CN217641247U - 晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备，晶圆料盒开盖机构包括置物平台、开盖组件及平移组件，开盖组件包括安装基体及取盖件，取盖件能够抓取盒盖，平移组件与置物平台、安装基体中的至少一个连接，平移组件用于带动置物平台与安装基体相互靠近或远离；晶圆上料装置包括晶圆料盒开盖机构；晶圆检测设备包括晶圆上料装置。本实用新型中，通过开盖组件与平移组件配合开盖，安装基体在平移组件的驱动下相对料盒移动，使取盖件能够接触料盖并将料盖取下，完成料盒开盖，自动化程度高，有利于提高料盒的开盖效率。

Description

晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产及检测技术领域，尤其涉及一种晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备。

背景技术

为提高晶圆的上料效率，并且避免晶圆上料过程中受到环境污染，晶圆通常放置于料盒内，通过转运料盒，实现晶圆的批量上料，料盒转运过程中，盒盖保持锁定状态，晶圆上料时，需将盒盖打开，料盒的转运平台空间有限，人工操作受限，人工开盖的效率较低，影响晶圆的上料及检测效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种晶圆料盒开盖机构，能够提高晶圆料盒的开盖效率。

本实用新型还提出一种具有上述晶圆料盒开盖机构的晶圆上料装置。

本实用新型还提出一种具有上述晶圆上料装置的晶圆检测设备。

根据本实用新型的第一方面实施例的晶圆料盒开盖机构，用于打开晶圆料盒的盒盖，包括：

置物平台，用于放置并固定所述晶圆料盒；

开盖组件，位于所述晶圆料盒设置所述盒盖的一侧，所述开盖组件包括安装基体及取盖件，所述取盖件连接于所述安装基体，并朝向所述盒盖设置，所述取盖件能够抓取所述盒盖；

平移组件，与所述置物平台、所述安装基体中的至少一个连接，所述平移组件用于带动所述置物平台与所述安装基体相互靠近或远离。

根据本实用新型实施例的晶圆料盒开盖机构，至少具有如下有益效果：

本实用新型实施例中的晶圆料盒开盖机构，通过开盖组件与平移组件配合开盖，安装基体在平移组件的驱动下相对料盒移动，使取盖件能够接触料盖并将料盖取下，完成料盒开盖，自动化程度高，有利于提高料盒的开盖效率。

根据本实用新型的一些实施例，所述平移组件包括滑动连接的第一滑动体与第一导轨，所述第一导轨沿水平方向设置，所述第一滑动体连接于所述置物平台的底部。

根据本实用新型的一些实施例，所述置物平台包括移动部，所述晶圆料盒开盖机构还包括支撑架，所述移动部位于所述支撑架的上方，所述移动部供所述晶圆料盒放置，所述平移组件位于所述移动部与所述支撑架之间，所述移动部与所述第一滑动体连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述置物平台还包括限位钩，所述移动部具有避让孔，所述限位钩设置为，通过所述避让孔，伸出至所述移动部的上方，以钩持所述晶圆料盒，或者退回至所述移动部的下方，对所述晶圆料盒避位。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括避让组件，所述避让组件包括滑动连接的第二导轨与第二滑动体，所述第二导轨沿竖直方向设置，所述第二滑动体与所述安装基体连接，所述安装基体跟随所述第二滑动体的移动，露出或遮挡所述晶圆料盒。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括机架，所述置物平台固定于机架的上方，所述机架的内部具有容纳腔，所述安装基体能够伸出至所述容纳腔的外部，或者回退至所述容纳腔内。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括安装架，所述安装架沿竖直方向设置，所述安装架的两端分别与所述安装基体、所述第二滑动体连接，至少部分的所述第二导轨容置于所述容纳腔内，所述安装架能够跟随所述第二滑动体进出所述容纳腔。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆料盒开盖机构还包括开锁组件，所述开锁组件包括开锁件，所述开锁件转动连接于所述安装基体，并相对于所述安装基体朝向所述盒盖突出设置，所述开锁件能够插入所述盒盖的锁芯并解锁。

