CN218321582U - 真空过渡室及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，具体公开了一种真空过渡室，该真空过渡室包括过渡腔体、阀门组件和传送导向机构，传送导向机构可活动地设置在过渡腔体上，传送导向机构能够运输载板，且传送导向机构可以运动至避让阀门组件的位置，以方便阀门组件开合，提高了过渡腔体的空间利用率，缩短了过渡腔体的设置长度，进而缩短了输送装置的传送路径，保证了传动效果良好，传送导向机构能够对载板进行导向和支撑，载板的运输过程平稳，加工效率高。本实用新型还提供一种真空镀膜设备，包括上述的真空过渡室，载板的整个运动过程平稳，镀膜工艺处理效果良好。

Description

真空过渡室及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种真空过渡室及真空镀膜设备。

背景技术

目前，现有技术中的真空过渡室上的门阀主要包括翻板阀和升降闸阀两种，升降闸阀的占用空间小，但成本相对较高，而翻板阀虽然成本较低，但其占空的空间较大，在阀门的开合区域不能安装载板运输装置，造成空间的浪费，设备尺寸较大，且由于载板在该区域的前后支撑距离被加大，导致载板的前端受重力影响容易发生下沉，无法与前支撑啮合，造成运输卡顿，运输效率降低。

因此，亟需一种真空过渡室及真空镀膜设备，来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空过渡室及真空镀膜设备，以解决运输效率较低，设备尺寸较大的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型提供一种真空过渡室，所述真空过渡室包括：

过渡腔体，所述过渡腔体的两端设置有第一开口和第二开口；

阀门组件，所述阀门组件可开合地设置在第二开口处；

传送导向机构，所述传送导向机构可活动地设于所述过渡腔体上，所述传送导向机构用于运输载板，以使所述载板从所述第一开口进入所述过渡腔体，并从所述第二开口离开所述过渡腔体；其中：

所述阀门组件打开时，所述传送导向机构能够运动到避让所述阀门组件以使所述阀门组件打开的位置。

可选地，所述传送导向机构包括驱动模组和传送模组，所述驱动模组设在所述过渡腔体的外侧，所述驱动模组的动力输出端伸入所述过渡腔体且与所述传送模组相连，所述传送模组在所述驱动模组的驱动下能够运动到避让所述阀门组件的第一工作位置，以及运输所述载板的第二工作位置。

可选地，所述驱动模组包括顶升组件和底升组件，所述顶升组件设置在所述过渡腔体的顶部，所述底升组件设置在所述过渡腔体的底部；

所述传送模组包括导向轮组和限位轮组，所述导向轮组设置在所述顶升组件的活动端，所述限位轮组设置在所述底升组件的活动端。

可选地，所述顶升组件包括顶升气缸、第一支架、第一导向杆和第一固定板，所述顶升气缸固定在所述过渡腔体的外侧，且所述顶升气缸的驱动端与所述第一支架驱动连接，所述第一导向杆的一端固定在所述第一支架上，所述第一导向杆的另一端穿过所述过渡腔体设置，且与所述第一固定板连接，所述导向轮组可转动地设置在所述第一固定板上。

可选地，所述第一导向杆上套设有第一波纹管，所述第一波纹管的两端通过两个第一法兰分别与所述第一支架和所述过渡腔体连接。

可选地，所述导向轮组包括多组，每组所述导向轮组对应支撑一个所述载板，每组所述导向轮组包括相对设置的两个定位轮。

可选地，所述底升组件包括底升气缸、第二支架、第二导向杆和第二固定板，所述底升气缸固定在所述过渡腔体的外侧，且所述底升气缸的驱动端与所述第二支架驱动连接，所述第二导向杆的一端固定在所述第二支架上，所述第二导向杆的另一端穿过所述过渡腔体设置，且与所述第二固定板相连，所述限位轮组设置在所述第二固定板上。

