CN218321585U - 一种蒸镀补锂设备 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种蒸镀补锂设备。该蒸镀补锂设备包括:真空箱,具有一真空腔室;收放卷装置,包括均设置在真空腔室内的放卷机构、收卷机构和镀膜辊,放卷机构用于放卷输出料带,收卷机构用于收卷放卷机构输出的料带,镀膜辊用于供放卷机构输出的料带绕经;及蒸发装置,包括多个供丝机构及与多个供丝机构一一对应的多个蒸发舟,每一供丝机构用于向对应的蒸发舟输送锂丝,多个蒸发舟与镀膜辊相对布设,且沿镀膜辊的轴向间隔排布,每一蒸发舟用于对锂丝进行加热蒸发,以在各个蒸发舟与镀膜辊之间形成锂蒸汽。

Description

一种蒸镀补锂设备
技术领域
本实用新型涉及电池制造设备技术领域,特别是涉及一种蒸镀补锂设备。
背景技术
在锂离子电池首次充电过程中,有机电解液会在负极表面还原分解,永久地消耗来自正极的锂,使锂离子电池的容量和能量密度降低。为了解决这一问题,为电池补充一定量的活性锂,即“预锂化”技术随之而生。预锂化技术包括负极补锂和正极补锂。现有的补锂技术包括压延式补锂、富锂正极化成补锂和真空卷绕蒸镀补锂等。
其中,真空卷绕蒸镀补锂是利用真空镀膜工艺,在负极极片表面蒸镀形成镀膜。然而,在蒸镀时由于负极极片在宽度方向上的各个位置与蒸镀源的距离不同,从而导致在各个位置形成的镀膜的厚度不一致,即镀膜的厚度均匀性较差,降低了电池性能。
实用新型内容
基于此,有必要针对现有技术中在负极极片上形成的镀膜厚度均匀性较差,降低了电池性能的问题,提供一种改善上述缺陷的蒸镀补锂设备。
一种蒸镀补锂设备,包括:
真空箱,具有一真空腔室;
收放卷装置,包括均设置在所述真空腔室内的放卷机构、收卷机构和镀膜辊,所述放卷机构用于放卷输出料带,所述收卷机构用于收卷所述放卷机构输出的料带,所述镀膜辊用于供所述放卷机构输出的料带绕经;及
蒸发装置,包括多个供丝机构及与所述多个供丝机构一一对应的多个蒸发舟,每一所述供丝机构用于向对应的所述蒸发舟输送锂丝,所述多个蒸发舟与所述镀膜辊相对布设,且沿所述镀膜辊的轴向间隔排布,每一所述蒸发舟用于对锂丝进行加热蒸发,以在各个所述蒸发舟与所述镀膜辊之间形成锂蒸汽。
在其中一个实施例中,所述镀膜辊和所述蒸发装置的数量均为两个,两个所述蒸发装置与两个所述镀膜辊一一对应设置;
绕经在其中一个所述镀膜辊上的料带的第一面朝向对应的所述蒸发装置,绕经在其中另一个所述镀膜辊上的料带的第二面朝向对应的所述蒸发装置,料带的所述第一面与所述第二面彼此相背。
在其中一个实施例中,所述多个供丝机构分为第一组和第二组,所述第一组的各个所述供丝机构沿所述多个蒸发舟的排布方向间隔布设,所述第二组的各个所述供丝机构沿所述多个蒸发舟的排布方向间隔布设,且所述第一组和所述第二组分别位于所述多个蒸发舟在第一方向上的两侧,所述第一方向与所述多个蒸发舟的排布方向相垂直;
在每相邻的两个所述蒸发舟中,其中一个所述蒸发舟由所述第一组的所述供丝机构提供锂丝,其中另一个所述蒸发舟由所述第二组的所述供丝机构提供锂丝。
在其中一个实施例中,所述蒸发装置还包括与所述镀膜辊的轴向平行布设的安装轴,每一所述供丝机构包括锂丝盘和送丝组件,所述锂丝盘用于卷绕锂丝,且可转动地套设在所述安装轴上,所述送丝组件布置在所述锂丝盘与对应的所述蒸发舟之间,用于提供牵引所述锂丝盘上的锂丝向对应的所述蒸发舟移动的牵引力。
在其中一个实施例中,所述蒸发装置还包括套设在所述安装轴上的多个定距轴套,每相邻两个所述锂丝盘之间均具有所述定距轴套,且每相邻两个所述锂丝盘与二者之间的所述定距轴套相抵接。
