CN217941156U - 一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，包括清洗槽一、清洗槽二和气动泵，清洗槽一、清洗槽二均由清洗槽体内槽和清洗槽体外槽构成，清洗槽体外槽顶部盖设有槽盖装置，槽盖装置在气缸装置的带动下开启或盖合，气动泵的进液端通过管道连接清洗槽体外槽，气动泵的输出端通过化学品过滤装置连接清洗槽体内槽，槽盖装置和清洗槽体内槽中均布置有进液进气管道和万向喷头，进液进气管道与气动泵相连，并在气动泵的输送下通过万向喷头将清洗液均匀喷洒至清洗零配件上进行清洗；本实用新型同现有技术相比，可以满足不同尺寸规格零配件清洗需求，更大程度上考虑操作人员的安全，大大了提高工作效率和和安全性，操作可靠、方便。

Description

一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备

[技术领域]

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体地说是一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备。

[背景技术]

随着技术创新发展，电子化学品的应用领域不断扩大，伴随国内半导体电子等产业链发展迅速，而电子化学品的应用更是涉及到了各个产业。在大规模集成电路(IC)制造中需要使用大量高纯度电子级化学品，如RCA清洗，湿式蚀刻，光刻胶等。作为化学品纯化分装以及输送更是成了重要的一环，如发生任何的污染都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，化学品原料供应厂商已越来越重视该化学品纯化分装制程中的每一环节。

目前多数电子级化学品采用高洁净200L标准桶运输,储存。高洁净标准桶多数价格昂贵，必须重复使用。其中桶内自备的汲取管以及桶盖都需要每次打开充装，连接都可能造成污染情况，所以每次需要单独取出集中清洗。回收桶内微粒子成分复杂，污染物含量高，现有酸桶配件(汲取管及桶盖)清洗设备的微粒子控制能力弱，自动化程度低，清洗效果差，难以满足质量越来越高的高纯电子级化学品储存需求。

随着我国半导体行业的不断发展，化学品品种越来越多，国内对化学品生产流程及包装过程的要求越来越严格,精度越来越高。化学品桶桶内自备的汲取管需要每次打开连接可能造成污染情况，所以每次需要单独取出清洗。目前市面上大多采用手动清洗方式，及人工将汲取管放置在清洗盒子中晃动清洗。清洗的效果不一致，清洗溶液也无法重复利用，清洗效率差。清洗过程中也无氮气吹干装置进行吹干，污染物控制不严格。国内清洗设备配置简单导致设备内环境颗粒无法控制，无法满足高洁净度化学溶液的清洗、封装需求并具有一定的操作风险性，人力成本高，安全性不足。而随着国内半导体行业的快速发展，因此对生产效率，洁净度，安全性等也提出更高的要求。

因此，若能提供一种新型的全自动电子级化学品桶配件清洗设备以解决上述的不足，并使得操作方便，降低成本，且大大提高工作效率和安全性。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，可以满足不同尺寸规格零配件清洗需求，更大程度上考虑操作人员的安全，大大了提高工作效率和和安全性，操作可靠、方便。

为实现上述目的设计一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，包括清洗槽一8、清洗槽二13和气动泵14，所述清洗槽一8、清洗槽二13用于清洗不同的零配件,且均由清洗槽体内槽24和清洗槽体外槽25构成，所述清洗槽体外槽25装设于清洗槽体内槽24上部，所述清洗槽体外槽25顶部盖设有槽盖装置10，所述槽盖装置10与气缸装置11的活塞端相连，并在气缸装置11的带动下开启或盖合，所述气缸装置11、气动泵14的进气端均连接压缩空气管道1，所述气动泵14的进液端通过管道连接清洗槽体外槽25，所述气动泵14的输出端通过管道连接化学品过滤装置15，所述化学品过滤装置15另一端通过管道连接清洗槽体内槽24，所述清洗槽体外槽25内清洗液经过化学品过滤装置15输送回清洗槽体内槽24构成循环清洗回路，所述槽盖装置10和清洗槽体内槽24中均布置有进液进气管道20和万向喷头21，所述万向喷头21分布于进液进气管道20上，所述进液进气管道20与气动泵14相连，并在气动泵14的输送下通过万向喷头21将清洗液均匀喷洒至清洗零配件上进行清洗。

