KR20100087573A - 트레이 이송장치 - Google Patents

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KR20100087573A
KR20100087573A KR1020090006669A KR20090006669A KR20100087573A KR 20100087573 A KR20100087573 A KR 20100087573A KR 1020090006669 A KR1020090006669 A KR 1020090006669A KR 20090006669 A KR20090006669 A KR 20090006669A KR 20100087573 A KR20100087573 A KR 20100087573A
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Abstract

본 발명의 트레이 이송장치는 트레이(10)를 수납하기 위한 트레이 수납부(530)와, 트레이(10)를 회전시키기 위한 트레이 회전 실린더(540)와, 트레이(10)를 후크하기 위한 트레이 후크 유니트(560)로 이루어진 트레이 회전장치(500)와; 베이스 부재(624,634)에 각기 설치된 구동축(620)과 가이드축(630)의 양측에 각기 풀리(622,632)를 개재하여 삽설되는 체인부(640)와, 체인부(640)의 상부에 설치되며, 트레이(10)를 수납하여 지지하도록 복수개의 절곡부(652)가 형성된 지지부(650)와, 상기 체인부(640)를 구동시키기 위한 구동장치(644)로 이루어진 트레이 이동장치(600)와; 트레이 지지장치(700)와; 상기 트레이 회전장치(500)로부터 제공된 트레이(10)를 안착시키는 안착부(810)와, 가이드부(820)와, 그 일측에 랙(832)과, 상기 랙(832)과 연결된 피니언(834)을 갖는 보조 가이드부(830)와, 피니언(834)과 축(835)에 의해 연결되는 풀리(840)와, 풀리(840)와 벨트(850)를 개재하여 연결되는 다른 풀리(842)와, 풀리(840,842)들을 동작시키기 위한 구동수단(860)으로 이루어진 트레이 안착장치(800)와; 트레이 누름장치(900)로 이루어진다.
핸들러, 트레이, 이송장치

Description

트레이 이송장치{Tray Transferring Apparatus}
본 발명은 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히 핸들러의 챔버 내에서 반도체 소자가 장착된 트레이를 소정 거리를 적절히 이동시킬 수 있는 트레이 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 테스트하는 핸들러는 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트뿐만 아니라, 반도체 소자들이 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행하는지의 여부를 테스트하는 고온 테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
이러한 고온 및 저온 테스트를 수행하는 핸들러들에서는 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하고, 반도체 소자들이 장착된 내열성의 트레이를 한 스텝(step)씩 진행시키면서 반도체 소자들이 소정의 온도 상태를 갖도록 한 후, 이를 테스터의 테스트 소켓에 장착하여 테스트를 수행하게 된다.
이와 같이 핸들러의 챔버내에서 테스트 트레이를 한 스텝씩 이송하여 주는 역할은 챔버 내부에 마련된 별도의 이송장치에 의해 수행된다.
종래, 트레이 이송장치는 테스트 트레이의 진행방향을 따라 복수개의 테스트 트레이 걸림홀이 형성된 복수개의 홀더축 및 이송축이 상호 반대로 90도씩 회전하면서 테스트 트레이를 직립 상태로 지지하고, 상기 홀더축이 테스트 트레이의 고정상태를 해제한 상태에서 상기 이송축이 진행방향을 따라 전진함으로써 테스트 트레이가 1스텝씩 전진하도록 구성됨과 더불어, 최종 이송축이 챔버 끝단 위치에서 트레이를 지지 및 해제하도록 구성되며, 최종 이송축이 최종 홀더축의 테스트 트레이를 챔버 내측벽의 트레이 가이드레일로 이송하여 주도록 구성되어 있다.
예를들어, 종래의 트레이 이송장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버의 외부에 설치된 트레이 회전장치(100)로부터 트레이(10)가 하강하게 되면, 트레이 지지장치(300)에서 안내장치(170)의 가이드 부재(160)가 트레이(10)의 일측을 안내하면서 트레이 이동장치(200)의 체인부(40)에 안착시키게 된다. 상기 트레이(10)는 체인부(40)의 상부에 설치된 절곡부(52)에 안착되게 된다.
