CN216262360U - 清洗药剂自动补加装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了清洗药剂自动补加装置，属于单晶硅片清洗技术领域，包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管，第一总管和第二总管分别与配药箱连接，计量箱与配药箱连接，药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接，本实用性能够有效的控制单晶硅片清洗过程中药剂的添加，保证添加量和添加的时间节点符合要求，减少因提前和推迟添加药剂，多加或少加药剂带来的质量问题，提高了工作效率，减少了药剂损耗，保证生产质量。

Description

清洗药剂自动补加装置

技术领域

本实用新型属于单晶硅片清洗技术领域，涉及清洗药剂自动补加装置。

背景技术

药剂添加目前仍为人工手动添加，随着单晶清洗工艺窗口的不断缩窄，对于补加药剂添加的准确性要求十分严苛，添加量和添加时间节点均是清洗质量的关键点，当前药剂添加方式存在如下异常：多加/提前加容易出现蓝片，蓝片指过度腐蚀的硅片；少加/推迟加容易出现硅粉脏污。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供清洗药剂自动补加装置，该清洗药剂自动补加装置为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：清洗药剂自动补加装置，包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管，所述第一总管和第二总管分别与配药箱连接，所述计量箱与配药箱连接，所述药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接，

所述控制系统包括中控机、液位传感器、计量泵、总阀和计数器，所述液位传感器设置在计量箱上，所述第一总管和第二总管的另一端分别与药箱连接，所述第一总管和第二总管与药箱连接的管路上设置计量泵和总阀，所述计数器设置在清洗槽的出口处用于对硅片计数，所述液位传感器、计量泵、总阀和计数器分别与中控机连接。

优选的，所述配药箱内设置有搅拌机。

优选的，所述配药箱和计量箱的容量为30-50L。

优选的，所述计量箱的的外壳透明。

优选的，所述药剂注入管上设置有气动泵。

有益效果：本实用性能够有效的控制单晶硅片清洗过程中药剂的添加，保证添加量和添加的时间节点符合要求，减少因提前和推迟添加药剂，多加或少加药剂带来的质量问题，提高了工作效率，减少了药剂损耗，保证生产质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为控制系统框图；

图中符号说明：1：配药箱；2：第一总管；3：第二总管；4：计量箱；5：控制系统；6：药剂注入管；7：清洗槽；8：气动泵；501：中控机；502：液位传感器；503：计量泵；504：总阀；505：计数器。

具体实施方式

下面结合附图和具体较佳实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“左侧”、“右侧”、“上部”、“下部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，“第一”、“第二”等并不表示零部件的重要程度，因此不能理解为对本实用新型的限制。本实施例中采用的具体尺寸只是为了举例说明技术方案，并不限制本实用新型的保护范围。

实施例1：

参考图1-2，本实用新型提供一种技术方案，清洗药剂自动补加装置，包括配药箱1、第一总管2、第二总管3、计量箱4、控制系统5和若干个药剂注入管6，第一总管2和第二总管3分别与配药箱1连接，计量箱4与配药箱1连接，药剂注入管6一端与计量箱4连接、另一端与清洗槽7连接，

控制系统5包括中控机501、液位传感器502、计量泵503、总阀504和计数器505，液位传感器502设置在计量箱4上，第一总管2和第二总管3的另一端分别与药箱连接，第一总管2和第二总管3与药箱连接的管路上设置计量泵503和总阀504，计数器505设置在清洗槽7的出口处用于对硅片计数，液位传感器502、计量泵503、总阀504和计数器505分别与中控机501连接。

使用时，中控机501控制计量泵503将药剂分别从第一总管2、第二总管3输入至配药箱1内混合成用于清洗的药剂，混合后流入计量箱4，液位传感器502可以监测计量箱4中的液位来判断液体量，药剂通过药剂注入管6分别流入与其连接的清洗槽7完成对硅片的清洗，计数器505用于对清洗后的硅片进行计数，将计数信息传输至中控机501，中控机501根据设定的数值判断需要添加的药剂量，并将添加的药剂量信号传输至计量泵503，计量泵503泵送药剂至第一总管2和第二总管3从而进入配药箱，总阀504可以接收中控机501的信号关闭或者开启，控制药剂的流通。

进一步地，配药箱1内设置有搅拌机，有利于药品的混合均匀。

进一步地，配药箱1和计量箱4的容量为30-50L。

进一步地，计量箱4的的外壳透明，方便观察药剂的含量。

进一步地，药剂注入管6上设置有气动泵8，可以更快的将药剂泵送至清洗槽7。

实施例2：

参考图1-2，在实施例1的基础上，第一总管2与碱液药箱连接，第二总管3与表面活性剂药箱连接，当整个装置首次运行时，中控机501控制总阀504开启，中控机501控制计量泵503泵送药剂，通过第一总管2和第二总管3流入配药箱1进行混合，然后流入计量箱4，液位传感器502将药剂量的监测信号传输至中控机501，当达到首加设定值后，中控机501控制总阀504和计量泵503关闭；

当清洗槽7内的药剂清洗硅片后，计数器505可以对清洗后的硅片计数，并将数值信号传输给中控机501，当计数数值达到设定值后，开启总阀504，并将需要添加的药剂量信号传输给计量泵503，计量泵503开始泵送药剂，当达到添加量时，将信号传输至中控机501.然后关闭阀门504和计量泵503。

计数器505计数的设定值可以根据清洗后开始出现质量问题的总清洗量进行设定，计量泵503每次的添加量可测量清洗槽7内的含量确认需要添加的药剂量，以上内容均可根据生产过程中的实际情况进行调整，适合多种规格及型号的硅片清洗。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.清洗药剂自动补加装置，其特征在于：包括配药箱(1)、第一总管(2)、第二总管(3)、计量箱(4)、控制系统(5)和若干个药剂注入管(6)，所述第一总管(2)和第二总管(3)分别与配药箱(1)连接，所述计量箱(4)与配药箱(1)连接，所述药剂注入管(6)一端与计量箱(4)连接、另一端与清洗槽(7)连接，

所述控制系统(5)包括中控机(501)、液位传感器(502)、计量泵(503)、总阀(504)和计数器(505)，所述液位传感器(502)设置在计量箱(4)上，所述第一总管(2)和第二总管(3)的另一端分别与药箱连接，所述第一总管(2)和第二总管(3)与药箱连接的管路上设置计量泵(503)和总阀(504)，所述计数器(505)设置在清洗槽(7)的出口处用于对硅片计数，所述液位传感器(502)、计量泵(503)、总阀(504)和计数器(505)分别与中控机(501)连接。

2.根据权利要求1所述的清洗药剂自动补加装置，其特征在于：所述配药箱(1)内设置有搅拌机。

3.根据权利要求1所述的清洗药剂自动补加装置，其特征在于：所述配药箱(1)和计量箱(4)的容量为30-50L。

4.根据权利要求1所述的清洗药剂自动补加装置，其特征在于：所述计量箱(4)的外壳透明。

5.根据权利要求1所述的清洗药剂自动补加装置，其特征在于：所述药剂注入管(6)上设置有气动泵(8)。

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