可选地，所述第二导向杆上套设有第二波纹管，所述第二波纹管的两端通过两个第二法兰分别与所述第二支架和所述过渡腔体连接。

可选地，所述限位轮组为多组，每组所述限位轮组对应一个所述载板设置，每组所述限位轮组包括两个限位柱和两个限位轮，所述限位柱和所述限位轮一一对应设置，所述限位轮可转动地设置在所述限位柱上，所述限位柱固定在所述第二固定板上。

可选地，所述阀门组件包括驱动件、旋转轴和门体，所述驱动件固定在所述过渡腔体上，所述驱动件的驱动端与所述旋转轴驱动连接，所述门体固定在所述旋转轴上。

另一方面，本实用新型提供一种真空镀膜设备，包括上述任一方案中的真空过渡室。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种真空过渡室，该真空过渡室包括过渡腔体、阀门组件和传送导向机构，过渡腔体的两端设置有第一开口和第二开口，阀门组件可以封堵第二开口，传送导向机构可活动地设置在过渡腔体上，一方面，传送导向机构能够运输载板，以使载板穿过真空过渡室实现传输，另一方面，传送导向机构可以运动至避让阀门组件的位置，以方便阀门组件开合，通过传送导向机构的设置，提高了过渡腔体的空间利用率，缩短了过渡腔体的设置长度，进而缩短了输送装置的传送路径，保证了传动效果良好，并且通过传送导向机构能够对载板进行导向和支撑，载板的运输过程平稳，加工效率高。

本实用新型还提供一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括上述的真空过渡室。本实施例中真空镀膜设备的真空过渡室能够使载板顺利通过，且整个运动过程平稳，避免了载板上的硅片由于振动或磕碰等发生损伤，提高了硅片的良品率，载板上硅片的镀膜工艺处理效果良好。

附图说明

图1是本实用新型实施例中提供的真空过渡室的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是本实用新型实施例中提供的顶升组件的结构示意图；

图4是本实用新型实施例中提供的顶升组件的正视图；

图5是本实用新型实施例中提供的底升组件的结构示意图；

图6是本实用新型实施例中提供的底升组件的正视图。

图中：

100、过渡腔体；

200、载板；210、传动齿条；220、限位条；

300、阀门组件；310、驱动件；320、旋转轴；330、门体；

400、顶升组件；410、顶升气缸；411、第一固定耳；420、第一支架；421、第一加强杆；430、第一导向杆；440、第一固定板；450、第一波纹管；451、第一法兰；

500、底升组件；510、底升气缸；511、第二固定耳；520、第二支架；521、第二加强杆；530、第二导向杆；540、第二固定板；550、第二波纹管；551、第二法兰；

600、导向轮组；610、定位轮；611、V型限位槽；

700、限位轮组；710、限位柱；720、限位轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1和图2所示，本实施例提供一种真空过渡室，该真空过渡室可以设置在真空镀膜设备的相邻的两个真空腔体之间，也可以设置在中转装置和真空腔体之间，具体可以根据真空镀膜设备的具体构成做出选择。载板200上承载有硅片，载板200由输送装置提供动力穿过真空过渡室。示例性地，载板200的上端面设置有传动齿条210，输送装置的驱动端设有驱动齿条，驱动齿条与传动齿条210啮合，从而输送装置能够驱动载板200运动，贯通穿过真空过渡室。

作为一种可选的方案，真空过渡室设置在两个真空腔体之间，且包括过渡腔体100、阀门组件300和传送导向机构，过渡腔体100的两端设置有第一开口和第二开口，第一开口与上游的真空腔体连通，第二开口与下游的真空腔体连通，阀门组件300可开合地设置在第二开口处，当阀门组件300关闭时，阀门组件300将第二开口密封，从而使下游的真空腔体内部形成封闭的腔室，避免相邻的两个真空腔体内的气体弥漫、混合，导致发生危险，传送导向机构可活动地设置在过渡腔体100上，传送导向机构用于运输载板200，以使载板200能够通过从上游的真空腔体穿过第一开口进入到过渡腔体100内，之后从第二开口离开过渡腔体100运送至下游的真空腔体内，并且在阀门组件300打开时，传送导向机构能够运动到避让阀门组件300以使阀门组件300打开的位置，从而方便阀门组件300的开合。

