CN216631664U - 检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种检测设备，包括：工作台；检测机构，包括检测组件和检测运动平台，其中，所述检测组件设置于所述检测工位上，所述检测运动平台活动设置于所述工作台上，并可在所述上料工位、检测工位以及中转工位之间来回运动；标识机构，包括标识组件和标识运动平台，其中，所述标识组件设置于所述标识工位上，所述标识运动平台活动设置于所述工作台上；以及中转机构，活动设置于所述中转工位上，用于将所述检测运动平台上的工件转移至所述标识运动平台上。可看出本申请的检测设备可以对工件的有缺陷区域进行标识，使工作人员能够清楚直观了解工件的缺陷区域的位置，以便于对缺陷区域进行后续的处理，并且检测效率高。

Description

检测设备

技术领域

本申请属于产品检测技术领域，更具体地说，是涉及一种检测设备。

背景技术

随着信息时代的快速发展，3C行业及半导体行业发展的越来越成熟，因此对产品的电子原器件要求越来越高。作为电子零部件之一的片式亚敏电阻，亦称表面贴装电阻器，它与其它片式元器件例如SMC和SMD一样，是适用于表面贴装技术SMT的新一代无引线或短引线微型电子元件。因此对这一类型电子元件的外观有着严格要求。

因此需要设计一款检测设备能够对这类型电子元件的外观缺陷例如划伤，侵蚀，脏污等进行检测，并对有缺陷的区域进行标识。

实用新型内容

本申请在于提供检测设备，以解决上述背景技术所提到的技术问题。

本申请采用的技术方案是一种检测设备，包括：

工作台，具有上料工位、检测工位、中转工位、标识工位以及下料工位；

检测机构，包括检测组件和检测运动平台，其中，所述检测组件设置于所述检测工位上，所述检测运动平台活动设置于所述工作台上，并可在所述上料工位、检测工位以及中转工位之间来回运动；

标识机构，包括标识组件和标识运动平台，其中，所述标识组件设置于所述标识工位上，所述标识运动平台活动设置于所述工作台上，并可在所述中转工位、标识工位以及下料工位之间来回运动；以及

中转机构，活动设置于所述中转工位上，用于将所述检测运动平台上的工件转移至所述标识运动平台上。

可看出，本申请的检测设备，通过设置检测机构和标识机构能够实现对工件的检测，并且可以根据检测信息对工件的有缺陷区域进行标识，使工作人员能够清楚直观了解工件的缺陷区域的位置，以便于对缺陷区域进行后续的处理。

此外，检测设备还包括中转机构，检测机构还包括检测组件和检测运动平台，标识机构还包括标识组件和标识运动平台；当中转机构将工件从检测运动平台转移至标识运动平台进行标识时，检测运动平台可移动回上料工位进行上料，并继续带动工件移动至检测工位处进行检测；因此，该方式能够使检测机构和标识机构的工作相互独立，可以很大程度地提高工件的检测效率。

