CN217890927U - 一种摆片机器人用工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种摆片机器人用工作台，属于机械技术领域。本摆片机器人用工作台，包括带有支撑脚的机架，机架上安装有工作台板，其特征在于，所述工作台板上设置有用于安装摆片机器人的安装座，机架一侧竖直安装有导轨，导轨上滑动连接有滑块，机架侧部还安装有丝杆，且丝杆与导轨相互平行，丝杆上螺纹连接有螺母，丝杆一端与伺服电机相连，滑块和螺母之间通过连接架与升降台相连，升降台上开设有供晶圆周转架的滚轮通过的让位槽，升降台还上设置有能固定晶圆周转架的限位组件，机架另一侧下端开设有与伞架周转车相配合的凹槽，凹槽内设置有海绵垫，机架上靠近凹槽两端处水平安装有插销，伞架周转车两侧开设有与插销的插杆相配合的锁孔。

Description

一种摆片机器人用工作台

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种工作台，特别是一种摆片机器人用工作台。

背景技术

摆片机器人就是将晶圆从晶圆放置盒中取出，将晶圆放置在镀膜伞架上的机器人。现有生产中都是人工使用夹取晶圆，并将晶圆放置在伞架上，重复性操作，耗费人力，为节省劳动力可使用摆片机器人进行上料，同时需要有与摆片机器人相配合的工作台，因此，设计出一种摆片机器人用工作台是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种摆片机器人用工作台，该工作台具有方便摆片机器人进行定位的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种摆片机器人用工作台，包括带有支撑脚的机架，机架上安装有工作台板，其特征在于，所述工作台板上设置有用于安装摆片机器人的安装座，机架一侧竖直安装有导轨，导轨上滑动连接有滑块，机架侧部还安装有丝杆，且丝杆与导轨相互平行，丝杆上螺纹连接有螺母，丝杆一端与伺服电机相连，滑块和螺母之间通过连接架与升降台相连，升降台上开设有供晶圆周转架的滚轮通过的让位槽，升降台还上设置有能固定晶圆周转架的限位组件，几家另一侧下端开设有与伞架周转车相配合的凹槽，凹槽内设置有海绵垫，机架上靠近凹槽两端处水平安装有插销，伞架周传车两侧开设有与插销的插杆相配合的锁孔，伞架周转车上还固定有支撑杆，支撑杆上端可拆卸安装有与伞架相配合的支撑头。

本实用新型的工作原理如下：操作人员推动晶圆周转架至升降台上，并利用限位组件将晶圆周转架固定在升降台上，伺服电机带动丝杆转动，螺母在丝杆上竖直移动，螺母带动连接架和滑块在导轨上竖直移动，连接架通过升降台带动晶圆周转架向上移动；伞架通过支撑头限位在伞架周转车上，操作人员推动伞架周转车至凹槽处，并利用插销与锁孔相配合将伞架周转车限位在机架旁，工作时摆片机器人从晶圆周转架上取出晶圆后，将晶圆放置在伞架上，方便摆片机器人进行定位。

所述限位组件包括限位条和推拉式快速夹，推拉式快速夹安装在升降台上，推拉式快速夹的推杆上安装有与晶圆周转架相配合的推块，限位条固定在升降台一端。

采用以上结构，将晶圆周转架推上升降台后，晶圆周转架与升降台上的限位条相抵靠，再通过推拉式快速夹辅助对晶圆周转架进行限位。

所述晶圆周转架上开设有若干用于放置晶圆的放置槽，晶圆周转架中部开设有取放缺口。

采用以上结构，可在晶圆周转架上放置多个晶圆，并且下料时方便摆片机器人从取放缺口处拾取晶圆。

所述晶圆周转架上两侧还安装有把手。

采用以上结构，方便通过把手推动晶圆周转架移动。

所述伞架周转车后侧固定有推动手柄。

与现有技术相比，本摆片机器人用工作台具有该优点：本实用新型中操作人员推动晶圆周转架至升降台上，并利用限位组件将晶圆周转架固定在升降台上，伺服电机带动丝杆转动，螺母在丝杆上竖直移动，螺母带动连接架和滑块在导轨上竖直移动，连接架通过升降台带动晶圆周转架向上移动；伞架通过支撑头限位在伞架周转车上，操作人员推动伞架周转车至凹槽处，并利用插销与锁孔相配合将伞架周转车限位在机架旁，工作时摆片机器人从晶圆周转架上取出晶圆后，将晶圆放置在伞架上，方便摆片机器人进行定位。

