CN213856111U - 一种化学品汲取管清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种化学品汲取管清洗设备，包括插管清洗盒，插管清洗盒中插装有汲取管，插管清洗盒底部连接有清洗液收集管，清洗液收集管通过管道连接清洗液泵，清洗液泵另一端通过管道连接清洗液过滤器，清洗液过滤器另一端通过管道连接清洗液喷嘴，清洗液喷嘴设于插管清洗盒上方，插管清洗盒中清洗液经清洗液过滤器过滤后输送至清洗液喷嘴，清洗液喷嘴将清洗液均匀喷洒至汲取管上进行清洗，清洗液喷嘴上方设置有氮气吹扫喷嘴，氮气吹扫喷嘴通过管道连接氮气吹扫过滤器，氮气吹扫过滤器另一端连接氮气管道，氮气吹扫喷嘴用于对汲取管进行吹干；本实用新型能够实现原液清洗方式以及氮气吹干的清洗作业，且清洗溶液可重复利用，清洗效率高。

Description

一种化学品汲取管清洗设备

[技术领域]

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体地说是一种化学品汲取管清洗设备。

[背景技术]

在大规模集成电路(IC)制造中需要使用大量高纯度电子级化学品，如RCA清洗、湿式蚀刻、光刻胶等。目前多数电子级化学品采用高洁净标准桶运输，储存。高洁净标准桶多数价格昂贵，必须重复使用。桶内自备的汲取管需要每次打开连接可能造成污染情况，所以每次需要单独取出清洗。目前市面上多采用手动清洗方式，及人工将汲取管放置在清洗盒子中晃动清洗。清洗的效果不一致，清洗溶液也无法重复利用，清洗效率低。且清洗过程中无氮气吹干装置进行吹干，清洗过程污染物无控制。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品汲取管清洗设备，能够实现原液清洗方式以及氮气吹干的清洗作业，且清洗溶液可重复利用，清洗效率高。

为实现上述目的设计一种化学品汲取管清洗设备，包括插管清洗盒7，所述插管清洗盒7中插装有汲取管8，所述插管清洗盒7底部连接有清洗液收集管17，所述清洗液收集管17通过管道连接清洗液泵16，所述清洗液泵16另一端通过管道连接清洗液过滤器15，所述清洗液过滤器15另一端通过管道连接清洗液喷嘴14，所述清洗液喷嘴14设于插管清洗盒7上方，所述插管清洗盒7中清洗液通过清洗液收集管17经清洗液泵16加压，通过清洗液过滤器15过滤后输送至清洗液喷嘴14，所述清洗液喷嘴14用于将清洗液均匀喷洒至汲取管8上进行清洗作业，所述清洗液喷嘴14上方设置有氮气吹扫喷嘴13，所述氮气吹扫喷嘴13通过管道连接氮气吹扫过滤器10，所述氮气吹扫过滤器10另一端通过管道连接氮气管道1，所述氮气吹扫喷嘴13用于对汲取管8进行吹干作业。

进一步地，所述氮气管道1连接有换向阀门2，所述换向阀门2、氮气吹扫过滤器10并联布置，所述换向阀门2另一端分别连接左右对称布置的左边控制阀3、右边控制阀11，所述左边控制阀3、右边控制阀11下方分别设置有左边控制顶针4、右边控制顶针12，所述左边控制顶针4、右边控制顶针12设于晃动气缸5上，所述晃动气缸5的输出端连接有吹扫控制盒子6，所述吹扫控制盒子6在晃动气缸5的带动下作左右往复运动，所述氮气吹扫喷嘴13、清洗液喷嘴14设于吹扫控制盒子6内。

进一步地，所述左边控制阀3、右边控制阀11的接触位置均采用滚轮设计，所述左边控制顶针4、右边控制顶针12的接触部分均采用60°接触圆角，所述左边控制阀3与左边控制顶针4以及右边控制阀11与右边控制顶针12之间均采用滚动接触。

