CN217933738U - 晶圆料盒固定装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆料盒固定装置及检测设备，晶圆料盒固定装置包括置物平台、定位部与固定部，置物平台的顶部设有避让孔，定位部用于检测晶圆料盒是否放置于置物平台，固定部与定位部通讯连接，固定部包括限位钩，限位钩根据定位部的检测信息，从避让孔处伸出，以钩持晶圆料盒，或从避让孔处退回，以避让晶圆料盒；检测设备包括晶圆料盒固定装置。本实用新型中，通过限位钩对晶圆料盒钩持，实现晶圆料盒的固定，限位钩位于置物平台的底部，不占用置物平台的上部空间，限位钩接收固定部的检测信息，从避让孔伸出对晶圆料盒进行固定，或从避让孔处退出，对晶圆料盒进行避让，限位钩的动作便利度高，能够对晶圆料盒进行快速固定。

Description

晶圆料盒固定装置及检测设备

技术领域

本实用新型涉及电子器件生产及检测技术领域，尤其涉及一种晶圆料盒固定装置及检测设备。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，晶圆具有高精度、高集成度的特点，通常将一定数量的晶圆放置于料盒内，通过输送料盒实现对晶圆的批量转运，晶圆在生产过程中，需在不同的工序之间转移、定位，为保证晶圆的生产质量、剔除不良品、便于晶圆精确上料，晶圆取料过程中应对料盒进行固定，相关技术中，料盒的固定结构复杂，占用空间大，对料盒的固定效率低，影响晶圆的生产效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种晶圆料盒固定装置，结构简单，能够快速固定晶圆料盒。

本实用新型还提出一种具有上述晶圆料盒固定装置的检测设备。

根据本实用新型的第一方面实施例的晶圆料盒固定装置，用于固定晶圆料盒，包括：

置物平台，用于放置所述晶圆料盒，所述置物平台的顶部设有避让孔；

定位部，连接于所述置物平台，并用于检测所述晶圆料盒是否放置于所述置物平台；

固定部，与所述定位部通讯连接，并安装于所述置物平台的底部，所述固定部包括限位钩，所述限位钩设置为，根据所述定位部的检测信息，从所述避让孔处伸出，以钩持所述晶圆料盒，或从所述避让孔处退回，以避让所述晶圆料盒。

根据本实用新型实施例的晶圆料盒固定装置，至少具有如下有益效果：

本实用新型的实施例中，通过限位钩对晶圆料盒的钩持，实现晶圆料盒的固定，限位钩的结构简单，限位钩位于置物平台的底部，不占用置物平台的上部空间，限位钩接收固定部的检测信息，并根据该检测信息从避让孔伸出对晶圆料盒进行固定，或从避让孔处退出，对晶圆料盒进行避让，限位钩的动作便利度高，能够对晶圆料盒进行快速固定。

根据本实用新型的一些实施例，所述固定部还包括第一驱动件，所述第一驱动件与所述限位钩连接，所述第一驱动件用于驱动所述限位钩升降或旋转。

根据本实用新型的一些实施例，所述限位钩包括相互连接的安装段与限位段，所述安装段与所述第一驱动件连接，至少部分所述限位段的底面能够与所述晶圆料盒的底壁接触并相互钩持。

根据本实用新型的一些实施例，所述固定部还包括多个抵持件，多个所述抵持件可移动地连接于所述置物平台，并围设于所述限位钩的外周，所述抵持件能够靠近或远离所述限位钩，以抵持或释放所述晶圆料盒。

根据本实用新型的一些实施例，所述固定部还包括第二驱动件与至少一个支架，所述支架连接于所述第二驱动件的输出端，每一所述抵持件均与所述支架连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述定位部设置于所述固定部的侧部，所述定位部包括压力传感器，所述压力传感器露出至所述置物平台的上方，所述压力传感器用于检测所述晶圆料盒的重力值。