트레이(10)가 절곡부(52)에 안착되게 되면, 센서(29)가 이를 감지하게 된다. 그리고, 가이드 부재(160)가 전,후진 실린더(168)에 의해 후방으로 빠지게 되면 트레이(10)가 이송바아(60)의 스크류(62)의 사이에 끼워지게 된다. 즉, 상기 트레이(10)는 그 하부면이 지지부(50)의 절곡부(52)에 의해 지지되고, 그 측면이 이송바아(60) 및 수평바(180)에 의해 지지된다.
그리고, 상기 트레이(10)는 체인부(40)를 구동시키는 구동장치(44) 즉, 모터의 동작에 의해 전방으로 소정 피치씩 이동하게 된다. 또한, 상기 체인부(40)의 양측에는 각기 가이드 롤러(56)가 설치되어 있으므로 트레이(10)의 이동시 체인 부(40)의 텐션을 조정하면서 이동하게 되어 트레이(10)를 안정되게 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 구동장치(44)의 동작과 동시에 이송바아(60)를 이동시키는 구동장치(70)도 동시에 동작하여 트레이(10)의 하부면 및 측면을 지지하면서 이동하게 된다.
한편, 트레이(10)가 상기 체인부(40)의 끝단에 오게 되면 센서(39)가 감지하게 되고, 도시되지 않은 별도의 승강수단에 의해 트레이를 다른 위치로 승강시키게 된다.
그러나, 종래의 트레이 이송장치는 트레이 회전장치로부터 트레이가 챔버의 내부로 투입시 트레이 안착 리프터에 안착되는데 실린더 구동으로 체인부에 안착시 트레이에 충격이 직접적으로 전달되는 문제점이 있다. 또한, 트레이의 빠른 속도로 인해 트레이의 안착이 제대로 되지 않는 문제점을 내포하고 있다.
본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 구조를 간단하게 개선하고, 공급되는 트레이의 속도를 조정하여 트레이의 이송시 안정성과 신속성을 향상시킬 수 있는 트레이 이송장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 다른 목적은 챔버내에 트레이 승강수단을 설치하여 트레이 회전장치로부터 트레이가 연속하여 챔버내로 공급되더라도 2매의 트레이를 모아서 이동시킬 수 있는 트레이 이송장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 체인 및 스크류의 구동을 한개 또는 두개의 모터 로 할 수 있고 특히, 한개의 구동원을 이용하여 체인 및 스크류의 구동을 하는 경우에는 두개의 모터의 초기화 및 위치 틀어짐 문제등을 해결할 수 있는 트레이 이송장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 트레이 이송장치는 트레이를 수납하기 위한 트레이 수납부와, 베이스부의 상부에 설치되며, 그 상부에 캠판이 설치되는 가이드판과, 트레이를 회전시키기 위한 트레이 회전 실린더와, 회전축을 지지하기 위한 지지블럭과, 트레이를 후크하기 위한 트레이 후크 유니트로 이루어진 트레이 회전장치와; 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 각기 설치된 구동축과 가이드축의 양측에 각기 풀리를 개재하여 삽설되는 체인부와, 상기 체인부의 상부에 설치되며, 트레이를 수납하여 지지하도록 복수개의 절곡부가 형성된 지지부와, 상기 체인부를 구동시키기 위한 구동장치로 이루어진 트레이 이동장치와; 트레이의 이송방향을 향해 연장되게 설치되며, 트레이의 측면을 지지하기 위하여 그 외주면에 스크류가 형성된 이송바아와, 상기 이송바아를 동기적으로 회동시키기 위한 구동장치로 이루어진 트레이 지지장치와; 상기 트레이 회전장치로부터 제공된 트레이를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부와 연결되며 가이드바를 따라서 상,하로 이동가능하게 연결되는 가이드부와, 상기 가이드부와 연결되며 그 일측에 랙과, 상기 랙과 연결된 피니언을 갖는 보조 가이드부와, 상기 피니언과 축에 의해 연결되는 풀리와, 상기 풀리와 벨트를 개재하여 연결되는 다른 풀리와, 상기 풀리들을 동작시키기 위한 구동수단으로 이루어진 트레이 안착장치와; 가이드 부재와, 상기 가이드 부재의 연결축에 각기 연결된 적어도 한 개 이상의 부시와, 상기 연결축을 상호 연결하기 위한 연결부재와, 브라켓에 설치되어 가이드 부재를 전,후진시키기 위한 구동원인 실린더로 이루어진 트레이 누름장치로 이루어지는 점에 있다.
