CN217950649U - 一种外加式流量量测装置、混合设备及清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种外加式流量量测装置、混合设备及清洗机，所述外加式流量量测装置包括量测桶，以及第一阀组和第二三通分流阀；所述混合设备包括一个混液槽、至少两个输送泵，以及与输送泵的入口、出口连通的上述外加式流量量测装置。还提供一种清洗机，包括至少一个主机台，以及上述的混合设备，所述混合设备将混合液输送至主机台的生产腔室内。通过设置多组三通阀和开关阀将输送泵中的出液量导入量测桶中，能够避免化学品输送拆管量测接触到化学品，提高人员安全、降低成本和提高品质良率；因增加水路在输送泵前，在更换输送泵时可以对输送泵进行清洗，提高更换人员安全。

Description

一种外加式流量量测装置、混合设备及清洗机

技术领域

本实用新型涉及生产辅助设备技术领域，具体涉及一种外加式流量量测装置、混合设备及清洗机。

背景技术

半导体芯片清洗设备包括多种，其中单片式清洗机是由几个清洗腔体组成，再通过机械手将每一片晶圆送至各个腔体中进行单独的喷淋式清洗，清洗效果较好，避免了交叉污染和前批次污染后批次，具有极高的工艺环境控制能力与微粒去除能力，有效解决晶圆之间交叉污染的问题。清洗机所需的清洗液是通过外挂式混酸槽提供，混酸槽将一种或多种化学品进行混合后送到各主机台的生产腔室进行清洗。

因混酸后的化学品浓度比会影响到芯片产品良率，故如果化学品浓度有差异时，须对定量泵10的出口进行拆管操作，并使用量杯40量测定量泵打出来的量，从而计算化学品输送流量是否有误差，决定是否更换定量泵，参照图1。但拆管直接用量杯40量测，操作人员会直接接触到化学品，安全危害高，需穿戴安全护具、产生额外废弃物处理与事后洗槽所需化学品费用，进而提高公司成本；拆管还会导致有异物进入到混液槽30内而导致产品缺陷，进而降低品质良率。此外，若量测后发现定量泵流量异常需要更换，被回收的定量泵还需要单独进行清洗，也会存在危险性，效率低且进一步增加企业成本。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型利用外加式流量量测装置对混合设备中的混液槽进行输送泵流量的量测，具体技术方案如下：

一种外加式流量量测装置，量测至少一个输送泵的流量，包括：

量测桶，该量测桶用于接收输送泵的出液量；以及

第一阀组和第二三通分流阀；

所述第一阀组的第一入口外接输送液，第一阀组的出口与输送泵的入口连通；所述第二三通分流阀的入口与输送泵的出口连通，第二三通分流阀的第一出口外接输出，所述第二三通分流阀的第二出口与所述量测桶的入口连通，所述第二三通分流阀第二出口为可拆卸式管路连接。

进一步地，本实用新型还增加了输送泵冲洗功能，具体还包括第一三通分流阀和第一开关阀，所述第一阀组为第一三通合流阀，所述第一三通合流阀的第二入口分别与第一三通分流阀的第一出口和第一开关阀的入口连通，所述第一三通分流阀的入口外接输入，第一三通分流阀的第二出口外接输出，所述第一开关阀的出口为可拆卸式管路连接。

本实用新型还提供一种混合设备，包括：

一个混液槽；

至少两个输送泵，该输送泵能够将输送液送入混液槽；以及

与输送泵的入口、出口连通的上述外加式流量量测装置。

还提供一种清洗机，包括至少一个主机台，以及上述的混合设备，所述混合设备将混合液输送至主机台的生产腔室内。

由以上技术方案可知，本实用新型通过设置多组三通阀和开关阀将输送泵中的出液量导入量测桶中，能够避免化学品输送拆管量测接触到化学品，提高人员安全和降低成本；同时还可以避免化学品拆管量测时有异物进入到槽体内而导致产品缺陷，进而提高品质良率；因增加水路在输送泵前，在更换输送泵时可以对输送泵进行清洗，提高更换人员安全。

附图说明

图1为现有技术中量测定量泵打出量的结构示意图；

图2为本实用新型外加式流量量测装置实施例1的结构示意图；

图3为本实用新型外加式流量量测装置实施例2的结构示意图；

图4为本实用新型混合设备的结构示意图，示出了外加式流量量测装置的使用效果。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明，在详细说明本实用新型各实施例的技术方案前，对所涉及的名词和术语进行解释说明，在本说明书中，名称相同或标号相同的部件代表相似或相同的结构，且仅限于示意的目的。