在其中一个实施例中,所述送丝组件包括两个送丝轮及旋转驱动件,两个所述送丝轮均可旋转地设置,且共同压紧由二者之间穿过的锂丝,所述旋转驱动件与其中一个所述送丝轮驱动连接。
在其中一个实施例中,所述送丝组件还包括用于供锂丝穿过的第一导向管,所述第一导向管位于所述两个送丝轮与所述锂丝盘之间,以将所述锂丝盘输出的锂丝导入两个所述送丝轮之间。
在其中一个实施例中,所述送丝组件还包括用于供锂丝穿过的第二导向管,所述第二导向管位于所述两个送丝轮与对应的所述蒸发舟之间,以将由两个所述送丝轮之间穿出的锂丝导入至对应的所述蒸发舟上。
在其中一个实施例中,每一所述送丝轮的周向表面具有防滑纹。
在其中一个实施例中,所述真空箱包括箱体和箱盖,所述箱体具有所述真空腔室和与所述真空腔室连通的开口,所述箱盖可盖合或打开所述开口,所述放卷机构、所述收卷机构和所述镀膜辊均设置在所述箱盖上;
当所述箱盖盖合所述开口时,所述放卷机构、所述收卷机构和所述镀膜辊均位于所述真空腔室内;当所述箱盖打开所述开口时,所述放卷机构、所述收卷机构和所述镀膜辊均位于所述真空腔室外。
上述蒸镀补锂设备,在实际蒸镀作业过程中,放卷机构连续地放卷输出料带,与此同时,收卷机构连续地收卷料带,使得料带以一定的速度途经镀膜辊。蒸发装置的各个蒸发舟对其上的锂丝进行加热,使得各个蒸发舟上的锂丝受热蒸发形成锂蒸汽,锂蒸汽以范德瓦尔兹力为结合力紧紧地贴附于料带上,从而在料带上形成镀层。
现有技术中,往往采用一个蒸发源对料带进行蒸镀,导致在料带的宽度方向上,中间区域的镀层厚度较为均匀,而靠近两边缘的区域的镀层厚度较薄,从而导致镀层厚度不均匀。然而,本申请中由于设置了多个蒸发舟,该多个蒸发舟沿镀膜辊的轴向(即沿绕经在镀膜辊上的料带的宽度方向)间隔布设,即每个蒸发舟形成一个蒸发源,多个蒸发源同时沿料带的宽度方向对料带进行蒸镀,从而确保料带的中间区域和靠近两边缘的区域的镀层厚度保持一致,即大大提高了镀层厚度的均匀性,有利于提升电池性能。
附图说明
图1为本实用新型一实施例中蒸镀补锂设备的结构简图;
图2为本实用新型一实施例中蒸镀补锂设备的蒸发装置的主视图;
图3为图2所示的蒸发装置的侧视图;
图4为图2所示的蒸发装置的俯视图;
图5为本实用新型一实施例中蒸发舟的蒸发范围的示意图;
图6为图2所示的蒸发装置的送丝机构的结构示意图;
图7本实用新型一实施例中蒸镀补锂设备的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
请参阅图1至图4所示,本实用新型一实施例提供了一种蒸镀补锂设备,包括真空箱10、收放卷装置20及蒸发装置30。
该真空箱10具有一真空腔室112。该收放卷装置20包括均设置在真空腔室112内的放卷机构21、收卷机构22和镀膜辊23。放卷机构21用于放卷输出料带b,收卷机构22用于收卷放卷机构21输出的料带b。镀膜辊23用于供放卷机构21输出的料带b绕经。也就是说,由放卷机构21放卷输出的料带b绕经镀膜辊23之后,再由收卷机构22收卷。可选地,料带b可以是负极极片。当然也可以是其它类型的料带,在此不作限定。
蒸发装置30包括多个供丝机构31及与该多个供丝机构31一一对应的多个蒸发舟32。每一供丝机构31用于向对应的蒸发舟32输送锂丝a,使得蒸发舟32用于对对应的供丝机构31提供的锂丝a进行加热蒸发。多个蒸发舟32与镀膜辊23相对布设,且沿镀膜辊23的轴向间隔排布。每一蒸发舟32用于对锂丝a进行加热蒸发,以在各个蒸发舟32与镀膜辊23之间形成锂蒸汽,从而在真空环境下对绕经在镀膜辊23上的料带b进行蒸镀。具体地,蒸发装置30还包括第一支撑架33,上述各个蒸发舟32安装在第一支撑架33上,即利用第一支撑架33对各个蒸发舟32进行支撑。
