CN210607299U - 一种降温装置及降温系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种降温装置及降温系统,降温装置包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。本实用新型提出的降温装置及降温系统,其吹气组件固定在机械手上可随着机械手动作,可有效清除硅片表面附着的制绒残液,并使得硅片的温度降低,避免硅片绒面造成局部破坏,有效的提高了产品的质量和可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏清洗设备技术领域,更具体地说,是涉及一种降温装置及降温系统。
背景技术
目前,在太阳能硅片的湿法清洗工艺中,硅片在制绒过程中会散发大量的热量,并且发热过程会持续到硅片表面制绒药液清洗干净之前。硅片在制绒槽、水洗槽时,有槽液降温,在搬运机械手自动提硅片出制绒槽到完全进入水洗槽的过程中,硅片表面附着制绒残液会与硅片继续反应,并产生大量的热量,对硅片绒面造成局部破坏,影响了产品的质量和可靠性。因此,急需一款能安装在搬运机械手上,在硅片出制绒槽到完全进入水洗槽的过程中能清理硅片表面制绒残液,并对硅片进行降温的系统。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述现有技术中硅片在制绒过程中,硅片表面附着制绒残液会与硅片继续反应,并产生大量的热量,对硅片绒面照成局部破坏的技术问题,提出一种降温装置及降温系统,以对硅片进行降温处理。
为了实现上述的目的,本实用新型的技术方案是:
一种降温装置,包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。
所述吹气组件包括位于所述硅片载具上方且固定在所述机械手上的吹气管、设置在所述吹气管上的至少一个进气口和若干个出气口、安装在所述出气口上对所述硅片载具上的硅片表面进行吹气清理及降温的喷气嘴。
所述吹气管的两端固定连接有调节板,所述调节板上设有调节孔,所述机械手通过螺栓穿过所述调节孔与所述调节板固定,在所述机械手与所述调节板固定之前,所述螺栓可在所述调节孔范围内移动,从而旋转所述吹气管。
所述调节孔为圆弧腰型孔。
在一实施例中,所述气路组件包括通过管路依次连接的调压阀、气体流量计和电磁阀,所述调压阀的入口通过管路与主气路连接,所述电磁阀的出口通过管路与吹气管上的进气口连接。
在另一实施例中,所述气路组件包括通过管路依次连接的调压阀、储气罐、气体流量计和电磁阀,所述调压阀的入口通过管路与主气路连接,所述电磁阀的出口通过管路与吹气管上的进气口连接。
所述管路采用耐腐蚀软管。
所述吹气管由耐腐蚀厚壁管或由耐腐蚀厚板形成内部空腔制成。
所述喷气嘴位于所述吹气管的底端,所述喷气嘴由耐腐蚀材料制成。
另外,本实用新型还提出了一种降温系统,所述降温系统包括上述的降温装置。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
本实用新型提出的降温装置及降温系统,其吹气组件固定在机械手上可随着机械手动作,可有效清除硅片表面附着的制绒残液,并使得硅片的温度降低,避免硅片绒面造成局部破坏,有效的提高了产品的质量和可靠性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是图1中的A-A剖视图。
图3是本实用新型的调节板的结构示意图。
图4是本实用新型的一个实施例的气路原理图。
图5是本实用新型的另一个实施例的气路原理图。
具体实施方式
为了使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案、取得的技术效果易于理解,下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明。应当理解,以下具体实施例仅用以解释本实用新型,并不对本实用新型构成限制。
需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型有关的部分而非全部结构。
实施例1
在图1所示的实施例中,提出了一种降温装置及降温系统,包括承载硅片的硅片载具5、搬运硅片的机械手1、安装在机械手1上对硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给吹气组件的气路组件。吹气组件安装在机械手1上,可以随着机械手1动作,在太阳能硅片的湿法清洗工艺中,在硅片出制绒槽到完全进入水洗槽的过程中能通过吹气组件清理硅片表面制绒残液,并对硅片进行降温,避免硅片绒面造成局部破坏,有效的提高了产品的质量和可靠性。
吹气组件包括位于硅片载具5上方且两端固定在机械手1上的吹气管2、设置在吹气管2上的至少一个进气口21和若干个出气口22、安装在出气口22上对硅片载具5上的硅片表面进行吹气清理及降温的喷气嘴3。优选地,吹气管2采用横向设置,进气口21设置在吹气管2的顶端,出气口22设置在吹气管2的底端,若干个出气口22分别设置在吹气管2的两端和中间位置,若干个出气口22在吹气管2上间隔设置且均匀分布。通过喷气嘴3喷出的高压气体,可以吹掉硅片表面的残液,并使得硅片快速冷却,达到既能进行硅片表面残液的清理,同时又能降低硅片表面温度的效果。喷气嘴3喷出的高压气体可以在硅片周围形成持续的气体包围,有效的包裹住硅片,避免硅片二次污染。在安装时需要调整吹气管2(或喷气嘴3)与硅片之间的距离,即所述吹气管2(或喷气嘴3)与硅片之间的距离不大于吹气管2(或喷气嘴3)所能喷射的最大幅角范围所对应的高度;在本实施例中所述吹气管喷射的是氮气;气体和液体在物理性质上不同,气体的分子质量往往小于空气分子质量,气体分子做无规则的运动时,具有扩散性,在自然状态下会呈上升趋势;通过吹气管2(或喷气嘴3)施加压力,使气体沿设定方向喷射,所喷射的气体存在最大喷射范围,若超过最大喷射范围,气体会呈上升趋势,向空气中逸散,不能使气体向硅片运动;硅片表面不能形成有效包裹,同时若是额外增加压力喷射气体,则浪费资源;若是所喷射的介质为液体,可受重力影响具有向下的流动性,则即便超过液体的最大喷射范围,液体仍然会下降,不会向空气中逸散。