根据本实用新型的第二方面实施例的晶圆上料装置，包括：

第一方面实施例的晶圆料盒开盖机构；

上料组件，位于所述置物平台设置所述盒盖的一侧，所述上料组件向所述晶圆料盒取放晶圆。

根据本实用新型的第二方面实施例的晶圆检测设备，包括：

第二方面实施例的晶圆上料装置；

检测装置，沿晶圆的转移路径，设置于所述晶圆上料装置的下游，所述检测装置用于检测所述晶圆。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型晶圆料盒开盖机构一个实施例的结构示意图；

图2为图1中安装基体一个实施例的结构示意图；

图3为图1中置物平台一个实施例的结构示意图；

图4为图1中避让组件一个实施例的结构示意图。

附图标记：

置物平台100，移动部110，避让孔111，限位钩120；开盖组件200，安装基体210，取盖件220；平移组件300，第一导轨310，第一滑动体320；支撑架400；避让组件500，第二导轨510，第二滑动体520；机架600，容纳腔610；安装架700；开锁组件800，开锁件810。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

如图1所示，本实用新型的实施例中提供了一种晶圆料盒开盖机构，用于打开晶圆料盒的盒盖，以露出晶圆料盒的内腔，便于向晶圆料盒取放晶圆。晶圆料盒开盖机构包括置物平台100、开盖组件200及平移组件300，置物平台100用于放置并固定晶圆料盒，为晶圆料盒提供较为平整的放置平面，并且将晶圆料盒固定于置物平台100的上表面，防止料盒在开盖过程中晃动、偏移，影响开盖精度。开盖组件200位于晶圆料盒设置盒盖的一侧，从而，开盖组件200朝向并临近盒盖，一方面充分利用置物平台100的侧部空间，另一方面便于开盖，开盖组件200包括安装基体210及取盖件220，取盖件220连接于安装基体210，并朝向盒盖设置，取盖件220能够抓取盒盖，将盒盖从料盒上取下，达到开盖效果；平移组件300与置物平台100、安装基体210中的至少一个连接，平移组件300用于带动置物平台100与安装基体210相互靠近或远离，置物平台100与安装基体210相互靠近时，取盖件220能够与盒盖接触，置物平台100与安装基体210相互远离时，取盖件220拖动盒带并将盒盖从料盒上取下，完成料盒开盖。

因此，本实用新型实施例中的晶圆料盒开盖机构，通过开盖组件200与平移组件300配合开盖，安装基体210在平移组件300的驱动下相对料盒移动，使取盖件220能够接触料盖并将料盖取下，完成料盒开盖，自动化程度高，有利于提高料盒的开盖效率。

如图2所示，取盖件220的一端设置于安装基体210朝向料盒的一侧，以便于抓取料盖，取盖件220可以设置为夹爪，夹爪可以夹持盒盖上设置的卡位，将盒盖取出；或者，取盖件220设置为吸盘，取盖件220位于安装基体210背离料盒的一侧连接气路，平移组件300驱动安装基体210朝向料盒移动时，取盖件220位于安装基体210朝向料盒的一侧与盒盖接触，并吸附盒盖，平移组件300驱动安装基体210远离料盒移动时，取盖件220拖动盒盖，使盒盖脱离料盒，完成开盖；或者，取盖件220设置为磁吸件，如永磁体、电磁体等，取盖件220与盒盖接触时，与盒盖磁吸，在平移组件300的驱动下，取盖件220拖动盒盖，使盒盖脱离料盒，即可完成开盖。

取盖件220可以设置多个，不同的取盖件220能够接触并固定料盖的不同位置，提高开盖组件200对盒盖的固定力度，使料盒能够跟随取盖件220的移动而脱离料盒，防止盒盖在开盖过程中脱落。在一个实施例中，取盖件220设置有两个，两个取盖件220分别设置于安装基体210两个相对的边角上，以便于盒盖的边缘与料盒快速脱离，提高了料盒开盖的便利度。

平移组件300包括滑动连接的第一滑动体320与第一导轨310，第一导轨310沿水平方向设置，第一导轨310为第一滑动体320的移动进行导向，第一滑动体320可以与置物平台100和/或安装基体210连接，置物平台100和/或安装基体210跟随第一滑动体320沿第一导轨310移动，使置物平台100与安装基体210相对靠近或远离，并达到取盖件220与盒盖接触或拖动盒盖目的。