본 발명의 트레이 이송장치는 트레이를 수납하기 위한 트레이 수납부와, 베이스부의 상부에 설치되며, 그 상부에 캠판이 설치되는 가이드판과, 트레이를 회전시키기 위한 트레이 회전 실린더와, 회전축을 지지하기 위한 지지블럭과, 트레이를 후크하기 위한 트레이 후크 유니트로 이루어진 트레이 회전장치와; 베이스 부재와, 상기 베이스 부재에 각기 설치된 구동축과 가이드축의 양측에 각기 풀리를 개재하여 삽설되는 체인부와, 상기 체인부의 상부에 설치되며, 트레이를 수납하여 지지하도록 복수개의 절곡부가 형성된 지지부와, 상기 체인부를 구동시키기 위한 구동장치로 이루어진 트레이 이동장치와; 트레이의 이송방향을 향해 연장되게 설치되며, 트레이의 측면을 지지하기 위하여 그 외주면에 스크류가 형성된 이송바아와, 상기 이송바아에 순차적으로 연결된 연결부재 및 부시와, 벨트에 의해 서로 연결되며, 이송바아와 구동원인 모터의 축에 각기 설치된 풀리 및 브라켓의 일측에 설치되며, 상기 이송바아를 동작시키기 위한 구동수단인 모터로 이루어진 트레이 지지장치와; 트레이 회전장치로부터 제공된 트레이를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부와 연결되며 가이드바를 따라서 상,하로 이동가능하게 연결되는 가이드부와, 상기 가이드부와 연결되며 그 일측에 랙과, 상기 랙과 연결된 피니언을 갖는 보조 가이드부와, 상기 피니언과 축에 의해 연결되는 풀리와, 상기 풀리와 벨트를 개재하여 연결되는 다른 풀리와, 상기 풀리들을 동작시키기 위한 구동수단으로 이루어진 트레이 안착 장치와; 가이드 부재와, 상기 가이드 부재의 연결축에 각기 연결된 적어도 한 개 이상의 부시와, 상기 연결축을 상호 연결하기 위한 연결부재와, 브라켓에 설치되어 가이드 부재를 전,후진시키기 위한 구동원인 실린더로 이루어진 트레이 누름장치로 이루어지는 점에 있다.
본 발명의 트레이 이송장치는 챔버로 유입된 트레이의 속도를 제어하게 되므로 트레이를 안정적으로 이송시킬 수 있다.
또한, 복수개의 트레이를 이송시킬 수 있으므로 모터의 초기화 및 트레이의 틀어짐을 제거할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 트레이 이송장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 트레이 이송장치는 트레이 회전장치(500), 트레이 이동장치(600), 트레이 지지장치(700), 트레이 안착장치(800)로 이루어진다.
상기 트레이 회전장치(500)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스부(510)와, 상기 베이스부(510)의 상부 양측에 설치되며 회전축(522)이 삽설되는 지지부(520)와, 상기 지지부(520)의 일측에 설치되며 트레이(10)를 수납하기 위한 트레이 수납부(530)와, 상기 베이스부(510)의 상부에 설치되며, 그 상부에 캠판(532)이 설치되는 가이드판(534)과, 트레이(10)를 회전시키기 위한 트레이 회전 실린더(540)와, 상기 회전축(522)을 지지하기 위한 지지블럭(550)으로 구성된다.