进一步地，所述吹扫控制盒子6为底部敞口的半包覆结构，所述氮气吹扫喷嘴13与清洗液喷嘴14采用平行放置，且间距为可调式。

进一步地，所述插管清洗盒7与汲取管8采用支点接触，且接触面积为2毫米以下。

进一步地，所述插管清洗盒7上支点采用可拆卸式连接。

进一步地，所述清洗液喷嘴14采用60°喷洒角度，所述氮气吹扫喷嘴13采用一字型喷嘴吹扫。

进一步地，所述氮气管道1还通过管道连接至清洗液泵16，用于为清洗液泵16提供输送动力。

进一步地，所述插管清洗盒7一侧焊接有排风管道9，所述排风管道9端部伸入插管清洗盒7内，所述排风管道9与插管清洗盒7焊接位置在中下方位置利于废气排出。

进一步地，所述清洗液收集管17底部采用45°锥度设计。

本实用新型同现有技术相比，具有如下优点：

(1)本实用新型清洗液喷嘴角度完全覆盖汲取管，且汲取管放置在插管清洗盒上时采用支点接触，接触面积做到2毫米以下，从而最大限度保证清洗液能完全清洗到汲取管上，且插管清洗盒支点采用可更换设计，可以满足不同尺寸规格汲取管清洗需求；

(2)本实用新型采用氮气做动力源，使得在清洗光刻胶、稀释剂等有机物质时候满足防爆要求，且全气源作动力也是的设备移动安装更为方便，能满足不同的使用场景；

(3)本实用新型采用机械装置进行左右换向控制，使得此设备满足在防爆环境中使用，且机械换向控制简单，成本低；

(4)本实用新型氮气吹扫喷嘴、清洗液喷嘴放置在吹扫控制盒子中采用平行放置，吹扫和清洗时清洗液不容易溢出造成空间环境污染；

(5)本实用新型清洗液喷嘴采用60°大范围喷洒设计，清洗范围大，吹扫采用一字型喷嘴吹扫效果更佳；

综上，本实用新型采用原液清洗方式，氮气吹干装置，进行清洗作业；其中原液清洗采用压力喷嘴以一定角度喷洒清洗汲取管，且喷洒过程喷嘴进行左右运动，以不同角度进行全方位清洗；清洗完成后采用洁净氮气进行吹干操作，且吹干时候吹干喷嘴也进行左右运动，达到多角度覆盖吹干，值得推广应用。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1.氮气管道 2.换向阀门 3.左边控制阀 4.左边控制顶针 5.晃动气缸 6.吹扫控制盒子 7.插管清洗盒 8.汲取管 9.排风管道 10.氮气吹扫过滤器 11.右边控制阀12.右边控制顶针 13.氮气吹扫喷嘴 14.清洗液喷嘴 15.清洗液过滤器 16.清洗液泵 17.清洗液收集管。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图1所示，本实用新型提供了一种化学品汲取管清洗设备，包括插管清洗盒7，插管清洗盒7中插装有汲取管8，插管清洗盒7底部连接有清洗液收集管17，清洗液收集管17通过管道连接清洗液泵16，清洗液泵16另一端通过管道连接清洗液过滤器15，清洗液过滤器15另一端通过管道连接清洗液喷嘴14，清洗液喷嘴14设于插管清洗盒7上方，插管清洗盒7中清洗液通过清洗液收集管17经清洗液泵16加压，通过清洗液过滤器15过滤后输送至清洗液喷嘴14，清洗液喷嘴14用于将清洗液均匀喷洒至汲取管8上进行清洗作业，清洗液喷嘴14上方设置有氮气吹扫喷嘴13，氮气吹扫喷嘴13通过管道连接氮气吹扫过滤器10，氮气吹扫过滤器10另一端通过管道连接氮气管道1，氮气吹扫喷嘴13用于对汲取管8进行吹干作业；氮气管道1连接有换向阀门2，换向阀门2、氮气吹扫过滤器10并联布置，换向阀门2另一端分别连接左右对称布置的左边控制阀3、右边控制阀11，左边控制阀3、右边控制阀11下方分别设置有左边控制顶针4、右边控制顶针12，左边控制顶针4、右边控制顶针12设于晃动气缸5上，晃动气缸5的输出端连接有吹扫控制盒子6，吹扫控制盒子6在晃动气缸5的带动下作左右往复运动，氮气吹扫喷嘴13、清洗液喷嘴14设于吹扫控制盒子6内。

