CN217766730U - 一种飞针检测机 - Google Patents

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CN217766730U CN202221826057.3U CN202221826057U CN217766730U CN 217766730 U CN217766730 U CN 217766730U CN 202221826057 U CN202221826057 U CN 202221826057U CN 217766730 U CN217766730 U CN 217766730U
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宗智辉
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Abstract

本实用新型公开了一种飞针检测机,包括检测探针,X轴平移驱动装置,若干个Y轴平移驱动装置,若干个探针升降驱动装置,电路板送料输送带,以及用于将电路板压紧在电路板送料输送带上以实现电路板定位的压板机构,X轴平移驱动装置分别位于电路板送料输送带的上方和下方,Y轴平移驱动装置分别安装在各自的X轴平移驱动装置的平移部位上,探针升降驱动装置分别安装在各自的Y轴平移驱动装置的平移部位上,检测探针分别安装在各自对应的探针升降驱动装置的升降部位。本实用新型可实现任何一种电路板的自动化检测作业,通用性好,改变了现有的PCB板检测在更换电路板检测时需要更换特定电路板载具的现状,大大提升了工作效率。

Description

一种飞针检测机
技术领域
本实用新型涉及自动化设备的技术领域,更具体地说,是涉及一种飞针检测机。
背景技术
在电路板生产线中,在将电子元件装上电路板后需要对电路板上的电子元器件(如电阻、电容、IC等)进行检测,以检测电子元器件是否有漏装、是否通电和性能等,因而,人们发明了能够自动检测电路板的PCB板自动检测机,然而,现有的PCB板自动检测机都是采用特定载具来装载运输电路板的,一种载具只能装载一种电路板产品,在更换不同尺寸或者样式的电路板时需要更换载具,不能灵活适应不同电路板的输送检测,灵活性差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷,提供一种飞针检测机。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种飞针检测机,包括检测探针,用于带动检测探针沿着X轴方向平移的X轴平移驱动装置,用于带动检测探针沿着Y轴方向平移的Y轴平移驱动装置,用于带动检测探针升降的探针升降驱动装置,用于电路板送料的电路板送料输送带,以及用于将电路板压紧在电路板送料输送带上以实现电路板定位的压板机构,所述电路板送料输送带水平布置,所述X轴平移驱动装置分别位于电路板送料输送带的上方和下方,所述Y轴平移驱动装置设有若干个并分别安装在各自对应的X轴平移驱动装置的平移部位上,所述探针升降驱动装置设有若干个并分别安装在各自对应的Y轴平移驱动装置的平移部位,所述检测探针设有若干个并分别安装在各自对应的探针升降驱动装置的升降部位,所述检测探针分别位于电路板送料输送带的上方和下方,所述压板机构分别位于电路板送料输送带的两侧部位。
作为优选的实施方式,还包括用于调节电路板送料输送带的两个输送侧轨的间距的间距调节机构,所述电路板送料输送带安装在间距调节机构上并由间距调节机构调节两个输送侧轨之间的间距。
作为优选的实施方式,还包括用于阻挡住电路板的阻挡机构,所述阻挡机构分别位于电路板送料输送带的两个输送侧轨一端。
作为优选的实施方式,还包括用于将电路板输送至电路板送料输送带上的入料输送带和用于将检测完毕的电路板送出的出料输送带,所述入料输送带位于电路板送料输送带的入料端并与电路板送料输送带相对接,所述出料输送带位于电路板送料输送带的出料端并与电路板送料输送带相对接。
作为优选的实施方式,所述Y轴平移驱动装置设有八个,所述探针升降驱动装置设有八个,所述检测探针设有八根。
