CN217719510U - 一种半导体手动三光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体手动三光机，涉及半导体技术领域，包括底板，底板的顶端安装有底座框架组件；底座框架组件的内部包括有控制盒，且控制盒与底板的顶端之间相连接，控制盒的表面安装有触摸屏，且控制盒的顶端安装有蜂鸣器，控制盒的表面设置有气源两联件，底板的顶端连接有两个第一安装座，且第一安装座的一侧连接有螺杆，螺杆的表面螺纹连接有套管。本实用新型中，利用手动夹爪，避免了用手接触到放置架的情况出现，而第一引导槽与第二引导槽上方的两块玻璃罩，可以避免操作员在用手动夹爪拉动放置架的过程中，不小心接触到半导体芯片，从而实现可人工之间半导体芯片品质的目的，也避免了人手接触到半导体芯片的情况出现。

Description

一种半导体手动三光机

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体手动三光机。

背景技术

半导体封装测试行业中，半导体芯片的生产经过贴片及键合工序后，需要进行工艺品质进行检测，要求利用低倍光学显微镜人工检测工艺品质。

现有的全自动三光机可以完成这一功能，只是价格比较昂贵，如果将芯片一条条手动拿到显微镜下检测，又很可能由于操作员工的失误造成芯片位置偏移，或者整个引线框架变形。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决了现有的全自动三光机可以完成这一功能，只是价格比较昂贵，如果将芯片一条条手动拿到显微镜下检测，又很可能由于操作员工的失误造成芯片位置偏移，或者整个引线框架变形的缺点，而提出的一种半导体手动三光机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体手动三光机，包括底板，所述底板的顶端安装有底座框架组件；

所述底座框架组件的内部包括有控制盒，且控制盒与底板的顶端之间相连接，所述控制盒的表面安装有触摸屏，且控制盒的顶端安装有蜂鸣器，所述控制盒的表面设置有气源两联件，所述底板的顶端连接有两个第一安装座，且第一安装座的一侧连接有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有套管，且螺杆的一端连接有第一手轮，所述套管的顶端连接有底座本体，且底座本体的顶端连接有挡料立板，所述底座本体的顶端安装有光电传感器，且底座本体的顶端连接有手柄，所述底板的顶端连接有两个第二安装座，且第二安装座的一侧连接有第一导向轴，所述第一导向轴的表面连接有第一直线轴承，所述底板的顶端连接有滑槽，且滑槽的内部连接有第一滑块；

所述底座本体的顶端安装有工作台组件，且工作台组件的内部包括有安装架，且安装架有底座本体的顶端之间相连接，所述安装架的顶端一侧连接有玻璃左罩，且安装架的一侧连接有第二手轮，所述安装架的顶端连接有划线台，且安装架的顶端连接有第一引导槽，所述安装架的顶端连接有第二引导槽，且第二引导槽的侧部安装有手动夹爪，所述安装架的底端连接有第三安装座，且第三安装座的一侧连接有第二导向轴，所述第二导向轴的表面连接有第二直线轴承，且第二直线轴承的一侧连接有连接杆，所述安装架的底端连接有第四安装座，且第四安装座的一侧连接有第一滚珠丝杠，所述第一滚珠丝杠的表面连接有第一滚珠螺母，且第一滚珠丝杠的一端连接有同步轮，所述同步轮的表面连接有同步带；

所述底座本体的顶端连接有升降机组件，且升降机组件的内部包括有框架本体，所述框架本体与底座本体的顶端之间相连接，且框架本体的顶端连接有伺服电机，所述框架本体的内部顶端连接有第二滚珠丝杠，且第二滚珠丝杠的表面连接有第二滚珠螺母，所述第二滚珠螺母的一侧来接有料盒托块，所述框架本体的内壁一侧连接有滑轨，且滑轨的表面滑动连接有第二滑块，所述框架本体的一侧连接有连接板，且连接板的一侧连接有气缸，所述气缸的一侧连接有推杆，且推杆的表面连接有右侧挡料板；

所述底板的顶端安装有化学显微镜组件，且化学显微镜组件的内部包括有固定座，所述固定座与底板的顶端之间相连接，且固定座的顶端连接有导向杆，所述导向杆的表面连接有支架，且支架的一侧连接有双目显微镜，所述双目显微镜的底端安装有环形光源；