上述蒸镀补锂设备,在实际蒸镀作业过程中,放卷机构21连续地放卷输出料带b,与此同时,收卷机构22连续地收卷料带b,使得料带b以一定的速度途经镀膜辊23。蒸发装置30的各个蒸发舟32对其上的锂丝a进行加热,使得各个蒸发舟32上的锂丝a受热蒸发形成锂蒸汽,锂蒸汽以范德瓦尔兹力为结合力紧紧地贴附于料带b上,从而在料带b上形成镀层。
现有技术中,往往采用一个蒸发源对料带b进行蒸镀,导致在料带b的宽度方向上,中间区域的镀层厚度较为均匀,而靠近两边缘的区域的镀层厚度较薄,从而导致镀层厚度不均匀。然而,本申请中由于设置了多个蒸发舟32,该多个蒸发舟32沿镀膜辊23的轴向(即沿绕经在镀膜辊23上的料带b的宽度方向)间隔布设,即每个蒸发舟32形成一个蒸发源,多个蒸发源同时沿料带b的宽度方向对料带b进行蒸镀,从而确保料带b的中间区域和靠近两边缘的区域的镀层厚度保持一致,即大大提高了镀层厚度的均匀性,有利于提升电池性能。
请参见图5所示,需要说明的是,每一蒸发舟32具有一蒸发范围B,即对料带b的位于该蒸发范围B内的部分进行蒸镀。由于该蒸发范围B内与蒸发舟32正对的位置镀层厚度较厚,距离蒸发舟32越远的位置的镀层厚度越薄。为了进一步提高镀层厚度的均匀性,具体到一个实施例中,通过设计每相邻两个蒸发舟32之间的间距和上述多个蒸发舟32与镀膜辊23之间的间距,使得每相邻的蒸发舟32的蒸发范围B部分重合,从而相邻两个蒸发舟32同时对重合部分进行蒸镀,确保各个蒸发范围B的重合部分B2和非重合区域B1的镀层厚度更加一致,从而进一步提高料带b上的镀层厚度的均匀性。
需要说明的是,每相邻两个蒸发舟32之间的间距值和上述多个蒸发舟32与镀膜辊23之间的间距值,受到料带b的规格、所需镀层厚度、蒸发舟32的规格等因素的影响,可根据具体生产情况进行设定,在此不作限定。
还需要说明的是,料带的走带速度可根据具体生产情况进行设定,在此不作限定。
具体到实施例中,镀膜辊23可以是冷却辊,即镀膜辊23的内部可通入冷却介质(例如冷却水),从而对绕经镀膜辊23的料带进行冷却,避免因为蒸发舟32的高温而造成损伤。
请参见图1所示,具体到实施例中,镀膜辊23和蒸发装置30的数量均为两个,两个蒸发装置30与两个镀膜辊23一一对应设置。绕经在其中一个镀膜辊23上的料带b的第一面朝向对应的蒸发装置30,绕经在其中另一个镀膜辊23上的料带b的第二面朝向对应的蒸发装置30,料带b的第一面与第二面彼此相背。如此,利用两个蒸发装置30分别对料带b的第一面和第二面进行蒸镀,使得料带b的第一面和第二面均形成镀层。
具体到实施例中,收放卷装置20还包括多个供料带b绕经的过辊25,从而利用过辊25对料带b进行导向。放卷机构21与第一个镀膜辊23之间可设置一个或多个过辊25,第一个镀膜辊23和第二个镀膜辊23之间可设置一个或多个过辊25,第二个镀膜辊23与收卷机构22之间也可设置一个或多个过辊25,在此不作限定。
具体到实施例中,放卷机构21具有一可旋转的放卷轴,料卷装载在该放卷轴上,从而通过控制放卷轴旋转带动料卷旋转,进而实现向下游放卷输出料带。
具体到实施例中,收卷机构22具有一可旋转的收卷轴,料带绕在该收卷轴上,从而通过控制该收卷轴旋转带动料带收卷在该收卷轴上。
进一步地,蒸镀补锂设备还包括设置在真空腔室112内的厚度检查装置,厚度检查装置用于检查料带上的镀层的厚度。当第一次蒸镀完成后,厚度检查装置检查到料带上的镀层厚度较薄时,可控制收卷轴和放卷轴均反向转动,从而使得收卷轴放卷输出料带,放卷轴收卷料带,使得料带以一定速度经过镀膜辊23,蒸发舟继续加热产生锂蒸汽,从而对料带进行再次蒸镀,以使得料带上镀层的厚度满足需求。
