CN218035607U

CN218035607U - 一种制程槽体流场测试装置

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Publication number: CN218035607U
Application number: CN202222357775.7U
Authority: CN
Inventors: 何玉森; 丁剑; 王佳伟; 李晓华; 陈杰
Original assignee: Suzhou Guanbo Control Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Guanli Technology Co ltd
Priority date: 2022-09-05
Filing date: 2022-09-05
Publication date: 2022-12-13
Anticipated expiration: 2032-09-05

Abstract

本实用新型涉及一种制程槽体流场测试装置，包括实验平台本体、可更换的测试槽体、供应/循环/排放一体管路、气体控制管路和电气控制系统，实验平台本体后部左右两侧设有实验平台槽体测试区和实验平台管路测试区，前部左右两侧设有实验平台气体控制测试区和实验平台电气控制系统区，可更换的测试槽体位于实验平台槽体测试区，供应/循环/排放一体管路位于实验平台管路测试区，气体控制管路位于实验平台气体控制测试区，电气控制系统位于实验平台电气控制系统区，供应/循环/排放一体管路、气体控制管路连接电气控制系统；本实用新型可实现下给水管进水均匀度测试以及整流板的流场测试，使整个清洗槽内的流量分布更为均匀，获得更好的清洗效果。

Description

一种制程槽体流场测试装置

[技术领域]

本实用新型涉及湿制程设备技术领域，具体地说是一种制程槽体流场测试装置。

[背景技术]

对于半导体制程来说，清洗工艺的基本要求是去除污染，其使用的各类水溶液对应的物理或者化学清洗的有效性依赖许多不同的变量，包括但不限于清洗的顺序、清洗药剂的比例、清洗时的温度等。因此，有效的清洗是一个非常复杂的工艺，需要具体问题具体设计。为了使清洗设备中的核心部件-制程槽-提供更佳的清洗品质，通过实验获得的数据来验证清洗的有效性，并进一步提供设计优化的依据，相比客户生产线上进行验证，从避免重大经济损失/缩短工艺验证时间这两个角度来说是更为合理的做法。

目前，设备制造商大多只能在客户的生产线上进行清洗工艺的验证作业，耗费大量的时间验证工艺效果之后优化软硬件设计。此类常见的现场直接验证法具有以下问题和缺点：

1.某些特定的制程槽，如耐高温的石英材质、耐化学腐蚀的特氟龙材质的制程槽，在未明确清洗效果的情况下，一旦设计制造完毕，将难以进行外形特征及尺寸的变更；

2.对于某些高危险性制成的验证，如高温/高压等工况，现场工艺验证法无法通过破坏性实验，获得设备的性能和使用极限；

3.对于某些难以观测的特征，如槽内流场分布/超声波音压分布等，现场直接验证法一般只能通过清洗后产品的检验来推测可能影响清洗品质的要求，无法直接观察或通过必要的仪器布置检验出影响清洗品质的要素；

4.对于量产型机台，一般具有严格的水/气/电/排放设计。一旦根据实际清洗效果调整后发现供应的水/气/电/排放设计不足时，无法获得必要的补充，也无法根据实际的实验需求调整并增加水/气/电/排放的规格；

因此，基于以上要求，若能提供一种针对性的制程槽体流场测试装置，将具有非常重要的意义。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种制程槽体流场测试装置，可实现下给水管进水均匀度测试以及整流板的流场测试，使整个清洗槽内的流量分布更为均匀，获得更好的清洗效果。

为实现上述目的设计一种制程槽体流场测试装置，包括实验平台本体1、可更换的测试槽体2、供应/循环/排放一体管路3、气体控制管路和电气控制系统，所述实验平台本体1后部左右两侧分别设有实验平台槽体测试区1.1和实验平台管路测试区1.2，所述实验平台本体1前部左右两侧分别设有实验平台气体控制测试区1.3和实验平台电气控制系统区1.4，所述可更换的测试槽体2位于实验平台本体1中的实验平台槽体测试区1.1，所述供应/循环/排放一体管路3位于实验平台本体1中的实验平台管路测试区1.2，所述气体控制管路位于实验平台本体1中的实验平台气体控制测试区1.3，所述电气控制系统位于实验平台本体1中的实验平台电气控制系统区1.4，所述供应/循环/排放一体管路3、气体控制管路分别电连接电气控制系统。