其中，左边控制阀3、右边控制阀11的接触位置均采用滚轮设计，左边控制顶针4、右边控制顶针12的接触部分均采用60°接触圆角，左边控制阀3与左边控制顶针4以及右边控制阀11与右边控制顶针12之间均采用滚动接触；吹扫控制盒子6为底部敞口的半包覆结构，氮气吹扫喷嘴13与清洗液喷嘴14采用平行放置，且间距为可调式；插管清洗盒7与汲取管8采用支点接触，且接触面积为2毫米以下，插管清洗盒7上支点采用可拆卸式连接。清洗液喷嘴14采用60°喷洒角度，氮气吹扫喷嘴13采用一字型喷嘴吹扫；氮气管道1还通过管道连接至清洗液泵16，用于为清洗液泵16提供输送动力；插管清洗盒7一侧焊接有排风管道9，排风管道9端部伸入插管清洗盒7内，排风管道9与插管清洗盒7焊接位置在中下方位置利于废气排出；清洗液收集管17底部采用45°锥度设计。

本实用新型中，插管清洗盒7中清洗液通过清洗液收集管17经过清洗液泵16加压，通过清洗液过滤器15进行过滤在在输送至清洗液喷嘴14，清洗液喷嘴14将清洗液均匀喷洒至汲取管8上进行清洗作业，喷洒后的清洗液会汇聚在清洗液收集管17中，进行重复利用。其中，插管清洗盒上时采用支点接触，接触面积做到2毫米以下，最大限度保证清洗液能完全清洗到汲取管上。清洗液喷嘴采用60°大范围喷洒设计角度完全覆盖汲取管，清洗范围大；氮气吹扫喷嘴13采用一字型喷嘴吹扫。插管清洗盒7上采用支点采用可更换设计，从而满足不同汲取管的使用需求。

氮气通过氮气管道1分成三个部分，一部分通过氮气吹扫过滤器10输送至于氮气吹扫喷嘴13对汲取管8进行吹干作业。另一部分通过换向阀门2输送至左边控制阀3和右边控制阀11对晃动气缸5晃动操作。最后一部分给清洗液泵16提供输送动力。其中，换向阀门2接触位置采用滚轮设计，滚动接触，接触过程更加平缓，使得开关柔和。

清洗作业时，晃动气缸5会运动使得左边控制顶针4接触左边控制阀3上机械开关，气源会换向输送至右边控制阀11使得晃动气缸5换向使得右边控制顶针12接触右边控制阀11在进行换向操作，让吹扫控制盒子6在形成范围内部不断做往复运动达到清洗过程的全覆盖。其中，左边控制顶针4和右边控制顶针12采用可调式接购接触部分采用60°接触圆角，接触换向阀门2时污染物和噪音可以得到控制。吹扫控制盒子6采用半包覆氮气吹扫喷嘴13和清洗液喷嘴14，使得喷嘴清洗时溶液和吹扫接触的溶液全部在吹扫控制盒子6内部。氮气吹扫喷嘴13、清洗液喷嘴14放置在吹扫控制盒子6中采用平行放置，间距60mm且高度可以调整，适应不同规格的汲取管8清洗吹干需求。

吹扫控制盒子6在插管清洗盒7上方运动，与排风管道9形成密闭操作空间保持空间环境的洁净度。其中，清洗液收集管17底部采用45°锥度设计，从而最大限度防止残夜和污染物堆积。排风管道9与插管清洗盒7焊接位置在中下方位置利于废气排出，且焊接是排风管道9放置进入插管清洗盒7中20mm,此设计使得废气中的废液能更有效分离出来。