请参见图2至图4所示,本实用新型的实施例中,蒸发装置30还包括与镀膜辊23平行布设的安装轴,每一供丝机构31包括锂丝盘311和送丝组件312。锂丝盘311用于卷绕锂丝a,且可转动地套设在安装轴上。送丝组件312布置在锂丝盘311与对应的蒸发舟32之间,用于提供牵引锂丝盘311上的锂丝a向对应的蒸发舟32移动的牵引力。如此,在送丝组件312提供的牵引力的作用下带动锂丝a向对应的蒸发舟32移动,同时锂丝盘311在锂丝a的带动下相对安装轴旋转,从而放卷输出锂丝a。进一步地,蒸发装置30还包括第二支撑架310,安装轴连接在第二支撑架310上,以利用第二支撑架310对安装轴上的各个锂丝盘311进行支撑。
具体到实施例中,蒸发装置30还包括套设在安装轴上的多个定距轴套315,每相邻两个锂丝盘311之间均具有该定距轴套315,且每相邻两个锂丝盘311与二者之间的定距轴套315相抵接,从而利用定距轴套315对锂丝盘311的位置进行定位,使得各个锂丝盘311放卷出的锂丝a与各自对应的蒸发舟32在第一方向X上正对。
请参见图6所示,具体到实施例中,送丝组件312包括两个送丝轮3121及旋转驱动件。该两个送丝轮3121均可旋转地设置在第一支撑架33上,且共同压紧由二者之间穿过的锂丝a。旋转驱动件安装在第一支撑架33上,且与其中一个送丝轮3121驱动连接,以驱动该送丝轮3121旋转。如此,当需要向对应的蒸发舟32输送锂丝a时,旋转驱动件驱动送丝轮3121旋转,由于两个送丝轮3121彼此抵接,从而带动另一个送丝轮3121也旋转,两个送丝轮3121旋转的过程中利用锂丝a与送丝轮3121之间的摩擦力而带动锂丝a向对应的蒸发舟32移动,即实现向蒸发舟32输送锂丝a。可选地,旋转驱动件可以是电机,该电机与其中一个送丝轮3121之间通过齿轮组3122传动连接,使得电机输出的旋转运动通过齿轮组3122传递至该送丝轮3121,进而使得该送丝轮3121旋转。
进一步地,每一送丝轮3121的周向表面具有防滑纹,从而增大锂丝a与送丝轮3121之间的摩擦力,防止锂丝a与送丝轮3121之间发生打滑的现象,确保能够稳定可靠的向对应的蒸发舟32输送锂丝a。
进一步地,送丝组件312还包括用于供锂丝a穿过的第一导向管313,该第一导向管313位于上述两个送丝轮3121与锂丝盘311之间,以将锂丝盘311输出的锂丝a导入两个送丝轮3121之间。如此,锂丝盘311旋转放卷出的锂丝a穿过第一导向管313,从而在第一导向管313的导向作用下进入两个送丝盘之间。具体地,该第一导向管313可安装在第一支撑架33上。
进一步地,送丝组件312还包括用于供锂丝a穿过的第二导向管314。该第二导向管314位于上述两个送丝轮3121与对应的蒸发舟32之间,以将由两个送丝轮3121之间穿出的锂丝a导入至对应的蒸发舟32上。如此,在两个送丝轮3121旋转的带动下,锂丝a由两个送丝轮3121之间穿出而进入第二导向管314,并在第二导向管314的导向作用下到达对应的蒸发舟32上。具体地,该第二导向管314可安装在第一支撑架33上。
请继续参见图2至图4所示,本实用新型的实施例中,上述多个供丝机构31分为第一组A1和第二组A2,第一组A1的各个供丝机构31沿上述多个蒸发舟32的排布方向(即与镀膜辊23的轴向平行的方向)间隔布设,第二组A2的各个供丝机构31也沿上述多个蒸发舟32的排布方向间隔布设。并且,第一组A1和第二组A2分别位于上述多个蒸发舟32在第一方向X上的两侧,该第一方向X与多个蒸发舟32的排布方向相垂直。也就是说,上述两个供丝机构31排列呈两排(即第一组A1和第二组A2),且两排供丝机构31分别位于上述多个蒸发舟32在第一方向X上的两侧。