进一步地，所述可更换的测试槽体2为最终清洗测试槽体2.1，所述最终清洗测试槽体2.1包括FD槽体本体2.1.1、FD槽体底部可调节喷管2.1.2、FD槽体底部匀流板2.1.3、FD槽体溢流外槽2.1.4和间距判定辅助线一2.1.5，所述FD槽体本体2.1.1内底部布置有FD槽体底部可调节喷管2.1.2和FD槽体底部匀流板2.1.3，所述FD槽体底部可调节喷管2.1.2的进水端连接供应/循环/排放一体管路3，所述FD槽体底部可调节喷管2.1.2的出水位置布置有间距判定辅助线一2.1.5，所述FD槽体底部匀流板2.1.3设于FD槽体底部可调节喷管2.1.2上方，所述FD槽体底部匀流板2.1.3上均匀分布有若干个通孔，所述FD槽体本体2.1.1顶部外围设置有FD槽体溢流外槽2.1.4，所述FD槽体溢流外槽2.1.4沿周向布置，且FD槽体溢流外槽2.1.4外壁高于FD槽体本体2.1.1。

进一步地，所述可更换的测试槽体2为快速排放测试槽体2.2，所述快速排放测试槽体2.2包括QDR槽体本体2.2.1、QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2、QDR喷管用喷嘴2.2.3、QDR底部可调节喷管2.2.4、QDR底部快排口2.2.5和间距判定辅助线二2.2.6，所述QDR槽体本体2.2.1顶部装设有QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2，所述QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2沿周向布置，所述QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2上均匀间隔安装有QDR喷管用喷嘴2.2.3，所述QDR槽体本体2.2.1内底部设置有QDR底部可调节喷管2.2.4，所述QDR底部可调节喷管2.2.4、QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2的进水端均连接供应/循环/排放一体管路3，所述QDR底部可调节喷管2.2.4的出水位置布置有间距判定辅助线二2.2.6，所述QDR槽体本体2.2.1下方设置有QDR底部快排口2.2.5。

进一步地，所述供应/循环/排放一体管路3包括大口径隔膜泵3.1、气动脉冲缓冲装置3.2、气动流量可调阀门3.3、电子式在线式流量计3.4、加热装置3.5和染色剂注入口3.6，所述大口径隔膜泵3.1用于提供液体输送/循环/排放，所述大口径隔膜泵3.1的出液端连接气动脉冲缓冲装置3.2，所述大口径隔膜泵3.1进液端的各个管路均装设有气动流量可调阀门3.3，所述气动流量可调阀门3.3的出口位置安装有电子式在线式流量计3.4，所述加热装置3.5安装在测试槽体入口段，所述加热装置3.5通过管路连接染色剂注入口3.6。

进一步地，所述加热装置3.5为可更换的帕尔塔贴片式高精度控温器和红外式石英流体加热器，所述帕尔塔贴片式高精度控温器与红外式石英流体加热器具有相同的接口。

进一步地，所述气体控制管路包含泵控制回路4.1、气动阀门控制回路4.2和工艺气体控制回路4.3，所述泵控制回路4.1用于对大口径隔膜泵3.1、气动脉冲缓冲装置3.2进行控制，所述气动阀门控制回路4.2由气体驱动的电磁阀对供应/循环/排放一体管路3中的各个阀门进行对应的控制，所述工艺气体控制回路4.3分成吹气测试回路4.4、鼓泡测试回路4.5、充气测试回路4.6三个回路，所述吹气测试回路4.4、鼓泡测试回路4.5、充气测试回路4.6分别安装有对应的流量计及可调节阀门。

进一步地，所述可更换的测试槽体2采用不锈钢或聚丙烯材质制作而成。

本实用新型同现有技术相比，具有如下优点：

(1)本实用新型采用不锈钢/聚丙烯材质制作制程槽体，可以直接进行相关尺寸的增减、修补，根据测试需求进行必要的调整变更，从而获得某些特定的测试数据；

(2)对于某些难以观测的特征，如槽内流场分布/超声波音压分布等，本实用新型实验平台可以直接观察或通过必要的仪器布置检验出影响清洗品质的要素；

(3)对于量产型机台，一般具有严格的水/气/电/排放设计，本实用新型实验平台可以根据实际的实验需求，调整并增加水/气/电/排放的规格；

(4)本实用新型经过测试平台的下给水管进水均匀度测试的验证后，可以明确下给水管进液流量的均匀性，使清洗槽内的各个位置的进液速率具有较高的一致性；

(5)本实用新型通过下给水管进水均匀度测试后，进入清洗槽内的液体进一步经过的最终清洗的流场稳定性验证后，有效消减了槽内形成的紊流，确认了上升流场的一致性，使整个清洗槽内的流量分布更为均匀，从而获得更好的清洗效果；