进一步地，所述清洗槽一8、清洗槽二13的进液进气管道20分别连接高纯纯水管道3，所述清洗槽一8、清洗槽二13底部分别装设有快排阀装置9，所述快排阀装置9通过管道连接废液排废管道19；所述快排阀装置9由快排阀26和快排阀支撑座27组装而成，所述快排阀26安装在清洗槽体内槽24底端，所述快排阀26外部设有用于对其进行支撑的快排阀支撑座27。

进一步地，所述清洗槽一8、清洗槽二13的进液进气管道20分别通过管道连接氮气加热系统7，所述氮气加热系统7另一端通过管道连接高纯氮气管道2，所述氮气加热系统7用于对输入的氮气进行加热，所述氮气通过万向喷头21对清洗零配件进行全方位吹扫及干燥作业。

进一步地，所述清洗槽一8、清洗槽二13的侧面均安装有超声波装置12，所述超声波装置12用于进行超声波震动，并使得清洗零配件上的杂质脱离，所述化学品过滤装置15输出端的管道上装设有压力传感器16，所述废液排废管道19上装设有取样分析装置17和泄露传感器18。

进一步地，还包括PLC控制箱6，所述PLC控制箱6分别连接槽盖装置10开关、气缸装置11、超声波装置12，所述PLC控制箱6设于主体设备内，所述主体设备采用聚丙烯PP包覆不锈钢骨架制作而成，所述主体设备顶部设置有高效过滤送风系统4和高效排风系统5。

进一步地，所述清洗槽体内槽24通过槽体支撑座23固定在主体设备内，所述槽盖装置10固定于桶盖加强筋30上，所述桶盖加强筋30呈H型结构，所述桶盖加强筋30与气缸装置11的活塞端连接。

进一步地，所述清洗槽一8、清洗槽二13均采用聚偏氟乙烯PVDF板材制作焊接而成，所述主体设备的管路材质采用特氟龙PFA软管加自动阀设计而成。

进一步地，所述气缸装置11由气缸、桶盖固定座28和气缸固定座29组成，所述气缸安装在气缸固定座29上，所述气缸固定座29固定于清洗槽体内槽24外部，所述气缸的活塞端连接槽盖装置10，所述槽盖装置10通过转轴可转动式连接在桶盖固定座28上，所述桶盖固定座28固定于清洗槽体外槽25外部。

进一步地，所述清洗槽一8用于清洗汲取管22，所述清洗槽二13用于清洗桶盖、接头及密封圈，所述清洗槽一8内插管清洗板上采用可拆卸洞洞板结构，所述插管清洗板采用支点接触汲取管22，且接触面积为2毫米以下。

进一步地，所述槽盖装置10中的进液进气管道20的管路布局采用W型管路，所述槽盖装置10中的万向喷头21的焊接角度为90°间断式分布，并配一个直角喷头直喷汲取管22内壁；所述清洗槽体内槽24内管路布置设计为U型，且竖直方向间断分布。

本实用新型同现有技术相比，具有如下优点：

(1)本实用新型采用全密闭设计，采用化学品原液循环浸泡，超声波清洗，氮气吹干方式，设备半自动操作，全自动清洗，全自动烘干，满足自动化、智能化要求；

(2)本实用新型清洗原液可以重复使用，提高了清洗效率且降低成本，单次可清洗配件量大，效率高，且清洗平台采用可更换设计，可以满足不同尺寸规格汲取管及零配件清洗需求，且机械换向控制简单，成本低；

(3)本实用新型具有超高的稳定性、可靠性，自动化程度高，可以自动不间断使用，能够满足365天*24小时；

(4)本实用新型高洁净度机械部件设计，可满足集成电路(IC)制造需求，且设备安全性设计满足半导体制造标准；

(5)本实用新型设备采用标准化机械零部件易于采购和生产，使设备成本降低，维修保养方便而且全部可以国产化；

(6)本实用新型可满足半导体制造的苛刻的使用需求，设备各部件都且具有良好的耐磨性使得维护成本降低；

综上，本实用新型使得机构省力易操作，并且开启环境为密闭环境，保证了开启环境的洁净度，更大程度上考虑操作人员的安全，整个操作过程安全，方便可靠，且大大提高工作效率，降低成本，值得广泛推广应用。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中清洗槽一的结构示意图；