进一步地，所述中转机构包括中转运动平台和中转取料组件；其中，

所述中取料组件活动设置于所述中转工位上，用于对工件进行取料；以及

所述中转运动平台的驱动端与所述中转取料组件连接，用于驱动所述中转取料组件沿第一方向和第三方向运动。

进一步地，所述检测运动平台和/或标识运动平台分别包括驱动结构和治具；其中

所述治具用于承载工件；以及

所述驱动结构设置于所述工作台上，且所述驱动结构的驱动端与所述治具连接，用于驱动所述治具沿第一方向和第二方向移动。

进一步地，所述治具包括承载板、定位结构和压紧结构；其中，

所述承载板设置于所述驱动结构上，用于承载工件；以及

所述定位结构和压紧结构分别在第一方向上以及第二方向上相对设置于所述承载板的两端，相配合夹紧所述工件。

进一步地，所述标识组件包括标识驱动结构和标识结构；其中，

所述标识结构设置于所述标识工位，用于对工件进行标识；以及

所述标识驱动结构的驱动端与所述标识结构连接，用于驱动所述标识结构沿第三方向移动。

进一步地，所述标识组件还包括吸尘结构，所述吸尘结构设置于所述标识结构靠近工作台的一端，且所述吸尘结构上设置有供所述标识结构作用在工件上的避空孔。

进一步地，还包括上料机构，所述上料机构包括上料存放组件和上料转移组件；其中

所述上料存放组件设置于所述上料工位上，用于存放待检测的工件；以及

所述上料转移组件设置于所述工作台上，用于将所述上料存放组件内的工件转移至所述检测运动平台上。

进一步地，所述上料机构还包括离子消除装置，所述离子消除装置设置于所述上料转移组件将工件从上料存放组件转移至检测运动平台的路径上。

进一步地，所述上料转移组件包括上料转移驱动结构和上料取料结构；其中，

所述上料取料结构活动设置于所述工作台上，用于对工件进行取料；以及

所述上料转移驱动结构的驱动端与所述上料取料结构连接，用于驱动所述上料取料结构沿第二方向和第三方向移动。

进一步地，所述上料取料结构包括若干个上料吸附件和分料驱动件；其中，

所述上料吸附件用于吸附工件；

所述分料驱动件与每一所述上料吸附件连接，至少用于驱动一部分上料吸附件相对于另一部分上料吸附件移动。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的检测设备的结构示意图；

图2为图1所示检测设备中检测机构和上料机构的结构示意图；

图3为图1所示检测设备中标识机构、中转机构和下料机构的结构示意图；

图4为图1所示检测设备中检测运动平台的结构示意图；

图5为图1所示检测设备中治具的结构示意图；

图6为图1所示检测设备中中转机构的结构示意图；

图7为图1所示检测设备中标识组件的结构示意图；

图8为图1所示检测设备中上料转移组件的结构示意图。

附图标识：

100、工作台；

200、检测机构；210、检测组件；211、检测结构；212、检测驱动结构；220、检测运动平台；221、平台驱动结构；222、治具；2221、承载板；2222、定位结构；2223、压紧结构；2224、吸附孔；2225、通槽；

300、标识机构；310、标识组件；311、标识驱动结构；312、标识结构；313、吸尘结构；314、视觉结构；320、标识运动平台；

400、中转机构；410、中转运动平台；411、第一中转驱动件；412、第二中转驱动件；420、中转取料组件；421、中转支架；422、中转吸附件；

500、上料机构；510、上料存放组件；511、上料料框；512、料框驱动结构；520、上料转移组件；521、上料转移驱动结构；522、上料取料结构；530、离子消除装置；5211、第一上料驱动件；5212、第二上料驱动件；5221、上料吸附件；5222、上料支架；5223、分料驱动件；

600、下料机构；

700、工件。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元结构被称为“固定于”或“设置于”另一个元结构，它可以直接在另一个元结构上或者间接在该另一个元结构上。当一个元结构被称为是“连接于”另一个元结构，它可以是直接连接到另一个元结构或间接连接至该另一个元结构上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元结构必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在一些申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本申请提供一种检测设备，其一般设置于生产线上用于对工件700进行检测，并对工件700不良区域进行标识，使工作人员能够对有缺陷区域进行后续的处理。例如，在对工件700为片式亚敏电阻的检测过程中，检测设备首先需要对片式亚敏电阻进行检测，当检测到某一区域有缺陷时，需要对该区域进行标识；工件700下料之后，工作人员可根据该标识对有缺陷的区域进行后续的处理。

参阅图1，本申请所提供的一种检测设备，其包括工作台100、检测机构200、标识机构300和中转机构400。其中，工作台100具有上料工位、检测工位、中转工位、标识工位以及下料工位，工件700依次在上料工位进行上料、在检测工位进行检测、在中转工位进行中转、在标识工位进行标识以及在下料工位进行下料；检测机构200设置于检测工位上，用于对工件700进行检测；标识机构300设置于标识工位上，用于根据检测机构200的检测信息对工件700有缺陷的区域进行标识；中转机构400设置于中转工位上，用于将工件700从检测机构200转移至标识机构300。

具体地，工件700从上料工位上料至检测机构200上；检测机构200对工件700进行检测；检测完成后，中转机构400将工件700从检测机构200转移至标识机构300；标识机构300根据检测机构200的检测信息对工件700进行标识；标识完成后，工件700从下料工位进行下料。