作为优选的实施方式,所述压板机构包括压块、压块横移驱动装置和压块升降驱动装置,所述压块横移驱动装置安装在压块升降驱动装置上,所述压块与压块横移驱动装置相连接。
作为优选的实施方式,所述压块升降驱动装置包括压块升降气缸、平移块和升降板,所述升降板通过第一滑块可升降地安装在第一滑轨上,所述压块升降气缸水平布置,所述平移块位于升降板外侧,所述平移块上设有连接柱,所述连接柱与压块升降气缸的输出轴相连接,所述平移块上贯穿设置有第一升降导槽,所述升降板的背部设有第一升降导柱,所述第一升降导柱伸入到平移块的第一升降导槽内,所述压块升降气缸能够带动平移块平移,从而使得第一升降导槽与升降板背部的第一升降导柱相配合,进而带动升降板上下升降。
作为优选的实施方式,所述电路板送料输送带的两个输送侧轨分别通过第二滑块可升降地安装在各自对应的第一滑轨上,所述电路板送料输送带的两个输送侧轨分别位于各自对应的升降板下方,所述电路板送料输送带的两个输送侧轨外侧分别设有第二升降导柱,所述平移块上贯穿设置有第二升降导槽,所述电路板送料输送带的两个输送侧轨的第二升降导柱分别伸入到各自对应的第二升降导槽内,所述压块升降气缸在带动升降板升降的同时能够通过平移块的第二升降导槽与第二升降导柱相配合,从而带动电路板送料输送带的输送侧轨升降,使得压块与电路板送料输送带的输送侧轨相互远离或接近。
作为优选的实施方式,所述电路板送料输送带的两个输送侧轨分别与各自对应的压板机构的压块升降驱动装置传动连接,所述压块升降驱动装置能够在带动压块升降的同时带动电路板送料输送带的输送侧轨升降,从而使得压块与电路板送料输送带的输送侧轨相互接近或远离。
作为优选的实施方式,所述X轴平移驱动装置包括X轴直线电机定子、若干个X轴直线电机动子和若干个X轴平移座,所述X轴直线电机动子分别可平移地安装在X轴直线电机定子上,所述X轴平移座分别安装在各自对应的X轴直线电机动子上;
所述Y轴平移驱动装置包括Y轴直线电机定子、Y轴直线电机动子和Y轴平移座,所述Y轴直线电机动子可平移地安装在Y轴直线电机定子上,所述Y轴平移座安装在Y轴直线电机动子上;
所述探针升降驱动装置包括升降直线电机定子、升降直线电机动子和升降座,所述升降直线电机动子可平移地安装在升降直线电机定子上,所述升降座与升降直线电机动子相连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
1、本实用新型的结构简单、新颖,设计合理,可实现任何一种电路板的自动化检测作业,较为灵活,通用性好,改变了现有的PCB板检测在更换电路板检测时需要更换特定电路板载具的现状,大大提升了工作效率。
2、本实用新型的探针移动驱动部位都是采用直线电机,采用直线电机速度快,精度高。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例提供的结构示意图一;
图2是本实用新型实施例提供的结构示意图二;
图3是本实用新型实施例提供的结构示意图三;
图4是本实用新型实施例提供的机架的结构示意图一;
图5是本实用新型实施例提供的机架的结构示意图二;
图6是本实用新型实施例提供的电路板送料输送带、入料输送带、出料输送带和间距调节机构的结构示意图;
图7是本实用新型实施例提供的电路板送料输送带部位的结构放大图;
图8是本实用新型实施例提供的电路板送料输送带的输送侧轨部位的结构放大图;
图9是本实用新型实施例提供的电路板送料输送带的输送侧轨部位的结构分解图;
图10是本实用新型实施例提供的探针标定部位的结构放大图;
图11是本实用新型实施例提供的输送侧轨的结构示意图;
图12是本实用新型实施例提供的探针移动驱动部位的结构示意图一;
图13是本实用新型实施例提供的探针移动驱动部位的结构示意图二;
图14是本实用新型实施例提供的Y轴的结构示意图;
