CN218398901U - 一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘，包括底盘及上托，所述上托与底盘上表面可拆卸连接，所述上托设有上端开口的凹槽，凹槽内设有多个横梁，横梁底部与凹槽底部之间留有间隙。本实用新型所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘通过在上托内部设置横梁，能够将料座架起，料座与上托底部之间留有间隙，供脏污排出，避免堆积在料座底部导致料座污染。

Description

一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘

技术领域

本实用新型属于硅片生产设备领域，尤其是涉及一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘。

背景技术

在硅片加工过程中，硅片脱胶、清洗是整个硅片制作流程的关键环节之一，直接影响硅片清洗效果和硅片的成品率，硅棒经切片后通常放置在料座内，通过托盘带动流转至脱胶机进行脱胶处理，流转过程中料座及硅片上附着的脏污会堆积在料座底部，甚至低落在设备上，由于料座为重复使用，容易对硅片造成污损，影响产品质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘，以确保料座的干净整洁，改善产品质量。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘，包括底盘及上托，所述上托与底盘上表面可拆卸连接，所述上托设有上端开口的凹槽，凹槽的形状与料座底部形状相匹配，凹槽内设有多个横梁，横梁底部与凹槽底部之间留有间隙；优选地，横梁顶部与凹槽顶部之间也留有间隙，料座底部插入凹槽内并架设在横梁上，使料座残留脏污滴落在横梁下方，便于清理，同时确保横梁上部空间余量够大避免料座在运送过程中从托盘中滑落。

进一步地，所述底盘上设有角轮；优选地，底盘呈近似长方形，底盘的拐角处设置有安装支架，安装支架上设有安装槽，角轮通过安装轴设置在安装槽中。

进一步地，所述底盘侧壁设有止动槽，便于抓取、固定或堆叠托盘。

进一步地，所述上托与底盘之间通过角铁相连，所述角铁呈L型，角铁的一边与上托侧壁固接，另一边设有安装孔，螺栓穿过安装孔与底盘可拆卸连接。

进一步地，所述底盘的材质为PE，底盘具有良好的支撑强度及耐磨性能；优选地，底盘的颜色为黑色，与工作现场环境接近。

进一步地，所述上托的材质为SUS 304不锈钢，增加结构强度，承载料座。

相对于现有技术，本实用新型所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘具有以下优势：

本实用新型所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘通过在上托内部设置横梁，能够将料座架起，料座与上托底部之间留有间隙，供脏污排出，避免堆积在料座底部导致料座污染。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘的结构示意图。

附图标记说明：

1、底盘；2、上托；3、横梁；4、角轮；5、止动槽；6、角铁。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

本实用新型中的承载单晶硅棒料座循环工作托盘，包括底盘1及上托2，底盘1的材质为PE，底盘1具有良好的支撑强度及耐磨性能；优选地，底盘1的颜色为黑色，与工作现场环境接近，上托2的材质为SUS 304不锈钢，增加结构强度，承载料座，

上托2与底盘1上表面可拆卸连接，上托2设有上端开口的凹槽，凹槽的形状与料座底部形状相匹配，凹槽内设有多个横梁3，横梁3底部与凹槽底部之间留有间隙，横梁3顶部与凹槽顶部之间也留有间隙，料座底部插入凹槽内并架设在横梁3上，当料座放置在横梁3上时，料座残留的脏污能够透过横梁3滴落在横梁3下方的凹槽内，便于清理，同时横梁3上部的凹槽空间余量够大，避免料座在运送过程中从托盘中滑落。

在一些实施例中，底盘1上设有角轮4，底盘1呈近似长方形，底盘1的拐角处上下表面分别通过螺栓安装有支撑板，相对设置的两个支撑板之间留有供角轮4安装的安装槽，底盘1拐角处设有让位槽，角轮4通过安装轴设置在安装槽中。

在一些实施例中，底盘1侧壁设有止动槽5，便于抓取、固定或堆叠托盘。

在一些实施例中，上托2与底盘1之间通过角铁6相连，角铁6呈L型，角铁6的一边与上托2侧壁固接，另一边设有安装孔，螺栓穿过安装孔与底盘1可拆卸连接。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种承载单晶硅棒料座循环工作托盘，其特征在于：包括底盘及上托，所述上托与底盘上表面可拆卸连接，所述上托设有上端开口的凹槽，凹槽内设有多个横梁，横梁底部与凹槽底部之间留有间隙。

2.根据权利要求1所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘，其特征在于：所述底盘上设有角轮。

3.根据权利要求1所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘，其特征在于：所述底盘侧壁设有止动槽。

4.根据权利要求1所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘，其特征在于：所述上托与底盘之间通过角铁相连，所述角铁呈L型，角铁的一边与上托侧壁固接，另一边与底盘可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘，其特征在于：所述底盘的材质为PE。

6.根据权利要求1所述的承载单晶硅棒料座循环工作托盘，其特征在于：所述上托的材质为SUS 304不锈钢。

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