进一步地，参阅图2，检测机构200包括检测组件210和检测运动平台220。其中，检测组件210设置于检测工位上，用于对工件700进行检测；检测运动平台220活动设置于工作台100上并可在上料工位、检测工位以及中转工位之间来回运动，用于承载并转运工件700。

实际使用时，检测运动平台220移动至上料工位；工件700从上料工位上料至检测运动平台220上，检测运动平台220带动该工件700移动至检测工位；设置于检测工位的检测组件210对检测运动平台220上的工件700进行检测；检测完成后，检测运动平台220带动工件700移动至中转工位；设置于中转工位的中转机构400将检测运动平台220上的工件700转移至标识机构300。

参阅图3，检测机构200包括标识组件310和标识运动平台320。其中，标识组件310设置于标识工位上，根据检测组件210的检测信息对工件700有缺陷的区域进行检测；标识运动平台320设置于工作台100上并可在中转工位、标识工位以及下料工位之间来回运动，用于承载并转运工件700。

实际使用时，标识运动平台320移动至中转工位；设置于中转工位的中转机构400将工件700从检测运动平台220转移至标识运动平台320；标识运动平台320带动工件700移动至标识工位；设置于标识工位的标识组件310根据检测组件210的检测信息对标识运动平台320上的工件700进行标识；标识完成后，标识运动平台320带动工件700移动至下料工位；工件700从下料工位进行下料，完成工件700的整个检测。

可看出，本申请的检测设备，通过设置检测机构200和标识机构300能够实现对工件700的检测，并且可以根据检测信息对工件700的有缺陷区域进行标识，使工作人员能够清楚直观了解工件700的缺陷区域的位置，以便于对缺陷区域进行后续的处理。

此外，检测设备还包括中转机构400，检测机构200还包括检测组件210和检测运动平台220，标识机构300还包括标识组件310和标识运动平台320；当中转机构400将工件700从检测运动平台220转移至标识运动平台320进行标识时，检测运动平台220可移动回上料工位进行上料，并继续带动工件700移动至检测工位处进行检测；因此，该方式能够使检测机构200和标识机构300的工作相互独立，可以很大程度地提高工件700的检测效率。

参阅图4，检测运动平台220包括平台驱动结构221和治具222。其中，治具222用于承载工件700；平台驱动结构221设置于工作台100上，且平台驱动结构221的驱动端与治具222连接，用于驱动治具222沿第一方向和第二方向移动，进而带动工件700沿第一方向和第二方向移动，实现工件700在上料工位、检测工位以及中转工位之间转移。在申请中，第一方向可以是附图中的X轴方向，第二方向可以是附图中Y轴方向。

具体地，平台驱动结构221可以是二维运动装置，其一般包括有沿第一方向驱动的驱动件以及沿第二方向驱动件的驱动件。其中驱动件可以是直线电机、丝杆电机等。需要说明的是，二维运动装置的具体结构为常见技术，非本申请的创新点，在此不做详细赘述。

参阅图3，标识运动平台320的结构可与检测运动平台220的结构相同，即包括平台驱动结构221和治具222。其中，标识运动平台320的平台驱动结构221用于驱动治具222沿第一方向和第二方向移动，进而带动工件700沿第一方向和第二方向移动，实现工件700在中转工位、标识工位以及下料工位之间转移。

进一步地，参阅图5，上述检测运动平台220和标识运动平台320中设置的治具222均可包括有承载板2221、定位结构2222和压紧结构2223。其中，承载板2221设置于平台驱动结构221的驱动端上，用于承载工件700；定位结构2222和压紧结构2223分别在第一方向上以及第二方向上相对设置于承载板2221的两端，用于相配合夹紧承载板2221上所承载的工件700。

具体地，定位结构2222和压紧结构2223在第一方向上分别设置于承载板2221的两端，以及在第二方向上分别设置于承载板2221的两端。当工件700放置在承载板2221上后，在第一方向和第二方向上设置的压紧结构2223分带动工件700朝靠近所对应的定位结构2222的方向运动，将工件700压紧在定位结构2222上，进而实现工件700在第一方向和第二方向上的定位和固定，防止平台驱动结构221驱动工件700移动过程中，发生位移。