所述安装架的顶端另一侧安装有玻璃右罩，所述料盒托块的顶端放置有弹夹。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述套管与底板的顶端之间为滑动连接，所述第二滑块与第二滚珠螺母的一侧之间相连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一直线轴承与底座本体的底端之间相连接，所述第一滑块与第一直线轴承的底端之间相连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一滚珠螺母与第二引导槽的底端之间相连接，且第一滚珠螺母与连接杆的一侧之间相连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，利用手动夹爪，避免了用手接触到放置架的情况出现，而第一引导槽与第二引导槽上方的两块玻璃罩，可以避免操作员在用手动夹爪拉动放置架的过程中，不小心接触到半导体芯片，从而实现可人工之间半导体芯片品质的目的，也避免了人手接触到半导体芯片的情况出现。

附图说明

图1为本实用新型中一种半导体手动三光机结构示意图；

图2为本实用新型中底座框架组件结构示意图；

图3为本实用新型中第一导向轴表面结构示意图；

图4为本实用新型中工作台组件部分结构示意图；

图5为图4中A处放大结构示意图；

图6为本实用新型中第一滚珠螺母与第二直线轴承连接结构示意图；

图7为本实用新型中升降机组件结构示意图；

图8为本实用新型中化学显微镜组件结构示意图；

图9为本实用新型中半导体芯片品质质检机穿模路径图。

图例说明：

1、底板；2、底座框架组件；201、控制盒；202、触摸屏；203、蜂鸣器；204、气源两联件；205、第一安装座；206、螺杆；207、套管；208、第一手轮；209、底座本体；210、挡料立板；211、光电传感器；212、手柄；213、第二安装座；214、第一导向轴；215、第一直线轴承；216、滑槽；217、第一滑块；3、工作台组件；301、安装架；302、玻璃左罩；303、第二手轮；304、划线台；305、第一引导槽；306、第二引导槽；307、手动夹爪；308、第三安装座；309、第二导向轴；310、第二直线轴承；311、连接杆；312、第四安装座；313、第一滚珠丝杠；314、第一滚珠螺母；315、同步轮；316、同步带；4、升降机组件；401、框架本体；402、伺服电机；403、第二滚珠丝杠；404、第二滚珠螺母；405、料盒托块；406、滑轨；407、第二滑块；408、连接板；409、气缸；410、推杆；411、右侧挡料板；5、化学显微镜组件；501、固定座；502、导向杆；503、支架；504、双目显微镜；505、环形光源；6、玻璃右罩；7、弹夹。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-9，一种半导体手动三光机，包括底板1，底板1的顶端安装有底座框架组件2；

底座框架组件2的内部包括有控制盒201，且控制盒201与底板1的顶端之间相连接，控制盒201的表面安装有触摸屏202，且控制盒201的顶端安装有蜂鸣器203，控制盒201的表面设置有气源两联件204，底板1的顶端连接有两个第一安装座205，且第一安装座205的一侧连接有螺杆206，螺杆206的表面螺纹连接有套管207，且螺杆206的一端连接有第一手轮208，套管207的顶端连接有底座本体209，且底座本体209的顶端连接有挡料立板210，底座本体209的顶端安装有光电传感器211，且底座本体209的顶端连接有手柄212，底板1的顶端连接有两个第二安装座213，且第二安装座213的一侧连接有第一导向轴214，第一导向轴214的表面连接有第一直线轴承215，底板1的顶端连接有滑槽216，且滑槽216的内部连接有第一滑块217；

底座本体209的顶端安装有工作台组件3，且工作台组件3的内部包括有安装架301，且安装架301有底座本体209的顶端之间相连接，安装架301的顶端一侧连接有玻璃左罩302，且安装架301的一侧连接有第二手轮303，安装架301的顶端连接有划线台304，且安装架301的顶端连接有第一引导槽305，安装架301的顶端连接有第二引导槽306，且第二引导槽306的侧部安装有手动夹爪307，安装架301的底端连接有第三安装座308，且第三安装座308的一侧连接有第二导向轴309，第二导向轴309的表面连接有第二直线轴承310，且第二直线轴承310的一侧连接有连接杆311，安装架301的底端连接有第四安装座312，且第四安装座312的一侧连接有第一滚珠丝杠313，第一滚珠丝杠313的表面连接有第一滚珠螺母314，且第一滚珠丝杠313的一端连接有同步轮315，同步轮315的表面连接有同步带316；

