CN218262703U - 一种真空镀膜除气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种真空镀膜除气装置，包括真空外壳，所述真空外壳的下侧内壁对称固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的上侧壁固定连接有同一个U型框，所述U型框的左右两侧均固定连接有安装框，两个所述安装框的内壁均转动连接有螺纹杆，位于左侧所述安装框的上侧壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿安装框的侧壁且与左侧螺纹杆固定连接，两侧所述螺纹杆的杆壁均螺纹套设有两个螺纹筒。本实用新型能够对基材的上下两侧同时进行均匀加热除去杂气，而且能够根据基材的厚度改变两个转动辊之间的距离，方便对不同厚度的基材进行除杂气。

Description

一种真空镀膜除气装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜除气装置。

背景技术

真空镀膜是采用溅射等方式在基材表面附着镀层的工艺。在对品质要求不高时，可以不进行除气处理。但是对于具有较高品质要求的镀膜，一般要先进行除气处理，以去除基材表面的水气、氮气等杂气，增加基材表面的清洁性，再进行附着镀层的操作。进行除气后的基材进行镀膜，具有镀层均匀，附着力好的优点。

在专利授权公告号CN 207483839 U的专利提出的一种真空镀膜除气机构，包括外壳，外壳内形成有真空腔体，真空腔体内设有转动辊，转动辊内形成有一容置空间，容置空间内填充有导热油；电热丝，电热丝设置在容置空间内，以加热导热油；热电偶，热电偶也设置在容置空间内，以监测导热油的温度；第一转动电极，第一转动电极与电热丝电性连接；第二转动电极，第二转动电极与热电偶通信连接；转动辊通过轴承和轴承座配合与外壳连接。本实用新型采用第一转动电极为电热丝供电，加热转动辊内的导热油，导热油将热量均匀传递到整个转动辊，基材在与转动辊辊面接触时被均匀加热，可以快速除去基材表面的杂气，具有除气效率高的优点，该装置在使用时，只能够取出基材一侧的杂气，当基材较厚时，基材另一侧的杂气较难清理干净。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中除气装置在使用时，只能够取出基材一侧的杂气，当基材较厚时，基材另一侧杂气较难清理干净的问题，而提出的一种真空镀膜除气装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜除气装置，包括真空外壳，所述真空外壳的下侧内壁对称固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的上侧壁固定连接有同一个U型框，所述U型框的左右两侧均固定连接有安装框，两个所述安装框的内壁均转动连接有螺纹杆，位于左侧所述安装框的上侧壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿安装框的侧壁且与左侧螺纹杆固定连接，两侧所述螺纹杆的杆壁均螺纹套设有两个螺纹筒，位于左侧两个所述螺纹筒的侧壁固定连接有第一连接杆，所述U型框的左右侧壁均开设有导向口，所述第一连接杆的右端通过转轴转动连接有转动辊，所述转动辊内设有加热机构，位于右侧两个所述螺纹筒的前侧壁均固定连接有安装筒，所述安装筒的内壁通过轴承转动连接有第二连接杆，所述第二连接杆的左端和转动辊的右侧固定连接，右侧所述安装框的右侧壁开设有滑动口，所述第二连接杆的右端伸出滑动口且固定连接有安装板，所述安装板的右侧壁固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端和第二连接杆的右端固定连接，所述安装板的侧壁固定连接有两个T型滑块，右侧所述安装框的侧壁开设有两个T型滑槽，两个所述螺纹杆通过传动机构连接。

优选的，所述加热机构包括固定连接在转动辊内的加热丝，所述转动辊为中空结构，所述转动辊内填充有导热油。

优选的，所述传动机构包括固定连接在螺纹杆下端的传动齿轮，两根所述螺纹杆的下端均伸出安装框，两根所述传动齿轮外套设有同一个传送带。

优选的，所述螺纹杆上下两侧螺纹旋向相反。

优选的，所述T型滑块的上下侧壁均固定连接有滚珠。

优选的，所述螺纹筒的侧壁固定连接有定位板，所述安装框的内壁开设有定位槽。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜除气装置，具备以下有益效果：

该真空镀膜除气装置，通过设置的真空外壳、支撑板、U型框、安装框、螺纹杆、第一电机、螺纹筒、第一连接杆、导向口、转动辊、安装筒、第二连接杆、滑动口、安装板、第二电机、T型滑块、T型滑槽；能够对基材的上下两侧同时进行均匀加热除去杂气，而且能够根据基材的厚度改变两个转动辊之间的距离，方便对不同厚度的基材进行除杂气。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜除气装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜除气装置中T型滑槽和T型滑块的结构示意图。