可选地，为了提高工件700定位和固定的效果，定位结构2222和压紧结构2223在第一方向上和第二方向上均可设置多组。

其中，定位结构2222可以是固定设置于承载板2221一端的定位块或定位柱。

压紧结构2223可以包括压紧块和压紧驱动件，压紧驱动件设置于承载板2221远离定位结构2222的一端，且压紧驱动件的驱动端连接压紧块，用于驱动压紧块朝靠近定位结构2222的方向移动，使压紧件将工件700压紧在定位结构2222上。在本申请的实施例中，压紧驱动件可以是伸缩气缸，实现对工件700定位和固定的自动化。在其它实施例中，压紧驱动件还可以是弹性件例如弹簧，在工件700放置在承载板2221的过程中，使弹性件收缩，工件700放置完成后，弹性件将工件700压紧在定位结构2222上，该方式可以降低治具222的成本。

当然，在一些实施例中，为了能够提高工件700定位和固定的效果，而设置有多组定位结构2222和压紧结构2223，压紧驱动件可通过驱动连接同时与多个压紧块连接，进而实现一个压紧驱动件同时驱动多个压紧块运动，以降低治具222的成本。

进一步地，承载板2221用于承载工件700的承载面上还可设置有若干个吸附孔2224。当工件700在定位结构2222和压紧结构2223固定之后，吸附孔2224对工件700进行吸附，实现工件700在水平方向和竖直方向上的固定。

此外，在一些实施例中，参阅图，5，检测运动平台220中的治具222还可包括有背光光源(图中未标示)。背光光源设置于承载板2221上，用于向工件700提供背光光源，使检测组件210可以更好地获取工件700的图像。

具体地，承载板2221可以采用透明玻璃，背光光源设置于承载板2221远离工件700的一端，背光光源发射的光照透过承载板2221后作用在工件700的背部，实现背光照明。

当然，在一些实施例中，当承载板2221采用透明玻璃用于透过背光光源的光线后，吸附孔2224可以设置于承载板2221的边缘，用于对工件700的边缘进行吸附，并且在每一吸附孔2224之间还可设置有相互连通的通槽2225，以提高对工件700的吸附面积。在其它实施例中，吸附孔2224也可直接设置于承载板2221上。

参阅图6，中转机构400包括中转运动平台410和中转取料组件420。其中，中转取料组件420活动设置于中转工位上，用于对工件700进行取料；中转运动平台410的驱动端与中转取料组件420连接，用于驱动中转取料组件420沿第一方向和第三方向运动，实现将工件700从检测运动平台220转移至标识运动平台320。在本申请中，第三方向可以是附图中的Z轴方向。

具体地，中转运动平台410可包括沿第一方向驱动的第一中转驱动件411以及第三方向驱动的第二中转驱动件412。其中，第一中转驱动件411可以是直线电机、丝杆电机等；第二中转驱动件412可以是升降气缸或丝杆电机等。

实际使用时，当工件700在检测运动平台220的作用下移动至中转工位时，第一中转驱动件411驱动中转取料组件420沿第一方向移动至工件700的上方，接着第二中转驱动件412驱动中转取料组件420沿第二方向移动对工件700进行取料。

中转取料组件420包括中转支架421以及多个中转吸附件422。其中，中转支架421设置于中转运动平台410的驱动端上；多个中转吸附件422分别设置于中转支架421上。

实际使用时，中转支架421在中转运动平台410的作用下同时带动多个中转吸附件422对工件700进行吸附，以提高中转取料组件420对工件700取料的稳定性。

当然在其它实施例中，中转取料组件420还可采用夹爪等方式。

参与图2，检测组件210包括检测结构211和检测驱动结构212。其中，检测结构211设置于检测工位上，检测驱动结构212与检测结构211驱动连接，用于驱动检测结构211沿第三方向移动，以调节检测结构211与工件700之间的检测距离。在本申请中，检测结构211可以是CCD检测相机，检测驱动结构212可以丝杆电机或升降气缸等。