(6)本实用新型上喷管喷雾测试测试的验证与下给水管进水均匀度测试的验证目标一致，区别是上喷管喷雾测试测试的测试验证了上喷管的进液速率一致之后，通过下给水管给水均匀性测试进一步验证了喷管用喷嘴对于整个QDR内槽的喷雾覆盖率，避免实际喷雾无法如同设计初衷覆盖整个槽体区域；

(7)本实用新型经过下给水管进水均匀度测试以及整流板的流场测试的测试结果之后，经过测试平台的高精度控温测试的验证，可以明确在特定管路配置的情况下，槽体从常温至目标温度升温过程中各种不同流量参数/扰动等对于升温速度和温控精度的影响，以获得更明确的控温结果，从而提高对清洗速率可控性。

[附图说明]

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是图1的主视图；

图3是图1的左视图；

图4是图1的右视图；

图5是图1的俯视图；

图6是本实用新型最终清洗测试槽体的立体结构示意图；

图7是图6的俯视图；

图8是图6的主视图；

图9是图8中A-A剖视图；

图10是本实用新型快速排放测试槽体的结构示意图；

图11是图10的俯视图；

图12是图10的仰视图；

图13是图10的主视图；

图14是图10的侧视图；

图15是图13中B-B剖视图；

图16是图14中C-C剖视图；

图17是本实用新型供应/循环/排放一体管路和气体控制管路系统原理图；

图18是本实用新型气体控制管路系统原理图；

图中：1、实验平台本体 2、可更换的测试槽体 3、供应/循环/排放一体管路 1.1、实验平台槽体测试区 1.2、实验平台管路测试区 1.3、实验平台气体控制测试区 1.4、实验平台电气控制系统区 2.1、最终清洗测试槽体 2.1.1、FD槽体本体 2.1.2、FD槽体底部可调节喷管 2.1.3、FD槽体底部匀流板 2.1.4、FD槽体溢流外槽 2.1.5、间距判定辅助线一2.2、快速排放测试槽体 2.2.1、QDR槽体本体 2.2.2、QDR槽体顶部可调节喷管 2.2.3、QDR喷管用喷嘴 2.2.4、QDR底部可调节喷管 2.2.5、QDR底部快排口 2.2.6、间距判定辅助线二3.1、大口径隔膜泵 3.2、气动脉冲缓冲装置 3.3、气动流量可调阀门 3.4、电子式在线式流量计 3.5、加热装置 3.6、染色剂注入口 4.1、泵控制回路 4.2、气动阀门控制回路 4.3、工艺气体控制回路 4.4、吹气测试回路 4.5、鼓泡测试回路 4.6、充气测试回路。

[具体实施方式]

如附图1至附图5所示，本实用新型提供了一种制程槽体流场测试装置，包括实验平台本体1、可更换的测试槽体2、供应/循环/排放一体管路3、气体控制管路和电气控制系统，实验平台本体1后部左右两侧分别设有实验平台槽体测试区1.1和实验平台管路测试区1.2，实验平台本体1前部左右两侧分别设有实验平台气体控制测试区1.3和实验平台电气控制系统区1.4，可更换的测试槽体2位于实验平台本体1中的实验平台槽体测试区1.1，可更换的测试槽体2采用不锈钢或聚丙烯材质制作而成，供应/循环/排放一体管路3位于实验平台本体1中的实验平台管路测试区1.2，气体控制管路位于实验平台本体1中的实验平台气体控制测试区1.3，电气控制系统位于实验平台本体1中的实验平台电气控制系统区1.4，供应/循环/排放一体管路3、气体控制管路分别电连接电气控制系统。

如附图6至附图9所示，可更换的测试槽体2为最终清洗测试槽体2.1，最终清洗测试槽体2.1包括FD槽体本体2.1.1、FD槽体底部可调节喷管2.1.2、FD槽体底部匀流板2.1.3、FD槽体溢流外槽2.1.4和间距判定辅助线一2.1.5，FD槽体本体2.1.1内底部布置有FD槽体底部可调节喷管2.1.2和FD槽体底部匀流板2.1.3，FD槽体底部可调节喷管2.1.2的进水端连接供应/循环/排放一体管路3，FD槽体底部可调节喷管2.1.2的出水位置布置有间距判定辅助线一2.1.5，FD槽体底部匀流板2.1.3设于FD槽体底部可调节喷管2.1.2上方，FD槽体底部匀流板2.1.3上均匀分布有若干个通孔，FD槽体本体2.1.1顶部外围设置有FD槽体溢流外槽2.1.4，FD槽体溢流外槽2.1.4沿周向布置，且FD槽体溢流外槽2.1.4外壁高于FD槽体本体2.1.1。

