CN217662063U - 晶片车间用除尘净化机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及空气净化的技术领域，特别是涉及一种晶片车间用除尘净化机；其提高布袋的更换便捷度，提高设备的使用便捷性的晶片车间用除尘净化机；包括除尘箱，还包括除尘装置、拆卸装置以及高度移动装置，除尘装置包括设置于腔上侧的第一挡板、与所述第一挡板连接的多组第一除尘布袋、固定设置于多组除尘布袋外侧壁上侧的固定圈以及连接第一挡板与多组固定圈的连接组件，拆卸装置包括设置于第一挡板左右两侧中部的连接孔、固定设置于两组连接孔内侧壁螺纹管、螺装设置于两组螺纹管内侧壁的螺纹杆以及与两组螺纹管连接的第一驱动装置。

Description

晶片车间用除尘净化机

技术领域

本实用新型涉及空气净化的技术领域，特别是涉及一种晶片车间用除尘净化机。

背景技术

众所周知，晶片车间用除尘净化机是一种用于晶片加工过程中，对车间内进行除尘净化时所使用的装置，其在除尘净化设备的领域中得到了广泛的使用；现有的晶片车间用除尘净化机包括除尘箱，所述除尘箱内设置有腔，除尘箱前端下侧和后端上侧分别连通设置有进气管和出气管；现有的晶片车间用除尘净化机使用时将带有尘土等杂质的空气自进气管传输至腔内，腔内的除尘组件对尘土进行清除，清除后纯净空气自出气管输出；现有的晶片车间用除尘净化机使用中发现，通常使用除尘布袋进行除尘，但是除尘布袋使用时间较长时，对其进行更换较为困难，拆卸较为繁琐，降低设备的使用便捷度。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种提高布袋的更换便捷度，提高设备的使用便捷性的晶片车间用除尘净化机。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本申请的晶片车间用除尘净化机，包括除尘箱，所述除尘箱内设置有腔，除尘箱前端下侧和后端上侧分别连通设置有进气管和出气管；还包括：除尘装置，所述除尘箱底端设置有通口，所述通口底端设置有底板，所述底板通过固定组件与除尘箱外侧壁下侧连接，所述除尘装置包括设置于腔上侧的第一挡板、与所述第一挡板连接的多组第一除尘布袋、固定设置于多组除尘布袋外侧壁上侧的固定圈以及连接第一挡板与多组固定圈的连接组件，所述第一挡板中部设置有多组第一通气孔，所述多组固定圈分别设置于多组通口孔内，所述第一挡板侧壁与腔侧壁密封接触；拆卸装置，所述拆卸装置包括设置于第一挡板左右两侧中部的连接孔、固定设置于两组连接孔内侧壁螺纹管、螺装设置于两组螺纹管内侧壁的螺纹杆以及与两组螺纹管连接的第一驱动装置；以及高度移动装置，所述高度移动装置设置于集尘箱左右两端下侧，所述高度移动装置输入端与集尘箱左端下侧和右端下侧连接。

优选的，所述除尘箱左端下侧和右端下侧均设置有两组第一凹槽，所述高度移动装置包括可转动设置于四组第一凹槽内的齿轮、固定设置于两组齿轮之间的第一连接轴、固定设置于两组第一连接轴后端的两组第一电机、设置于除尘箱左端下侧和右端下侧的支撑板以及设置于所述支撑板内侧壁两组第二凹槽内的两组齿条板，所述第一连接轴可转动穿过除尘箱后与固定设置于除尘箱后端的第一电机连接，所述四组齿条板分别与四组齿轮啮合接触，所述两组支撑板均通过第一限位装置与除尘箱左端和右端上下滑动设置。

优选的，所述第一限位装置包括固定设置于左侧支撑板右端上侧和右侧支撑板左端上侧的第一限位块以及设置于除尘箱左端下侧和右端下侧的第一滑槽，所述两组第一限位块分别设置于两组第一滑槽内。

优选的，还包括支撑装置，所述支撑装置设置于腔内，所述支撑装置包括设置于第一挡板上侧的第二挡板、设置于第二挡板中部的第二通气孔以及固定设置于多组第二通气孔内侧壁的支撑架，所述多组支撑架均设置于多组集尘布袋内，所述第二挡板侧壁与腔内侧壁上侧固定连接。