상기 베이스부(510)는 트레이 회전장치(500)를 지지하기 위한 것으로, 챔버(도시되지 않음)의 외측에 설치된다. 상기 지지부(520)의 일측에는 회전축(522)을 회동시키기 위한 구동수단(도시되지 않음)이 설치된다. 즉, 회전축(522)의 회전에 의해 트레이(10)를 수평상태에서 수직상태 또는 수직상태에서 수평상태로 자세변화를 시킬 수 있다. 상기 트레이 수납부(530)는 "ㄷ"자 형태로 이루어지고 그 내부에 소정 간격을 두고 롤러(도시되지 않음)가 형성되어 트레이(10)의 이동을 용이하게 하도록 구성된다. 상기 트레이 회전 실린더(540)는 트레이(10)의 이동을 할 수 있도록 구동수단(도시되지 않음)에 연결된다. 그리고, 상기 가이드판(534)의 상부에는 캠판(532)이 설치되고, 상기 캠판(532)상에는 LM 레일(542)이 형성되고, 상기 LM 레일(542)을 따라서 이동하는 LM 가이드(544)가 형성된다. 그리고, 상기 LM 레일(542)을 따라서 연장된 위치에 트레이(10)를 후크하기 위한 트레이 후크 유니트(560)가 설치된다. 상기 트레이 후크 유니트(560)는 유입되는 트레이(10)를 후크(hook)하여 수평상태로 유지한 후, 회전축(522)을 회전시켜 트레이(10)를 수직상태로 만든후, 다시 트레이 후크 유니트(560)가 트레이(10)를 밀어서 수직상태로 유지하여 후술하는 트레이 이동장치(600)로 이동시키게 된다. 도 2에서, 미설명 부호 570은 트레이 엘리베이터 셔터이다.
트레이 이동장치(600)는 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 챔버(도시되지 않음)의 내부에 설치되며, 베이스 부재(624,634)와, 상기 베이스 부재(624,634)에 각기 설치된 구동축(620)과 가이드축(630)의 양측에 각기 풀리(622,632)를 개재하여 삽설되는 체인부(640)와, 상기 체인부(640)의 상부에 설치되며, 트레이(10)를 수납하여 지지하도록 복수개의 절곡부(652)가 형성된 지지부(650)와, 상기 체인부(640)를 구동시키기 위한 구동장치(644)로 이루어진다.
상기 베이스 부재(624,634)는 "U"자 형태로 챔버(도시되지 않음)의 하부 소정부위에 설치된다. 그리고, 구동축(620)은 복수개의 풀리(622,622)에 끼워지고, 부시(626)를 개재하여 구동장치(644)에 연결된다. 그리고, 상기 구동장치(644)는 브라켓(646)의 일측에 형성된 홀(도시되지 않음)에 그 축(도시되지 않음)이 끼워져 부시(626)에 연결되게 구성되어 있다.
한편, 상기 베이스 부재(624,634)의 일측에는 소정 간격을 두고 복수개의 보조 브라켓(628,638)이 설치되고, 그 일측에는 적어도 한 개 이상의 센서(629,639)가 설치되고, 상기 센서(629,639)는 트레이(10)의 유무를 검출하는 역할을 하게 된다. 또한, 상기 체인부(640)의 중앙에는 소정 간격을 두고 양측으로 체인의 이동량 및 텐션을 안정되게 조절하기 위한 가이드 롤러(656)가 브라켓(658)에 설치되어 있다. 여기서, 각 체인부(640)에는 상기 가이드 롤러(656)가 각기 2개씩 설치되어 있다.
트레이 지지장치(700)의 일 실시예로 도 4에 도시된 바와 같이, 트레이(10)의 이송방향을 향해 연장되게 설치되며, 트레이(10)의 측면을 지지하기 위하여 그 외주면에 스크류(662)가 형성된 이송바아(660)와, 상기 이송바아(660)를 동기적으로 회동시키기 위한 구동장치(670)로 이루어진다. 그리고, 상기 이송바아(660)는 연결부재(666) 및 부시(668)를 개재하여 구동장치(670)에 연결된다.
한편, 상기 트레이 지지장치(700)의 다른 실시예로는 도 5에 도시된 바와 같 이, 트레이(10)의 이송방향을 향해 연장되게 설치되며, 트레이(10)의 측면을 지지하기 위하여 그 외주면에 스크류(662)가 형성된 이송바아(660)와, 상기 이송바아(660)에 순차적으로 연결된 연결부재(710) 및 부시(720)와, 벨트(744)에 의해 서로 연결되며, 이송바아(660)와 구동원인 모터(750)의 축(도시되지 않음)에 각기 설치된 풀리(730,740) 및 브라켓(760)의 일측에 설치되며, 상기 이송바아(660)를 동작시키기 위한 구동수단인 모터(750)로 구성시킬 수도 있다. 상기 풀리(730,740)는 브라켓(760)의 측면 위쪽에 설치된 롤러(762)의 외측을 경유하여 벨트(744)로 연결된다. 상기 롤러(762)는 벨트(744)의 텐션을 적절히 조정하기 위한 것이다.