本实用新型外加式流量量测装置用于量测至少一个输送泵的流量，该输送泵可以是定量泵、计量齿轮泵中的任一种，也可以是现有技术中其他类型具有定量输送液体功能的泵，需要量测的是输送泵的一段时间的出液量。输送泵的输送液为用于清洗的化学品，可以是硫酸、氢氟酸、磷酸或硝酸等化学品。

本实用新型其中一个实施例是包括了量测功能和冲洗功能，对两个定量泵10进行量测，在其他实施例中，可以对两个以上的定量泵进行量测。如图2所示，所述外加式流量量测装置包括一个量测桶21、两个第一三通合流阀22、一个第一三通分流阀23、两个第二三通分流阀24和一个第一开关阀25。所述第一三通合流阀还可以选择其他种类实现合流的阀门，同样，第一三通分流阀和第二三通分流阀也可以选择其他种类实现分流的阀门。

所述第一三通合流阀22的第一入口22a外接化学品清洗液，第一三通合流阀22的第二入口22b分别与第一三通分流阀23的第一出口23b和第一开关阀25的入口25a连通，第一三通合流阀22的出口22c与定量泵10的入口10a连通；所述第一三通分流阀23的入口23a外接输入，第一三通分流阀23的第二出口23c外接输出；所述第二三通分流阀24的入口24a与定量泵10的出口10b连通，第二三通分流阀24的第一出口24b外接输出，所述第二三通分流阀24的第二出口24c、所述第一开关阀25的出口25b均与所述量测桶21的入口连通。

如图2、图3所示，所述量测桶21可以是现有技术中圆柱形、方形或其他形状的量测容器，具体形状不做限定，用于接收定量泵的出液量，该量测桶的测量体积范围为500ml-2000ml，其材质为聚四氟乙烯，量测桶21上设有量测刻度，量测桶21的出口设置有第二开关阀26，用于控制量测桶的排液。优选地，所述量测桶21可以设置在样品量测箱27内，该样品量测箱材质也为聚四氟乙烯，能够对量测桶进行有效的防护。

本实用新型的另一个实施例是只有量测功能，也就是去除第一三通分流阀和第一开关阀，如图3所示，具体为：

所述外加式流量量测装置包括一个量测桶21、两个第一阀组28和两个第二三通分流阀24；所述第一阀组28的第一入口28a外接输送液，第一阀组28的出口28c与输送泵的入口连通；所述第二三通分流阀24的入口24a与输送泵的出口连通，第二三通分流阀24的第一出口24b外接输出，所述第二三通分流阀24的第二出口24c与所述量测桶21的入口连通，所述第二三通分流阀第二出口24c为可拆卸式管路连接。本实施例中的所述第一阀组28可以用开关阀，也可以用三通合流阀。

本实用新型还提供一种混合设备，具体是一种用于对多种化学品清洗液进行混合的设备，如图4所示，所述混合设备包括一个混液槽30、两个定量泵10，该定量泵能够将化学品清洗液送入混液槽，还包括与定量泵的入口、出口连通的如实施例1的外加式流量量测装置20。所述第一三通分流阀23的入口23a外接输入清洗液，清洗液可以是纯水、高纯水或超纯水，本实施例选用超纯水；所述第一三通分流阀23的第二出口23c、第二三通分流阀24的第一出口24b均与混液槽30连通；所述混液槽30的出口通过管路与主机台连通。

所述混合设备还包括第二三通合流阀28，该第二三通合流阀的第一入口28a与所述混液槽30的排液口连通，第二三通合流阀28的第二入口28b与所述第二开关阀26出口连通，第二三通合流阀28的出口28c排液输出。

所述混合设备具有三种工作状态，具体工作原理如下：

1)正常使用状态

混合设备正常使用时，两个第一三通合流阀22的第一入口22a和出口22c导通，两个第二三通分流阀24的入口24a和第一出口24b导通，第一三通分流阀23的入口23a和第二出口23c导通，第二三通合流阀28的第一入口28a和出口28c导通，第一开关阀25关闭，第二开关阀26关闭。将两种化学品清洗液通过两个定量泵10打入混液槽30，纯水通过第一三通分流阀23的第二出口23c进入混液槽30，此时量测桶21的入口没有化学品清洗液的输入。在混液槽30中混合后的化学品清洗液通过管路送入主机台中进行生产腔室的清洗，还可以通过第二三通合流阀28的出口28c排液。