在每相邻的两个蒸发舟32中,其中一个蒸发舟32由第一组A1的供丝机构31提供锂丝a,其中另一个蒸发舟32由第二组A2的供丝机构31提供锂丝a。如此,由于相邻两个蒸发舟32之间的间距较小,导致没有空间将与相邻两个蒸发舟32对应的两个供丝机构31布置在同一侧,因此本实施例中,将与相邻两个蒸发舟32对应的两个供丝机构31分别布置在蒸发舟32在第一方向X上的两侧,从而确保各个供丝机构31提供的锂丝a与对应的蒸发舟32在第一方向X上正对,避免锂丝a的位置发生偏移。可以理解的是,第一组A1的各个供丝机构31的各个锂丝盘311套设在同一安装轴上,第二组A2的各个供丝机构31的各个锂丝盘311套设在另一安装轴上。
请参见图7所示,本实用新型的实施例中,真空箱10包括箱体11和箱盖12,箱体11具有上述真空腔室112和与该真空腔室112连通的开口110,箱盖12可盖合或打开该开口110。上述放卷机构21、收卷机构22和镀膜辊23均设置在箱盖12上,以随箱盖12一同移动。
当箱盖12盖合箱体11的开口110(即箱盖12密封箱体11的真空腔室112)时,放卷机构21、收卷机构22和镀膜辊23均位于真空腔室112内,以便于进行镀膜。当箱盖12打开箱体11的开口110时,放卷机构21、收卷机构22和镀膜辊23均位于真空腔室112外,以便于对料带b进行上下料。如此,当需要对料带b进行上料蒸镀时,首先,控制箱盖12打开开口110,将料卷上料至放卷机构21上,并将牵引料卷的料带b起头端依次绕经各个过辊25和镀膜辊23,进而到达收卷机构22上。然后,控制箱盖12盖合箱体11的开口110,使得真空腔室112处于密封状态,对真空腔室112进行抽真空。再然后,各个蒸发舟32对各自的锂丝a进行蒸发,以形成锂蒸汽。放卷机构21放卷输出料带b,收卷机构22收卷料带b,使得料带b以一定速度经过镀膜辊23,并且在料带b经过镀膜辊23时,各个蒸发舟32加热蒸发形成的锂蒸汽贴附在料带b上形成镀膜。
具体到实施例中,箱体11的开口110处设置有导轨13,箱盖12设置在该导轨13上,使得箱盖12能够沿导轨13移动,以打开或盖合箱体11的开口110。需要说明的是,箱盖12沿导轨13的移动可通过驱动机构驱动,至于该驱动机构的具体结构在此不作限定。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种蒸镀补锂设备,其特征在于,包括:
真空箱,具有一真空腔室;
收放卷装置,包括均设置在所述真空腔室内的放卷机构、收卷机构和镀膜辊,所述放卷机构用于放卷输出料带,所述收卷机构用于收卷所述放卷机构输出的料带,所述镀膜辊用于供所述放卷机构输出的料带绕经;及
蒸发装置,包括多个供丝机构及与所述多个供丝机构一一对应的多个蒸发舟,每一所述供丝机构用于向对应的所述蒸发舟输送锂丝,所述多个蒸发舟与所述镀膜辊相对布设,且沿所述镀膜辊的轴向间隔排布,每一所述蒸发舟用于对锂丝进行加热蒸发,以在各个所述蒸发舟与所述镀膜辊之间形成锂蒸汽。
2.根据权利要求1所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述镀膜辊和所述蒸发装置的数量均为两个,两个所述蒸发装置与两个所述镀膜辊一一对应设置;
绕经在其中一个所述镀膜辊上的料带的第一面朝向对应的所述蒸发装置,绕经在其中另一个所述镀膜辊上的料带的第二面朝向对应的所述蒸发装置,料带的所述第一面与所述第二面彼此相背。
3.根据权利要求1所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述多个供丝机构分为第一组和第二组,所述第一组的各个所述供丝机构沿所述多个蒸发舟的排布方向间隔布设,所述第二组的各个所述供丝机构沿所述多个蒸发舟的排布方向间隔布设,且所述第一组和所述第二组分别位于所述多个蒸发舟在第一方向上的两侧,所述第一方向与所述多个蒸发舟的排布方向相垂直;