根据本实用新型的一些实施例，所述定位部还包括多个感应组，每一所述感应组均包括至少一个感应件，所述感应件用于感应是否被所述置物平台压持，所述限位钩设置为，当所有所述感应件均未被压持时，从所述避让孔处伸出，并钩持所述晶圆料盒。

根据本实用新型的一些实施例，所述置物平台包括第一置物板与第二置物板，所述第一置物板与所述第二置物板层叠设置，部分的所述定位部与所述限位部位于所述第一置物板与所述第二置物板之间，所述第一置物板能够相对所述第二置物板翻转。

根据本实用新型的一些实施例，还包括输送部，所述输送部包括输送轨与第三驱动件，所述置物平台滑动连接于所述输送轨，所述第三驱动件与所述置物平台连接，并用于驱动所述置物平台沿所述输送轨移动。

根据本实用新型的第二方面实施例的检测设备，包括：

第一方面实施例的晶圆料盒固定装置；

晶圆检测装置，沿所述晶圆的流向设置于所述晶圆料盒固定装置的下游，所述晶圆检测装置用于对所述晶圆进行检测。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型晶圆料盒固定装置一个实施例的结构示意图；

图2为图1中晶圆料盒固定装置隐藏部分结构后的示意图；

图3为晶圆料盒一个实施例的示意图；

图4为晶圆料盒与固定装置的配合示意图；

图5为置物平台隐藏外壳后的示意图。

附图标记：

固定晶圆料盒100，限位筋110，限位槽120，检测位130；置物平台200，避让孔210，第一置物板220，第二置物板230，安装外壳240；定位部300，压力传感器310，感应组320，感应件321；固定部400，限位钩410，安装段411，限位段412，第一驱动件420，抵持件430，第二驱动件440，支架450；输送部500，输送轨510，第三驱动件520，滑动体530。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

参照图1与图4，本实用新型的实施例中提供了一种晶圆料盒100固定装置(以下简称固定装置)，用于固定晶圆料盒100，固定装置包括置物平台200、定位部300与固定部400，置物平台200用于放置晶圆料盒100，为晶圆料盒100提供平整的放置平面，定位部300连接于置物平台200，并用于检测晶圆料盒100是否放置于置物平台200上，定位部300与固定部400通讯连接，通讯连接不限于蓝牙、红外、WiFi、线缆等方式，定位部300检测到有晶圆料盒100放置于置物平台200上时，向固定部400发送检测信息，由固定部400对晶圆料盒100进行固定。固定部400安装于置物平台200的底部，置物平台200的顶部设置有避让孔210，固定部400包括限位钩410，限位钩410可从避让孔210穿过，以伸出至置物平台200的上方，或者回退至置物平台200的底部；限位钩410设置为，根据定位部300的检测信息，从避让孔210处伸出或回退，如，置物平台200上未放置晶圆料盒100时，限位钩410处于回退状态，对晶圆料盒100的放置进行避位，定位部300检测到晶圆料盒100放置于置物平台200上时，限位钩410从避让孔210处伸出，以钩持晶圆料盒100，对晶圆料盒100进行固定，晶圆料盒100无需固定时，限位钩410从避让孔210处退回至置物平台200的底部，以便于对晶圆料盒100进行置换、转移。

由此，本实用新型的实施例中，通过限位钩410对晶圆料盒100的钩持，实现晶圆料盒100的固定，限位钩410的结构简单，限位钩410位于置物平台200的底部，不占用置物平台200的上部空间，限位钩410接收固定部400的检测信息，并根据该检测信息从避让孔210伸出对晶圆料盒100进行固定，或从避让孔210处退出，对晶圆料盒100进行避让，限位钩410的动作便利度高，能够对晶圆料盒100进行快速固定。