2)量测使用状态

混合设备量测时，根据需要量测的定量泵调整对应三通阀的阀芯，将该定量泵的流量导入量测桶21中，其中第一三通合流阀22的第一入口22a和出口22c导通，第二三通分流阀24的入口24a和第二出口24c导通，第一三通分流阀23的入口23a和第二出口23c导通，第二三通合流阀28的第二入口28b和出口28c导通，第一开关阀25关闭，第二开关阀26打开。将需要量测的定量泵10的出液量通过第二三通分流阀24的第二出口24c导入量测桶21内进行流量量测，评估是否需要更换定量泵10。

3)冲洗使用状态

本实用新型还能够对定量泵10和量测桶21进行冲洗，其中第一三通合流阀22的第二入口22b和出口22c导通，第二三通分流阀24的入口24a和第二出口24c导通，第一三通分流阀23的入口23a和第一出口23b导通，第二三通合流阀28的第二入口28b和出口28c导通，第一开关阀25关闭，第二开关阀26打开，此时利用纯水对定量泵10进行冲洗，冲洗后的水流入量测桶21中。若将第一开关阀25打开的话，可以同时对量测桶21进行清洗。

优选地，为了提高本实用新型外加式流量量测装置的通用性，所述第二三通分流阀24第二出口24c、第一开关阀25的出口25b、第二三通合流阀28的第二入口28b均为可拆卸式管路连接。这样只需先将机台增加阀件与变更些许管路设计，量测装置就不需每台机台都安装，一套量测装置可以应用于多台机台，降低安装成本。

本实用新型还提供一种清洗机，包括至少一个主机台，以及上述的混合设备，所述混合设备能够将混合液输送至主机台的生产腔室内进行半导体芯片清洗。

以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (13)

1.一种外加式流量量测装置，量测至少一个输送泵的流量，其特征在于，包括：

量测桶，该量测桶用于接收输送泵的出液量；以及

第一阀组和第二三通分流阀；

所述第一阀组的第一入口外接输送液，第一阀组的出口与输送泵的入口连通；所述第二三通分流阀的入口与输送泵的出口连通，第二三通分流阀的第一出口外接输出，所述第二三通分流阀的第二出口与所述量测桶的入口连通，所述第二三通分流阀第二出口为可拆卸式管路连接。

2.根据权利要求1所述的外加式流量量测装置，其特征在于，还包括第一三通分流阀和第一开关阀，所述第一阀组为第一三通合流阀，所述第一三通合流阀的第二入口分别与第一三通分流阀的第一出口和第一开关阀的入口连通，所述第一三通分流阀的入口外接输入，第一三通分流阀的第二出口外接输出，所述第一开关阀的出口为可拆卸式管路连接。

3.根据权利要求1所述的外加式流量量测装置，其特征在于，所述量测桶设置在样品量测箱内。

4.根据权利要求1-3任一项所述的外加式流量量测装置，其特征在于，所述量测桶的测量体积范围为500ml—2000ml。

5.根据权利要求1-3任一项所述的外加式流量量测装置，其特征在于，所述输送泵为至少两个。

6.根据权利要求2所述的外加式流量量测装置，其特征在于，所述第一三通分流阀的入口外接清洗液。

7.根据权利要求1-3任一项所述的外加式流量量测装置，其特征在于，所述输送泵为定量泵、计量齿轮泵中的任一种。

8.一种混合设备，其特征在于，包括：

一个混液槽；

至少两个输送泵，该输送泵能够将输送液送入混液槽；以及

与输送泵的入口、出口连通的如权利要求2所述的外加式流量量测装置。

9.根据权利要求8所述的混合设备，其特征在于，所述第一三通分流阀的第二出口、第二三通分流阀的第一出口均与混液槽连通。

10.根据权利要求8所述的混合设备，其特征在于，还包括第二三通合流阀，该第二三通合流阀的第一入口与所述混液槽的排液口连通，第二三通合流阀的第二入口与所述量测桶的出口连通，第二三通合流阀的出口外接输出。

11.根据权利要求10所述的混合设备，其特征在于，所述量测桶的出口设置第二开关阀。

12.根据权利要求10所述的混合设备，其特征在于，所述第二三通合流阀的第二入口为可拆卸式管路连接。

13.一种清洗机，其特征在于，包括至少一个主机台，以及如权利要求8-12任一项所述的混合设备，所述混合设备将混合液输送至主机台的生产腔室内清洗。

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