CN218453759U - 一种新型自动化设备传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型自动化设备传输装置，包括支架，支架的顶部设有旋转装置，旋转装置的顶部固定连接固定杆的一端，固定杆的另一端设有固定架，固定架上设有伸缩气缸，伸缩气缸的下端设有连接板，连接板的下端对称设有两个夹持结构；旋转装置，包括设置于支架顶部的安装座，安装座的上端设有旋转气缸，旋转气缸的输出端与固定杆固定连接，本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，通过旋转装置带动固定杆、固定架、伸缩气缸、连接板和两个夹持结构进行转动，实现了机械手臂在送入一个硅片进入生产腔后，在抽出直接传送另一个硅片进入生产腔，避免了浪费大量的时间，提高了了生产效率。

Description

一种新型自动化设备传输装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，具体领域为一种新型自动化设备传输装置。

背景技术

硅片的生产中，硅片需要进入多腔同种功能的设备内进行生产，目前，生产完成后需要机械手臂进入生产腔内抓取硅片，最终传出设备，但由于每个生产腔生产时间过长，机械手臂无法在送入一个硅片进入生产腔后，在抽出直接传送另一个硅片进入生产腔，造成浪费大量的时间，降低了生产效率，为此，提供一种新型自动化设备传输装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型自动化设备传输装置，以解决机械手臂无法在送入一个硅片进入生产腔后，在抽出直接传送另一个硅片进入生产腔，造成浪费大量的时间，降低了生产效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型自动化设备传输装置，包括支架，所述支架的顶部设有旋转装置，所述旋转装置的顶部固定连接固定杆的一端，所述固定杆的另一端设有固定架，所述固定架上设有伸缩气缸，所述伸缩气缸的下端设有连接板，所述连接板的下端对称设有两个夹持结构；

旋转装置，包括设置于支架顶部的安装座，所述安装座的上端设有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端与所述固定杆固定连接。

优选的，所述夹持结构包括设置于连接板下端的安装槽，所述安装槽的内部设有电缸，所述电缸的输出端设有顶板，所述安装槽的侧壁均设有两个交错排布有凹槽，所述凹槽的内侧设有连接杆，所述连接杆的一端设有挡板，所述连接杆的另一端伸出凹槽并设有夹持爪，所述夹持爪的侧壁设有与顶板滑动连接的三角形板。

优选的，所述安装座的上端且位于旋转气缸的一侧设有限位杆，所述限位杆可以固定杆的侧壁相触碰。

优选的，所述三角形板的倾斜边设置有滑轨，所述顶板对应滑轨的位置设有倾斜滑槽。

优选的，所述滑轨的倾斜角度和倾斜滑槽的倾斜角度相同，所述滑轨的倾斜角度和倾斜滑槽的倾斜角度均设置为度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种新型自动化设备传输装置，通过旋转装置带动固定杆、固定架、伸缩气缸、连接板和两个夹持结构进行转动，实现了机械手臂在送入一个硅片进入生产腔后，在抽出直接传送另一个硅片进入生产腔，避免了浪费大量的时间，提高了了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的主剖视结构示意图；

图2为图1的A处局部放大结构示意图；

图3为本实用新型夹持结构的主剖视结构示意图。

图中：1、支架；2、旋转装置；201、安装座；202、旋转气缸；203、限位杆；3、固定杆；4、固定架；5、伸缩气缸；6、连接板；7、夹持结构；701、安装槽；702、电缸；703、顶板；704、凹槽；705、连接杆；706、挡板；707、夹持爪；708、三角形板；709、滑轨；710、倾斜滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种新型自动化设备传输装置，包括支架1，支架1的顶部设有旋转装置2，旋转装置2的顶部固定连接固定杆3的一端，固定杆3的另一端设有固定架4，固定架4上设有伸缩气缸5，伸缩气缸5的下端设有连接板6，连接板6的下端对称设有两个夹持结构7；通过旋转装置2带动固定杆3、固定架4、伸缩气缸5、连接板6和两个夹持结构7进行转动，实现了机械手臂在送入一个硅片进入生产腔后，在抽出直接传送另一个硅片进入生产腔，避免了浪费大量的时间，提高了了生产效率。

