固接有第一底座4，所述第二支架板3的底部通过竖板固接有第二底座5，所述第一底座4和第二底座5上安装有吸盘6，所述框架1上设有光电传感器7，所述光电传感器7通过限位组件固定连接在框架1上；

所述第一驱动机构包括固接在框架1上的第一电机8，所述框架1上安装有两个齿轮单元9，所述第一电机8的输出轴与其中一个齿轮单元9固定连接，两个所述齿轮单元9之间通过皮带10传动连接，所述第一支架板2上固接有第一适配件11，所述第一适配件11与皮带10啮合连接，所述第二支架板3上固接有第二适配件12，所述第二适配件12与皮带10啮合连接，所述第二适配件12上固接有感应片13，所述第二驱动机构包括固接在第一支架板2上的第二电机14，所述第一支架板2上固接有两个固定块15，所述第二电机14的输出轴固接有螺纹杆16，所述螺纹杆16与两个固定块15通过轴承转动连接，所述螺纹杆16的表面螺纹连接有移动块17，所述移动块17通过竖板与第一底座4固定连接，所述第一底座4滑动连接在第一支架板2上；

工作时，左侧的吸盘6从上位机构吸取硅片，启动第二电机14驱动吸盘6运动，使左侧的吸盘6和硅片对准右侧吸盘6的空隙位置，启动第一电机8驱动第一支架板2和第二支架板3向中间运动，启动第二电机14带动硅片紧贴右侧的吸盘6，使右侧的吸盘6吸取硅片，左侧的吸盘6解除吸真空，使第一电机8反转，将硅片带到右方到下位机构。

所述限位组件包括安装块18，所述光电传感器7上固接有方块19，所述方块19上开设有插槽20，所述安装块18上固接有两个导向柱21，所述导向柱21的一端固接有连接板22，所述导向柱21上滑动连接有L形板23，所述L形板23与连接板22之间固接有弹簧24，所述弹簧24套设在导向柱21的外侧，所述L形板23上固接有拉板25；

工作时，当光电传感器7损坏需要更换时，拉动拉板25带动L形板23离开插槽20，即可将光电传感器7取出，将新的光电传感器7通过定位槽30和定位块31放置，松开拉板25，在弹簧24的作用下，L形板23插设进插槽20内，完成安装。

所述框架1上固接有两个第一滑轨26，所述第一支架板2和第二支架板3上固接有四个第一滑块27，所述第一滑块27滑动连接在第一滑轨26上；

工作时，在第一支架板2和第二支架板3运动过程中，第一滑块27滑动在第一滑轨26上。

所述第一适配件11与下方的皮带10啮合，所述第二适配件12与上方的皮带10啮合；

工作时，皮带10持续运转中，可以带动第一适配件11和第二适配件12向相反方向运动。

所述第一支架板2的底部固接有第二滑轨28，所述第一底座4的顶部通过U形板固接有两个第二滑块29，所述第二滑块29滑动连接在第二滑轨28上；

工作时，在第一底座4运动过程中，第二滑块29滑动在第二滑轨28内。

所述安装块18上开设有两个定位槽30，所述光电传感器7上固接有两个定位块31，所述定位块31滑动插设在定位槽30内；

工作时，定位块31插设在定位槽30内，使L形板23更好可以插设进插槽20内。

所述L形板23上开设有圆孔32，所述导向柱21贯穿圆孔32；

工作时，在L形板23运动过程中，圆孔32在导向柱21表面滑动。

所述安装块18上开设有两个安装孔33，所述框架1上固接有滑槽轨道34；

工作时，通过安装孔33、螺栓和螺帽座，可以将安装块18固定安装在滑槽轨道34上，螺栓和螺帽座未在图中示出，松动螺栓可以在滑槽轨道34上移动安装块18，从而调整光电传感器7的位置。

实施例二

请参阅图8所示，对比实施例一，作为本实用新型的另一种实施方式，所述框架1上固接有安装板35，所述安装板35上开设有通口36；工作时，可以将装置通过通口36安装在移载装置上。