在一个实施例中，第一滑动体320连接于置物平台100的底部，第一滑动体320沿第一导轨310移动时，置物平台100跟随第一滑动体320同步移动，使置物平台100相对安装基体210靠近或远离。需要说明的是，通过平移组件300驱动置物平台100移动，一方面，放置料盒时，置物平台100与安装基体210的距离较远，可以避免与安装基体210发生干涉，在进行上料时，平移组件300驱动置物平台100移动并靠近安装基体210，进行开盖；另一方面，开盖过程中，安装基体210无需朝向置物平台100移动，有利于保证安装基体210与其他部件之间的组合密封，使整个测试设备维持密封状态。

可以想到的是，平移组件300还包括用于驱动第一滑动体320沿第一导轨310移动的驱动件，驱动件可以是气缸、直线电机、丝杆等直线驱动元件；平移组件300还可包括用于检测第一滑动体320移动位置的传感器，在一个实施例中，传感器可以设置两个，两个传感器分别限定第一滑动体320远离或靠近安装基体210的极限位置，以保证开盖机构的开盖精度。

如图3所示，置物平台100包括移动部110，晶圆料盒开盖机构还包括支撑架400，移动部110位于支撑架400的上方，移动部110供晶圆料盒放置，平移组件300位于移动部110与支撑架400之间，移动部110与第一滑动体320连接，移动部110跟随第一滑动体320的移动而移动，并带动晶圆料盒移动。

可以想到的是，置物平台100还包括外罩，外罩扣设于移动部110的上方，以对平移组件300进行保护。

置物平台100还包括限位钩120，移动部110具有避让孔111，限位钩120能够进出避让孔111，当限位钩120通过避让孔111伸出至移动部110的上方时，能够钩持放置于置物平台100上的晶圆料盒底部，使晶圆料盒固定于置物平台100，保证晶圆的稳定上料，当限位钩120通过避让孔111退回至移动部110的下方时，限位钩120对晶圆料盒进行避位，此时晶圆料盒可以向置物平台100放置，且不会与限位钩120发生干涉。

限位钩120可以通过旋转驱动件、直线驱动件进行驱动；如，在一个实施例中，限位钩120连接于旋转气缸的输出端，旋转气缸驱动限位钩120转动，限位钩120通过转动从避让孔111处伸出或退回；在另一实施例中，限位钩120连接于直线气缸的输出端，直线气缸驱动限位钩120升降，限位钩120通过升降从避让孔111处伸出或回退。

如图1与图4所示，晶圆料盒开盖机构包括避让组件500，避让组件500包括滑动连接的第二导轨510与第二滑动体520，第二导轨510沿竖直方向设置，第二滑动体520与安装基体210连接，安装基体210跟随第二滑动体520的移动，露出或遮挡盒盖；安装基体210上升至一定高度后，遮挡晶圆料盒，此时开盖组件200与料盒的盒盖对位，便于对料盒开盖，安装基体210下降一定高度后，料盒露出，安装基体210对上料组件进行避位，便于上料组件向料盒取放晶圆。

可以想到的是，避让组件500还包括用于驱动第二滑动体520升降的驱动件，驱动件可以是气缸、直线电机、丝杆等。

晶圆料盒开盖机构还包括机架600，置物平台100固定于机架600的上方，机架600的内部具有容纳腔610，安装基体210能够伸出至容纳腔610的外部或者回退至容纳腔610内。机架600为安装基体210的移动提供空间，避免安装基体210与其他部件发生干涉，并且提高了避让组件500与机架600的连接紧凑度。

晶圆料盒开盖机构还包括安装架700，安装架700沿竖直方向设置，安装架700的两端分别与安装基体210、第二滑动体520连接，至少部分的第二导轨510容置于容纳腔610内，安装架700能够跟随第二滑动体520进出容纳腔610。机架600为避让组件500提供了安装空间，使得安装基体210沿第二导轨510移动时能够进出容纳腔610，并且机架600可对避让组件500进行保护。

参照图2与图4，晶圆料盒开盖机构还包括开锁组件800，开锁组件800包括开锁件810，开锁件810转动连接于安装基体210，并相对于安装基体210朝向盒盖突出设置，开锁件810能够插入盒盖的锁芯并解锁；安装基体210对开锁件810进行支撑，随着置物平台100沿第一导轨310朝向安装基体210移动，开锁件810插入盒盖的锁芯内，通过开锁件810的转动，使锁芯开锁，此时盒盖可以相对料盒脱离，取盖件220抓取盒盖，随着置物平台100沿第一导轨310朝远离安装基体210的方向移动，盒盖从料盒上脱离。