또한, 스크류(662)의 일측에는 트레이(10)를 보다 안정되게 수납하여 안내하도록 안내장치(680)가 설치된다. 상기 안내장치(680)는 가이드 부재(682)와, 상기 가이드 부재(682)의 일측에 연결된 적어도 한 개 이상의 부시(684)와, 상기 부시(684)에 연결되는 브라켓(686)과, 상기 브라켓(686)에 설치되어 가이드 부재(682)를 전,후진시키기 위한 구동원인 실린더(688)로 구성된다. 또한, 트레이(10)는 그 일측이 상기 안내장치(680)에 의해 지지되지만, 그 타측은 챔버의 내측에 설치된 수평바(690)에 의해 지지되도록 구성되어 있다.
한편, 트레이 안착장치(800)는 상기 트레이 회전장치(500)로부터 제공된 트레이(10)를 안착시키는 안착부(810)와, 상기 안착부(810)와 연결되며 가이드바(814)를 따라서 상,하로 이동가능하게 연결되는 가이드부(820)와, 상기 가이드부(820)와 연결되며 그 일측에 랙(832)과, 상기 랙(832)과 연결된 피니언(834)을 갖는 보조 가이드부(830)와, 상기 피니언(834)과 축(835)에 의해 연결되는 풀 리(840)와, 상기 풀리(840)와 벨트(850)를 개재하여 연결되는 다른 풀리(842)와, 상기 풀리(840,842)들을 동작시키기 위한 구동수단(860)으로 이루어진다.
상기 가이드바(814)는 브라켓(839)의 양측에 소정 간격을 두고 설치되고, 연결편(812)을 개재하여 안착부(810)와 연결되게 된다. 상기 구동수단(860)은 풀리(842)의 축(837)에 연결되어 벨트(850)를 동작시킬 수 있게 되어 있다.
그리고, 상기 트레이 안착장치(800)는 트레이 승강수단(870)을 더 포함하게 된다. 상기 트레이 승강수단(870)은 보조 안착부(872)와, 상기 보조 안착부(872)의 하부에 소정 간격을 두고 설치되며, 적어도 한개 이상의 부시(875)가 설치된 복수개의 지지부재(874,874)와, 상기 지지부재(874,874)를 상호 연결하기 위한 링크부재(876)와, 상기 링크부재(876)를 승, 하강시키기 위한 실린더(878)와, 상기 실린더(878)를 설치하기 위한 브라켓(877)으로 구성된다.
상기 보조 안착부(872)는 그 양단이 절곡된 형태로 구성되므로 안착부(810)에 유입된 트레이(10)를 승강시킬 수 있게 구성되어 있다. 즉, 안착부(810)의 양측이 보조 안착부(872)에 수용되므로 안착부(810)의 양쪽으로 돌출된 트레이(10)의 양단(도시되지 않음)을 보조 안착부(872)를 승강 시키는 것에 의해 승강시키게 된다.
한편, 트레이 누름장치(900)는 가이드 부재(910)와, 상기 가이드 부재(910)의 연결축(914,914)에 각기 연결된 적어도 한 개 이상의 부시(916,916)와, 상기 연결축(914,914)을 상호 연결하기 위한 연결부재(918)와, 브라켓(919)에 설치되어 가이드 부재(910)를 전,후진시키기 위한 구동원인 실린더(920)로 구성된다.
이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 트레이 이송장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 트레이 이송장치는 트레이가 소정 간격으로 한 개씩 공급되는 경우와, 거의 연속하여 두 개의 트레이가 공급되는 경우 모두를 수행할 수 있다.