图3是本实用新型中清洗槽一的内部结构示意图；

图4是本实用新型中清洗槽一和快排阀装置的结构示意图；

图5是图4中V-V剖视图；

图6是本实用新型中清洗槽体内槽的管路布局示意图；

图7是本实用新型中槽盖装置和气缸装置的结构示意图一；

图8是本实用新型中槽盖装置和气缸装置的结构示意图二；

图9是本实用新型中槽盖装置的管路布局示意图；

图10是图9的侧面结构示意图；

图11是图9的俯视结构示意图；

图12是图11的局部放大图；

图中：1、压缩空气管道 2、高纯氮气管道 3、高纯纯水管道 4、高效过滤送风系统5、高效排风系统 6、PLC控制系统 7、高纯氮气加热系统 8、清洗槽一 9、快排阀装置 10、槽盖装置 11、气缸装置 12、超声波装置 13、清洗槽二 14、气动泵 15、化学品过滤装置 16、压力传感器 17、取样分析装置 18、泄露传感器 19、废液排废管道 20、进液进气管道 21、万向喷头 22、汲取管 23、槽体支撑座 24、清洗槽体内槽 25、清洗槽体外槽 26、快排阀27、快排阀支撑座 28、桶盖固定座 29、气缸固定座 30、桶盖加强筋。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

本实用新型提供了一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，包括清洗槽一8、清洗槽二13和气动泵14，清洗槽一8、清洗槽二13用于清洗不同的零配件,且均由清洗槽体内槽24和清洗槽体外槽25构成，清洗槽体外槽25装设于清洗槽体内槽24上部，清洗槽体外槽25顶部盖设有槽盖装置10，槽盖装置10与气缸装置11的活塞端相连，并在气缸装置11的带动下开启或盖合，气缸装置11、气动泵14的进气端均连接压缩空气管道1，气动泵14的进液端通过管道连接清洗槽体外槽25，气动泵14的输出端通过管道连接化学品过滤装置15，化学品过滤装置15另一端通过管道连接清洗槽体内槽24，清洗槽体外槽25内清洗液经过化学品过滤装置15输送回清洗槽体内槽24构成循环清洗回路，槽盖装置10和清洗槽体内槽24中均布置有进液进气管道20和万向喷头21，万向喷头21分布于进液进气管道20上，进液进气管道20与气动泵14相连，并在气动泵14的输送下通过万向喷头21将清洗液均匀喷洒至清洗零配件上进行清洗。

其中，清洗槽一8、清洗槽二13的进液进气管道20分别连接高纯纯水管道3，清洗槽一8、清洗槽二13底部分别装设有快排阀装置9，快排阀装置9通过管道连接废液排废管道19；快排阀装置9由快排阀26和快排阀支撑座27组装而成，快排阀26安装在清洗槽体内槽24底端，快排阀26外部设有用于对其进行支撑的快排阀支撑座27。清洗槽一8、清洗槽二13的进液进气管道20分别通过管道连接氮气加热系统7，氮气加热系统7另一端通过管道连接高纯氮气管道2，氮气加热系统7用于对输入的氮气进行加热，氮气通过万向喷头21对清洗零配件进行全方位吹扫及干燥作业。清洗槽一8、清洗槽二13的侧面均安装有超声波装置12，超声波装置12用于进行超声波震动，并使得清洗零配件上的杂质脱离，化学品过滤装置15输出端的管道上装设有压力传感器16，废液排废管道19上装设有取样分析装置17和泄露传感器18。

还包括PLC控制箱6，PLC控制箱6分别连接槽盖装置10开关、气缸装置11、超声波装置12，PLC控制箱6设于主体设备内，主体设备采用聚丙烯PP包覆不锈钢骨架制作而成，主体设备顶部设置有高效过滤送风系统4和高效排风系统5。清洗槽体内槽24通过槽体支撑座23固定在主体设备内，槽盖装置10固定于桶盖加强筋30上，桶盖加强筋30呈H型结构，桶盖加强筋30与气缸装置11的活塞端连接。气缸装置11由气缸、桶盖固定座28和气缸固定座29组成，气缸安装在气缸固定座29上，气缸固定座29固定于清洗槽体内槽24外部，气缸的活塞端连接槽盖装置10，槽盖装置10通过转轴可转动式连接在桶盖固定座28上，桶盖固定座28固定于清洗槽体外槽25外部。

