CN219965798U - 一种硅片清洗自动加药设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及加药设备技术领域，具体涉及一种硅片清洗自动加药设备，包括控制箱；还包括：一个及以上药剂桶，安置于控制箱的一侧，所述药剂桶一侧设置有供药剂输送通断的供液阀；一个及以上储液槽，固定设置于第一管路的一端；一个及以上清洗槽，设置于第二管路的一端；通过将药剂桶借助供液阀与控制箱连接，使得储液槽内的药剂能够达到准时、准量、定速加药的需求，同时也可实现多种药剂量添加，通过控制箱可以满足一台或多台清洗机的加药需求，能够提高清洗加药效率，降低人工工时、减少药剂损耗和不良品的产生的效果。

Description

一种硅片清洗自动加药设备

技术领域

本实用新型涉及加药设备技术领域，尤其涉及一种硅片清洗自动加药设备。

背景技术

随着硅片清洗工艺窗口的不断缩窄，对于药剂添加的准确性要求十分严苛，其中添加量和添加频率均是硅片清洗质量的关键点，多加或提前加药容易出现硅片表面过度腐蚀或者蓝片，少加或延后加药容易导致硅片表面硅粉或切割液残留，影响光电转换效率；而且在加药过程中，清洗槽内不能有硅片，导致清洗机产能降低。

在对硅片进行清洗的过程中，通常会出现如下专利中存在的问题，参见公开号为CN206215606U公开了一种硅片清洗池用的自动加药装置，属于单晶硅生产设备技术领域，该装置包括储药罐，关键是：所述的装置还包括浓度检测仪、计量泵、控制模块、上喷头和下喷头，浓度检测仪的检测端位于清洗池内液面的下方，浓度检测仪的控制端与控制模块的信号输入端连接，控制模块的控制端与计量泵的受控端连接，虽然该专利利用计量泵将储药罐内的药液加入清洗池内，使清洗池内药液的浓度快速恢复到所需的范围内，但是仍然存在难以进行准时、准量、定速加药的问题，从而影响了多台设备同时清洗加药的效率，因此，在长期的研发测试过程中发明人发现：现有技术中的清洗加药设备难以提升加药过程中的准时、准量以及定速加药的需求，限制了一台或多台清洗机的加药需求，降低了清洗加药效率的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种硅片清洗自动加药设备，以解决难以提升加药过程中的准时、准量以及定速加药的需求的问题。

基于上述目的，本实用新型提供了一种硅片清洗自动加药设备，包括：控制箱；还包括：一个及以上药剂桶，安置于控制箱的一侧，所述药剂桶一侧设置有供药剂输送通断的供液阀；第一管路，固定设置于供液阀的一端，所述第一管路中部两侧分别固定安装有气动进液控制阀和手动阀；一个及以上储液槽，固定设置于第一管路的一端，所述储液槽内部上方固定安装有第一液位计，所述储液槽内部下方固定安装有第二液位计，所述储液槽内部中央固定安装有第三液位计；第二管路，固定安装于储液槽的底端，所述第二管路上方固定安装有手动流量调节阀，所述第二管路一端固定安装有手动放空阀，所述第二管路另一端固定安装有气动放液控制阀；一个及以上清洗槽，设置于第二管路的一端。

优选的，所述药剂桶一侧底端固定安装有药剂桶阀，所述药剂桶阀一端与供液阀固定连接，所述供液阀内部固定安装有输送泵。

优选的，所述储液槽的底端呈V型结构，所述储液槽的底部位于所述清洗槽的上方。

优选的，所述第一管路的一端位于储液槽的底部中央位置。

优选的，所述控制箱上方固定安装有一个及以上压力报警灯，三个压力报警灯分别用于检测三个药剂桶向三个储液槽内输送药剂的输送压力。

优选的，所述储液槽外围一侧设置有测量烧杯。

本实用新型的有益效果：通过将药剂桶借助供液阀与控制箱连接，使得储液槽内的药剂能够达到准时、准量、定速加药的需求，同时也可实现多种药剂量添加，通过控制箱可以满足一台或多台清洗机的加药需求，能够提高清洗加药效率，降低人工工时、减少药剂损耗和不良品的产生的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型供液阀连接结构示意图；

图2为本实用新型储液槽结构示意图；

图3为本实用新型清洗槽结构示意图。

图中标记为：1、药剂桶；2、控制箱；3、供液阀；4、药剂桶阀；5、储液槽；6、第一液位计；7、第二液位计；8、第三液位计；9、第一管路；10、气动进液控制阀；11、手动阀；12、第二管路；13、手动流量调节阀；14、手动放空阀；15、气动放液控制阀；16、清洗槽。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，对本实用新型进一步详细说明。

如图1、图2和图3所示，一种硅片清洗自动加药设备，包括：控制箱2；还包括：一个及以上药剂桶1，安置于控制箱2的一侧，所述药剂桶1一侧设置有供药剂输送通断的供液阀3，所述药剂桶1一侧底端通过螺栓固定安装有药剂桶阀4，所述药剂桶阀4一端与供液阀3通过螺栓固定连接，所述供液阀3内部通过螺栓固定安装有输送泵；第一管路9，固定设置于供液阀3的一端，所述第一管路9中部两侧分别通过螺栓固定安装有气动进液控制阀10和手动阀11；所述控制箱2上方通过螺栓固定安装有一个及以上压力报警灯，三个压力报警灯分别用于检测三个药剂桶1向三个储液槽5内输送药剂的输送压力。