如附图10至附图16所示，可更换的测试槽体2为快速排放测试槽体2.2，快速排放测试槽体2.2包括QDR槽体本体2.2.1、QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2、QDR喷管用喷嘴2.2.3、QDR底部可调节喷管2.2.4、QDR底部快排口2.2.5和间距判定辅助线二2.2.6，QDR槽体本体2.2.1顶部装设有QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2，QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2沿周向布置，QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2上均匀间隔安装有QDR喷管用喷嘴2.2.3，QDR槽体本体2.2.1内底部设置有QDR底部可调节喷管2.2.4，QDR底部可调节喷管2.2.4、QDR槽体顶部可调节喷管2.2.2的进水端均连接供应/循环/排放一体管路3，QDR底部可调节喷管2.2.4的出水位置布置有间距判定辅助线二2.2.6，QDR槽体本体2.2.1下方设置有QDR底部快排口2.2.5。

本实用新型中，供应/循环/排放一体管路3包括大口径隔膜泵3.1、气动脉冲缓冲装置3.2、气动流量可调阀门3.3、电子式在线式流量计3.4、加热装置3.5和染色剂注入口3.6，大口径隔膜泵3.1用于提供液体输送/循环/排放，大口径隔膜泵3.1的出液端连接气动脉冲缓冲装置3.2，大口径隔膜泵3.1进液端的各个管路均装设有气动流量可调阀门3.3，气动流量可调阀门3.3的出口位置安装有电子式在线式流量计3.4，加热装置3.5安装在测试槽体入口段，加热装置3.5通过管路连接染色剂注入口3.6；加热装置3.5为可更换的帕尔塔贴片式高精度控温器和红外式石英流体加热器，帕尔塔贴片式高精度控温器与红外式石英流体加热器具有相同的接口，即加热装置3.5位置可更换相同接口的帕尔塔贴片式高精度温控器、红外式石英流体加热器。气体控制管路包含泵控制回路4.1、气动阀门控制回路4.2和工艺气体控制回路4.3，泵控制回路4.1用于对大口径隔膜泵3.1、气动脉冲缓冲装置3.2进行控制，气动阀门控制回路4.2由气体驱动的电磁阀对供应/循环/排放一体管路3中的各个阀门进行对应的控制，工艺气体控制回路4.3分成吹气测试回路4.4、鼓泡测试回路4.5、充气测试回路4.6三个回路，吹气测试回路4.4、鼓泡测试回路4.5、充气测试回路4.6分别安装有对应的流量计及可调节阀门。

下面结合具体的实施例对本实用新型作以下进一步说明：

本实用新型所述的制程槽体流场测试装置由如下五个部分组成：实验平台本体、可更换的测试槽体、供应/循环/排放一体管路、气体控制管路和电气控制系统。其中，

可更换的测试槽体，位于实验平台本体中的实验平台槽体测试区，其中根据常见的清洗工艺，具备以下2个可更换的测试槽体，分别为：最终清洗测试槽体(以下简称FD)、快速排放测试槽体(以下简称QDR)。FD槽体(最终清洗测试槽体)由FD槽体本体、FD槽体底部可调节喷管、FD槽体底部匀流板、FD槽体溢流外槽、间距判定辅助线组成。QDR槽体(快速排放测试槽体)由QDR槽体本体、QDR槽体顶部可调节喷管、QDR喷管用喷嘴、QDR底部可调节喷管、QDR底部快排口、间距判定辅助线组成。

供应/循环/排放一体管路，位于实验平台本体中的实验平台管路测试区，其主要包含：提供液体输送/循环/排放为一体的大口径隔膜泵以及配套使用的气动脉冲缓冲装置；各个管路节点的气动流量可调阀门；各阀门出口位置的电子式在线式流量计，以及测试槽体入口段的加热装置；其中，加热装置分别具有可更换的帕尔塔贴片式高精度控温器以及红外式石英流体加热器；用于流场判断的染色剂注入口。