图15是本实用新型实施例提供的探针升降驱动部位的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参考图1至图15,本实用新型的实施例提供了一种飞针检测机,包括机架11,检测探针1,用于带动检测探针1沿着X轴方向平移的X轴平移驱动装置2,用于带动检测探针1沿着Y轴方向平移的Y轴平移驱动装置3,用于带动检测探针1升降的探针升降驱动装置4,用于将电路板输送至电路板送料输送带5上的入料输送带9,用于电路板送料的电路板送料输送带5,用于将检测完毕的电路板送出的出料输送带10,用于将电路板压紧在电路板送料输送带5上以实现电路板定位的压板机构6,用于调节电路板送料输送带5的两个输送侧轨51的间距的间距调节机构7,以及用于阻挡住电路板的阻挡机构8,下面将对各个组成部分的结构及其工作原理进行说明。
间距调节机构7安装在机架11的四根立柱上且位于机架11的顶板与机架的工作台之间。
优选的,间距调节机构7可以包括调节座71、间距调节旋转电机72、丝杆73、螺母座74、平移座75、调距同步轮76、调距同步带77和固定座78,调节座71设有两个并分别安装在机架11上各自对应的两根立柱上,调节座71相互平行且间隔布置,固定座78水平安装在两个调节座71的一端并与两个调节座71相垂直,丝杆73设有两根,两根丝杆73分别可旋转地安装在各自对应的调节座71上并与调节座71相平行,间距调节旋转电机72安装在其中一个调节座71上并与其中一根丝杆73传动连接,调距同步轮76设有两个并分别安装在各自对应的丝杆73上,两个调距同步轮76通过调距同步带77同步连接,螺母座74设有两个并分别螺纹连接于各自对应的丝杆73上,平移座75安装在两个螺母座74上并与固定座78相平行。
在本实施例中,电路板送料输送带5、入料输送带9和出料输送带10均可以包括两个输送侧轨51,输送侧轨51包括输送侧座513、输送驱动电机514、输送同步轮515和输送同步带516,输送同步轮515设有两个并分别位于输送侧座513的两端,两个输送同步轮515通过输送同步带516实现同步连接,输送驱动电机514安装在输送侧座513的一端并与其中一个输送同步轮515传动连接。
电路板送料输送带5的两个输送侧轨51分别水平布置于平移座75和固定座78的内侧,平移座75和固定座78的内侧均设有纵向的第一滑轨633,电路板送料输送带5的两个输送侧轨51分别通过各自的第二滑块512可升降地安装在各自对应的第一滑轨633上。
入料输送带9的两个输送侧轨51分别固定安装在平移座75和固定座78的内侧并分别与电路板送料输送带5的两个输送侧轨51的入料端相对接,出料输送带10的两个输送侧轨51分别固定安装在平移座75和固定座78的内侧并分别与电路板送料输送带5的两个输送侧轨51的出料端相对接。
阻挡机构8分别位于电路板送料输送带5的两个输送侧轨51的出料端,在本实施例中,阻挡机构8可以包括阻挡块81和阻挡块升降气缸82,阻挡块81与阻挡块升降气缸82的输出轴相连接,阻挡块升降气缸82能够带动阻挡块81上下升降,从而使得阻挡块81进入到电路板送料输送带5的输送路径内或从电路板送料输送带5的输送路径内移出。
具体而言,两个压板机构6均可以包括压块61、压块横移驱动装置62和压块升降驱动装置64,压块横移驱动装置62可以设置为压块横移气缸,压块升降驱动装置64可以包括压块升降气缸641、平移块642和升降板643,压块横移气缸分别水平安装在各自对应的升降板643上,压块61分别安装在各自对应的压块横移气缸的输出轴上,升降板643分别通过第一滑块632可升降地安装在平移座75和固定座78的内侧设有的第一滑轨633上,压块升降气缸641分别水平安装在平移座75和固定座78上,平移块642分别位于各自对应的升降板643外侧,平移块642上设有连接柱6421,连接柱6421分别与各自对应的压块升降气缸641的输出轴相连接,每个平移块642上均贯穿设置有大致呈Z型的第一升降导槽6422和第二升降导槽6123,第一升降导槽6422和第二升降导槽6123以水平线为中心呈上下对称,两个升降板643的背部分别设有水平并垂直于升降板643布置的第一升降导柱631,第一升降导柱631分别伸入到各自对应的平移块642的第一升降导槽6422内,电路板送料输送带5的两个输送侧轨51分别位于各自对应的升降板643下方,电路板送料输送带5的两个输送侧轨51外侧分别设有水平并垂直于输送侧轨51布置的第二升降导柱511,电路板送料输送带5的两个输送侧轨51的第二升降导柱511分别伸入到各自对应的第二升降导槽6123内,压块横移气缸能够分别带动各自的压块沿着垂直于电路板送料输送带的输送路径方向平移,这样使得压块在压紧电路板时避让电路板上的电子器件。