优选的，所述第一驱动装置包括固定设置于两组螺纹杆顶端的第一锥齿轮、与所述两组第一锥齿轮啮合接触的第二锥齿轮、固定连接两组第二锥齿轮的第二连接轴以及固定设置于除尘箱左端的第二电机，所述两组螺纹杆顶端穿过第二挡板并与之固定可转动连接，第二连接轴左端和右端分别与腔内侧壁可转动连接，同时第二连接轴左端可转动穿出腔后与第二电机输出端连接。

优选的，所述第一挡板顶端设置有多组安装槽，所述连接组件包括固定设置于固定圈前端和后端并设置于多组安装槽内的第一固定板以及连接多组第一固定板与第一挡板的多组第一螺栓。

优选的，所述固定组件包括固定设置于底板外侧壁上侧的第二固定板以及连接多组第二固定板与除尘箱外侧壁的多组第二螺栓，所述多组第二螺栓分别穿过多组第二固定板后并螺装插入至除尘箱外侧壁下侧设置的多组螺纹槽内。

优选的，还包括第二限位装置，所述第二限位装置包括分别设置于两组支撑板内侧壁的两组第二滑槽以及固定设置于底板左端和右端的四组第二限位块，所述多组第二限位块分别设置于多组第二滑槽内。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶片车间用除尘净化机，具备以下有益效果：在进行除尘时，带有灰尘的空气自进气管传输至腔内，多组除尘布袋可对灰尘进行过滤，过滤的气体自除尘布袋内部向上传输并自出气管输出，在除尘布袋使用时间较长需要更换时，拆卸装置中的第一驱动装置带动两组螺纹杆进行转动，在螺纹的螺装作用下，两组螺纹管带动第一挡板向下移动，此时通过固定组件将底板进行拆卸，第一挡板带动除尘布袋向下移动至腔底端后，高度移动装置带动除尘箱向上移动，此时除尘箱与地面之间的距离增大，此时将连接组件进行拆卸，即可将除尘布袋进行拆卸并完成更换。

附图说明

图1是本实用新型的前侧切面结构示意图；

图2是本实用新型的立体结构示意图；

图3是本实用新型中支撑装置的立体结构示意图；

图4是本实用新型中拆卸装置与部分除尘装置的立体结构示意图；

图5是本实用新型中高度移动装置的立体结构示意图；

图6是本实用新型中底板等结构的立体结构示意图；

附图中标记：

1、除尘箱；11、进气管；

2、除尘装置；21、底板；22、固定组件；221、第二固定板；222、第二螺栓；23、第一挡板；24、除尘布袋；25、固定圈；26、连接组件；261、第一螺栓；

3、拆卸装置；31、螺纹管；32、螺纹杆；33、第一驱动装置；331、第一锥齿轮；332、第二锥齿轮；333、第二连接轴；334、第二电机；

4、高度移动装置；41、齿轮；42、第一连接轴；43、第一电机；44、支撑板；45、齿条板；46、第一限位装置；461、第一限位块；

5、支撑装置；51、第二挡板；52、支撑架；

6、第二限位装置；61、第二限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本申请的晶片车间用除尘净化机，包括除尘箱1，所述除尘箱1内设置有腔，除尘箱1前端下侧和后端上侧分别连通设置有进气管11和出气管；还包括：

除尘装置2，所述除尘箱1底端设置有通口，所述通口底端设置有底板21，所述底板21通过固定组件22与除尘箱1外侧壁下侧连接，所述除尘装置2包括设置于腔上侧的第一挡板23、设置于所述第一挡板23下侧的多组除尘布袋24、固定设置于多组除尘布袋24外侧壁上侧的固定圈25以及连接第一挡板23与多组固定圈25的连接组件26，所述第一挡板23中部设置有多组第一通气孔，所述多组固定圈25分别设置于多组第一通气孔内，所述第一挡板23侧壁与腔侧壁密封接触；

拆卸装置3，所述拆卸装置3包括设置于第一挡板23左右两侧中部的连接孔、固定设置于两组连接孔内侧壁的螺纹管31、螺装设置于两组螺纹管31内侧壁的螺纹杆32以及与两组螺纹管31连接的第一驱动装置33；以及