气体控制管路，位于实验平台本体中的实验平台气体控制测试区，其主要包含：气动泵及脉冲缓冲器控制回路、气动阀门驱动控制回路、工艺气体控制回路；阀门控制回路由气体驱动的电磁阀对管路系统中的各个阀门进行对应的控制，分别对应。工艺气体控制回路将分成吹气测试/鼓泡测试/充气测试三个回路。分别安装有对应的流量计及可调节阀门以应对不同的气体流量需求。

电气控制系统，位于实验平台本体中的实验平台电气控制系统区内部，包含上述系统中提到的各个对应的部件的控制电路以及工业电脑，用于记录各个测试项目中的实验数据，输出并生成相应的实验数据报表。

本实用新型中，最终清洗测试槽体(FD)由2个测试环节组成，分别是：下给水管进水均匀度测试以及整流板的流场测试。

FR下给水管均匀性测试：首先将测试槽体本体排空，将辅助线布置于FR喷管出水位置。通过循环管路进行注水操作，通过调节出水管道的孔径，孔间距，角度，根据下表一以此记录下相关实验数据。表一，将记录下不同进水管截面积与喷口出水总截面积比率，通过目视FR喷管出水效果以及比对喷嘴出水落点位置距离辅助线的距离偏差，确认各不同角度和截面积比率下最均匀的喷口出水效果。

表一：

根据下表二，将使用管路系统中的电子式流量计记录下各个管路节点位置的流量参数，根据测试的结果，通过流量可调节阀门复原3次以上相同的流量数据，进一步确保实验数据的一致性。

表二：

整流板流场测试：完成下给水管进水均匀度测试后，将测试槽体本体注满，并通过隔膜泵以及缓冲装置进行管路内液体在槽体内的循环。液体循环稳定后，通过在染色剂注入口位置缓慢注入牛奶或者水性染色剂，通过观察染色剂在流动液体中的分布情况，目视判断不同整流板形状和尺寸对于染色剂分布均匀性的影响。

如表三所示，在同一个特征的沉流板安装情况下，同样通过通过流量可调节阀门改变管道内流量特征，来获得不同的沉流板均流效果，通过注入的染色剂确认比对最均匀的均流效果。记录相关流量数据，并执行至少3次以上相同的流量数据，进一步确保实验数据的一致性。

表三：

注意：表一表二表三的测试项目数量，可根据测试效果，包括但不限于测试项目的变更数量，可通过相同的测试步骤和测试要素，增加测试项目的数量，增加测试变量的密度，逼近最佳测试效果。

快速排放测试槽体(以下简称QDR)>的测试环节分别是：上喷管喷雾测试测试；下给水管给水均匀性测试；与FR下给水管均匀性测试的方法/步骤/记录变量完全相同，区别是上喷管喷雾测试在通过上喷管一致性测试后，需要增加QDR喷管用喷嘴并进一步确认并记录喷雾能够完全覆盖QDR槽体本体。

加热测试(以下简称SPM测试)由2个测试环节组成，分别是：高精度控温测试以及升降温速率测试。与FR下给水管均匀性测试的方法/步骤/记录变量完全相同，区别是，表二，表三中流量数据填写位置，需要填写相同控温温度的温度偏差的数据；需要填写相同温差范围的升温速度数据。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种制程槽体流场测试装置，其特征在于：包括实验平台本体(1)、可更换的测试槽体(2)、供应/循环/排放一体管路(3)、气体控制管路和电气控制系统，所述实验平台本体(1)后部左右两侧分别设有实验平台槽体测试区(1.1)和实验平台管路测试区(1.2)，所述实验平台本体(1)前部左右两侧分别设有实验平台气体控制测试区(1.3)和实验平台电气控制系统区(1.4)，所述可更换的测试槽体(2)位于实验平台本体(1)中的实验平台槽体测试区(1.1)，所述供应/循环/排放一体管路(3)位于实验平台本体(1)中的实验平台管路测试区(1.2)，所述气体控制管路位于实验平台本体(1)中的实验平台气体控制测试区(1.3)，所述电气控制系统位于实验平台本体(1)中的实验平台电气控制系统区(1.4)，所述供应/循环/排放一体管路(3)、气体控制管路分别电连接电气控制系统。