压块升降气缸641能够分别带动各自的平移块642平移,从而使得平移块642上的第一升降导槽6422与升降板643的第一升降导柱631相配合,使得平移块642上的第二升降导槽6123与电路板送料输送带5的输送侧轨51的第二升降导柱511相配合,进而带动升降板643升降的同时带动电路板送料输送带5的输送侧轨51升降,使得压块61与电路板送料输送带5的输送侧轨51相互远离或接近。其中,由于第一升降导槽和第二升降导槽的上下对称设计,压块61与电路板送料输送带5的输送侧轨51的升降动作相反。
在具体实施时,为了使得升降板和电路板送料输送带的两个输送侧轨的升降更加平稳,每个压板机构6的平移块642的数量可以设置为两个,两个平移块642分别位于升降板两端,两个平移块之间可以通过连杆6124相连接,当然,为了配合平移块,与平移块配套使用的结构部件的数量需根据平移块的数量变动而变动,在此不再赘述。
在此需要说明的是,本实施例的压块升降驱动装置与压块和电路板送料输送带传动连接,压块升降驱动装置能够同时带动压块和电路板输送带升降,从而使得压块与电路板送料输送带相配合夹压电路板实现定位,而在其他实施例中,压块升降驱动装置也可单独带动压块升降,电路板送料输送带为固定的,这样也可实现电路板的夹压定位,非本实施例为限。
X轴平移驱动装置2分别安装在机架的顶板底部和工作台上,X轴平移驱动装置2分别位于电路板送料输送带5的上方和下方,在本实施例中,X轴平移驱动装置2均包括X轴直线电机定子21、四个X轴直线电机动子24和四个X轴平移座22,X轴直线电机动子24分别可平移地安装在X轴直线电机定子21上,X轴平移座22分别安装在各自对应的X轴直线电机动子24上。
作为优选,机架11的顶板底部和工作台上分别设有平行于X轴直线电机定子的X轴光栅尺12,X轴平移座22上设有用于与X轴光栅尺12配合使用的X轴光栅尺读数头13,X轴光栅尺读数头13与X轴光栅尺配合能够检测X轴的位移信息。
机架11的工作台上设有位于X轴直线电机定子21一端的第一X轴防撞块16,X轴平移座22的一侧设有第二X轴防撞块17。
Y轴平移驱动装置3设有八个,每个Y轴平移驱动装置3均包括Y轴直线电机定子31、Y轴直线电机动子33和Y轴平移座32,Y轴直线电机定子31分别安装在各自对应的X轴平移座22上,Y轴直线电机动子33分别可平移地安装在各自对应的Y轴直线电机定子31上,Y轴平移座32分别安装在各自对应的Y轴直线电机动子33上。
其中,X轴平移座22上设有平行于Y轴布置的Y轴光栅尺14,Y轴平移座32上设有用于与Y轴光栅尺14配合使用的Y轴光栅尺读数头15,Y轴光栅尺读数头15与Y轴光栅尺14配合能够检测Y轴的位移信息。
实施时,X轴平移座的一端可以设有用于防止Y轴平移座与X轴平移座相碰撞的Y轴防撞块18。
探针升降驱动装置4设有八个,每个探针升降驱动装置4均包括升降直线电机定子41、升降直线电机动子43和升降座42,升降直线电机定子41分别安装在各自对应的Y轴平移座32上,升降直线电机动子43分别可平移地安装在各自对应的升降直线电机定子41上,升降座42分别与各自对应的升降直线电机动子43相连接,检测探针1设有八个并分别与各自对应的升降座42上,检测探针1倾斜布置并分别位于电路板送料输送带5的上方和下方。
如图15所示,Y轴平移座32上设有平行于升降直线电机定子41布置的位于升降直线电机定子41的一侧的升降光栅尺20,升降座42上设有用于与升降光栅尺20相配合的升降光栅尺读数头23,升降光栅尺20与升降光栅尺读数头23配合可检测升降部位的位移信息。
电路板送料输送带5的其中一个输送侧轨51上可以设有用于标定检测探针1的位置的探针标定机构,探针标定机构包括标定块191和标定块进退气缸192,标定块进退气缸192横向布置,标定块191安装在标定块进退气缸192的输出轴上,标定块191上设有贯穿孔,标定块进退气缸192能够带动标定块191沿着垂直于电路板送料输送带5的输送方向平移,从而使得标定块191进入到压块61与电路板送料输送带5的其中一个输送侧轨51之间或从压块61与电路板送料输送带5的其中一个输送侧轨51之间退出,在工作前,工人可将锡纸包裹在标定块191外部,然后X轴平移驱动装置、Y轴平移驱动装置带动检测探针1移动至标定块191上方,探针升降驱动装置带动检测探针1下降,通过观察检测探针1是否能够插穿锡纸来判断检测探针位置是否准确。