工作原理：使用时，左侧的吸盘6从上位机构吸取硅片，启动第二电机14，第二电机14驱动螺纹杆16转动，螺纹杆16带动移动块17运动，移动块17带动第一底座4运动，从而带动吸盘6运动，使左侧的吸盘6和硅片对准右侧吸盘6的空隙位置，启动第一电机8，第一电机8可以驱动齿轮单元9转动，齿轮单元9带动皮带10运转，皮带10带动第一支架板2和第二支架板3向中间运动，使第二支架板3带动感应片13运动，当感应片13到达极限位置的光电传感器7时即停，启动第二电机14带动硅片紧贴右侧的吸盘6，使右侧的吸盘6吸取硅片，左侧的吸盘6解除吸真空，使第一电机8反转，将硅片带到右方到下位机构，当光电传感器7损坏需要更换时，拉动拉板25，拉板25带动L形板23离开插槽20，即可将光电传感器7取出，将新的光电传感器7通过定位槽30和定位块31插设放置好，松开拉板25，在弹簧24的作用下，L形板23插设进插槽20内，完成安装。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (8)

1.一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：包括框架(1)；所述框架(1)上滑动连接有第一支架板(2)和第二支架板(3)，所述框架(1)上设有第一驱动机构，且第一驱动机构用于驱动第一支架板(2)和第二支架板(3)运动，所述第一支架板(2)上设有第二驱动机构，所述第二驱动机构上通过竖板固接有第一底座(4)，所述第二支架板(3)的底部通过竖板固接有第二底座(5)，所述第一底座(4)和第二底座(5)上安装有吸盘(6)，所述框架(1)上设有光电传感器(7)，所述光电传感器(7)通过限位组件固定连接在框架(1)上；

所述第一驱动机构包括固接在框架(1)上的第一电机(8)，所述框架(1)上安装有两个齿轮单元(9)，所述第一电机(8)的输出轴与其中一个齿轮单元(9)固定连接，两个所述齿轮单元(9)之间通过皮带(10)传动连接，所述第一支架板(2)上固接有第一适配件(11)，所述第一适配件(11)与皮带(10)啮合连接，所述第二支架板(3)上固接有第二适配件(12)，所述第二适配件(12)与皮带(10)啮合连接，所述第二适配件(12)上固接有感应片(13)，所述第二驱动机构包括固接在第一支架板(2)上的第二电机(14)，所述第一支架板(2)上固接有两个固定块(15)，所述第二电机(14)的输出轴固接有螺纹杆(16)，所述螺纹杆(16)与两个固定块(15)通过轴承转动连接，所述螺纹杆(16)的表面螺纹连接有移动块(17)，所述移动块(17)通过竖板与第一底座(4)固定连接，所述第一底座(4)滑动连接在第一支架板(2)上。

2.根据权利要求1所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述限位组件包括安装块(18)，所述光电传感器(7)上固接有方块(19)，所述方块(19)上开设有插槽(20)，所述安装块(18)上固接有两个导向柱(21)，所述导向柱(21)的一端固接有连接板(22)，所述导向柱(21)上滑动连接有L形板(23)，所述L形板(23)与连接板(22)之间固接有弹簧(24)，所述弹簧(24)套设在导向柱(21)的外侧，所述L形板(23)上固接有拉板(25)。

3.根据权利要求2所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述框架(1)上固接有两个第一滑轨(26)，所述第一支架板(2)和第二支架板(3)上固接有四个第一滑块(27)，所述第一滑块(27)滑动连接在第一滑轨(26)上。

4.根据权利要求3所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述第一适配件(11)与下方的皮带(10)啮合，所述第二适配件(12)与上方的皮带(10)啮合。

5.根据权利要求4所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述第一支架板(2)的底部固接有第二滑轨(28)，所述第一底座(4)的顶部通过U形板固接有两个第二滑块(29)，所述第二滑块(29)滑动连接在第二滑轨(28)上。

6.根据权利要求5所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述安装块(18)上开设有两个定位槽(30)，所述光电传感器(7)上固接有两个定位块(31)，所述定位块(31)滑动插设在定位槽(30)内。

7.根据权利要求6所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述L形板(23)上开设有圆孔(32)，所述导向柱(21)贯穿圆孔(32)。

8.根据权利要求7所述的一种轻型的机器人插取片机构，其特征在于：所述安装块(18)上开设有两个安装孔(33)，所述框架(1)上固接有滑槽轨道(34)。

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