먼저, 일반적으로 트레이가 한 개씩 소정 간격을 두고 공급되는 경우에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 트레이 이송장치는 챔버의 외부에 설치된 트레이 회전장치(500)에서, 트레이 후크 유니트(560)를 이용하여 트레이(10)를 후크하고 캠판(532)에 있는 LM(Linear Motion) 레일(542)을 따라 LM 가이드(544)가 이동함에 의해 트레이(10)를 수납하고 트레이 회전실린더(540)를 동작시켜 트레이(10)를 회전시킨 후 다시 LM 가이드(544)를 동작시켜 트레이(10)를 해제시키게 된다. 즉, 트레이 회전장치(500)로부터 트레이(10)를 하강하게 되면, 트레이(10)는 안착부(810)에 안착하게 된다. 트레이(10)의 하강시, 안내장치(680)의 가이드 부재(682)가 트레이(10)의 일측을 안내하면서 트레이 이동장치(600)의 체인부(640)에 안착시키게 된다. 상기 트레이(10)는 체인부(640)의 상부에 형성된 절곡부(652)에 안착되게 된다.
트레이(10)가 절곡부(652)에 안착되게 되면, 센서(629)가 이를 감지하게 된다. 그리고, 안내장치(680)의 가이드부재(682)가 실린더(688)에 의해 후방으로 빠지면서 트레이(10)가 이송바아(660)의 스크류(662)의 사이에 끼워지게 된다. 즉, 상기 트레이(10)는 그 하부면이 지지부(650)의 절곡부(652)에 의해 지지되고, 그 측면이 이송바아(660) 및 수평바(690)에 의해 지지된다.
그리고, 상기 트레이(10)는 체인부(640)를 구동시키는 구동장치(644) 즉, 모터의 동작에 의해 전방으로 소정 피치씩 이동하게 된다. 또한, 상기 체인부(640)의 양측에는 가이드 롤러(656)가 설치되어 있으므로 트레이(10)의 이동시 체인부(640)의 텐션을 조정하면서 이동하게 되어 트레이(10)를 안정되게 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 구동장치(644)의 동작과 동시에 이송바아(660)를 이동시키는 구동장치(670)도 동시에 동작하여 트레이(10)의 하부면 및 측면을 지지하면서 이동하게 된다. 상기 체인부(640)의 끝단에 오게 되면 센서(639)가 감지하게 되고, 도시되지 않은 별도의 승강수단에 의해 트레이를 다른 위치로 승강시키게 된다.
다음, 거의 연속하여 두 개의 트레이(10)가 공급되는 경우에 대하여 설명하기로 한다.
트레이 회전장치(500)로부터 트레이(10)가 거의 연속하여 공급되는 경우, 먼저 제공된 트레이(10)는 전술한 바와 같이, 보조 가이드부(830)의 안착부(810)에 트레이(10) 한 개가 제공되게 된다. 이와 같은 상태에서, 트레이(10)가 트레이 회전장치(500)로부터 더 공급이 되게 되면 먼저 들어온 트레이(10)를 트레이 승강수단(870)의 보조 안착부(872)가 트레이(10)의 양측을 들어 올리게 된다. 안착부(810)의 양측에 위치된 보조안착부(872)가 실린더(878)의 동작에 의해 트레이(10)를 들어올리게 된다. 그리고, 트레이 누름장치(900)의 가이드 부재(910)가 트레이(10)를 밀게 된다. 트레이(10)를 트레이 승강수단(870)에 의해 들어 올린 상태에서 트레이 누름장치(900)의 가이드 부재(910)가 실린더(920)의 동작에 의해 트레이(10)를 밀게 되면 트레이(10)가 이송바아(660)의 스크류(662)의 사이에 끼워지 게 된다. 그리고, 트레이 누름장치(900)는 안내장치(680)와의 충돌을 회피하기 위하여 예정된 원래의 위치로 오게 된다. 따라서, 연속해서 공급되는 트레이(10)는 다시 안착부(810)에 안착시킬 수 있다. 따라서, 트레이 누름장치(900)를 설치함에 의해 트레이 회전장치(500)로부터 연속하여 공급되는 트레이(10)들도 연속하여 테스트할 수 있는 위치로 이동시킬 수 있다.