使得吹气管2(或喷气嘴3)在适当的位置,保证喷气嘴3喷出的高压气体可以有效的在硅片表面形成持续的包裹层。高压气体优选采用氮气。
如图1-3所示,吹气管2的两端固定连接有调节板4,调节板4上设有调节孔41,在一实施例中,调节板4的两端分别设有一个调节孔41(参考图3)。机械手1通过螺栓穿过调节孔41与调节板4固定,在机械手1与调节板4固定之前,螺栓可在调节孔41范围内移动,从而旋转吹气管2。通过旋转吹气管2,可以旋转喷气嘴3的轴线与竖直方向之间的夹角,从而可以根据需要局部调整喷气嘴3喷射出气体的方向(或角度),方便使用。具体角度大小可根据实际要求及现场情况设定。安装时,调节板4与吹气管2可以采用焊接固定或螺栓等方式组装固定在一起,在调整好吹气管2与硅片载具5上的硅片之间距离和吹气角度后,再将机械手1与调节板4通过螺栓固定在一起。
吹气管2的端部优选固定在调节板4的中间位置,喷气嘴3固定在吹气管2的底部位置,三者可以作为一个整体形成模块化,便于安装。
在一实施例中,调节孔41为圆弧腰型孔。
如图4所示,在一实施例中,气路组件包括通过管路依次连接的调压阀7、气体流量计8和电磁阀9,调压阀7的入口通过管路与主气路6连接,电磁阀9的出口通过管路与吹气管2上的进气口21连接。主气路6可以与气体发生器连接。
如图5所示,在另一实施例中,气路组件包括通过管路依次连接的调压阀7、储气罐10、气体流量计8和电磁阀9,调压阀7的入口通过管路与主气路6连接,电磁阀9的出口通过管路与吹气管2上的进气口21连接。当主气路6供气不稳定时,在调压阀7前适配一定体积的储气罐10,可以稳定供气压力和流量;通过耐腐蚀软管连接,气体调压阀、气体流量计、电磁阀等可安装在制绒设备中无腐
蚀区域,降低相关配件的防腐等级,以节省成本。吹气组件及相应耐腐蚀软管可
以安装在机械手1上,并跟随机械手1动作。
优选地,管路采用耐腐蚀软管。
优选地,吹气管2由耐腐蚀厚壁管或由耐腐蚀厚板形成内部空腔制成。
优选地,喷气嘴3由耐腐蚀材料制成。
优选地,调节板4采用耐腐蚀材料制成。
实施例2
在实施例1的基础上,本实用新还提供了一种降温系统,通过降温系统对硅片进行降温处理
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:本实用新型提出的降温装置及降温系统,其吹气组件固定在机械手上可随着机械手动作,可有效清除硅片表面附着的制绒残液,并使得硅片的温度降低,避免硅片绒面造成局部破坏,有效的提高了产品的质量和可靠性。
以上实施例和附图仅用于说明本实用新型的技术方案,并非构成对本实用新型的限制。应当说明的是,本领域普通技术人员可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或全部技术特征进行等同替换,而这些修改或者替换应包括在本实用新型权利要求书保护的范围内。
Claims (10)
1.一种降温装置,其特征在于:包括承载硅片的硅片载具、搬运所述硅片的机械手、安装在所述机械手上对所述硅片表面进行清理及降温的吹气组件、提供高压气体给所述吹气组件的气路组件。
2.根据权利要求1所述的降温装置,其特征在于:所述吹气组件包括位于所述硅片载具上方且固定在所述机械手上的吹气管、设置在所述吹气管上的至少一个进气口和若干个出气口、安装在所述出气口上对所述硅片载具上的硅片表面进行吹气清理及降温的喷气嘴。
3.根据权利要求2所述的降温装置,其特征在于:所述吹气管的两端固定连接有调节板,所述调节板上设有调节孔,所述机械手通过螺栓穿过所述调节孔与所述调节板固定,在所述机械手与所述调节板固定之前,所述螺栓可在所述调节孔范围内移动,从而旋转所述吹气管。
4.根据权利要求3所述的降温装置,其特征在于:所述调节孔为圆弧腰型孔。
5.根据权利要求1所述的降温装置,其特征在于:所述气路组件包括通过管路依次连接的调压阀、气体流量计和电磁阀,所述调压阀的入口通过管路与主气路连接,所述电磁阀的出口通过管路与吹气管上的进气口连接。
6.根据权利要求1所述的降温装置,其特征在于:所述气路组件包括通过管路依次连接的调压阀、储气罐、气体流量计和电磁阀,所述调压阀的入口通过管路与主气路连接,所述电磁阀的出口通过管路与吹气管上的进气口连接。
7.根据权利要求5或6所述的降温装置,其特征在于:所述管路采用耐腐蚀软管。
8.根据权利要求2所述的降温装置,其特征在于:所述吹气管由耐腐蚀厚壁管或由耐腐蚀厚板形成内部空腔制成。
9.根据权利要求2所述的降温装置,其特征在于:所述喷气嘴位于所述吹气管的底端,所述喷气嘴由耐腐蚀材料制成。
10.一种降温系统,其特征在于:所述降温系统包括权利要求1-9任一项所述的降温装置。
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CN113488405A (zh) * | 2021-05-30 | 2021-10-08 | 黄国燊 | 一种硅片表面除液机械臂 |
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