2.如权利要求1所述的制程槽体流场测试装置，其特征在于：所述可更换的测试槽体(2)为最终清洗测试槽体(2.1)，所述最终清洗测试槽体(2.1)包括FD槽体本体(2.1.1)、FD槽体底部可调节喷管(2.1.2)、FD槽体底部匀流板(2.1.3)、FD槽体溢流外槽(2.1.4)和间距判定辅助线一(2.1.5)，所述FD槽体本体(2.1.1)内底部布置有FD槽体底部可调节喷管(2.1.2)和FD槽体底部匀流板(2.1.3)，所述FD槽体底部可调节喷管(2.1.2)的进水端连接供应/循环/排放一体管路(3)，所述FD槽体底部可调节喷管(2.1.2)的出水位置布置有间距判定辅助线一(2.1.5)，所述FD槽体底部匀流板(2.1.3)设于FD槽体底部可调节喷管(2.1.2)上方，所述FD槽体底部匀流板(2.1.3)上均匀分布有若干个通孔，所述FD槽体本体(2.1.1)顶部外围设置有FD槽体溢流外槽(2.1.4)，所述FD槽体溢流外槽(2.1.4)沿周向布置，且FD槽体溢流外槽(2.1.4)外壁高于FD槽体本体(2.1.1)。

3.如权利要求1所述的制程槽体流场测试装置，其特征在于：所述可更换的测试槽体(2)为快速排放测试槽体(2.2)，所述快速排放测试槽体(2.2)包括QDR槽体本体(2.2.1)、QDR槽体顶部可调节喷管(2.2.2)、QDR喷管用喷嘴(2.2.3)、QDR底部可调节喷管(2.2.4)、QDR底部快排口(2.2.5)和间距判定辅助线二(2.2.6)，所述QDR槽体本体(2.2.1)顶部装设有QDR槽体顶部可调节喷管(2.2.2)，所述QDR槽体顶部可调节喷管(2.2.2)沿周向布置，所述QDR槽体顶部可调节喷管(2.2.2)上均匀间隔安装有QDR喷管用喷嘴(2.2.3)，所述QDR槽体本体(2.2.1)内底部设置有QDR底部可调节喷管(2.2.4)，所述QDR底部可调节喷管(2.2.4)、QDR槽体顶部可调节喷管(2.2.2)的进水端均连接供应/循环/排放一体管路(3)，所述QDR底部可调节喷管(2.2.4)的出水位置布置有间距判定辅助线二(2.2.6)，所述QDR槽体本体(2.2.1)下方设置有QDR底部快排口(2.2.5)。

4.如权利要求1所述的制程槽体流场测试装置，其特征在于：所述供应/循环/排放一体管路(3)包括大口径隔膜泵(3.1)、气动脉冲缓冲装置(3.2)、气动流量可调阀门(3.3)、电子式在线式流量计(3.4)、加热装置(3.5)和染色剂注入口(3.6)，所述大口径隔膜泵(3.1)用于提供液体输送/循环/排放，所述大口径隔膜泵(3.1)的出液端连接气动脉冲缓冲装置(3.2)，所述大口径隔膜泵(3.1)进液端的各个管路均装设有气动流量可调阀门(3.3)，所述气动流量可调阀门(3.3)的出口位置安装有电子式在线式流量计(3.4)，所述加热装置(3.5)安装在测试槽体入口段，所述加热装置(3.5)通过管路连接染色剂注入口(3.6)。

5.如权利要求4所述的制程槽体流场测试装置，其特征在于：所述加热装置(3.5)为可更换的帕尔塔贴片式高精度控温器和红外式石英流体加热器，所述帕尔塔贴片式高精度控温器与红外式石英流体加热器具有相同的接口。

6.如权利要求4所述的制程槽体流场测试装置，其特征在于：所述气体控制管路包含泵控制回路(4.1)、气动阀门控制回路(4.2)和工艺气体控制回路(4.3)，所述泵控制回路(4.1)用于对大口径隔膜泵(3.1)、气动脉冲缓冲装置(3.2)进行控制，所述气动阀门控制回路(4.2)由气体驱动的电磁阀对供应/循环/排放一体管路(3)中的各个阀门进行对应的控制，所述工艺气体控制回路(4.3)分成吹气测试回路(4.4)、鼓泡测试回路(4.5)、充气测试回路(4.6)三个回路，所述吹气测试回路(4.4)、鼓泡测试回路(4.5)、充气测试回路(4.6)分别安装有对应的流量计及可调节阀门。

7.如权利要求1所述的制程槽体流场测试装置，其特征在于：所述可更换的测试槽体(2)采用不锈钢或聚丙烯材质制作而成。