图中：1、真空外壳；2、支撑板；3、U型框；4、安装框；5、螺纹杆；6、第一电机；7、螺纹筒；8、第一连接杆；9、导向口；10、转动辊；11、安装筒；12、第二连接杆；13、滑动口；14、安装板；15、第二电机；16、T型滑块；17、T型滑槽；18、加热丝；19、传动齿轮；20、定位槽；21、传送带；22、滚珠；23、定位板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-2，一种真空镀膜除气装置，包括真空外壳1，真空外壳1的下侧内壁对称固定连接有两个支撑板2，两个支撑板2的上侧壁固定连接有同一个U型框3，U型框3的左右两侧均固定连接有安装框4，两个安装框4的内壁均转动连接有螺纹杆5，位于左侧安装框4的上侧壁固定连接有第一电机6，第一电机6的输出端贯穿安装框4的侧壁且与左侧螺纹杆5固定连接，两侧螺纹杆5的杆壁均螺纹套设有两个螺纹筒7，位于左侧两个螺纹筒7的侧壁固定连接有第一连接杆8，U型框3的左右侧壁均开设有导向口9，第一连接杆8的右端通过转轴转动连接有转动辊10，转动辊10内设有加热机构，位于右侧两个螺纹筒7的前侧壁均固定连接有安装筒11，安装筒11的内壁通过轴承转动连接有第二连接杆12，第二连接杆12的左端和转动辊10的右侧固定连接，右侧安装框4的右侧壁开设有滑动口13，第二连接杆12的右端伸出滑动口13且固定连接有安装板14，安装板14的右侧壁固定连接有第二电机15，第二电机15的输出端和第二连接杆12的右端固定连接，安装板14的侧壁固定连接有两个T型滑块16，右侧安装框4的侧壁开设有两个T型滑槽17，两个螺纹杆5通过传动机构连接。

加热机构包括固定连接在转动辊内的加热丝18，转动辊10为中空结构，转动辊内填充有导热油，能够为转动辊10加热。

传动机构包括固定连接在螺纹杆5下端的传动齿轮19，两根螺纹杆5的下端均伸出安装框4，两根传动齿轮19外套设有同一个传送带21，通过一个电机即可控制两个螺纹杆5向相同方向移动。

螺纹杆5上下两侧螺纹旋向相反，能够控制两个螺纹筒7向相互靠近或者相互远离的方向移动。

T型滑块16的上下侧壁均固定连接有滚珠22，提高了T型滑块16移动的便利性。

螺纹筒7的侧壁固定连接有定位板23，安装框4的内壁开设有定位槽20，能够避免螺纹筒7旋转，使螺纹筒7能够在竖直方向上下移动，减少了第二连接杆12和导向口9之间的磨损。

本实用新型中，使用时，启动第一电机6工作，第一电机6带动左侧的螺纹杆5旋转，螺纹杆5通过传动齿轮19和传送带21控制右侧的螺纹杆5向相同方向旋转，从而控制上下两侧螺纹筒11向相互靠近或者相互远离的方向移动，改变两个转动辊10之间的距离，然后启动两个第二电机15，两个第二电机15通过第二连接杆12带动两个转动辊10向相反的方向移动，即可对基材进行加热取出杂气，该装置能够对基材的上下两侧同时进行均匀加热除去杂气，而且能够根据基材的厚度改变两个转动辊之间的距离，方便对不同厚度的基材进行除杂气。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜除气装置，包括真空外壳(1)，其特征在于，所述真空外壳(1)的下侧内壁对称固定连接有两个支撑板(2)，两个所述支撑板(2)的上侧壁固定连接有同一个U型框(3)，所述U型框(3)的左右两侧均固定连接有安装框(4)，两个所述安装框(4)的内壁均转动连接有螺纹杆(5)，位于左侧所述安装框(4)的上侧壁固定连接有第一电机(6)，所述第一电机(6)的输出端贯穿安装框(4)的侧壁且与左侧螺纹杆(5)固定连接，两侧所述螺纹杆(5)的杆壁均螺纹套设有两个螺纹筒(7)，位于左侧两个所述螺纹筒(7)的侧壁固定连接有第一连接杆(8)，所述U型框(3)的左右侧壁均开设有导向口(9)，所述第一连接杆(8)的右端通过转轴转动连接有转动辊(10)，所述转动辊(10)内设有加热机构，位于右侧两个所述螺纹筒(7)的前侧壁均固定连接有安装筒(11)，所述安装筒(11)的内壁通过轴承转动连接有第二连接杆(12)，所述第二连接杆(12)的左端和转动辊(10)的右侧固定连接，右侧所述安装框(4)的右侧壁开设有滑动口(13)，所述第二连接杆(12)的右端伸出滑动口(13)且固定连接有安装板(14)，所述安装板(14)的右侧壁固定连接有第二电机(15)，所述第二电机(15)的输出端和第二连接杆(12)的右端固定连接，所述安装板(14)的侧壁固定连接有两个T型滑块(16)，右侧所述安装框(4)的侧壁开设有两个T型滑槽(17)，两个所述螺纹杆(5)通过传动机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于，所述加热机构包括固定连接在转动辊内的加热丝(18)，所述转动辊(10)为中空结构，所述转动辊内填充有导热油。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于，所述传动机构包括固定连接在螺纹杆(5)下端的传动齿轮(19)，两根所述螺纹杆(5)的下端均伸出安装框(4)，两根所述传动齿轮(19)外套设有同一个传送带(21)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于，所述螺纹杆(5)上下两侧螺纹旋向相反。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于，所述T型滑块(16)的上下侧壁均固定连接有滚珠(22)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于，所述螺纹筒(7)的侧壁固定连接有定位板(23)，所述安装框(4)的内壁开设有定位槽(20)。

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