한편, 트레이 지지장치(700)의 구동장치(670)를 도 5에 도시된 바와 같이, 구성하게 되면 체인부(640)와 스크류(662)의 구동을 한 개의 모터(750)로 동작시킬 수 있다. 모터(750)가 동작하게 되면, 풀리(730,740)사이에 연결된 벨트(744)가 동작하게 된다. 풀리(730)의 회전에 의해 이송바아(660) 및 스크류(662)가 회전하게 된다.
본 발명의 트레이 이송장치 및 이송방법은 전자부품을 전기적으로 신속하게 테스트 할 수 있는 테스트 핸들러의 챔버 분야에 적용할 수 있다.
도 1은 종래의 트레이 이송장치의 분해 사시도,
도 2는 본 발명의 트레이 이송장치의 분해 사시도,
도 3은 본 발명의 요부인 트레이 이동장치와 트레이 회전장치의 결합된 상태를 나타낸 개략적인 사시도,
도 4는 본 발명의 요부인 트레이 이동장치와 트레이 지지장치를 개략적으로 나타낸 도면,
도 5는 본 발명의 요부인 트레이 이동장치와 트레이 지지장치의 다른 예를 개략적으로 나타낸 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
10: 트레이 500: 트레이 회전장치
600: 트레이 이동장치 620: 구동축
680: 안내장치 682: 가이드 부재
688: 실린더 690: 수평바
700: 트레이 지지장치 800: 트레이 안착장치
810: 안착부 820: 가이드부
830: 보조 가이드부 840,842: 풀리
850: 벨트 860: 구동수단

Claims (7)

  1. 베이스부(510)와, 트레이(10)를 수납하기 위한 트레이 수납부(530)와, 트레이(10)를 회전시키기 위한 트레이 회전 실린더(540)와, 트레이(10)를 후크하기 위한 트레이 후크 유니트(560)로 이루어진 트레이 회전장치(500)와;
    베이스 부재(624,634)와, 상기 베이스 부재(624,634)에 각기 설치된 구동축(620)과 가이드축(630)의 양측에 각기 풀리(622,632)를 개재하여 삽설되는 체인부(640)와, 상기 체인부(640)의 상부에 설치되며, 트레이(10)를 수납하여 지지하도록 복수개의 절곡부(652)가 형성된 지지부(650)와, 상기 체인부(640)를 구동시키기 위한 구동장치(644)로 이루어진 트레이 이동장치(600)와;
    트레이(10)의 이송방향을 향해 연장되게 설치되며, 트레이(10)의 측면을 지지하기 위하여 그 외주면에 스크류(662)가 형성된 이송바아(660)와, 상기 이송바아(660)를 동기적으로 회동시키기 위한 구동장치(670)로 이루어진 트레이 지지장치(700)와;
    상기 트레이 회전장치(500)로부터 제공된 트레이(10)를 안착시키는 안착부(810)와, 상기 안착부(810)와 연결되며 가이드바(814)를 따라서 상,하로 이동가능하게 연결되는 가이드부(820)와, 상기 가이드부(820)와 연결되며 그 일측에 랙(832)과, 상기 랙(832)과 연결된 피니언(834)을 갖는 보조 가이드부(830)와, 상기 피니언(834)과 축(835)에 의해 연결되는 풀리(840)와, 상기 풀리(840)와 벨트(850)를 개재하여 연결되는 다른 풀리(842)와, 상기 풀리(840,842)들을 동작시키 기 위한 구동수단(860)으로 이루어진 트레이 안착장치(800)와;
    가이드 부재(910)와, 상기 가이드 부재(910)의 연결축(914,914)에 각기 연결된 적어도 한 개 이상의 부시(916,916)와, 상기 연결축(914,914)을 상호 연결하기 위한 연결부재(918)와, 브라켓(919)에 설치되어 가이드 부재(910)를 전,후진시키기 위한 구동원인 실린더(920)로 이루어진 트레이 누름장치(900)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 트레이 회전장치(500)는 베이스부(510)의 상부에 설치되며, 그 상부에 캠판(532)이 설치되는 가이드판(534)과, 회전축(522)을 지지하기 위한 지지블럭(550)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 트레이 안착장치(800)는 보조 안착부(872)와, 상기 보조 안착부(872)의 하부에 소정 간격을 두고 설치되며, 적어도 한개 이상의 부시(875)가 설치된 복수개의 지지부재(874,874)와, 상기 지지부재(874,874)를 상호 연결하기 위한 링크부재(876)와, 상기 링크부재(876)를 승, 하강시키기 위한 실린더(878)와, 상기 실린더(878)를 설치하기 위한 브라켓(877)으로 구성된 트레이 승강수단(870)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  4. 