一个及以上储液槽5，固定设置于第一管路9的一端，所述第一管路9的一端位于储液槽5的底部中央位置，所述储液槽5的底端呈V型结构，从而使得每次加药成分更加均匀，所述储液槽5内部上方通过螺栓固定安装有第一液位计6，所述储液槽5内部下方通过螺栓固定安装有第二液位计7，所述储液槽5内部中央通过螺栓固定安装有第三液位计8；第二管路12，通过螺栓固定安装于储液槽5的底端，所述第二管路12上方通过螺栓固定安装有手动流量调节阀13，所述第二管路12一端通过螺栓固定安装有手动放空阀14，所述第二管路12另一端通过螺栓固定安装有气动放液控制阀15；一个及以上清洗槽16，设置于第二管路12的一端，所述储液槽5的底部位于所述清洗槽16的上方；所述储液槽5外围一侧设置有测量烧杯。

其中，药剂桶1通过供液阀3连接在控制箱2上，通过开启药剂桶阀4和控制箱2上对应输送泵的开关，调整至自动状态，设定相应压力；控制箱2通过第一管路9供给储液槽5中；通过在控制箱2上安装压力报警灯，能够提示药剂桶1用完时，更换新的药剂桶1。

其中，当需要更换药剂桶1时，先关控制箱2上对应输送泵上的电源、再关闭药剂桶阀4，拆下快接头；并把装有药剂桶1的第一管路9连接上，通过开启药剂桶阀4和输送泵的电源实施更换的效果。

其中，在对储液槽5的液位进行调整和校正时，先在储液槽5置入一定量药剂，这时调整第一液位计6的灯在亮灭之间时；打开手动放空阀14，同时用烧杯测量，直至刚好等于清洗工艺要求的体积，关闭手动放空阀14；此时调整第二液位计7的灯在亮灭之间。

其中，在进行加药速率调整时，在清洗槽16内放入一定量清洗纯水，设置控制箱2为自动加药频率，自动开启气动放液控制阀15时，手动测量加药时间，调整手动流量调节阀13的角度，直至符合根据工艺要求；只需首次调整，固定手动阀11开启角度即可。

其中，清洗槽16加药时，加药状态只能有一个气动进液控制阀10开启；每个加药程序，需要从第一液位计6亮开始，到第二液位计7或第三液位计8灭结束。

其中，当多种药剂在三个储液槽5中混合加药时，操作步骤可循环操作即可。

其中，每个储液槽5上，可以安装多个第三液位计8，以便于多种加药量的控制效果。

工作原理：在使用时控制箱2是通过变频控制供应药剂管理压力，使得第一管路9内始终处于一定的压力状态，第一管路9内的压力大小可根据第一管路9的长度和药剂特性等调整，当药剂桶1为空时，压力报警灯亮启时，更换新的药剂桶1，通过开启储液槽5的气动进液控制阀10，开始把药剂放进储液槽5内，待到高液位时关闭气动进液控制阀10；本能够根据工艺参数设定加药频率，通过自动打开对应的清洗槽16的气动放液控制阀15，把储液槽5内的药剂释放到清洗槽16内，待到低液位时关闭气动放液控制阀15，即完成一次加药程序，其余两个储液槽5的药剂和清洗槽16的加药方式按照上述方式实施即可。

Claims (6)

1.一种硅片清洗自动加药设备，包括：控制箱(2)；其特征在于，还包括：

一个及以上药剂桶(1)，安置于控制箱(2)的一侧，所述药剂桶(1)一侧设置有供药剂输送通断的供液阀(3)；

第一管路(9)，固定设置于供液阀(3)的一端，所述第一管路(9)中部两侧分别固定安装有气动进液控制阀(10)和手动阀(11)；

一个及以上储液槽(5)，固定设置于第一管路(9)的一端，所述储液槽(5)内部上方固定安装有第一液位计(6)，所述储液槽(5)内部下方固定安装有第二液位计(7)，所述储液槽(5)内部中央固定安装有第三液位计(8)；

第二管路(12)，固定安装于储液槽(5)的底端，所述第二管路(12)上方固定安装有手动流量调节阀(13)，所述第二管路(12)一端固定安装有手动放空阀(14)，所述第二管路(12)另一端固定安装有气动放液控制阀(15)；

一个及以上清洗槽(16)，设置于第二管路(12)的一端。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗自动加药设备，其特征在于，所述药剂桶(1)一侧底端固定安装有药剂桶阀(4)，所述药剂桶阀(4)一端与供液阀(3)固定连接，所述供液阀(3)内部固定安装有输送泵。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗自动加药设备，其特征在于，所述储液槽(5)的底端呈V型结构，所述储液槽(5)的底部位于所述清洗槽(16)的上方。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗自动加药设备，其特征在于，所述第一管路(9)的一端位于储液槽(5)的底部中央位置。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗自动加药设备，其特征在于，所述控制箱(2)上方固定安装有一个及以上压力报警灯，三个压力报警灯分别用于检测三个药剂桶(1)向三个储液槽(5)内输送药剂的输送压力。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗自动加药设备，其特征在于，所述储液槽(5)外围一侧设置有测量烧杯。