如图2所示，固定部400包括第一驱动件420，第一驱动件420与限位钩410连接，第一驱动件420用于驱动限位钩410升降或旋转，以使限位钩410从避让孔210处伸出或退回。具体的，在一个实施例中，第一驱动件420能够驱动限位钩410平移和升降，第一驱动件420可以选用直线电机、丝杆等直线驱动部件的组合，限位钩410上升时从避让孔210处伸出，限位钩410下降时，从避让孔210处退回，限位钩410在水平面内平移时，钩持或脱离晶圆料盒100；在另一实施例中，第一驱动件420驱动限位钩410平移和旋转，第一驱动件420可以选用旋转气缸，限位钩410朝上转动时，从避让孔210处伸出，限位钩410朝下转动时，从避让孔210处退回，限位钩410平移时，钩持或脱离晶圆料盒100；需要说明的是，采用平移与旋转组合驱动限位钩410的方式，第一驱动件420所占用的空间减小，有利于提高固定装置中各结构的紧凑度。

需要说明的是，为便于限位钩410与晶圆料盒100的底壁钩持，晶圆料盒100的底壁上应设置有相应的限位机构与限位钩410相互钩持，如图3所示，晶圆料盒100的底壁向下突出设置有限位筋110，限位筋110与晶圆料盒100的底壁之间具有可够限位钩410插入的限位槽120，限位钩410插入限位槽120后，限位钩410的底部与限位筋110抵持，二者在竖直方向上进行限位，实现对晶圆料盒100的固定。

进一步的，如图5所示，限位钩410包括相互连接的安装段411与限位段412，安装段411与第一驱动件420连接，至少部分限位段412的底面能够与晶圆料盒100的底壁接触并相互钩持，限位段412的底面与晶圆料盒100的底壁之间具有较大的摩擦力，保证限位钩410对晶圆料盒100的钩持力度。具体的，限位钩410对晶圆料盒100固定时，限位段412插入限位槽120内，限位段412的底面与限位筋110接触，实现限位钩410与限位筋110的相互钩持。

进一步的，为便于限位钩410在避让孔210内的避位，以及限位段412与限位筋110之间的钩持，限位段412可以相对于安装段411弯折设置，由此，限位段412应包括与限位筋110平行设置的部分，以及与安装段411相互弯折的部分，并且与限位筋110平行设置的部分应位于限位段412远离安装段411的一端。

如图2所示，固定部400包括多个抵持件430，多个抵持件430可移动地连接于置物平台200，并围设于限位钩410的外周，晶圆料盒100放置于置物平台200后，抵持件430位于限位钩410的外侧，抵持件430能够靠近或远离限位钩410，从而，从置物平台200的外侧对置物平台200进行抵持，以辅助限位钩410对置物平台200进行固定，或者将晶圆料盒100释放，便于晶圆料盒100的转运、替换。

由于抵持件430可移动，因此抵持件430可以对不同型号、规格的晶圆料盒100进行限位，固定装置的适用范围较广；并且，多个抵持件430分别从不同的方向对晶圆料盒100进行抵持，提高了固定部400对晶圆料盒100的限位强度，使晶圆料盒100在水平面内得到固定，从而，抵持件430在水平方向上对晶圆料盒100进行限位，限位钩410在竖直方向上对晶圆料盒100进行限位，抵持件430与限位钩410组合作用，使晶圆料盒100稳定固定于置物平台200上。

固定部400还包括第二驱动件440与至少一个支架450，支架450连接于第二驱动件440的输出端，每一抵持件430均与支架450连接，第二驱动件440动作时，通过支架450带动抵持件430移动，使抵持件430靠近或远离晶圆料盒100。如图2所示，第二驱动件440可以选用双向伸缩气缸，固定部400包括两个支架450与四个抵持件430，每一支架450上均连接有两个抵持件430，第二驱动件440包括两个输出端，每一输出端连接有一个支架450，两个支架450可以同步动作，并带动四个抵持件430移动，四个抵持件430分别抵持晶圆料盒100底壁上设置的定位结构，或者晶圆料盒100的外壁，以在水平方向上对晶圆料盒100进行限位。