参阅图7，标识组件310包括标识驱动结构311和标识结构312。其中，标识结构312设置于标识工位，用于根据检测组件210的检测信息对工件700进行标识；标识驱动结构311的驱动端与标识结构312连接，用于驱动标识结构312沿第三方向移动，用于调节标识结构312与工件700之间的工作距离。在本申请中，标识结构312可以是激光打标装置，标识驱动结构311可以是丝杆电机或升降气缸等。

进一步地，标识组件310还可包括吸尘结构313，吸尘结构313设置于标识结构312靠近工作台100的一端，用于吸附粉尘。

具体地，标识结构312在对工件700进行打标时会产生粉尘，而吸尘结构313需及时将粉尘抽走，以提高对工件700打标的精度以及防止污染工件700。

更进一步地，为了提高吸尘结构313的吸尘效果，吸尘结构313可与标识结构312同轴设置，此时，在标识结构312上设置有与标识结构312同轴的避空孔(图中未标示)，标识结构312可通过该避空孔作用在工件700上，实现对工件700的打标。

此外，标识组件310还可包括视觉结构314，视觉结构314设置于标识驱动结构311的驱动端上，用于对工件700进行定位，以使标识结构312可以确定工件700在标识工位的位置。

参阅图1，检测设备还可包括上料机构500。上料机构500设置于上料工位，用于将工件700上料至检测运动平台220上。

参阅图2，上料机构500包括上料存放组件510和上料转移组件520。其中，上料存放组件510设置于上料工位上，用于存放待检测的工件700；上料转移组件520设置于工作台100上，用于将上料存放组件510内的工件700转移至检测运动平台220上。

具体地，上料存放组件510包括上料料框511和料框驱动结构512。其中，上料料框511设置于上料工位上，用于装载待检测的工件700；料框驱动结构512与上料料框511驱动连接，用于驱动上料料框511沿第三方向移动。在本申请中，料框驱动结构512可以是丝杆电机或升降气缸。

具体地，待检测的工件700可层叠放置于上料料框511内，当上料转移组件520从上料料框511内的一个工件700转移至检测工作平台之后，料框驱动结构512可驱动上料料框511沿第三方向移动，使上料料框511内所层叠的工件700中最上一层可始终位于第三方向的同一位置，以便于上料转移组件520可以准确对工件700进行取料。

参阅图8，上料转移组件520包括上料转移驱动结构521和上料取料结构522。其中，上料取料结构522活动设置于工作台100上，用于对工件700进行取料；上料转移驱动结构521的驱动端与上料取料结构522连接，用于驱动上料取料结构522沿第二方向和第三方向移动，使上料取料结构522将工件700从上料料框511内转移至检测运动平台220上。

可看出，本申请中，由于检测运动平台220可沿第一方向和第二方向移动，所以上料转移驱动结构521只需要驱动上料取料结构522沿第二方向和第三方向移动，即可将工件700从上料料框511内装置检测运动平台220上，相对三维驱动方式可以降低上料机构500的成本。

在本申请中，上料转移驱动结构521可包括沿第一方向驱动的第一上料驱动件5211以及沿第三方向驱动的第二上料驱动件5212，其中，第一上料驱动件5211可以是丝杆电机或直线电机，第二上料驱动件5212可以是升降气缸或丝杆电机。

上料取料结构522包括若干个上料吸附件5221和上料支架5222。其中，若干个上料吸附件5221用于相配合对工件700进行吸附；上料支架5222设置于上料转移驱动结构521的驱动端上，若干个上料吸附件5221设置于上料支架5222上，实现上料转移驱动结构521同时驱动多个上料吸附件5221移动。

进一步地，上料取料结构522还可包括分料驱动件5223。分料驱动件5223设置于上料转移驱动结构521的驱动端上，分料驱动件5223的驱动端分别通过上料支架5222与上料吸附件5221连接，至少用于驱动一部分上料吸附件5221相对于另一部分上料吸附件5221运动。

可理解，当工件700为薄型结构的产品时，层叠在上料料框511内的工件700可能会粘合在一起，因此上料取料结构522通过上料吸附件5221对工件700进行吸附时，可能会出现两个工件700一起上料的情况，所以在上料吸附件5221对工件700进行吸附后，分料驱动件5223可驱动一部分上料吸附件5221相对于另一部分上料吸附件5221运动，实现“抖动”的效果，防止两个工件700粘合在一起。