作为一种可选地方案，传送导向机构包括驱动模组和传送模组，驱动模组设在过渡腔体100的外侧，驱动模组的动力输出端伸入过渡腔体100内，且驱动模组的动力输出端与传送模组相连，驱动模组能够带动传送模组向上或向下移动，传送模组在驱动模组的驱动下能够运动到避让阀门组件300的第一工作位置，以及运输载板200的第二工作位置。

当载板200在上游的真空腔体内的加工工序完成后，需要进入下游的真空腔体内进行下一道工序时，驱动模组驱动传送模组运动至第一工作位置，此时，传送模组能够避让阀门组件300，以使阀门组件300打开，然后驱动模组驱动传送模组运动至第二工作位置，此时，通过输送装置移动载板200，并将载板200挂设在传送模组上，输送装置为载板200提供前进的动力，从而将载板200从上游的真空腔体运送至下游的真空腔体内，传送模组能够为载板200进行导向，使载板200沿着预定的轨迹运动，避免载板200与过渡腔体100发生磕碰，造成硅片产品不良，当载板200进入到下游的真空腔体内后，传送导向机构复位，驱动模组继续驱动传送模组运动至第一工作位置，阀门组件300关闭。

在此过程中，通过驱动模组的升降动作，避免了传送模组对阀门组件300的干涉，提高了过渡腔体100的空间利用率，缩短了过渡腔体100的设置长度，进而缩短了输送装置的传送路径，保证输送装置能够与载板200上的传动齿条210的完美啮合，传动效果良好，并且通过传送导向机构能够对载板200进行导向和支撑，载板200的运输过程平稳，加工效率高。并且阀门组件300和传送导向机构的控制方法简单，且阀门组件300和传送导向机构能够协调运行，对于载板200上硅片的连续真空镀膜过程的节奏把控良好。

进一步地，本实施例中的驱动模组包括顶升组件400和底升组件500，顶升组件400设置在过渡腔体100的顶部，底升组件500设置在过渡腔体100的底部，传送模组包括导向轮组600和限位轮组700，导向轮组600设置在顶升组件400的活动端，限位轮组700设置在底升组件500的活动端。通过顶升组件400能够带动导向轮组600上下移动，通过底升组件500能够带动限位轮组700上下移动，当阀门组件300需要打开时，顶升组件400带动导向轮组600上升，底升组件500带动限位轮组700下降，从而避让阀门组件300，使阀门组件300能够打开；当载板200需要穿过过渡腔体100时，顶升组件400带动导向轮组600下降，底升组件500带动限位轮组700上升，从而通过导向轮组600和限位轮组700对载板200进行支撑和导向。

参见图3和图4，本实施例中的顶升组件400包括顶升气缸410、第一支架420、第一导向杆430和第一固定板440，过渡腔体100顶部的外侧壁上设有第一固定耳411，顶升气缸410的一端固定在第一固定耳411上，顶升气缸410的驱动端与第一支架420驱动连接，第一导向杆430的一端固定在第一支架420上，第一导向杆430的另一端穿过过渡腔体100设置，且与第一固定板440连接，导向轮组600可转动地设置在第一固定板440上，当载板200输送时，载板200的顶端能够挂设在导向轮组600上，由导向轮组600为载板200提供一定支撑作用，并且通过导向轮组600的设置，使得载板200与传送导向机构的接触为滚动接触，传送阻力小，且传动平稳。

示例性地，本实施例中的第一支架420呈“几”字型设置，第一支架420的两侧还设置有第一加强杆421，通过第一加强杆421能够提高第一支架420的刚度和稳定性，第一支架420的两侧均设有一个第一导向杆430，两个第一导向杆430均与第一固定板440的上端面连接。每个第一导向杆430上均套设有第一波纹管450，第一波纹管450的两端均设有第一法兰451，第一波纹管450通过两个第一法兰451分别与第一支架420和过渡腔体100连接。