定位部300对晶圆料盒100的检测可以是，当晶圆料盒100放置于置物平台200上后，由于晶圆料盒100的压持，定位部300中的检测元件被触发，检测元件得到晶圆料盒100已放置于置物平台200上的信息，并传递至固定部400，使限位钩410对晶圆料盒100进行固定；定位部300对晶圆料盒100的检测还可以是，晶圆料盒100上设置有若干检测位130，定位部300中的检测元件被检测位130触发时，检测元件得到晶圆料盒100已放置于置物平台200上并且放置位置正确的信息，并传递至固定部400，使限位钩410对晶圆料盒100进行固定，或者，定位部300中用于定位的检测元件未被触发，用于检测晶圆料盒100是否放置于置物平台200上的检测元件被触发，此时检测元件向固定部400发送晶圆料盒100放置到位的信息，使限位钩410对晶圆料盒100进行固定。

具体的，在一个实施例中，固定部400设置于固定部400的侧部，定位部300包括压力传感器310，压力传感器310露出至置物平台200的上方，晶圆料盒100放置于置物平台200上方后，压持压力传感器310，压力传感器感310知到晶圆料盒100已放置于置物平台200上，并将信息传递至固定部400，对晶圆料盒100进行固定。

进一步的，晶圆料盒100内设置有供晶圆放置的托架，多个晶圆层叠放置于晶圆料盒100的内部，晶圆料盒100以满载状态放置于置物平台200上时，压力传感器310所检测到的数值为晶圆料盒100与晶圆的重力和，因此，可以通过检测晶圆料盒100的重量，来获知晶圆料盒100中的晶圆是否全部取出。如，在一个实施例中，压力传感器310可以检测晶圆料盒100的重力值，单独一个晶圆料盒100的重量为M，单独一个晶圆的重量为H，当晶圆料盒100内放置有n个晶圆时，满载的晶圆料盒100重量为M+n*M；因此，当压力传感器310检测到的数值大于M(M为一数值范围)时，说明晶圆料盒100内还放置有晶圆，此时限位钩410持续钩持晶圆料盒100，保证晶圆料盒100的位置精度，当压力传感器310检测到的数值等于M时，说明晶圆料盒100内的晶圆已全部取出，此时，可以撤去限位钩410对晶圆料盒100的钩持。

在另一实施例中，定位部300包括多个感应组320，每一感应组320均包括至少一个感应件321，感应件321用于感应是否被置物平台200上的检测位130压持，在感应件321未被压持时，定位部300发出晶圆料盒100位置正确的信息，固定部400对晶圆料盒100进行固定，在至少有一个感应件321被压持时，定位部300发出晶圆料盒100未放置正确的报警信号，提示晶圆料盒100应重新放置。通过设置感应组320可以提高定位部300对晶圆料盒100的定位精度，保证晶圆料盒100放置的精确度。

需要说明的是，不同的感应组320可以对分布于晶圆料盒100不同位置的检测位130进行位置感应，多个感应组320组合作用，可以保证定位部300对晶圆料盒100的定位精度。并且，每一感应组320内的不同感应件321对同一检测位130的不同位置进行检测，如，同一感应组320内的不同感应件321的排布与检测位130的轮廓相匹配，以保证每一检测位130均得到精确定位，进一步提高了定位部300对晶圆料盒100的定位精度。

如图5所示，置物平台200包括第一置物板220与第二置物板230，第一置物板220与第二置物板230层叠设置，部分的定位部300与固定部400设置于第一置物板220与第二置物板230之间，第一置物板220与第二置物板230的一侧通过铰接、转动连接的方式相互连接，使第一置物板220与第二置物板230能够相对翻转，便于对二者之间的电气元件进行维护。