工作时,入料输送带将电路板输送至电路板送料输送带上,然后电路板送料输送带将电路板运送至检测工位,在电路板移动到检测工位后,阻挡块升降气缸带动阻挡块下降,使得阻挡块挡住电路板使电路板停留在检测工位,然后压块升降驱动装置同时带动压块下降和电路板送料输送带上升,使得压块与电路板送料输送带的输送侧轨相配合夹压紧电路板以实现定位,然后X轴平移驱动装置、Y轴平移驱动装置和探针升降驱动装置带动检测探针移动,使检测探针移动到电路板的各个待检测位检测,在检测完毕后,阻挡块升降气缸带动阻挡块上升,电路板送料输送带将电路板运送至出料输送带上,出料输送带将电路板输出。
其中,本实施例可用于检测电路板上的电子元器件(如电阻、电容、IC等)是否有漏装、是否通电和性能检测,具体功能可根据用户的实际需要进行不同检测,本实施例的检测探针1的数量可根据用户的需要变动,并且与检测探针1配套使用的部件的数量可根据检测探针的数量变动而变动,非本实施例为限。
综上所述,本实用新型具有以下优点:
1、本实用新型的结构简单、新颖,设计合理,可实现任何一种电路板的自动化检测作业,较为灵活,通用性好,改变了现有的PCB板检测在更换电路板检测时需要更换特定电路板载具的现状,大大提升了工作效率。
2、本实用新型的探针移动驱动部位都是采用直线电机,采用直线电机速度快,精度高。
上述实施例为本实用新型较佳的实施方式,但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种飞针检测机,其特征在于:包括检测探针(1),用于带动检测探针(1)沿着X轴方向平移的X轴平移驱动装置(2),用于带动检测探针(1)沿着Y轴方向平移的Y轴平移驱动装置(3),用于带动检测探针(1)升降的探针升降驱动装置(4),用于电路板送料的电路板送料输送带(5),以及用于将电路板压紧在电路板送料输送带(5)上以实现电路板定位的压板机构(6),所述电路板送料输送带(5)水平布置,所述X轴平移驱动装置(2)分别位于电路板送料输送带(5)的上方和下方,所述Y轴平移驱动装置(3)设有若干个并分别安装在各自对应的X轴平移驱动装置(2)的平移部位上,所述探针升降驱动装置(4)设有若干个并分别安装在各自对应的Y轴平移驱动装置(3)的平移部位,所述检测探针(1)设有若干个并分别安装在各自对应的探针升降驱动装置(4)的升降部位,所述检测探针(1)分别位于电路板送料输送带(5)的上方和下方,所述压板机构(6)分别位于电路板送料输送带(5)的两侧部位。
2.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:还包括用于调节电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)的间距的间距调节机构(7),所述电路板送料输送带(5)安装在间距调节机构(7)上并由间距调节机构(7)调节两个输送侧轨(51)之间的间距。
3.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:还包括用于阻挡住电路板的阻挡机构(8),所述阻挡机构(8)分别位于电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)一端。
4.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:还包括用于将电路板输送至电路板送料输送带(5)上的入料输送带(9)和用于将检测完毕的电路板送出的出料输送带(10),所述入料输送带(9)位于电路板送料输送带(5)的入料端并与电路板送料输送带(5)相对接,所述出料输送带(10)位于电路板送料输送带(5)的出料端并与电路板送料输送带(5)相对接。