进一步地，第一固定板440下方的导向轮组600包括多组，本实施例中以两组导向轮组600为例进行说明，每组导向轮组600对应支撑一个载板200，每组导向轮组600包括相对设置的两个定位轮610，这样可以同时运送两组载板200通过，提高了载板200输送的效率，加工效率较高。当然，在其他实施例中，也可以根据过渡腔体100的尺寸，设置三组、四组导向轮组600，本实施例对此不做限定。

作为一种优选地方案，参见图1，本实施例中的载板200上设有限位条220，相应地，在其中的一个定位轮610上设有V型限位槽611，当载板200输送时，限位条220能够卡设在V型限位槽611内，从而对载板200起到限位的效果，保证载板200能够沿预定轨迹运动。当然，在其他实施例中，也可以将两个定位轮610上均设有V型限位槽611，相应的，在载板200的两侧均设有限位条220。

参见图5和图6，底升组件500包括底升气缸510、第二支架520、第二导向杆530和第二固定板540，过渡腔体100底部的外侧壁上设有第二固定耳511，底升气缸510的一端固定在第二固定耳511上，底升气缸510的驱动端与第二支架520驱动连接，第二导向杆530的一端固定在第二支架520上，第二导向杆530的另一端穿过过渡腔体100设置，且与第二固定板540相连，限位轮组700设置在第二固定板540上，通过限位轮组700的设置，能够对载板200底部的位置进行限定，避免载板200发生晃动，导致载板200的传统齿条与输送装置的驱动齿条啮合不良，传动效果不佳。

示例性地，本实施例中的第二支架520呈倒“几”字型设置，第二支架520的两侧设置有第二加强杆521，通过第二加强杆521能够提高第二支架520的刚度和稳定性，第二支架520的两侧均设有一个第二导向杆530，两个第二导向杆530均与第二固定板540的下端面连接。每个第二导向杆530上均套设有第二波纹管550，第二波纹管550的两端均设有第二法兰551，第二波纹管550通过两个第二法兰551分别与第二支架520和过渡腔体100连接。

进一步地，限位轮组700可以设置为多组，且限位轮组700的组数与导向轮组600的组数相同，限位轮组700与导向轮组600一一对应设置，相对应的限位轮组700与导向轮组600共同对一个载板200进行导向和限位。本实施例中以两组限位轮组700为例进行说明，每组限位轮组700对应一个载板200设置，每组限位轮组700包括两个限位柱710和两个限位轮720，限位柱710和限位轮720一一对应设置，限位轮720可转动地设置在限位柱710上，限位柱710固定在第二固定板540上，载板200夹设在两个限位轮720之间，限位轮720与载板200底部的侧面滚动接触，通过载板200底部两侧的限位轮720能够避免载板200发生晃动，保证了载板200输送过程的平稳。当然，在其他实施例中，也可以根据过渡腔体100的尺寸，设置三组、四组限位轮组700，本实施例对此不做限定。

继续参见图1，本实施例中的阀门组件300包括驱动件310、旋转轴320和门体330，驱动件310固定在过渡腔体100上，驱动件310的驱动端与旋转轴320驱动连接，门体330固定在旋转轴320上。示例性地，驱动件310可以选用驱动气缸，驱动气缸的驱动端通过连杆组件与旋转轴320驱动连接，驱动气缸带动旋转轴320进行转动，进而带动门体330转动，从而将门体330打开或关闭，当门体330关闭时，门体330将第二开口封堵，且密封良好。

本实施例还提供一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括上述的真空过渡室。本实施例中真空镀膜设备的真空过渡室能够使载板200顺利通过，且整个运动过程平稳，避免了载板200上的硅片由于振动或磕碰等发生损伤，提高了硅片的良品率，载板200上硅片的镀膜工艺处理效果良好。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (11)

1.真空过渡室，其特征在于，所述真空过渡室包括：

过渡腔体(100)，所述过渡腔体(100)的两端设置有第一开口和第二开口；

阀门组件(300)，所述阀门组件(300)可开合地设置在第二开口处；

传送导向机构，所述传送导向机构可活动地设于所述过渡腔体(100)上，所述传送导向机构用于运输载板(200)，以使所述载板(200)从所述第一开口进入所述过渡腔体(100)，并从所述第二开口离开所述过渡腔体(100)；其中：