底座本体209的顶端连接有升降机组件4，且升降机组件4的内部包括有框架本体401，框架本体401与底座本体209的顶端之间相连接，且框架本体401的顶端连接有伺服电机402，框架本体401的内部顶端连接有第二滚珠丝杠403，且第二滚珠丝杠403的表面连接有第二滚珠螺母404，第二滚珠螺母404的一侧来接有料盒托块405，框架本体401的内壁一侧连接有滑轨406，且滑轨406的表面滑动连接有第二滑块407，框架本体401的一侧连接有连接板408，且连接板408的一侧连接有气缸409，气缸409的一侧连接有推杆410，且推杆410的表面连接有右侧挡料板411；

底板1的顶端安装有化学显微镜组件5，且化学显微镜组件5的内部包括有固定座501，固定座501与底板1的顶端之间相连接，且固定座501的顶端连接有导向杆502，导向杆502的表面连接有支架503，且支架503的一侧连接有双目显微镜504，双目显微镜504的底端安装有环形光源505；

安装架301的顶端另一侧安装有玻璃右罩6，料盒托块405的顶端放置有弹夹7，气源两联件204包括减压阀和过滤器，控制盒201的内部安装有伺服驱动电机、plc、电磁阀、直流电源等，挡料立板210是防止不在当前检查层的放置架从左侧滑出弹夹7，光电传感器211的型号为E30-20D1PH，其是用于检测推杆410是否将放置架推到手动夹爪307夹取的位置，第一引导槽305是保持固定，用来导引装有半导体芯片的放置架，手动夹爪307可将放置架从弹夹7中拉出与送回，实现放置架的横向移动，第二引导槽306配合第一引导槽305，实现不同宽度的放置架的使用，划线台304,是在划切或者标记时，用于从底部支撑放置架，双目显微镜504的目镜倍率为10x，物镜倍率为0.67x-4.5x，环形光源505给显微镜提供光源，光源亮度可在后方的旋钮上调节。

进一步的，套管207与底板1的顶端之间为滑动连接，第二滑块407与第二滚珠螺母404的一侧之间相连接，套管207是便于带动着底座本体209进行移动，通过第一手轮208的转动，可使套管207在螺杆206的表面带动着底座本体209等进行移动，第二滑块407与滑轨406是便于第二滚珠螺母404能够带动着料盒托块405以及弹夹7进行限位移动。

进一步的，第一直线轴承215与底座本体209的底端之间相连接，第一滑块217与第一直线轴承215的底端之间相连接，第一直线轴承215与第一导向轴214可实现底座本体209Y方向的移动。

进一步的，第一滚珠螺母314与第二引导槽306的底端之间相连接，且第一滚珠螺母314与连接杆311的一侧之间相连接，第一滚珠螺母314是便于第二引导槽306进行Y方向移动，便于根据弹夹7内部的放置架的大小进行调节，其是用过同步带316与同步轮315的转动而进行移动的，连接杆311、第二直线轴承310与第二导向轴309是便于第一滚珠螺母314能够限位移动。

工作原理：使用时，当弹夹7在料盒托块405上放好夹紧后，由气缸409驱动的推杆410自动将弹夹7中装有半导体芯片的放置架推出，而伺服电机402的工作，可使第二滚珠螺母404通过第二滑块407在滑轨406上移动，可使第二滚珠螺母404带动着料盒托块405以及弹夹7等进行移动，便于将弹夹7内部底端的放置架移动到推杆410的一侧，操作员使用手动夹爪307夹爪放置架边缘，沿着玻璃右罩6下方的第一引导槽305与第二引导槽306将放置架移动到双目显微镜504下，等到操作员通过双目显微镜504完成质检后，再用手动夹爪307将放置架沿着第一引导槽305与第二引导槽306送回弹夹7，完成一次质检操作。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种半导体手动三光机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶端安装有底座框架组件(2)；