进一步的，第一置物板220位于第二置物板230的上方，置物平台200还包括安装外壳240，安装外壳240包覆于第一置物板220的外部，安装外壳240对内部的电气元件进行保护，并用于放置晶圆料盒100。

如图2所示，固定装置还包括输送部500，输送部500包括输送轨510与第三驱动件520，输送轨510上滑动连接有滑动体530，滑动体530与置物平台200连接，第三驱动件520与滑动块连接，并驱动滑动块沿输送轨510移动，以带动置物平台200沿输送轨510移动。通过设置输送部500，可以调节置物平台200的位置，使晶圆料盒100的位置与上料模组等其他部件配合，便于晶圆料盒100的取放料。

本实用新型还提供了一种检测设备，包括上述的晶圆料盒100固定装置，还包括晶圆检测装置，晶圆检测装置在晶圆的流向上设置于晶圆料盒100固定装置的下游，晶圆检测装置用于对晶圆进行检测，晶圆的检测包括电性能检测、外观检测等。

另外，检测设备还可包括上料装置、转运装置等，上料装置与转运装置可以设置于晶圆料盒100固定装置与晶圆检测装置之间，上料装置取出晶圆料盒100内的晶圆，并放置于转运装置处，转运装置用于将晶圆转运至晶圆检测装置进行检测。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.晶圆料盒固定装置，用于固定晶圆料盒，其特征在于，包括：

置物平台，用于放置所述晶圆料盒，所述置物平台的顶部设有避让孔；

定位部，连接于所述置物平台，并用于检测所述晶圆料盒是否放置于所述置物平台；

固定部，与所述定位部通讯连接，并安装于所述置物平台的底部，所述固定部包括限位钩，所述限位钩设置为，根据所述定位部的检测信息，从所述避让孔处伸出，以钩持所述晶圆料盒，或从所述避让孔处退回，以避让所述晶圆料盒。

2.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述固定部还包括第一驱动件，所述第一驱动件与所述限位钩连接，所述第一驱动件用于驱动所述限位钩升降或旋转。

3.根据权利要求2所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述限位钩包括相互连接的安装段与限位段，所述安装段与所述第一驱动件连接，至少部分所述限位段的底面能够与所述晶圆料盒的底壁接触并相互钩持。

4.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述固定部还包括多个抵持件，多个所述抵持件可移动地连接于所述置物平台，并围设于所述限位钩的外周，所述抵持件能够靠近或远离所述限位钩，以抵持或释放所述晶圆料盒。

5.根据权利要求4所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述固定部还包括第二驱动件与至少一个支架，所述支架连接于所述第二驱动件的输出端，每一所述抵持件均与所述支架连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述定位部设置于所述固定部的侧部，所述定位部包括压力传感器，所述压力传感器露出至所述置物平台的上方，所述压力传感器用于检测所述晶圆料盒的重力值。

7.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述定位部还包括多个感应组，每一所述感应组均包括至少一个感应件，所述感应件用于感应是否被所述置物平台压持，所述限位钩设置为，当所有所述感应件均未被压持时，从所述避让孔处伸出，并钩持所述晶圆料盒。

8.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，所述置物平台包括第一置物板与第二置物板，所述第一置物板与所述第二置物板层叠设置，部分的所述定位部与所述固定部位于所述第一置物板与所述第二置物板之间，所述第一置物板能够相对所述第二置物板翻转。

9.根据权利要求1所述的晶圆料盒固定装置，其特征在于，还包括输送部，所述输送部包括输送轨与第三驱动件，所述置物平台滑动连接于所述输送轨，所述第三驱动件与所述置物平台连接，并用于驱动所述置物平台沿所述输送轨移动。

10.检测设备，其特征在于，包括：

权利要求1至9中任一项所述的晶圆料盒固定装置；

晶圆检测装置，沿所述晶圆的流向设置于所述晶圆料盒固定装置的下游，所述晶圆检测装置用于对所述晶圆进行检测。

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