本实用新型的基本原理为：

(1)根据清洗槽一8和清洗槽二13分别清洗的零部件不同，设计结构相同，槽体尺寸可根据清洗零部件而定制；清洗槽一8主要清洗汲取管22，而清洗槽二13主要清洗桶盖、接头及密封圈等。

(2)清洗槽一8和清洗槽二13中的清洗液是通过集中供应设备提供，待清洗液灌满槽体后，通过气动泵14提供动力，将清洗槽体外槽25清洗液经过化学品过滤装置15，输送回清洗槽体内槽24，达到循环清洗功能，同时，清洗液通过气动泵14接入对应槽体的桶盖装置10和槽体内部的进液进气管道20，通过万向喷头21将清洗液均匀喷洒至汲取管22或零部件上进行清洗作业；同时结合超声波装置12进度超声波震动，使得汲取管22及零配件上的杂质脱离，确保清洗效果；喷洒后的清洗液会汇集在槽体内进行重复利用。

(3)清洗液清洗完成后，会将清洗槽一8和清洗槽二13中的清洗液通过气动泵14输送至清洗液收集槽备用，此时会进行高纯纯水的清洗作业，原理同清洗液清洗相同；纯水清洗完成后，槽内纯水会通过快排阀装置9，经过废液排废管道19排放至指定废液收集槽。

(4)经过高纯纯水清洗完成后，高纯氮气进行对汲取管22及零配件吹干作业，高纯氮气通过氮气加热系统7进行对氮气加热，经进液进气管道20，通过万向喷头21对清洗零配件进行全方位吹扫及干燥，即时完成汲取管22及零配件的清洗及封装作业。

(5)压缩空气通过管道分为三个部分：一部分提供控制气动泵14，以提供清洗液及纯水的输送动力；一部分是控制气缸装置11，确保气缸装置11联动清洗槽上槽盖装置10的开关，确保上述清洗流程都在槽体内封闭状态下进行；最后一部分就是通过PLC控制系统6中各个气动元器件的控制。

(6)清洗槽一8和清洗槽二13分为清洗槽体内槽24和清洗槽体外槽25组成，结合桶盖装置10、气缸装置11、快排阀装置9进行对汲取管22及零配件的清洗作业，槽体通过槽体支撑座22固定在设备内，桶盖装置10及内槽中都由进液进气管道20、万向喷头21及桶盖加强筋30组成；气缸装置11是有气缸和桶盖固定座28和气缸固定座29组成；快排阀装置9是有快排阀26和快排阀支撑座27组装而成。

(7)进液进气管道20、万向喷头21根据使用场景不同，设计不同；桶盖装置10中的管路布局采用W型管路，确保槽平面全覆盖，同时万向喷头21的焊接角度为90°间断式分布，配一个直角喷头直喷汲取管22内壁，确保汲取管22内外及接头处清洗方位无死角；清洗槽内管路布置按U型设计，竖直方向间断分布，配套12.超声波隔水震荡确保汲取管22外壁清洗效果。

(8)清洗过程中，设备会设计高效过滤送风系统4对设备内进行环境控制，整体设备采用洁净材料，顶部高效空气过滤器结合合理的高效排风系统，提高设备区域内环境洁净度，防止残余腐蚀性气体挥发，有效保护各个机构件不被腐蚀并提高区域内作业人员安全性。同时，设备设计取样分析装置17，管道中设计各点的取样点，确保取样环境为密闭环境，保证了取样环境的洁净度，并能准确掌握所取样的化学品容量，保证提供样品的分析结果的准确性；同时管路中设计必要的压力传感器16，设备内设计泄露传感器18，以确保设备运行稳定及安全。