트레이(10)를 수납하기 위한 트레이 수납부(530)와, 베이스부(510)의 상부에 설치되며, 그 상부에 캠판(532)이 설치되는 가이드판(534)과, 트레이(10)를 회전시 키기 위한 트레이 회전 실린더(540)와, 회전축(522)을 지지하기 위한 지지블럭(550)과, 트레이(10)를 후크하기 위한 트레이 후크 유니트(560)로 이루어진 트레이 회전장치(500)와;
    베이스 부재(624,634)와, 상기 베이스 부재(624,634)에 각기 설치된 구동축(620)과 가이드축(630)의 양측에 각기 풀리(622,632)를 개재하여 삽설되는 체인부(640)와, 상기 체인부(640)의 상부에 설치되며, 트레이(10)를 수납하여 지지하도록 복수개의 절곡부(652)가 형성된 지지부(650)와, 상기 체인부(640)를 구동시키기 위한 구동장치(644)로 이루어진 트레이 이동장치(600)와;
    트레이(10)의 이송방향을 향해 연장되게 설치되며, 트레이(10)의 측면을 지지하기 위하여 그 외주면에 스크류(662)가 형성된 이송바아(660)와, 상기 이송바아(660)에 순차적으로 연결된 연결부재(710) 및 부시(720)와, 벨트(744)에 의해 서로 연결되며, 이송바아(660)와 구동원인 모터(750)의 축에 각기 설치된 풀리(730,740) 및 브라켓(760)의 일측에 설치되며, 상기 이송바아(660)를 동작시키기 위한 구동수단인 모터(750)로 이루어진 트레이 지지장치(700)와;
    상기 트레이 회전장치(500)로부터 제공된 트레이(10)를 안착시키는 안착부(810)와, 상기 안착부(810)와 연결되며 가이드바(814)를 따라서 상,하로 이동가능하게 연결되는 가이드부(820)와, 상기 가이드부(820)와 연결되며 그 일측에 랙(832)과, 상기 랙(832)과 연결된 피니언(834)을 갖는 보조 가이드부(830)와, 상기 피니언(834)과 축(835)에 의해 연결되는 풀리(840)와, 상기 풀리(840)와 벨트(850)를 개재하여 연결되는 다른 풀리(842)와, 상기 풀리(840,842)들을 동작시키 기 위한 구동수단(860)으로 이루어진 트레이 안착장치(800)와;
    가이드 부재(910)와, 상기 가이드 부재(910)의 연결축(914,914)에 각기 연결된 적어도 한 개 이상의 부시(916,916)와, 상기 연결축(914,914)을 상호 연결하기 위한 연결부재(918)와, 브라켓(919)에 설치되어 가이드 부재(910)를 전,후진시키기 위한 구동원인 실린더(920)로 이루어진 트레이 누름장치(900)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 트레이 안착장치(800)의 가이드바(814)는 브라켓(839)의 양측에 간격을 두고 설치되고, 연결편을 개재하여 안착부와 연결되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 트레이 안착장치(800)의 구동수단(860)은 풀리(842)의 축(837)에 연결되어 벨트(850)를 동작시킬 수 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 트레이 안착장치(800)는 보조 안착부(872)와, 상기 보조 안착부(872)의 하부에 소정 간격을 두고 설치되며, 적어도 한개 이상의 부시(875)가 설치된 복수개의 지지부재(874,874)와, 상기 지지부재(874,874)를 상호 연결하기 위한 링크부재(876)와, 상기 링크부재(876)를 승, 하강시키기 위한 실린더(878)와, 상기 실린더(878)를 설치하기 위한 브라켓(877)으로 구성된 트레이 승 강수단(870)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
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