本实用新型主要采用原液清洗方式，氮气吹干装置，进行清洗作业。其中原液清洗采用压力喷嘴以一定角度喷洒清洗汲取管，且喷洒过程喷嘴进行左右运动，以不同角度进行全方位清洗。清洗完成后采用洁净氮气进行吹干操作，且吹干时候吹干喷嘴也进行左右运动，达到多角度覆盖吹干，其余辅助装置保证清洗和吹干的效果。其中，原液采用气动泵进行输送，管道中添置过滤装置保持原液的洁净和污染物的控制。洁净氮气管道保证吹干效果和吹干过程中的污染物不增加。回风管道和清洗盒使得清洗过程在密闭环境中操作保证洁净度。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种化学品汲取管清洗设备，其特征在于：包括插管清洗盒(7)，所述插管清洗盒(7)中插装有汲取管(8)，所述插管清洗盒(7)底部连接有清洗液收集管(17)，所述清洗液收集管(17)通过管道连接清洗液泵(16)，所述清洗液泵(16)另一端通过管道连接清洗液过滤器(15)，所述清洗液过滤器(15)另一端通过管道连接清洗液喷嘴(14)，所述清洗液喷嘴(14)设于插管清洗盒(7)上方，所述插管清洗盒(7)中清洗液通过清洗液收集管(17)经清洗液泵(16)加压，通过清洗液过滤器(15)过滤后输送至清洗液喷嘴(14)，所述清洗液喷嘴(14)用于将清洗液均匀喷洒至汲取管(8)上进行清洗作业，所述清洗液喷嘴(14)上方设置有氮气吹扫喷嘴(13)，所述氮气吹扫喷嘴(13)通过管道连接氮气吹扫过滤器(10)，所述氮气吹扫过滤器(10)另一端通过管道连接氮气管道(1)，所述氮气吹扫喷嘴(13)用于对汲取管(8)进行吹干作业。

2.如权利要求1所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述氮气管道(1)连接有换向阀门(2)，所述换向阀门(2)、氮气吹扫过滤器(10)并联布置，所述换向阀门(2)另一端分别连接左右对称布置的左边控制阀(3)、右边控制阀(11)，所述左边控制阀(3)、右边控制阀(11)下方分别设置有左边控制顶针(4)、右边控制顶针(12)，所述左边控制顶针(4)、右边控制顶针(12)设于晃动气缸(5)上，所述晃动气缸(5)的输出端连接有吹扫控制盒子(6)，所述吹扫控制盒子(6)在晃动气缸(5)的带动下作左右往复运动，所述氮气吹扫喷嘴(13)、清洗液喷嘴(14)设于吹扫控制盒子(6)内。

3.如权利要求2所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述左边控制阀(3)、右边控制阀(11)的接触位置均采用滚轮设计，所述左边控制顶针(4)、右边控制顶针(12)的接触部分均采用60°接触圆角，所述左边控制阀(3)与左边控制顶针(4)以及右边控制阀(11)与右边控制顶针(12)之间均采用滚动接触。

4.如权利要求2所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述吹扫控制盒子(6)为底部敞口的半包覆结构，所述氮气吹扫喷嘴(13)与清洗液喷嘴(14)采用平行放置，且间距为可调式。

5.如权利要求1所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述插管清洗盒(7)与汲取管(8)采用支点接触，且接触面积为2毫米以下。

6.如权利要求5所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述插管清洗盒(7)上支点采用可拆卸式连接。

7.如权利要求1所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述清洗液喷嘴(14)采用60°喷洒角度，所述氮气吹扫喷嘴(13)采用一字型喷嘴吹扫。

8.如权利要求1所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述氮气管道(1)还通过管道连接至清洗液泵(16)，用于为清洗液泵(16)提供输送动力。

9.如权利要求1所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述插管清洗盒(7)一侧焊接有排风管道(9)，所述排风管道(9)端部伸入插管清洗盒(7)内，所述排风管道(9)与插管清洗盒(7)焊接位置在中下方位置利于废气排出。

10.如权利要求1所述的化学品汲取管清洗设备，其特征在于：所述清洗液收集管(17)底部采用45°锥度设计。

Images