附图说明

图1是本实用新型的平面结构示意图。

图2是本实用新型中拆去部分的立体结构示意图。

图3是本实用新型中晶圆周转架的立体结构示意图。

图4是本实用新型中机架的立体结构示意图。

图5是本实用新型中伞架周转车的立体结构示意图。

图中，1、晶圆周转架；1a、放置槽；1b、取放缺口；2、把手；3、限位条；4、安装座；5、工作台板；6、支撑头；7、支撑杆；8、推动手柄；9、伞架周转车；9a、锁孔；10、机架；10a、凹槽；11、导轨；12、滑块；13、连接架；14、升降台；14a、让位槽；15、滚轮；16、推块；17、推拉式快速夹；18、螺母；19、丝杆；20、伺服电机；21、海绵垫；22、插销。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图5所示，本摆片机器人用工作台，包括带有支撑脚的机架10，机架10上安装有工作台板5，工作台板5上设置有用于安装摆片机器人的安装座4，机架10一侧竖直安装有导轨11，导轨11上滑动连接有滑块12，机架10侧部还安装有丝杆19，且丝杆19与导轨11相互平行，丝杆19上螺纹连接有螺母18，丝杆19一端与伺服电机20相连，滑块12和螺母18之间通过连接架13与升降台14相连，升降台14上开设有供晶圆周转架1的滚轮15通过的让位槽14a，升降台14还上设置有能固定晶圆周转架1的限位组件，机架9另一侧下端开设有与伞架周转车9相配合的凹槽10a，凹槽10a内设置有海绵垫21，机架10上靠近凹槽10a两端处水平安装有插销22，伞架周转车9两侧开设有与插销22的插杆相配合的锁孔9a，伞架周转车9上还固定有支撑杆7，支撑杆7上端可拆卸安装有与伞架相配合的支撑头6。

限位组件包括限位条3和推拉式快速夹17，推拉式快速夹17安装在升降台14上，推拉式快速夹17的推杆上安装有与晶圆周转架1相配合的推块16，限位条3固定在升降台14一端。

采用以上结构，将晶圆周转架1推上升降台14后，晶圆周转架1与升降台14上的限位条3相抵靠，再通过推拉式快速夹17辅助对晶圆周转架1进行限位。

晶圆周转架1上开设有若干用于放置晶圆的放置槽1a，晶圆周转架1中部开设有取放缺口1b。

采用以上结构，可在晶圆周转架1上放置多个晶圆，并且下料时方便摆片机器人从取放缺口1b处拾取晶圆。

晶圆周转架1上两侧还安装有把手2。

采用以上结构，方便通过把手2推动晶圆周转架1移动。

伞架周转车9后侧固定有推动手柄8。

本实用新型的工作原理如下：操作人员推动晶圆周转架1至升降台14上，并利用限位组件将晶圆周转架1固定在升降台14上，伺服电机20带动丝杆19转动，螺母18在丝杆19上竖直移动，螺母18带动连接架13和滑块12在导轨11上竖直移动，连接架13通过升降台14带动晶圆周转架1向上移动；伞架通过支撑头6限位在伞架周转车9上，操作人员推动伞架周转车9至凹槽10a处，可通过海绵垫进行缓冲，然后利用插销22与锁孔9a相配合将伞架周转车9限位在机架10旁，工作时摆片机器人从晶圆周转架1上取出晶圆后，将晶圆放置在伞架上，方便摆片机器人进行定位。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (5)

1.一种摆片机器人用工作台，包括带有支撑脚的机架(10)，机架(10)上安装有工作台板(5)，其特征在于，所述工作台板(5)上设置有用于安装摆片机器人的安装座(4)，机架(10)一侧竖直安装有导轨(11)，导轨(11)上滑动连接有滑块(12)，机架(10)侧部还安装有丝杆(19)，且丝杆(19)与导轨(11)相互平行，丝杆(19)上螺纹连接有螺母(18)，丝杆(19)一端与伺服电机(20)相连，滑块(12)和螺母(18)之间通过连接架(13)与升降台(14)相连，升降台(14)上开设有供晶圆周转架(1)的滚轮(15)通过的让位槽(14a)，升降台(14)还上设置有能固定晶圆周转架(1)的限位组件，机架(10)另一侧下端开设有与伞架周转车(9)相配合的凹槽(10a)，凹槽(10a)内设置有海绵垫(21)，机架(10)上靠近凹槽(10a)两端处水平安装有插销(22)，伞架周转车(9)两侧开设有与插销(22)的插杆相配合的锁孔(9a)，伞架周转车(9)上还固定有支撑杆(7)，支撑杆(7)上端可拆卸安装有与伞架相配合的支撑头(6)。

2.根据权利要求1所述的摆片机器人用工作台，其特征在于，所述限位组件包括限位条(3)和推拉式快速夹(17)，推拉式快速夹(17)安装在升降台(14)上，推拉式快速夹(17)的推杆上安装有与晶圆周转架(1)相配合的推块(16)，限位条(3)固定在升降台(14)一端。

3.根据权利要求1所述的摆片机器人用工作台，其特征在于，所述晶圆周转架(1)上开设有若干用于放置晶圆的放置槽(1a)，晶圆周转架(1)中部开设有取放缺口(1b)。

4.根据权利要求1所述的摆片机器人用工作台，其特征在于，所述晶圆周转架(1)上两侧还安装有把手(2)。

5.根据权利要求1所述的摆片机器人用工作台，其特征在于，所述伞架周转车(9)后侧固定有推动手柄(8)。

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