可以想到的是，开锁件810的数量与位置分布应与盒盖上的锁芯匹配，开锁件810以可拆卸连接的方式安装于安装基体210上，通过变换开锁件810在安装基体210上的位置，可使开锁组件800能够适配不同类型的盒盖的开锁。另外，开锁组件800还应设置有驱动开锁件810转动的驱动件，该驱动件可以是气缸与连杆的组合结构、气缸与同步带、同步轮的组合结构等。

本实用新型的实施例中还提供了一种晶圆上料装置，包括上述的晶圆料盒开盖机构，还包括上料组件，上料组件位于置物平台100设置盒盖的一侧，在盒盖打开后，上料组件可以向料盒内取放晶圆。上料组件可以是夹爪与多轴模组的组合结构、机械手等。

本实用新型的实施例中还提供了一种晶圆检测设备，包括上述的晶圆上料装置，还包括检测装置，检测装置沿晶圆的转移路径设置于晶圆上料装置的下游，检测装置对晶圆进行检测，如晶圆的外形、电性能等。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.晶圆料盒开盖机构，用于打开晶圆料盒的盒盖，其特征在于，包括：

置物平台，用于放置并固定所述晶圆料盒；

开盖组件，位于所述晶圆料盒设置所述盒盖的一侧，所述开盖组件包括安装基体及取盖件，所述取盖件连接于所述安装基体，并朝向所述盒盖设置，所述取盖件能够抓取所述盒盖；

平移组件，与所述置物平台、所述安装基体中的至少一个连接，所述平移组件用于带动所述置物平台与所述安装基体相互靠近或远离。

2.根据权利要求1所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述平移组件包括滑动连接的第一滑动体与第一导轨，所述第一导轨沿水平方向设置，所述第一滑动体连接于所述置物平台的底部。

3.根据权利要求2所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述置物平台包括移动部，所述晶圆料盒开盖机构还包括支撑架，所述移动部位于所述支撑架的上方，所述移动部供所述晶圆料盒放置，所述平移组件位于所述移动部与所述支撑架之间，所述移动部与所述第一滑动体连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述置物平台还包括限位钩，所述移动部具有避让孔，所述限位钩设置为，通过所述避让孔，伸出至所述移动部的上方，以钩持所述晶圆料盒，或者退回至所述移动部的下方，对所述晶圆料盒避位。

5.根据权利要求1所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述晶圆料盒开盖机构还包括避让组件，所述避让组件包括滑动连接的第二导轨与第二滑动体，所述第二导轨沿竖直方向设置，所述第二滑动体与所述安装基体连接，所述安装基体跟随所述第二滑动体的移动，露出或遮挡所述晶圆料盒。

6.根据权利要求5所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述晶圆料盒开盖机构还包括机架，所述置物平台固定于机架的上方，所述机架的内部具有容纳腔，所述安装基体能够伸出至所述容纳腔的外部，或者回退至所述容纳腔内。

7.根据权利要求6所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述晶圆料盒开盖机构还包括安装架，所述安装架沿竖直方向设置，所述安装架的两端分别与所述安装基体、所述第二滑动体连接，至少部分的所述第二导轨容置于所述容纳腔内，所述安装架能够跟随所述第二滑动体进出所述容纳腔。

8.根据权利要求1所述的晶圆料盒开盖机构，其特征在于，所述晶圆料盒开盖机构还包括开锁组件，所述开锁组件包括开锁件，所述开锁件转动连接于所述安装基体，并相对于所述安装基体朝向所述盒盖突出设置，所述开锁件能够插入所述盒盖的锁芯并解锁。

9.晶圆上料装置，其特征在于，包括：

权利要求1至8中任一项所述的晶圆料盒开盖机构；

上料组件，位于所述置物平台设置所述盒盖的一侧，所述上料组件向所述晶圆料盒取放晶圆。

10.晶圆检测设备，其特征在于，包括：

权利要求9所述的晶圆上料装置；

检测装置，沿晶圆的转移路径，设置于所述晶圆上料装置的下游，所述检测装置用于检测所述晶圆。

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