高度移动装置4，所述高度移动装置4设置于除尘箱1左右两端下侧，所述高度移动装置4输入端与除尘箱1左端下侧和右端下侧连接。

本申请中，在进行除尘时，带有灰尘的空气自进气管11传输至腔内，多组除尘布袋24可对灰尘进行过滤，过滤的气体自除尘布袋24内部向上传输并自出气管输出，在除尘布袋24使用时间较长需要更换时，拆卸装置3中的第一驱动装置33带动两组螺纹杆32进行转动，在螺纹的螺装作用下，两组螺纹管31带动第一挡板23向下移动，此时通过固定组件22将底板21进行拆卸，第一挡板23带动除尘布袋24向下移动至腔底端后，高度移动装置4带动除尘箱1向上移动，此时除尘箱1与地面之间的距离增大，此时将连接组件26进行拆卸，即可将除尘布袋24进行拆卸并完成更换。

具体的，两组螺纹杆32长度较长，可将第一挡板23移动至腔最底端。

具体的，第一挡板23与腔内侧壁密封接触，可减少灰尘自缝隙处传输。

本申请实施例中，所述除尘箱1左端下侧和右端下侧均设置有两组第一凹槽，所述高度移动装置4包括可转动设置于四组第一凹槽内的齿轮41、固定设置于两组齿轮41之间的第一连接轴42、固定设置于两组第一连接轴42后端的两组第一电机43、设置于除尘箱1左端下侧和右端下侧的支撑板44以及设置于所述支撑板44内侧壁两组第二凹槽内的两组齿条板45，所述第一连接轴42可转动穿过除尘箱1后与固定设置于除尘箱1后端的第一电机43连接，所述四组齿条板45分别与四组齿轮41啮合接触，所述两组支撑板44均通过第一限位装置46与除尘箱1左端和右端上下滑动设置。

本申请中，在对除尘箱1进行上下移动时，两组第一电机43分别在两组第一连接轴42的连接作用下分别带动四组齿轮41进行转动，在齿的啮合作用下，四组齿条板45随之向下移动，在连接作用下，两组支撑板44随之向下移动，除尘箱1随之向上移动，除尘箱1与地面之间的距离随之增大，以此可便于对除尘布袋24的更换。

具体的，在两组支撑板44进行上下移动时，两组第一限位装置46可对支撑板44进行限位，提高稳定性。

本申请实施例中，所述第一限位装置46包括固定设置于左侧支撑板44右端上侧和右侧支撑板44左端上侧的第一限位块461以及设置于除尘箱1左端下侧和右端下侧的第一滑槽，所述两组第一限位块461分别设置于两组第一滑槽内。

本申请中，在支撑板44进行上下移动时，两组第一限位块461分别自两组第一滑槽内进行上下移动，两组第一限位块461可对支撑板44进行限位，提高稳定性。

具体的，第一滑槽的内侧宽度大于外侧宽度，第一限位块461与第一滑槽的形状相同，以此可实现限位操作。

本申请实施例中，还包括支撑装置5，所述支撑装置5设置于腔内，所述支撑装置5包括设置于第一挡板23上侧的第二挡板51、设置于第二挡板51中部的第二通气孔以及固定设置于多组第二通气孔内侧壁的支撑架52，所述多组支撑架52均设置于多组除尘布袋24内，所述第二挡板51侧壁与腔内侧壁上侧固定连接。

本申请中，支撑装置5中的第二挡板51对多组支撑架52进行支撑，同时多组支撑架52可对除尘布袋24进行支撑，提高除尘布袋24的稳定性，减少在风机的作用下发生变形的现象。

具体的，两组螺纹杆32上侧通过轴承与第二挡板51左右两侧可转动连接。

本申请实施例中，所述第一驱动装置33包括固定设置于两组螺纹杆32顶端的第一锥齿轮331、与所述两组第一锥齿轮331啮合接触的第二锥齿轮332、固定连接两组第二锥齿轮332的第二连接轴333以及固定设置于除尘箱1左端的第二电机334，所述两组螺纹杆32顶端穿过第二挡板51并与之固定可转动连接，第二连接轴333左端和右端分别与腔内侧壁可转动连接，同时第二连接轴333左端可转动穿出腔后与第二电机334输出端连接。

本申请中，第一驱动装置33进行运行时，第二电机334带动第二连接轴333与第二锥齿轮332进行转动，在齿的啮合作用下，第一锥齿轮331随之进行转动，在连接作用下，两组螺纹杆32随之进行转动，其中，第二挡板51可对两组螺纹杆32进行支撑固定，在两组螺纹杆32进行转动时，在螺纹的螺装作用下，两组螺纹管31带动第一挡板23与除尘布袋24向下移动，完成除尘布袋24的下移操作。