具体而言，旋转装置2，包括设置于支架1顶部的安装座201，安装座201的上端设有旋转气缸202，旋转气缸202的输出端与固定杆3固定连接，通过设置旋转气缸202，实现了在带动固定杆3转动的同时，减少噪音，安装座201的上端且位于旋转气缸202的一侧设有限位杆203，限位杆203可以固定杆3的侧壁相触碰，通过设置限位杆203，使固定杆的移动位置更加准确。

具体而言，夹持结构7包括设置于连接板6下端的安装槽701，安装槽701的内部设有电缸702，电缸702的输出端设有顶板703，安装槽701的侧壁均设有两个交错排布有凹槽704，凹槽704的内侧设有连接杆705，连接杆705的一端设有挡板706，连接杆705的另一端伸出凹槽704并设有夹持爪707，夹持爪707的侧壁设有与顶板703滑动连接的三角形板708，三角形板708的倾斜边设置有滑轨709，顶板703对应滑轨709的位置设有倾斜滑槽710，滑轨709的倾斜角度和倾斜滑槽710的倾斜角度相同，滑轨709的倾斜角度和倾斜滑槽710的倾斜角度均设置为45度，夹持硅片时，电缸702的输出端带动顶板703下降，使顶板703将三角形板708顶开，同时连接杆705和夹持爪707向外移动，放置在硅片的位置，电缸702进行收缩，带动四个夹持爪707回到原来的位置实现对硅片进行夹持。

工作原理：本实用新型首先通过通过两个夹持结构7进行夹持硅片，旋转气缸202带动固定杆3、固定架4、伸缩气缸5、连接板6和两个夹持结构7进行转动，移动到生产腔的位置伸缩气缸5的输出端带动连接板6和夹持结构7下降，送入一个硅片后伸缩气缸5的输出端带动连接板6和夹持结构7上升，旋转气缸202进行转动后，伸缩气缸5的输出端带动连接板6和夹持结构7下降，送入另一个硅片后伸缩气缸5的输出端带动连接板6和夹持结构7上升，完成硅片的输送。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种新型自动化设备传输装置，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的顶部设有旋转装置(2)，所述旋转装置(2)的顶部固定连接固定杆(3)的一端，所述固定杆(3)的另一端设有固定架(4)，所述固定架(4)上设有伸缩气缸(5)，所述伸缩气缸(5)的下端设有连接板(6)，所述连接板(6)的下端对称设有两个夹持结构(7)；

旋转装置(2)，包括设置于支架(1)顶部的安装座(201)，所述安装座(201)的上端设有旋转气缸(202)，所述旋转气缸(202)的输出端与所述固定杆(3)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型自动化设备传输装置，其特征在于：所述夹持结构(7)包括设置于连接板(6)下端的安装槽(701)，所述安装槽(701)的内部设有电缸(702)，所述电缸(702)的输出端设有顶板(703)，所述安装槽(701)的侧壁均设有两个交错排布有凹槽(704)，所述凹槽(704)的内侧设有连接杆(705)，所述连接杆(705)的一端设有挡板(706)，所述连接杆(705)的另一端伸出凹槽(704)并设有夹持爪(707)，所述夹持爪(707)的侧壁设有与顶板(703)滑动连接的三角形板(708)。

3.根据权利要求2所述的一种新型自动化设备传输装置，其特征在于：所述安装座(201)的上端且位于旋转气缸(202)的一侧设有限位杆(203)，所述限位杆(203)可以固定杆(3)的侧壁相触碰。

4.根据权利要求3所述的一种新型自动化设备传输装置，其特征在于：所述三角形板(708)的倾斜边设置有滑轨(709)，所述顶板(703)对应滑轨(709)的位置设有倾斜滑槽(710)。

5.根据权利要求4所述的一种新型自动化设备传输装置，其特征在于：所述滑轨(709)的倾斜角度和倾斜滑槽(710)的倾斜角度相同，所述滑轨(709)的倾斜角度和倾斜滑槽(710)的倾斜角度均设置为45度。

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