本实用新型中，插管清洗槽上采用支点接触汲取管22，接触面积做到2毫米以下，从而可最大限度保证清洗液能完全清洗到汲取管22内外及零配件各个部位。万向喷头21采用大于90°大范围喷洒设计角度完全覆盖汲取管22，同时设计针对汲取管22内壁的清洗喷头，清洗无死角、范围大，加热氮气吹扫喷嘴采用同一组喷嘴吹扫。清洗槽内插管清洗板上采用可拆卸洞洞板结构，可更换设计满足不同汲取管的使用需求。氮气加热装置，使吹扫的氮气温度达到60℃，可减少清洗配件的干燥时间和提高干燥效果，提高工作效率。快排阀装置，可通过高效快速排掉液体，瞬间带走原配件上的杂质，快速达到清洗效果。液体清洗、热氮吹干过程全部在相对密闭清洗槽体内完成，可有效控制污染物及吹扫噪音。进液进气管和万向喷头放置在槽体控制盒洞洞板中采用平行放置，间距60mm且高度可以调整，从而可适应不同规格的汲取管22及零配件清洗吹干需求。进液进气管道和万向喷头根据使用场景不同，设计不同，满足不同清洗场景的设计需求，可灵活调整设计及控制。

清洗过程中，设计PLC控制系统控制清洗流程，确保桶盖装置开关运行，气缸装置稳定，超声波装置正常，并结合各管道气动原件控制协调，实施清洗过程实时监测，清洗参数可编辑和记录，实现产品清洗可追溯，方便控制各批次清洗产品质量，方便及时调整清洗工艺方法。主体设备采用聚丙烯(PP)包覆不锈钢骨架制作，整体设备采用洁净材料，设备顶部高效过滤送风系统，配套合理的高效排风系统，设备内形成洁净空气流场，提高清洗区域洁净度，保证设备洁净度，设备设计必要的防呆措施，压力传感器和设备泄露传感器，控制设备管路制造质量，提高作业人员安全性。设计必要部件的防腐能力，避免金属离子污染，调高设备使用寿命。

清洗槽一、清洗槽二槽体及其配套附件都采用聚偏氟乙烯(PVDF)板材制作焊接而成，具有溢流功能，使用化学品原液及去离子水循环反复清洗，保证清洗汲取管及零配件的高洁净度；设备管路区域管路材质采用特氟龙(PFA)软管加自动阀设计可以防止液体泄露，安全性的装置采用冗余设计，杜绝化学溶液泄漏情况，设备采用PLC控制系统中的触摸屏操作面，操作灵活，自动化程度高。

综上所述，本实用新型采用化学品原液和超纯水依次循环浸泡，超声波清洗，加热氮气吹干方式，采用半自动操作，全自动清洗，自动烘干，满足自动化、智能化的要求。其中，原液清洗采用压力喷嘴以全方向多角度喷洒清洗汲取管，以及跟汲取管连接的接头内外，以不同角度进行全方位清洗。清洗槽内原液循环结合超声波同步震动，确保汲取管管内外壁的杂质脱离，槽体底部采用快排阀设计，确保瞬间能带走清洗的杂质，采用PLC设定自动清洗过程，待完成后采用洁净氮气加热，并进行吹干操作，且吹干采用吹干喷嘴以达到多角度无死角覆盖吹干。清洗原液可以重复使用，提高了清洗效率且降低成本。设备集成化程度高，单次可清洗配件量大，效率高。且以上操作都是密闭空间内自动完成。

其余辅助装置保证清洗和吹干的效果。其中，原液采用气动泵进行输送，管道中添置过滤装置保持原液的洁净和污染物的控制。洁净氮气管道保证吹干效果和吹干过程中的污染物不增加。回风管道和清洗槽使得清洗过程在密闭环境中操作保证洁净度。该新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备设计合理、造型美观、结构紧凑、性能稳定，亦可根据用户特殊要求设计制造，具有操作方便、运行可靠、生产效率高、降低工人劳动强度等优点，可以实现工厂自动化、智能化及无人化的生产。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：包括清洗槽一(8)、清洗槽二(13)和气动泵(14)，所述清洗槽一(8)、清洗槽二(13)用于清洗不同的零配件,且均由清洗槽体内槽(24)和清洗槽体外槽(25)构成，所述清洗槽体外槽(25)装设于清洗槽体内槽(24)上部，所述清洗槽体外槽(25)顶部盖设有槽盖装置(10)，所述槽盖装置(10)与气缸装置(11)的活塞端相连，并在气缸装置(11)的带动下开启或盖合，所述气缸装置(11)、气动泵(14)的进气端均连接压缩空气管道(1)，所述气动泵(14)的进液端通过管道连接清洗槽体外槽(25)，所述气动泵(14)的输出端通过管道连接化学品过滤装置(15)，所述化学品过滤装置(15)另一端通过管道连接清洗槽体内槽(24)，所述清洗槽体外槽(25)内清洗液经过化学品过滤装置(15)输送回清洗槽体内槽(24)构成循环清洗回路，所述槽盖装置(10)和清洗槽体内槽(24)中均布置有进液进气管道(20)和万向喷头(21)，所述万向喷头(21)分布于进液进气管道(20)上，所述进液进气管道(20)与气动泵(14)相连，并在气动泵(14)的输送下通过万向喷头(21)将清洗液均匀喷洒至清洗零配件上进行清洗。