本申请实施例中，所述第一挡板23底端设置有多组安装槽，所述连接组件26包括固定设置于固定圈25前端和后端并设置于多组安装槽内的第一固定板以及连接多组第一固定板与第一挡板23的多组第一螺栓261。

本申请中，在对除尘布袋24进行更换拆卸时，首先将第一螺栓261反向螺下，将第一固定板自安装槽内移出，此时将除尘布袋24拿出，再次将待安装的除尘布袋24的第一固定板自下向上放置于安装槽内并使用第一螺栓261进行螺装。

本申请实施例中，所述固定组件22包括固定设置于底板21外侧壁上侧的第二固定板221以及连接多组第二固定板221与除尘箱1外侧壁的多组第二螺栓222，所述多组第二螺栓222分别穿过多组第二固定板221后并螺装插入至除尘箱1外侧壁下侧设置的多组螺纹槽内。

本申请中，在对底板21进行拆卸时，首先将第二螺栓222进行拆卸，第二固定板221向下移动，此时即可将除尘布袋24向下移出即可，在进行安装时，将底板21向上移动至除尘箱1底端，并使用第二螺栓222进行安装。

本申请实施例中，还包括第二限位装置6，所述第二限位装置6包括分别设置于两组支撑板44内侧壁的两组第二滑槽以及固定设置于底板21左端和右端的四组第二限位块61，所述多组第二限位块61分别设置于多组第二滑槽内。

本申请中，在底板21向下移动时，第二限位块61自第二滑槽内进行滑动，底板21上下移动的位置固定，减少底板21安装时，需要对底板21进行定位的繁琐。

在使用时，在进行除尘时，带有灰尘的空气自进气管11传输至腔内，多组除尘布袋24可对灰尘进行过滤，过滤的气体自除尘布袋24内部向上传输并自出气管输出，在除尘布袋24使用时间较长需要更换时，将第二螺栓222进行拆卸，第二固定板221向下移动，第二电机334带动第二连接轴333与第二锥齿轮332进行转动，在齿的啮合作用下，第一锥齿轮331随之进行转动，在连接作用下，两组螺纹杆32随之进行转动，其中，第二挡板51可对两组螺纹杆32进行支撑固定，在两组螺纹杆32进行转动时，在螺纹的螺装作用下，两组螺纹管31带动第一挡板23与除尘布袋24向下移动，此时，两组第一电机43分别在两组第一连接轴42的连接作用下分别带动四组齿轮41进行转动，在齿的啮合作用下，四组齿条板45随之向下移动，在连接作用下，两组支撑板44随之向下移动，除尘箱1随之向上移动，除尘箱1与地面之间的距离随之增大，将第一螺栓261反向螺下，将第一固定板自安装槽内移出，此时将除尘布袋24拿出即可完成拆卸。

应当指出，在说明书中提到的“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等表示所述的实施例可以包括特定特征、结构或特性，但未必每个实施例都包括该特定特征、结构或特性。此外，这样的短语未必是指同一实施例。此外，在结合实施例描述特定特征、结构或特性时，结合明确或未明确描述的其他实施例实现这样的特征、结构或特性处于本领域技术人员的知识范围之内。

应当容易地理解，应当按照最宽的方式解释本公开中的“在……上”、“在……以上”和“在……之上”，以使得“在……上”不仅意味着“直接处于某物上”，还包括“在某物上”且其间具有中间特征或层的含义，并且“在……以上”或者“在……之上”不仅包括“在某物以上”或“之上”的含义，还可以包括“在某物以上”或“之上”且其间没有中间特征或层(即，直接处于某物上)的含义。

此外，文中为了便于说明可以使用空间相对术语，例如，“下面”、“以下”、“下方”、“以上”、“上方”等，以描述一个元件或特征相对于其他元件或特征的如图所示的关系。空间相对术语意在包含除了附图所示的取向之外的处于使用或操作中的器件的不同取向。装置可以具有其他取向(旋转90度或者处于其他取向上)，并且文中使用的空间相对描述词可以同样被相应地解释。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种晶片车间用除尘净化机，包括除尘箱(1)，所述除尘箱(1)内设置有腔，除尘箱(1)前端下侧和后端上侧分别连通设置有进气管(11)和出气管；其特征在于，还包括：