具体地，分料驱动件5223可以是夹爪气缸，夹爪气缸的两个驱动端分别通过上料支架5222与多个上料吸附件5221连接，以驱动两组上料吸附件5221相对运动一定的距离，实现对工件700取料时“抖动”的效果。

进一步地，参阅图2，上料机构500还可包括离子消除装置530，离子消除装置530设置于上料转移组件520将工件700从上料存放组件510转移至检测运动平台220的路径上。离子消除装置530用于消除工件700中的静电。

结合图1和图3，检测设备还可包括下料机构600，下料机构600设置于下料工位上，用于对标识运动平台320上的工件700进行下料。

需要说明的是，下料机构600的结构可以上料机构500的结构相同，在此不再赘述。

当然，工件700在下料过程中，不会出现两个工件700粘合在一起的情况，因此在一些实施例中，下料机构600可以不设置分料驱动件5223。

可看出，本申请的检测设备，通过设置上料机构500和下料机构600能够实现工件700的自动化上料和下料，降低人工成本，提高工件700的检测效率。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在一些申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在一些申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

工作台，具有上料工位、检测工位、中转工位、标识工位以及下料工位；

检测机构，包括检测组件和检测运动平台，其中，所述检测组件设置于所述检测工位上，所述检测运动平台活动设置于所述工作台上，并可在所述上料工位、检测工位以及中转工位之间来回运动；

标识机构，包括标识组件和标识运动平台，其中，所述标识组件设置于所述标识工位上，所述标识运动平台活动设置于所述工作台上，并可在所述中转工位、标识工位以及下料工位之间来回运动；以及

中转机构，活动设置于所述中转工位上，用于将所述检测运动平台上的工件转移至所述标识运动平台上。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述中转机构包括中转运动平台和中转取料组件；其中，

所述中转取料组件活动设置于所述中转工位上，用于对工件进行取料；以及

所述中转运动平台的驱动端与所述中转取料组件连接，用于驱动所述中转取料组件沿第一方向和第三方向运动。

3.如权利要求1或2所述的检测设备，其特征在于，所述检测运动平台和/或标识运动平台分别包括驱动结构和治具；其中

所述治具用于承载工件；以及

所述驱动结构设置于所述工作台上，且所述驱动结构的驱动端与所述治具连接，用于驱动所述治具沿第一方向和第二方向移动。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述治具包括承载板、定位结构和压紧结构；其中，

所述承载板设置于所述驱动结构上，用于承载工件；以及

所述定位结构和压紧结构分别在第一方向上以及第二方向上相对设置于所述承载板的两端，相配合夹紧所述工件。

5.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述标识组件包括标识驱动结构和标识结构；其中，

所述标识结构设置于所述标识工位，用于对工件进行标识；以及

所述标识驱动结构的驱动端与所述标识结构连接，用于驱动所述标识结构沿第三方向移动。

6.如权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述标识组件还包括吸尘结构，所述吸尘结构设置于所述标识结构靠近工作台的一端，且所述吸尘结构上设置有供所述标识结构作用在工件上的避空孔。

7.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括上料机构，所述上料机构包括上料存放组件和上料转移组件；其中

所述上料存放组件设置于所述上料工位上，用于存放待检测的工件；以及

所述上料转移组件设置于所述工作台上，用于将所述上料存放组件内的工件转移至所述检测运动平台上。

8.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述上料机构还包括离子消除装置，所述离子消除装置设置于所述上料转移组件将工件从上料存放组件转移至检测运动平台的路径上。

9.如权利要求7或8所述的检测设备，其特征在于，所述上料转移组件包括上料转移驱动结构和上料取料结构；其中，

所述上料取料结构活动设置于所述工作台上，用于对工件进行取料；以及

所述上料转移驱动结构的驱动端与所述上料取料结构连接，用于驱动所述上料取料结构沿第二方向和第三方向移动。

10.如权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述上料取料结构包括若干个上料吸附件和分料驱动件；其中，

所述上料吸附件用于吸附工件；

所述分料驱动件与每一所述上料吸附件连接，至少用于驱动一部分上料吸附件相对于另一部分上料吸附件移动。

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