在每相邻的两个所述蒸发舟中,其中一个所述蒸发舟由所述第一组的所述供丝机构提供锂丝,其中另一个所述蒸发舟由所述第二组的所述供丝机构提供锂丝。
4.根据权利要求1所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述蒸发装置还包括与所述镀膜辊的轴向平行布设的安装轴,每一所述供丝机构包括锂丝盘和送丝组件,所述锂丝盘用于卷绕锂丝,且可转动地套设在所述安装轴上,所述送丝组件布置在所述锂丝盘与对应的所述蒸发舟之间,用于提供牵引所述锂丝盘上的锂丝向对应的所述蒸发舟移动的牵引力。
5.根据权利要求4所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述蒸发装置还包括套设在所述安装轴上的多个定距轴套,每相邻两个所述锂丝盘之间均具有所述定距轴套,且每相邻两个所述锂丝盘与二者之间的所述定距轴套相抵接。
6.根据权利要求4所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述送丝组件包括两个送丝轮及旋转驱动件,两个所述送丝轮均可旋转地设置,且共同压紧由二者之间穿过的锂丝,所述旋转驱动件与其中一个所述送丝轮驱动连接。
7.根据权利要求6所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述送丝组件还包括用于供锂丝穿过的第一导向管,所述第一导向管位于所述两个送丝轮与所述锂丝盘之间,以将所述锂丝盘输出的锂丝导入两个所述送丝轮之间。
8.根据权利要求6所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述送丝组件还包括用于供锂丝穿过的第二导向管,所述第二导向管位于所述两个送丝轮与对应的所述蒸发舟之间,以将由两个所述送丝轮之间穿出的锂丝导入至对应的所述蒸发舟上。
9.根据权利要求6所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,每一所述送丝轮的周向表面具有防滑纹。
10.根据权利要求1至9任一项所述的蒸镀补锂设备,其特征在于,所述真空箱包括箱体和箱盖,所述箱体具有所述真空腔室和与所述真空腔室连通的开口,所述箱盖可盖合或打开所述开口,所述放卷机构、所述收卷机构和所述镀膜辊均设置在所述箱盖上;
当所述箱盖盖合所述开口时,所述放卷机构、所述收卷机构和所述镀膜辊均位于所述真空腔室内;当所述箱盖打开所述开口时,所述放卷机构、所述收卷机构和所述镀膜辊均位于所述真空腔室外。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN108624861A (zh) * 2018-08-07 2018-10-09 安徽金美新材料科技有限公司 双面连续镀膜的真空蒸镀装置
CN109811312A (zh) * 2019-04-09 2019-05-28 广东腾胜科技创新有限公司 一种高速卷绕蒸发镀膜设备
CN215628253U (zh) * 2021-06-30 2022-01-25 重庆金美新材料科技有限公司 一种真空镀膜装置
CN218321585U (zh) * 2022-07-05 2023-01-17 无锡先导智能装备股份有限公司 一种蒸镀补锂设备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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