所述阀门组件(300)打开时，所述传送导向机构能够运动到避让所述阀门组件(300)以使所述阀门组件(300)打开的位置。

2.根据权利要求1所述的真空过渡室，其特征在于，所述传送导向机构包括驱动模组和传送模组，所述驱动模组设在所述过渡腔体(100)的外侧，所述驱动模组的动力输出端伸入所述过渡腔体(100)且与所述传送模组相连，所述传送模组在所述驱动模组的驱动下能够运动到避让所述阀门组件(300)的第一工作位置，以及运输所述载板(200)的第二工作位置。

3.根据权利要求2所述的真空过渡室，其特征在于，所述驱动模组包括顶升组件(400)和底升组件(500)，所述顶升组件(400)设置在所述过渡腔体(100)的顶部，所述底升组件(500)设置在所述过渡腔体(100)的底部；

所述传送模组包括导向轮组(600)和限位轮组(700)，所述导向轮组(600)设置在所述顶升组件(400)的活动端，所述限位轮组(700)设置在所述底升组件(500)的活动端。

4.根据权利要求3所述的真空过渡室，其特征在于，所述顶升组件(400)包括顶升气缸(410)、第一支架(420)、第一导向杆(430)和第一固定板(440)，所述顶升气缸(410)固定在所述过渡腔体(100)的外侧，且所述顶升气缸(410)的驱动端与所述第一支架(420)驱动连接，所述第一导向杆(430)的一端固定在所述第一支架(420)上，所述第一导向杆(430)的另一端穿过所述过渡腔体(100)设置，且与所述第一固定板(440)连接，所述导向轮组(600)可转动地设置在所述第一固定板(440)上。

5.根据权利要求4所述的真空过渡室，其特征在于，所述第一导向杆(430)上套设有第一波纹管(450)，所述第一波纹管(450)的两端通过两个第一法兰(451)分别与所述第一支架(420)和所述过渡腔体(100)连接。

6.根据权利要求3所述的真空过渡室，其特征在于，所述导向轮组(600)包括多组，每组所述导向轮组(600)对应支撑一个所述载板(200)，每组所述导向轮组(600)包括相对设置的两个定位轮(610)。

7.根据权利要求3所述的真空过渡室，其特征在于，所述底升组件(500)包括底升气缸(510)、第二支架(520)、第二导向杆(530)和第二固定板(540)，所述底升气缸(510)固定在所述过渡腔体(100)的外侧，且所述底升气缸(510)的驱动端与所述第二支架(520)驱动连接，所述第二导向杆(530)的一端固定在所述第二支架(520)上，所述第二导向杆(530)的另一端穿过所述过渡腔体(100)设置，且与所述第二固定板(540)相连，所述限位轮组(700)设置在所述第二固定板(540)上。

8.根据权利要求7所述的真空过渡室，其特征在于，所述第二导向杆(530)上套设有第二波纹管(550)，所述第二波纹管(550)的两端通过两个第二法兰(551)分别与所述第二支架(520)和所述过渡腔体(100)连接。

9.根据权利要求7所述的真空过渡室，其特征在于，所述限位轮组(700)为多组，每组所述限位轮组(700)对应一个所述载板(200)设置，每组所述限位轮组(700)包括两个限位柱(710)和两个限位轮(720)，所述限位柱(710)和所述限位轮(720)一一对应设置，所述限位轮(720)可转动地设置在所述限位柱(710)上，所述限位柱(710)固定在所述第二固定板(540)上。

10.根据权利要求1所述的真空过渡室，其特征在于，所述阀门组件(300)包括驱动件(310)、旋转轴(320)和门体(330)，所述驱动件(310)固定在所述过渡腔体(100)上，所述驱动件(310)的驱动端与所述旋转轴(320)驱动连接，所述门体(330)固定在所述旋转轴(320)上。

11.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-10中任一项所述的真空过渡室。

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