2.如权利要求1所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述清洗槽一(8)、清洗槽二(13)的进液进气管道(20)分别连接高纯纯水管道(3)，所述清洗槽一(8)、清洗槽二(13)底部分别装设有快排阀装置(9)，所述快排阀装置(9)通过管道连接废液排废管道(19)；所述快排阀装置(9)由快排阀(26)和快排阀支撑座(27)组装而成，所述快排阀(26)安装在清洗槽体内槽(24)底端，所述快排阀(26)外部设有用于对其进行支撑的快排阀支撑座(27)。

3.如权利要求1所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述清洗槽一(8)、清洗槽二(13)的进液进气管道(20)分别通过管道连接氮气加热系统(7)，所述氮气加热系统(7)另一端通过管道连接高纯氮气管道(2)，所述氮气加热系统(7)用于对输入的氮气进行加热，所述氮气通过万向喷头(21)对清洗零配件进行全方位吹扫及干燥作业。

4.如权利要求2所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述清洗槽一(8)、清洗槽二(13)的侧面均安装有超声波装置(12)，所述超声波装置(12)用于进行超声波震动，并使得清洗零配件上的杂质脱离，所述化学品过滤装置(15)输出端的管道上装设有压力传感器(16)，所述废液排废管道(19)上装设有取样分析装置(17)和泄露传感器(18)。

5.如权利要求4所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：还包括PLC控制箱(6)，所述PLC控制箱(6)分别连接槽盖装置(10)开关、气缸装置(11)、超声波装置(12)，所述PLC控制箱(6)设于主体设备内，所述主体设备采用聚丙烯PP包覆不锈钢骨架制作而成，所述主体设备顶部设置有高效过滤送风系统(4)和高效排风系统(5)。

6.如权利要求5所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述清洗槽体内槽(24)通过槽体支撑座(23)固定在主体设备内，所述槽盖装置(10)固定于桶盖加强筋(30)上，所述桶盖加强筋(30)呈H型结构，所述桶盖加强筋(30)与气缸装置(11)的活塞端连接。

7.如权利要求5所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述清洗槽一(8)、清洗槽二(13)均采用聚偏氟乙烯PVDF板材制作焊接而成，所述主体设备的管路材质采用特氟龙PFA软管加自动阀设计而成。

8.如权利要求1所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述气缸装置(11)由气缸、桶盖固定座(28)和气缸固定座(29)组成，所述气缸安装在气缸固定座(29)上，所述气缸固定座(29)固定于清洗槽体内槽(24)外部，所述气缸的活塞端连接槽盖装置(10)，所述槽盖装置(10)通过转轴可转动式连接在桶盖固定座(28)上，所述桶盖固定座(28)固定于清洗槽体外槽(25)外部。

9.如权利要求1所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述清洗槽一(8)用于清洗汲取管(22)，所述清洗槽二(13)用于清洗桶盖、接头及密封圈，所述清洗槽一(8)内插管清洗板上采用可拆卸洞洞板结构，所述插管清洗板采用支点接触汲取管(22)，且接触面积为2毫米以下。

10.如权利要求1所述的新型全自动电子级化学品桶配件清洗设备，其特征在于：所述槽盖装置(10)中的进液进气管道(20)的管路布局采用W型管路，所述槽盖装置(10)中的万向喷头(21)的焊接角度为90°间断式分布，并配一个直角喷头直喷汲取管(22)内壁；所述清洗槽体内槽(24)内管路布置设计为U型，且竖直方向间断分布。

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