所述底座框架组件(2)的内部包括有控制盒(201)，且控制盒(201)与底板(1)的顶端之间相连接，所述控制盒(201)的表面安装有触摸屏(202)，且控制盒(201)的顶端安装有蜂鸣器(203)，所述控制盒(201)的表面设置有气源两联件(204)，所述底板(1)的顶端连接有两个第一安装座(205)，且第一安装座(205)的一侧连接有螺杆(206)，所述螺杆(206)的表面螺纹连接有套管(207)，且螺杆(206)的一端连接有第一手轮(208)，所述套管(207)的顶端连接有底座本体(209)，且底座本体(209)的顶端连接有挡料立板(210)，所述底座本体(209)的顶端安装有光电传感器(211)，且底座本体(209)的顶端连接有手柄(212)，所述底板(1)的顶端连接有两个第二安装座(213)，且第二安装座(213)的一侧连接有第一导向轴(214)，所述第一导向轴(214)的表面连接有第一直线轴承(215)，所述底板(1)的顶端连接有滑槽(216)，且滑槽(216)的内部连接有第一滑块(217)；

所述底座本体(209)的顶端安装有工作台组件(3)，且工作台组件(3)的内部包括有安装架(301)，且安装架(301)有底座本体(209)的顶端之间相连接，所述安装架(301)的顶端一侧连接有玻璃左罩(302)，且安装架(301)的一侧连接有第二手轮(303)，所述安装架(301)的顶端连接有划线台(304)，且安装架(301)的顶端连接有第一引导槽(305)，所述安装架(301)的顶端连接有第二引导槽(306)，且第二引导槽(306)的侧部安装有手动夹爪(307)，所述安装架(301)的底端连接有第三安装座(308)，且第三安装座(308)的一侧连接有第二导向轴(309)，所述第二导向轴(309)的表面连接有第二直线轴承(310)，且第二直线轴承(310)的一侧连接有连接杆(311)，所述安装架(301)的底端连接有第四安装座(312)，且第四安装座(312)的一侧连接有第一滚珠丝杠(313)，所述第一滚珠丝杠(313)的表面连接有第一滚珠螺母(314)，且第一滚珠丝杠(313)的一端连接有同步轮(315)，所述同步轮(315)的表面连接有同步带(316)；

所述底座本体(209)的顶端连接有升降机组件(4)，且升降机组件(4)的内部包括有框架本体(401)，所述框架本体(401)与底座本体(209)的顶端之间相连接，且框架本体(401)的顶端连接有伺服电机(402)，所述框架本体(401)的内部顶端连接有第二滚珠丝杠(403)，且第二滚珠丝杠(403)的表面连接有第二滚珠螺母(404)，所述第二滚珠螺母(404)的一侧来接有料盒托块(405)，所述框架本体(401)的内壁一侧连接有滑轨(406)，且滑轨(406)的表面滑动连接有第二滑块(407)，所述框架本体(401)的一侧连接有连接板(408)，且连接板(408)的一侧连接有气缸(409)，所述气缸(409)的一侧连接有推杆(410)，且推杆(410)的表面连接有右侧挡料板(411)；

所述底板(1)的顶端安装有化学显微镜组件(5)，且化学显微镜组件(5)的内部包括有固定座(501)，所述固定座(501)与底板(1)的顶端之间相连接，且固定座(501)的顶端连接有导向杆(502)，所述导向杆(502)的表面连接有支架(503)，且支架(503)的一侧连接有双目显微镜(504)，所述双目显微镜(504)的底端安装有环形光源(505)；

所述安装架(301)的顶端另一侧安装有玻璃右罩(6)，所述料盒托块(405)的顶端放置有弹夹(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体手动三光机，其特征在于：所述套管(207)与底板(1)的顶端之间为滑动连接，所述第二滑块(407)与第二滚珠螺母(404)的一侧之间相连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体手动三光机，其特征在于：所述第一直线轴承(215)与底座本体(209)的底端之间相连接，所述第一滑块(217)与第一直线轴承(215)的底端之间相连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体手动三光机，其特征在于：所述第一滚珠螺母(314)与第二引导槽(306)的底端之间相连接，且第一滚珠螺母(314)与连接杆(311)的一侧之间相连接。

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