除尘装置(2)，所述除尘箱(1)底端设置有通口，所述通口底端设置有底板(21)，所述底板(21)通过固定组件(22)与除尘箱(1)外侧壁下侧连接，所述除尘装置(2)包括设置于腔上侧的第一挡板(23)、设置于所述第一挡板(23)下侧的多组除尘布袋(24)、固定设置于多组除尘布袋(24)外侧壁上侧的固定圈(25)以及连接第一挡板(23)与多组固定圈(25)的连接组件(26)，所述第一挡板(23)中部设置有多组第一通气孔，所述多组固定圈(25)分别设置于多组第一通气孔内，所述第一挡板(23)侧壁与腔侧壁密封接触；

拆卸装置(3)，所述拆卸装置(3)包括设置于第一挡板(23)左右两侧中部的连接孔、固定设置于两组连接孔内侧壁的螺纹管(31)、螺装设置于两组螺纹管(31)内侧壁的螺纹杆(32)以及与两组螺纹管(31)连接的第一驱动装置(33)；以及

高度移动装置(4)，所述高度移动装置(4)设置于除尘箱(1)左右两端下侧，所述高度移动装置(4)输入端与除尘箱(1)左端下侧和右端下侧连接。

2.根据权利要求1所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，所述除尘箱(1)左端下侧和右端下侧均设置有两组第一凹槽，所述高度移动装置(4)包括可转动设置于四组第一凹槽内的齿轮(41)、固定设置于两组齿轮(41)之间的第一连接轴(42)、固定设置于两组第一连接轴(42)后端的两组第一电机(43)、设置于除尘箱(1)左端下侧和右端下侧的支撑板(44)以及设置于所述支撑板(44)内侧壁两组第二凹槽内的两组齿条板(45)，所述第一连接轴(42)可转动穿过除尘箱(1)后与固定设置于除尘箱(1)后端的第一电机(43)连接，所述四组齿条板(45)分别与四组齿轮(41)啮合接触，所述两组支撑板(44)均通过第一限位装置(46)与除尘箱(1)左端和右端上下滑动设置。

3.根据权利要求2所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，所述第一限位装置(46)包括固定设置于左侧支撑板(44)右端上侧和右侧支撑板(44)左端上侧的第一限位块(461)以及设置于除尘箱(1)左端下侧和右端下侧的第一滑槽，所述两组第一限位块(461)分别设置于两组第一滑槽内。

4.根据权利要求3所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，还包括支撑装置(5)，所述支撑装置(5)设置于腔内，所述支撑装置(5)包括设置于第一挡板(23)上侧的第二挡板(51)、设置于第二挡板(51)中部的第二通气孔以及固定设置于多组第二通气孔内侧壁的支撑架(52)，所述多组支撑架(52)均设置于多组除尘布袋(24)内，所述第二挡板(51)侧壁与腔内侧壁上侧固定连接。

5.根据权利要求4所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，所述第一驱动装置(33)包括固定设置于两组螺纹杆(32)顶端的第一锥齿轮(331)、与所述两组第一锥齿轮(331)啮合接触的第二锥齿轮(332)、固定连接两组第二锥齿轮(332)的第二连接轴(333)以及固定设置于除尘箱(1)左端的第二电机(334)，所述两组螺纹杆(32)顶端穿过第二挡板(51)并与之固定可转动连接，第二连接轴(333)左端和右端分别与腔内侧壁可转动连接，同时第二连接轴(333)左端可转动穿出腔后与第二电机(334)输出端连接。

6.根据权利要求5所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，所述第一挡板(23)底端设置有多组安装槽，所述连接组件(26)包括固定设置于固定圈(25)前端和后端并设置于多组安装槽内的第一固定板以及连接多组第一固定板与第一挡板(23)的多组第一螺栓(261)。

7.根据权利要求6所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，所述固定组件(22)包括固定设置于底板(21)外侧壁上侧的第二固定板(221)以及连接多组第二固定板(221)与除尘箱(1)外侧壁的多组第二螺栓(222)，所述多组第二螺栓(222)分别穿过多组第二固定板(221)后并螺装插入至除尘箱(1)外侧壁下侧设置的多组螺纹槽内。

8.根据权利要求7所述的晶片车间用除尘净化机，其特征在于，还包括第二限位装置(6)，所述第二限位装置(6)包括分别设置于两组支撑板(44)内侧壁的两组第二滑槽以及固定设置于底板(21)左端和右端的四组第二限位块(61)，所述多组第二限位块(61)分别设置于多组第二滑槽内。

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