5.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:所述Y轴平移驱动装置(3)设有八个,所述探针升降驱动装置(4)设有八个,所述检测探针(1)设有八根。
6.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:所述压板机构(6)包括压块(61)、压块横移驱动装置(62)和压块升降驱动装置(64),所述压块横移驱动装置(62)安装在压块升降驱动装置(64)上,所述压块(61)与压块横移驱动装置(62)相连接。
7.根据权利要求6所述的一种飞针检测机,其特征在于:所述压块升降驱动装置(64)包括压块升降气缸(641)、平移块(642)和升降板(643),所述升降板(643)通过第一滑块(632)可升降地安装在第一滑轨(633)上,所述压块升降气缸(641)水平布置,所述平移块(642)位于升降板(643)外侧,所述平移块(642)上设有连接柱(6421),所述连接柱(6421)与压块升降气缸(641)的输出轴相连接,所述平移块(642)上贯穿设置有第一升降导槽(6422),所述升降板(643)的背部设有第一升降导柱(631),所述第一升降导柱(631)伸入到平移块(642)的第一升降导槽(6422)内,所述压块升降气缸(641)能够带动平移块(642)平移,从而使得第一升降导槽(6422)与升降板(643)背部的第一升降导柱(631)相配合,进而带动升降板(643)上下升降。
8.根据权利要求7所述的一种飞针检测机,其特征在于:所述电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)分别通过第二滑块(512)可升降地安装在各自对应的第一滑轨(633)上,所述电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)分别位于各自对应的升降板(643)下方,所述电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)外侧分别设有第二升降导柱(511),所述平移块(642)上贯穿设置有第二升降导槽(6123),所述电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)的第二升降导柱(511)分别伸入到各自对应的第二升降导槽(6123)内,所述压块升降气缸(641)在带动升降板(643)升降的同时能够通过平移块(642)的第二升降导槽(6123)与第二升降导柱(511)相配合,从而带动电路板送料输送带(5)的输送侧轨(51)升降,使得压块(61)与电路板送料输送带(5)的输送侧轨(51)相互远离或接近。
9.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:所述电路板送料输送带(5)的两个输送侧轨(51)分别与各自对应的压板机构(6)的压块升降驱动装置(64)传动连接,所述压块升降驱动装置(64)能够在带动压块(61)升降的同时带动电路板送料输送带(5)的输送侧轨(51)升降,从而使得压块(61)与电路板送料输送带(5)的输送侧轨(51)相互接近或远离。
10.根据权利要求1所述的一种飞针检测机,其特征在于:所述X轴平移驱动装置(2)包括X轴直线电机定子(21)、若干个X轴直线电机动子(24)和若干个X轴平移座(22),所述X轴直线电机动子(24)分别可平移地安装在X轴直线电机定子(21)上,所述X轴平移座(22)分别安装在各自对应的X轴直线电机动子(24)上;
所述Y轴平移驱动装置(3)包括Y轴直线电机定子(31)、Y轴直线电机动子(33)和Y轴平移座(32),所述Y轴直线电机动子(33)可平移地安装在Y轴直线电机定子(31)上,所述Y轴平移座(32)安装在Y轴直线电机动子(33)上;
所述探针升降驱动装置(4)包括升降直线电机定子(41)、升降直线电机动子(43)和升降座(42),所述升降直线电机动子(43)可平移地安装在升降直线电机定子(41)上,所述升降座(42)与升降直线电机动子(43)相连接。
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